JPH02283096A - 乾燥フィルム状半田マスク被覆装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野］ 本発明は乾燥フィルムからなる半田マスク材料をプリン
ト回路基板の表面に被覆する方法および装置に間する。

〔従来の技術〕

半田マスクは非導電材料で作られ、硬く永久的な層を形
成する。この半田マスクはプリント回路基板の表面を被
覆しプリント回路を包み込む。半田マスクは回路全体を
被覆するが他の部品を接続する箇所は露出される。

半田マスクは一般に感光剤層を有する。この感光剤層は
プリント回路基板の表面に配置され、テンプレートなど
の工作物によるパターンに基づき化学線で露光される。

次に感光剤層は有機溶媒や水溶液により、感光剤層が正
の作用を有するか負の作用を有するかに応じて、露光箇
所または非露光箇所が洗浄され現像される。感光剤層の
残された部分を熱や紫外線照射などを利用して硬化させ
、硬い永久的な半田マスクを形成する。

感光剤層を基板表面に配する１つの方法は、感光剤を液
体の形態で塗布することである。液体の感光剤は乾燥ま
たは部分硬化して準安定層を形成する。

感光剤を乾燥フィルムの形態で回路基板に配する方が液
体の形態で塗布するよりも利点が多い。

有機溶媒を必要としない乾燥フィルムも市販されている
。この種の乾燥フィルムを使用すれば有害な有機溶媒を
作業現場から排除できる。また、有機溶媒から作業環境
や周囲環境を保護するための装置も必要なくなる。

乾燥フィルムは一般に支持材料としてのカバーシートを
有する。このカバーシートは多少の可撓性を有するが十
分な剛性を有し、感光剤層の支持構造を提供する。感光
剤層は前記カバーシートの一面に積層される。カバーシ
ートはメリネックスＭＥＩｊＮＥＷ（登録商標）など、
ポリエチレンテレフタレー）　（ＰＵＴ）等のポリエス
テル材料で作ることができる。

乾燥フィルムの感光剤層を保護すると同時に巻き付けを
可能にするため、剥離可能なポリエチレン保護シートで
感光剤層の露出面を覆うことが従来から行われている。

この種の乾燥フィルムには、本発明の譲受人であるモー
トンサイオコー／Ｌ／（Ｍｏｒ−ｔｏｎ　Ｔｈ１ｏｋｏ
ｌ）社のダイナケム（１）ｙｎａｃｈｅ＊）事業部が販
売するラミナーＬＡＮＩＭＡＲＯＭ（商標登録）がある
。

感光剤層からポリエチレン保護シートを剥離する作業は
、プリント回路基板の表面に乾燥フィルムを適用する直
前に行うのが通例である。特に自動装置においては、リ
ールから乾燥フィルムを巻き戻しながら保護シートを剥
離し巻き取る。そしてプリント回路基板の表面に乾燥フ
ィルムをあてがい、基板表面に感光剤層を直接接触させ
るゆ熱および真空を利用して基板表面に感光剤層を即座
に積層させる。ポリエステルカバーシートは感光剤層に
張り合わされたまま残り、酸素に対する露出や取り扱い
中の損傷に対して感光剤層を保護する。

次に乾燥フィルムはポリエステル力バーシートを介して
、パターン化された化学線で照射される。

この後、ポリエステルカバーシートを取り除き、感光剤
層を現像剤にさらす。現像剤は感光剤層の成分に応じて
、有機溶媒、水性現像剤、水および有機溶媒の両方を含
有する半水性現像剤などが使用される。はとんどの感光
剤層は現像の後で硬化処理を必要とする。この硬化処理
により、現像された感光剤層は硬くなり、永久的に半田
マスクとして使用できるようになる。前記硬化処理は感
光剤層の成分に応じて熱及び／又は紫外線照射で行われ
る。

ポリエステルカバーシートは比較的剛性が高いので、感
光剤層はプリント回路基板の不規則な輪郭、すなわち基
板の平坦な表面から凸状に形成されている回路の輪郭に
完全に適合するわけではない。このため感光剤層の厚さ
は、基板に積層された場合に基板表面の凸状回路よりわ
ずかに大きく該回路の外面を覆えなければならない。回
路内において部品の半田付けが予定されている箇所から
は半田マスクの現像中に感光剤が除去されるが、このよ
うな箇所の間に半田マスクの外側領域が残る。この外側
領域は、プリント回路基板に部品を表面実装する際、問
題を起こす。

回路によってはその基部が頂部よりも狭い。この場合、
感光剤層は回路の両側に沿って外方向に小さく垂れ下が
る傾向がある（マツシュルーム効果と呼ばれる）。従来
の液体組成や従来の乾燥フィルムでは、前記垂れ下がり
の下に気泡が残る。

この気泡は回路の酸化の原因となり、半田マスクに欠陥
をもたらす。

改良された乾燥フィルムおよびこの乾燥フィルムを使用
してプリント回路基板の表面に半田マスクを形成し、従
来の液体組成や乾燥フィルムの問題を解消する方法が米
国特許出願筒１６０，８９５号で開示された。この出願
は、１９８８年２月２６日、レオルース、フレデリック
ジエーアクソン（Ｌｅｏ　Ｒｏｏｓ＋Ｆｒｅｄｅｒｉｃ
ｋ　Ｊ、Ａｘｏｎ）　、およびジェームスジェーブリグ
グリオ（Ｊａｍｅｓ　Ｊ、Ｂｒｉｇｕｇｌｉｏ）によっ
てなされ、本発明の譲受人に譲渡され、本発明にも参照
として取り入れた。この改良された乾燥フィルムは、ポ
リエチレンテレフタレートなど可撓性はあるが全般的に
柔軟でないポリエステル材料で形成したカバーシートを
含む。このカバーシートは乾燥フィルムに形状を与えて
リールへの巻き付けを可能にする。前記カバーシートの
一方の表面にトップコートとしての薄い材料層が設けら
れる。この層は感光剤層の現像剤に対して可溶であるこ
とが望まれる。前記トップコートの他方の表面には感光
剤層が形成される。そして感光剤層を保護するための剥
離可能なポリエチレンシートが設けられる。

前記トップコートの材料は透明で強く可撓性があるもの
が選択され、前記カバーシートよりも前記感光剤層に対
してより大きな接着性を有するように作られる。

前記レオルース等の特許出願が開示する半田マスクの形
成方法によれば、ポリエチレン保護層を剥離し、露出さ
れた感光剤層の表面をプリント回路基板の表面の小領域
に付着させる。ポリエステルカバーシートを取り除き、
トップコートを感光剤層の保護被膜として残す。感光剤
層は前記基板の表面に熱および真空を利用して確実に積
層し、前記基板表面の輪郭に沿わせる。

半田マスク材料として乾燥フィルムを適用するには、真
空積層を行う前にプリント回路基板に乾燥フィルムを軽
くあてがう必要がある。つまり乾燥フィルムと回路基板
の表面との間に閉じ込められた空気を抜き取り、その後
に機械的圧力を加えて基板表面に乾燥フィルムを適合さ
せねばならない。機械的圧力の印加中、乾燥フィルムの
外表面は前記トップコートによって保護される。前記真
空処理の前にポリエステルカバーシートを除去すれば、
フィルムを基板に良好に一致させられる。

〔発明が解決しようとする課題〕

本発明の課題は、プリント回路基板への乾燥フィ、ルム
の被覆と、乾燥フィルムを被覆した基板の操作と、ポリ
エステルカバーシートの剥離と、乾燥フィルムと基板と
の間に閉じ込められた空気の排出とを可能にする方法お
よび装置を提供することである。

本発明の他の課題は、複数のプリント回路基板の各表面
に乾燥フィルムをゆるくかぶせ、前記基板を連続して移
動させ、前記基板の各表面の前端部と後端部とに前記フ
ィルムを付着させる装置を提供することである。前記フ
ィルムの付着は、加熱した付着ロールによって行う。付
着ロールは互いに近接させ、前記基板表面の前端部に前
記フィルムの第１領域を付着させる。次に付着ロールを
離反させ、再び近接させ、前記フィルムの前記第１領域
から離れた第２領域を前記基板表面の後端部に付着させ
る。前記フィルムの第１領域と第２領域との間の中間領
域は、前記基板表面の前端部と後端部との間の領域と実
質的に同一寸法を有する。そして前記フィルムの中間領
域は、熱や圧力を用いずに前記基板の対応表面にあてが
う。

本発明のさらに他の課題は、付着ロールが相対的に可動
である被覆装置を提供することである。

前記付着ロールは常閉位置から開位置へと移動可能とす
る。各基板表面の前端部における付着処理は、各基板の
先端を強制的に前記付着ロールに接線方向に接触するよ
うに送り込んで開始させる。

〔課題を解決するための手段、および作用〕前記課題を
解決するため、本発明に基づく被覆方法および被覆装置
は、送りロール手段による回路基板の自動的な供給と、
付着ロールに接線方向の力を印加することによるフィル
ムの基板前端部への付着と、基板前端部および後端部へ
のフィルムの付着を制御する制御論理と、前記基板前端
部および後端部へのフィルム付着中におけるロール圧力
の印加と、基板前端部および後端部への付着圧力の印加
のための制御装置とを特徴とする特に、フィルムを前記
基板の前端部に付着させた後、付着ロールを離反させ圧
力を印加せずにフィルムをゆるく前記基板にあてがうこ
とを特徴とする。

この後、付着ロールを再び近接させ、前記基板の後端部
へフィルムを付着させる。

乾燥フィルムは３０°Ｃ〜１００°Ｃの温度範囲におい
て高い流動性を有する。この温度範囲においてフィルム
の付着を完了させることが望ましい。理由はこの温度範
囲であれば前記基板の表面にフィルムを容易に付着でき
るからである。

本明細書において基板の「表面前端部」とは、該基板表
面の前端部であって、乾燥フィルム半田マスクの最初の
付着を行うことが望まれる基板上の領域である。同様に
基板の「表面後端部」とは、該基板表面の後端部であっ
て、乾燥フィルム半田マスクを連続的にあてがった後、
第２の付着を行うことが望まれる基板上の領域である。

本発明の特徴である数々の新規性は、本発明の一部であ
る特許請求の範囲に記載した。本発明の動作的特徴、そ
の使用から得られる利点等は、図面を参照しながら本発
明の実施例により詳細に説明する。

〔実施例〕

図示の本発明に係る被覆装置１０は、プリント回路基板
に乾燥フィルムのシートを被覆する装置である。この装
置１０は、モートンサイオコール社ダイナケム事業部が
販売する手動予備積層装置モデル３６０ＤＦＳＭおよび
積層洗浄装置モデル３６０の特徴を有する。特に被覆装
置１０は、モデル３６０ＤＦＳＭを変更して積層洗浄装
置モデル３６０の加熱および空気圧装置を設け、電気制
御回路を再構成し、プリント回路基板の表面前端部およ
び後端部に対する感光フィルムの付着制御を実現したも
のである。

第１図〜第３図において、被覆装置１０は本体１２と搬
送手段１４とを備える。搬送手段１４はプリント回路基
板１６を１枚ずつ送りロール２２　、２３を通して付着
領域１８へ搬送し本体１２を通過させる。搬送手段１４
は、本体１２の入口側２１に設けられた送り合手段２０
と、排出ホイール２４　、２５と、本体１２の出口側２
７に設けられた排出台手段２６とを備える。送りロール
２２　、２３にはカバー２２ａ、２３ａを設ける。排出
ホイール２４　、２５は排出駆動軸２９　、３１によっ
て各々駆動される。通常、半田マスクはプリント回路基
板の両面に適用されるので、第２図に最もよく示される
ように、被覆装置１０はプリント回路基板１の搬送面に
対して対称に構成される。サイドパネル１２ａ、１２ｂ
は被覆装置１０の左側および右側を覆フ。

本発明において、乾燥フィルム層は前記レオルース等の
米国特許出願が開示するタイプが好ましく、プリント回
路基板１６の上面および下面に各々付着される。基板１
６は、平行な上下の付着ロール２８　、３０の作用によ
って付着領域１８を通過する。これら付着ロール２８　
、３０は各々第１付着ロール、第２付着ロールと呼ぶ。

第１付着ロールすなわち上付着ロール２８は、第２付着
ロールすなわち上付着ロール３０に対して進退方向に可
動である。通常は両付着ロール２８　、３０の周面は互
いに近接した状態にあり、第２図に示すように上下の乾
燥フィルム３６　、４６の端部を両ロール間に捕捉して
いる。基板１６が送りロール２２゜２３に駆動されて付
着領域１８に送り込まれると、基板１６の先端は付着ロ
ール２８　、３０に対して接線方向の力を印加する。こ
の接線方向の力は、送りロール２２　、２３による基板
１６の牽引によって発生され、基板１６に直角な分力を
生じ、付着ロール２８　、３０を強制的に分離する。こ
の結果、可動な上付着ロール２８は上方に移動し、基Ｆ
ｉ１６は付着ロール２８　、３０間を通過する。

第１付着ロール２８が上方に移動すると、第１検出手段
の検出スイッチ１１６が作動する。検出スイッチ１１６
については第６図および第７図を参照して後述する。検
出スイッチ１１６が作動すると、電気系および空気圧系
による付着動作が始まる。空気圧系は第４図および第５
図に示すように空気圧シリンダ７６　、８８を含み、第
１付着ロール２８に下方の付着圧力を印加する。第１０
図を参照して後述するが、タイマ１１８がタイムアウト
となるまで空気圧シリンダ７６　、８８の下空気室には
空気が供給されず、従って第１付着ロール２８の上方移
動は行われない、この上方移動は基板１６の表面前端部
への乾燥フィルムの付着が終了してから行われる。

検出スイッチ１１６およびタイマ１１８の作動により、
空気圧シリンダ７６　、８８は第１付着ロール２８に対
して下向きの圧力を印加し、乾燥フィルム３６゜４６の
先端部が基板１６の上下面の先端部に付着される。

乾燥フィルムの付着を確実にするため、基板Ｌ６が被覆
装置ｌＯ内を搬送される間、タイマ１１８によって決定
される時間だけ、付着ロール２８　、３０を加熱すると
共に適切な下向きの圧力をロール２８に印加することが
好ましい、この後、第１付着ロール２８に対する下向き
の圧力を解放し、空気圧シリンダ７６　、８８の下空気
室に空気を供給する。これにより第１付着ロール２８は
基＋７ｉ１６から上昇する。基板１６は引き続き被覆装
置ＩＯ内を搬送され、乾燥フィルム３６　、４６が引き
出される。この時、熱や圧力は乾燥フィルム３６　、４
６に印加されない、またこの間、乾燥フィルム３６　、
４６の牽引力により付着ロール２８゜３０は回転する。

基板１６の上下面の後端部への乾燥フィルム３６゜４６
の付着は、第２検出手段のスイッチ１３８によって開始
される。スイッチ１３８は、第２図に示すように、近接
スイッチや光電装置など基板１６の後端を適切に検出で
きるものであればよい、スイッチ１３８が基板１６の後
端を検出すると、第１θ図を参照して後述するタイマ１
２２が作動する。タイマ１２２は、基板１６の表面後端
部における乾燥フィルムの付着時間や付着寸法を決定す
る。

基ｖｉ１６の表面後端部が付着領域１８に入ると、再び
空気圧シリンダ７６　、８８によって下向きの圧力が第
１付着ロール２８に印加され、基板１６の上下面の後端
部に乾燥フィルム３６　、４６が各々付着される。

そして基板１６は、排出ホイール２４　、２５によって
付着ロール２８　、３０間の領域を搬送され通過する。

このように乾燥フィルムは基板の両面にゆるくあてがわ
れると共に、基板の前端部および後端部においてのみ全
幅にわたって固着される。乾燥フィルムの幅は、排出ホ
イールが基板の全面にわたって牽引力を作用させ得るよ
う基板の幅よりも狭くする必要がある。

複数の基板１６と乾燥フィルム３６　、４６とを連続的
に被覆装置１０に供給し、各基ｖｉ１６の上下両面の先
端部および後端部に前記乾燥フィルムを付着させること
もできる０本発明に基づ〈実施例の場合、一連の基板１
６は乾燥フィルム３６　、４６によって間隔を置いて接
続された状態で被覆装置１０から排出される。そして手
動で乾燥フィルム３６　、４６を切断した各基板１６を
分離する。

従来の適切なフィルム切断手段（図示せず）を使用して
フィルムを切断してもよい。このような切断手段は、例
えばイーチーベルナルト（Ｅ、Ｔ、Ｂｅｒ−ｎａｒｄｏ
）による米国特許第４，０２５，３８０号やエービーセ
ラソ（＾、Ｂ、Ｃｅｒａｓｏ）による米国特許第４．６
５０．５３６号に開示されている。これら切断手段を使
用し、被覆される各基板Ｉ６の長さに乾燥フィルムを合
わせ、上下の乾燥フィルム３６　、４６の各々の後端が
各基板の表面後端部に付着されるようにし、必要に応じ
て基板表面の小領域だけが乾燥フィルムによって被覆さ
れるようにできる。

第２図において、被覆装置ＩＱは乾燥フィルム用の上供
給ロール３２と下供給ロール３４とを備える。

乾燥フィルム３６は上供給ロール３２から剥離ロール３
８を通過して下方に引き出される。剥離ロール３８にお
いてポリエチレンカバーシート４０が乾燥フィルム３６
から分離され、上方に運ばれて上巻取りリール４２に巻
き取られる。乾燥フィルム３６は引き続き下方に送られ
、帯電防止棒４４を通過し、第２図に示すように半時針
方向に土付着ロール２８に巻かれる。

同様に、乾燥フィルム４６は下供給ロール３４から下剥
離ロール４８を通過して下方に引き出される。

剥離ロール４８においてポリエチレンカバーシート５０
が乾燥フィルム４６から分離され、下巻取りリール５２
に送られて巻き取られる。乾燥フィルム４６は引き続き
下方に送られ、帯電防止棒５４を通過し、時計方向に土
付着ロール３０に巻かれる。

第４図および第５図に示すように、付着ロール２８　、
３０は自由回転する。すなわち付着ロール２８゜３０は
適切な軸受に取り付けられ、送りロール２２゜２３およ
び排出ホイール２４　、２５によって被覆装置１０内を
搬送される基板１６とフィルム３６　、４６とに応じて
のみ回転される。下方の第２付着ロール３０は固定軸受
５６　、５８に取り付けられ、固定軸６０を中心として
回転する。上方の第１付着ロール２８は、上下に移動で
きる軸受６２　、６４に回転可能に取り付けられ、下方
の第２付着ロール３０に対して進退自在に移動できる。

これにより乾燥フィルム３６　、４６が基板１６の両面
に付着される。

前記軸受６２　、６４は長方形の揺動板６６　、６８に
各々取り付けられて上下移動する。揺動板６６は第１付
着ロール２８の左端に配置され、揺動板６８は該ロール
２８の右端に配置される。揺動板６６　、６８の各々は
、被覆装置１０の本体１２の入口側２１に近い側を中心
として揺動可能である。すなわち揺動板６６は固定揺動
軸７０を中心として揺動し、揺動板６８は固定揺動軸７
２を中心として揺動する。揺動軸７０は被覆装置工０の
本体１２の左パネル８２に取り付けられる。同様に、揺
動軸７２は本体１２の右パネル９４に取り付けられる。

揺動板６６の他端は垂直配置の空気圧シリンダ７６にタ
ブ７４を介して取り付けられる。第１付着ロール２８の
左端から延びる軸７８は左パネル８２に形成された六８
０を通過する。前記軸７８は揺動板６６に形成された穴
８４を通過する。前記穴８４は固定揺動軸７０およびタ
ブ７４に整合して配置される。前記軸７８（すなわち第
１付着ロール２８）の上下動の範囲を規制するため、プ
レート８２の六８０は図示のように上下方向に細長く形
成される。

同様に、揺動板６８の他端は垂直配置の空気圧シリンダ
８８に適切な手段を介して取り付けられる。

第１付着ロール２８の右端から延びる軸９０は右パネル
９４に形成された穴９２を通過し、揺動板６８の穴９６
に挿入される。前記穴９６は固定揺動軸７２とビン８６
とに整合して配置される。右パネル９４における前記穴
９２は上下方向に細長く形成され、軸９０（すなわち第
１付着ロール２８）の上下移動の範囲を規制する。

上方の第１付着ロール２８を下降させて所望の付着作業
を行うための空気圧は、第１１図に示すように空気圧系
９７によって印加される。すなわち電磁弁９８　、１０
０．１０２の制御下で圧力空気源からの空気が空気圧シ
リンダ７６　、８８に供給される。電磁弁９８゜１００
、１０２は第１０図に示す電気回路によって選択的に作
動される。

第１１図に示すように、電磁弁９８　、１００．１０２
は空気圧系９７の電磁弁アッセンブリ９９に内蔵される
。

空気圧系９７は、空気圧シリンダ７６　、８８に加えて
、適切な圧力の空気を供給する入力接続器を有するエア
フィルタ１０１と、圧力調整器１０３と、圧力ゲージ１
０５と、数個の部品に対して適切な接続を行う複数のホ
ース管１０７とを備える。数個の部品とは当業者に既知
の部品であり詳細説明は省略する。

電磁弁９８．１００．１０２の動作は第１０図に示す電
気回路１０４によって選択的に制御される。この回路１
０４は導線１０６．１０８を介して交流電源に接続され
る。交流電源は供給線Ｌｌ、Ｌ２であり商用周波数と電
圧とを有する。供給線Ｌ１．Ｌ２と導線１０６、１０８
との間には、単極単投スイッチ１１０と降圧変圧器１１
２と熱磁気トリップ装置（回路保護装置）１１４とが設
けられる。変圧器１１２は導線１０６゜１０８間に２４
ボルトの起電力を提供するように選択することが好まし
い。

前記回路１０４は前記検出スイッチ１１６と制御手段と
を含む。この制御手段は常閉接点１２０を有する第１タ
イマ１１８と、常閉接点１２４を有する遅延タイマ１２
２と、常開接点１２８．１３０を有する遅延ラッチリレ
ー１２６と、常閉接点１３４および常開接点１３６を有
する第１リレー１３２と、常開接点１４２を有する第２
リレー１４０とを備える。回路１０４に通電すると、タ
イマ１１８．１２２は所定のカウント後または所定時間
後、対応する各常閉接点１２０．１２４を開く。

検出スイッチ１１６は、各プリント回路基板１６が付着
領域１８に進入する際、すなわち基板１６の先端が上下
の付着ロール２８　、３０に対して接線方向に接触して
可動ロール２８を上方に移動させる時、基板１６の先端
の進入を検出する。近接スイッチ１３８は多基Ｆｉ１６
の後端を検出する。スイッチ１３８の位置は調整手段（
図示せず）によって調整可能であり、基板１６の両表面
後端部の乾燥フィルム３６　、４６が付着される位置を
調整できる。

第６図および第７図に示すように、検出スイッチ１１６
は常開マイクロスイッチで構成でき、図示しない手段に
よって外側方向に移動される作動ボタン１１６ａを有す
る。スイッチ１１６は棒部材１４４によって作動される
。この棒部材１４４は、揺動板６８の固定揺動軸７２に
近接した端部１４６に取り付けられる。揺動板６８が揺
動軸７２を中心として傾斜するので、第１付着ロール２
８が上方に移動すると棒部材１４４は下方に移動する。

逆に第１付着ロール２Ｂが下方に移動すると棒部材１４
４は上方に移動する。

スイッチ１１６はＬ形部材１４Ｂの垂れ下がった脚部に
垂直に取り付けられる。Ｌ形部材１４８の他方の脚部の
端部は被覆装置１０のフレーム部材（図示せず）に揺動
可能に取り付けられる。レバー部材１４９がその一端１
５０においてスイッチ１１６に揺動可能に取り付けられ
、スイッチ１１６の長さ方向に延びる。レバー部材１４
９の他端にはローラ１５１が取り付けられ、付着ロール
２８　、３０間に基板１６が存在しない場合、揺動板６
８に取り付けられた棒部材１４４の端部によって押圧さ
れる。調整ネジ１５２は被覆装置１０のフレーム部材１
５３に取り付けられ、Ｌ形部材１４８にねじ込まれる。

調整ネジ１５２を調整することにより、棒部材１４４の
端部がローラ１５１に接触してレバー部材１４９を押圧
することによりスイッチ１１６を開位置に保持している
程度が調整できる。調整ネジ１５２によってスイッチ１
１６を調整すると、基板１６が付着領域１８に進入し該
基板の高さ（すなわち厚さ）だけ第１付着ロール２８を
持ち上げる時、スイッチ１１６が第６図に示す開位置か
ら第７図に示す閉位置に切り換わるタイミングが調整さ
れる。

第８図は被覆装置１０の左側面を示し、カバーパネル１
２ａを取り外した図である。カバーパネル１２ａを取り
外すと、送りロール２２　、２３と排出ホイール２４　
、２５との駆動機構が見える。この駆動機構は、チェー
ン１５９によって駆動される主スブロケッ）　１５７を
含むチェーン駆動機構１５５であ名□。前記チェーン１
５９は適切な減速機構１６３を介して電動モータ１６１
によって駆動される。

第９図は第８図と同様の図であるが、主スプロケット１
５７を破断し、主スプロケット１５７から下方の送りロ
ール２３までの伝達機構を示す。主スプロケット１５７
は、下方の排出ホイールの軸に一体的に取り付けられて
いる。前記軸にはさらに駆動スプロケット６５が取り付
けられている。駆動スプロケット１６５はスプロケット
１６７を駆動し、スブロケット１６７は下方の送りロー
ル２３用の軸１６９に一体的に取り付けられている。こ
れらは中間アイドルスプロケット１７３を通るチェーン
１７１を介して駆動される。

上方の第１付着ロール２８が自由回転位置にある場合、
電磁弁９８は閉じられ、空気圧シリンダ７６゜８８には
圧力空気が供給されず、第１付着ロール２８には力が印
加されない。電磁弁９８は電磁弁１０２の通気口を介し
て空気を排出する。この時、第１付着ロール２８は自重
により「浮いた」状態にある。

プリント回路基板１６は本体１２の入口側２１から導入
され、送りロール２２　、２３によって本体１２の出口
側２７へ搬送される。基板１６の先端が自由回転する付
着ロール２８　、３０に対して接線方向にくわえ込まれ
ると、基板１６の先端が第１付着ロール２８に印加する
接線力の垂直成分によって第１付着ロール２８が上昇す
る。すると棒部材１４４がスイッチ１１６を開位置から
閉位置に切り換える。

スイッチ１１６が第１０図に示すように閉位置に移動す
ると、リレー１４０が作動し、接点１４２が閉じ、電磁
弁１０２が作動する。電磁弁１０２が作動すると圧力空
気が電磁弁９８に導入され空気圧シリンダ７６゜８８を
作動させる。これにより上方の第１付着ロール２８が押
し下げられ、基板１６と乾燥フィルム３６゜４６とを間
に挟んで下方の第２付着ロール３０に押し付けられ、基
板１６の表面前端部の付着が行われる。

リレー１４０の作動と同時に、スイッチ１１６の閉成は
タイマ１１８を作動させる。タイマ１１８は付着時間を
計数する。あらかじめ設定された時間が経過すると、タ
イマ１１８は常閉接点１２０を開き、通常は作動してい
るリレー１３２を遮断する。これによりリレー接点１３
４．１３６の位置が反転する。すると電磁弁９８が停止
し電磁弁１００が作動する。この結果、第１付着ロール
２８に印加されていた下向きの圧力が解放され、乾燥フ
ィルム３６　、４６のプリント回路基板１６の両面前端
部に対する付着圧力が解放される。リレー接点１３６の
位置が反転すると、すなわち閉成されると、電磁弁１０
０が作動する。

これにより空気圧シリンダ７６　、８８の上空気室に空
気が供給され、第１付着ロール２８を上昇させて自重に
より「浮いた」状態にする。

付着領域Ｉ８において基板１６の後端が検出されると、
近接スイッチ１３８は遅延ラッチリレー１２６への通電
回路を閉じる。この遅延ラッチリレー１２６は接点１２
８の閉成を介して自己保持する。またリレー１２６の作
動により接点１３０が閉じ、タイマ１２２への通電回路
が閉じるので、タイマ１２２の計数の開始が制御される
。

タイマ１２２の計数が終了すると、接点１２４が閉じ、
タイマ１１８を停止させる。この結果、接点１２０が開
きリレー１３２が遮断される。これにより接点１３４、
１３６の位置すなわち電磁弁９８．１０２が切り替わり
、空気圧シリンダ７６　、８８の上空気室に空気が供給
される。このため第１付着ロール２８は前記空気圧シリ
ンダによって再び押し下げられ、基板１６の後端部への
乾燥フィルムの付着が行われる。

プリント回路基板１６が排出ホイール２４　、２５によ
って搬送され付着ロール２８　、３０を越えると、第１
付着ロール２８が下方に移動し、棒部材１４４の端部が
レバー部材１４９のローラ１５１　と接触し検出スイッ
チ１１６を開く。これによって電気回路１０４が遮断さ
れリセットされる。

第１２図は本発明に基づく被覆装置１０の動作サイクル
順序を示す、同図において線１５４は上方の第１付着ロ
ール２８の位置を示し、最初は下方の閉位置にあり、次
に上昇して動作サイクルの主状態となり、最後に再び下
降して動作サイクルを終了する。線１５６はスイッチ１
１６であり、最初に開位置にあり、基Ｖｉ１６の付着領
域１８への進入を検出して閉位置となり、動作サイクル
の残りは閉位置のままである。線１５８はタイマ１１８
の動作タイミングを示す。このタイマ１１８に基づき、
第１付着ロール２８に対する付着圧力が維持され、基板
１６の表面前端部に対してフィルム３６　、４６の付着
が行われる。この付着は、スイッチ１１６がＯＮされる
とすなわち閉成されると即座に開始され、０．２秒間に
わたって行われる。この付着は、これよりも長い時間に
わたって行うこともできる。例えば図に示すように０．
５秒間にわたって行ってもよい。綿１６０は近接スイッ
チ１３８による基板１６の後端検出動作を示す。線１６
２はタイマ１２４の動作タイミングを示し、基板１６の
後端部へのフィルムの付着を行うためのものである。線
１６４は動作サイクル中における第１付着ロール２８に
印加される圧力を示す。

最初に第１付着ロール２８は下方にあり圧力は印加され
ない。次に下向きの圧力が印加されて基板１６の前端部
に対してフィルムの付着が行われる。次に第１付着ロー
ル２８は上昇され、最後に動作サイクルの終了時に圧力
が印加されて押し下げられ、基板の後端部に対してフィ
ルムの付着が行われる。

高分子材料製の乾燥フィルム３６　、４６は３０°Ｃ〜
１００°Ｃの温度範囲において高い流動性を有するので
、この範囲の温度に乾燥フィルムを加熱してからプリン
ト回路基板表面への付着を行うと付着が容易である。

付着ロール２８　、３０を加熱しその温度を前記範囲の
適切な値に制御するため、第１０図に示すように加熱抵
抗器１６６、１６８を設ける。これら抵抗器の配置は当
業者に既知であり、上下付着ロール２８　、３０の各々
に対応して配置される。加熱抵抗器１６６゜１６８は、
交流電源線Ｌ１．Ｌ２から電気回路を介して通電される
。この電気回路は、回路遮断器１１０と、追加の回路遮
断器１７０と、常開リレー作動スイッチ１７２と、各々
対応して配置される同一の制御回路１７４．１７６とを
含む。

制御回路１７４．１７６は温度制御器１７８．１８０を
各々備える。温度制御器１７８の入力にはサーモカップ
ル１８２が設けられる。サーモカップル１８２は加熱抵
抗器１６６に隣接して第１付着ロール２８の外面に配置
される。同様のサーモカップル１８４は加熱抵抗器１６
８に隣接して第２付着ロール３０の外面に配置される。

サーモカップル１８４は制御器１８０の入力に接続され
る。

整流器１８６．１８８は温度制御器１７８．１８０に各
々接続され、それら温度制御器によって制御される。

整流器１８６．１８８は交流電源線Ｌ１．Ｌ２に接続さ
れ、加熱抵抗器１６６、１６８に各々直列接続される。

適切なブラシ１９０．１９２および１９４．１９６が上
下の付着ロール２８　、３０に各々設けられる。

加熱抵抗器１６６、１６８の作動すなわち付着ロール２
８　、３０の加熱は、電気回路１０４の連続通電に応じ
て制御される。回路１０４への通電を停止すると、加熱
抵抗器１６６、１６８への通電すなわち付着ロール２８
　、３０の加熱が停止される。このため、回路１０４に
並列接続されたコイルを有するリレー２０２が配置され
、制御回路１７４．１７６への通電回路中に配置された
接点１７２は、回路１０４への通電を遮断するとリレー
２０２によって開かれる。あるいはスイッチ２０６を作
動させることによっても開かれる。リレー２０２には表
示灯２０４が並列接続され、加熱系がＯＮであるかＯＦ
Ｆであるかを示す。

以上説明したように、乾燥フィルム半田マスクをプリン
ト回路基板の表面に被覆するための本発明装置は、前記
フィルムを被覆する基板の操作と、乾燥フィルムのポリ
エステルカバーシートの剥離と、乾燥フィルムがゆる（
あてがわれている基板の表面からの真空、加熱、機械的
圧力による空気の完全な除去とを実現する。この結果、
プリント回路基板上の回路導線の完全な保護と、基板表
面への半田マスクの密着とが実現される。

本発明は較正作業を容易にし労力を減少させる。

本発明の特徴は、基板を自動的に付着ロールに送り込む
ための送りロール（２２、２３）と、加熱または非加熱
の付着ロールに接線方向の力を印加することによって基
板の前端部へのフィルム付着を行うことと、基板の前端
部と後端部におけるフィルム付着に関する制御論理とで
ある。基板の前端部へのフィルムの付着の後、付着ロー
ルは離反してフィルムは圧力を受けずにゆる（基板にあ
てがわれる。そしてロールは再び接近して基板後端部へ
のフィルムの付着を行う。

当業者には明らかなように、本発明の詳細な説明に対し
て本発明の範囲を逸脱せずに多くの変更が可能である。

従って本発明の範囲は、前記に説明し図示した実施例に
限定されるものではなく、請求の範囲によって決定され
るものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に基づく被覆装置の前部（入口部）を
示す斜視図、 第２図は、前記被覆装置の付着ロール、プリント回路基
板送りロール、および感光剤フィルム巻取り構成を示す
第１図の２−２線に沿った概略断面図、 第３図は、第２図の３−３線に沿った概略断面図、 第４図は、付着ロール、および上方の付着ロール用の揺
動板（左側）を示す第１図の被覆装置の左側分解斜視図
、 第５図は、付着ロール、および上方の付着ロール用の揺
動板（右側）を示す第１図の被覆装置の右側分解斜視図
、 第６図は、付着ロール間にプリント回路基板が挿入され
ていない状態における基板進入検出スイッチを示す分解
図、 第７図は、付着ロール間に基板が挿入された状態におけ
る第６図のスイッチを示す分解図、第８図は、カバーパ
ネルを外した状態を示し、基板送りロールおよび排出ホ
イール用チェーン駆動機構と、下方の排出ホイール軸に
固定された主スプロケットとを示す被覆装置の左側面図
、第９図は、送りロールへの伝達機構を示すため主スプ
ロケットを破断した第８図と同様の図、第１Ｏ図は、乾
燥フィルムのプリント回路基板への付着を制御するため
被覆装置に設けた電気制御回路を示す回路図、 第１１図は、被覆装置の空気圧系を示す斜視図、第１２
図は、被覆装置の動作順序を示すタイミング図である。 １０・・・被覆装置、　　　　１４・・・搬送手段、１
６・・・プリント回路基板、１８・・・付着領域、２２
　、２３・・・送りロール、　２４　、２５・・・排出
ホイール、２８　、３０・・・付着ロール、 ３２　、３４・・・フィルム供給ロール、３８　、４８
・・・剥離ロール、　４２　、５２・・・巻取りリール
、３６　、４６・・・乾燥フィルム、６６　、６８・・
・揺動板、７６　、８８・・・空気圧シリンダ、 １１６、−１３８・・・検出スイッチ、１１８、１２２
・・・タイマ。 Ｆｉｇ、３ Ｆｉｇ、　２ Ｆｉｇ、　１２ Ｆｉｇ・ Ｆｉｇ。 Ｆｉ９゜ Ｆｉ　ｑ。

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. １．基板の表面前端部の全幅を覆う第１領域と、基板の
   表面後端部の全幅を覆う第２領域と、前記基板の表面前
   端部と表面後端部との間の表面領域と実質的に同一寸法
   を有して該表面領域の全幅を覆う前記第１領域と第２領
   域との間の第３領域、とを有する乾燥フィルムと、 前記基板の表面前端部に前記乾燥フィルムの第１領域を
   まず隣接させ、次いで前記基板の表面後端部に前記乾燥
   フィルムの第２領域を隣接させる手段と、 前記基板の表面前端部および表面後端部に前記乾燥フィ
   ルムの第１領域および第２領域を各々付着させると共に
   、前記基板の表面前端部と表面後端部との間の表面領域
   に前記乾燥フィルムの第３領域を軽くあてがう付着手段
   とを有する、基板表面に乾燥フィルム状半田マスクを被
   覆するための乾燥フィルム状半田マスク被覆装置。
2. ２．前記付着手段が、熱と圧力とを利用して、前記基板
   の表面前端部および表面後端部に前記乾燥フィルムの第
   １領域および第２領域を各々付着させると共に、熱や圧
   力を利用せずに、前記基板の表面前端部と表面後端部と
   の間の表面領域に前記乾燥フィルムの第３領域をあてが
   う、請求項１に記載の装置。
3. ３．前記付着手段が、 平行配置され、通常は互いに隣接して閉位置を取り、相
   対的に離反して開位置を取ることができ、両者間に付着
   領域を形成する第１および第２の付着ロールと、 前記付着ロール間の付着領域に前記乾燥フィルムを供給
   するフィルム供給手段と、 前記付着ロール間の付着領域に前記基板の表面前端部を
   送り込み、前記基板の表面前端部が前記付着ロール間に
   くわえ込まれることによって発生する前記付着ロールの
   接線方向の力によって前記付着ロールを離反させ、前記
   基板の表面前端部を前記付着ロール間に移動させる基板
   搬送手段と、前記付着ロールの離反を検出する第１検出
   手段と、 前記第１検出手段に接続されそれに応答して作動し、前
   記付着ロールを閉位置に移動させる力を発生することに
   より前記乾燥フィルムの第１領域を前記基板の表面前端
   部に押し付ける作動手段、とを有する、請求項２に記載
   の装置。
4. ４．前記第１検出手段が電気スイッチを有し、前記作動
   手段が、前記電気スイッチの作動によって始動される制
   御手段と、該制御手段によって制御される力発生手段と
   を有する、請求項３に記載の装置。
5. ５．前記力発生手段が空気圧シリンダを有する、請求項
   ４に記載の装置。
6. ６．前記制御手段がタイミング手段を有し、該タイミン
   グ手段が前記力発生手段の動作を所定時間だけ保持する
   ことにより前記基板の表面前端部に付着圧力が印加され
   、次に前記力発生手段の動作を停止させることによって
   前記付着ロールを離反させて前記乾燥フィルムを押圧せ
   ずに前記基板にあてがい、 前記制御手段に対する接点を有し前記基板の表面後端部
   の接近を検出する第２検出手段をさらに備え、 前記制御手段が、前記第２検出手段による前記基板の表
   面後端部の接近の検出に応じて作動し、前記力発生手段
   を作動させ、前記付着ロールを閉位置に移動させ、前記
   基板の表面後端部に付着圧力を印加させる、請求項４に
   記載の装置。
7. ７．前記基板がプリント回路基板であり、前記乾燥フィ
   ルムがポリエステルカバーシートと該カバーシートに塗
   布されたトップコートと該トップコートに塗布された感
   光剤層と該感光剤層を保護する保護シートとを有し、前
   記感光剤層が感光および現像の後に硬化して硬い永久的
   な半田マスクとなって前記プリント回路基板を被覆し、
   前記トップコートが前記カバーシートよりも前記感光剤
   層に選択的に付着し、 前記トップコートとポリエステルカバーシートとを前記
   感光剤層に残して前記保護シートを前記感光剤層から取
   り除く剥離手段をさらに有し、前記付着手段が、前記感
   光剤層とトップコートとポリエステルカバーシートとか
   らなる前記乾燥フィルムの第１領域および第２領域を前
   記プリント回路基板の表面前端部および表面後端部に熱
   または圧力を利用して各々付着させると共に、前記乾燥
   フィルムの第３領域を熱および圧力を利用せずに前記基
   板の表面前端部と表面後端部との間の領域にあてがう、
   請求項３に記載の装置。
8. ８．前記基板が各々表面前端部と表面後端部とを有する
   両面を有し、 前記基板が前記付着ロール間を搬送される際、前記感光
   剤層とトップコートとカバーシートとからなる前記乾燥
   フィルムが前記付着ロールの各々の周囲に引っ張られて
   前記基板の対応する面の表面前端部に付着され、前記基
   板が前記感光剤層間を搬送され、 前記作動手段が、前記第１検出手段によって始動され、
   前記付着ロールを閉位置に押圧し、前記基板の各面の表
   面前端部に前記感光剤層を同時に付着させる、請求項７
   に記載の装置。
9. ９．前記基板の表面後端部の接近を検出する第２検出手
   段をさらに有し、 前記作動手段が、前記第２検出手段に接続されて応答し
   、前記付着ロールを閉位置に押圧し、前記基板の各面の
   表面後端部に前記感光剤層を同時に付着させる、請求項
   ８に記載の装置。
10. １０．前記付着ロールが上下に間隔をおいて配置され、
    前記第１付着ロールが上付着ロールであり前記第２付着
    ロールが下付着ロールであり、可動軸受支持手段と固定
    軸受支持手段とをさらに有し、 前記上付着ロールが前記可動軸受支持手段に回転可能に
    取り付けられ、前記下付着ロールが前記固定軸受支持手
    段に回転可能に取り付けられ、前記可動軸受支持手段が
    前記上付着ロールの各端部に揺動板を有し、各前記揺動
    板の第１端部が固定点を中心として揺動し、各前記揺動
    板の第２端部が垂直力に接続され、 前記揺動板の第１端部と第２端部との中間に前記上付着
    ロールの対応端部を回転可能に指示する軸受が配置され
    る、請求項３に記載の装置。
11. １１．少なくとも一方の前記揺動板の第１端部に一端を
    支持された棒部材をさらに有し、 前記第１検出手段がスイッチ手段を有し、該スイッチ手
    段が第１スイッチ位置と第２スイッチ位置とを有して前
    記棒部材の端部と協働し、力の印加によって前記揺動板
    の第２端部が上昇すると前記スイッチ手段が前記第１ス
    イッチ位置から前記第２スイッチ位置へ切り換わる、請
    求項１０に記載の装置。
12. １２．装置本体に取り付けられ前記スイッチ手段と協働
    し前記揺動板の第２端部の所定の上方移動に応じて前記
    スイッチ手段が作動するように調整する調整手段をさら
    に有する、請求項１１に記載の装置。
13. １３．装置本体がフレーム部材を有し、 前記スイッチ手段が作動ボタンを有するマイクロスイッ
    チを有し、 第１端部と第２端部とを有し該第１端部において前記ス
    イッチ手段に揺動自在に取り付けられたレバー部材をさ
    らに有し、前記レバー部材の中間部が前記スイッチ手段
    を押し付けると前記作動ボタンが第１スイッチ位置を取
    り、前記レバー部材の第２端部にローラ手段が取り付け
    られ、 第１脚部と第２脚部とを有するＬ形部材をさらに備え、
    前記第１脚部の端部が前記フレーム部材に揺動自在に取
    り付けられ、前記第２脚部が前記一方の揺動板の端部か
    ら延びる前記棒部材の端部に隣接して下方に延び、 前記スイッチ手段が前記Ｌ形部材の第２脚部に取り付け
    られ、前記揺動板の第２端部が下方位置にある場合、前
    記棒部材の端部が前記レバー部材のローラ手段と接触す
    るので前記レバー部材が前記作動ボタンを押圧し、前記
    揺動板の第２端部が上昇すると、前記棒部材の端部が前
    記ローラ手段から離れるので前記作動ボタンが前記レバ
    ー部材から解放されて第２スイッチ位置を取る、請求項
    １１に記載の装置。
14. １４．装置本体がフレーム部材を有し、 前記スイッチ手段がマイクロスイッチを備え、該マイク
    ロスイッチが前記棒部材の端部方向に延びる作動ボタン
    を有し、 前記調整手段が前記フレーム部材に取り付けられ前記作
    動ボタンと連動する調整ネジを備え、前記スイッチ手段
    が前記上付着ロールの上昇によって作動し、前記上付着
    ロールの上昇量は両方の前記付着ロール間への前記基板
    の進入を許容する程度である、請求項１２に記載の装置
    。
15. １５．空気圧シリンダ手段と、該空気圧シリンダ手段と
    前記揺動板の第２端部とを各々連結するリンクと、前記
    空気圧シリンダ手段を制御するため前記スイッチ手段に
    接続された制御手段とをさらに有し、 前記スイッチ手段を前記第２スイッチ位置にすると、前
    記空気圧シリンダ手段が作動され、前記基板の表面端部
    に付着圧力が印加される、請求項１４に記載の装置。
16. １６．前記制御手段がタイミング手段を有し、該タイミ
    ング手段が、所定時間だけ前記空気圧シリンダ手段を作
    動させて前記基板の表面前端部への付着圧力を維持し、
    次に前記空気圧シリンダ手段による付着圧力の印加を中
    断させて前記付着ロールを開位置にすることにより前記
    感光剤層を有する乾燥フィルムを前記基板に圧力を印加
    せずにあてがう、請求項１５に記載の装置。
17. １７．前記制御手段に接続され前記基板の表面後端部の
    接近を検出する第２検出手段をさらに備え、前記制御手
    段が、前記第２検出手段による前記基板の表面後端部の
    接近の検出に応じて動作し、前記空気圧シリンダ手段を
    作動させて前記付着ロールを閉位置にすることにより前
    記基板の表面後端部に付着圧力を印加し、 前記タイミング手段が、前記制御手段に接続され、前記
    基板の表面後端部に対する前記付着圧力の印加を所定時
    間だけ持続させる、請求項１６に記載の装置。
18. １８．前記付着ロール間の付着領域に基板の付着面を搬
    送する基板搬送手段が送りロールを有し、該送りロール
    の少なくとも一方が駆動されて前記基板の両面を送り込
    む、請求項３に記載の装置。
19. １９．前記作動手段が制御手段を有し、前記基板の表面
    前端部が進入し前記付着ロールを離反させ前記第１検出
    手段の前記スイッチ手段を作動させると前記制御手段の
    動作が開始され、 前記スイッチ手段が、前記第１スイッチ位置において開
    回路を形成し前記第２スイッチ位置において閉回路を形
    成する第１電気スイッチであり、前記作動手段が前記制
    御手段によって制御される力発生手段を備え、 前記制御手段が前記第１電気スイッチを含む電気回路を
    備え、該電気回路が、 常閉接点を有する第１タイマと、 常閉接点を有する遅延タイマと、 第１および第２の常開接点を有する遅延ラッチリレーと
    、 常閉第１接点と常開第２接点とを有する第１リレーと、 第２電気スイッチを有し前記付着領域を搬送される前記
    基板の表面後端部を検出する第２検出手段と、 常開接点を有する第２リレーと、 前記力発生手段を作動させる第１制御弁と、前記基板が
    前記付着ロールの少なくとも一方によって押し付けられ
    る方向に前記力発生手段からの力を方向付ける第２制御
    弁と、 前記付着ロールが分離される方向に前記力発生手段から
    の力の方向を反転させる第３制御弁とを有し、 前記第１タイマと遅延リレーと遅延タイマと第２リレー
    への通電回路接続は前記第１電気スイッチを有し、 前記遅延タイマの常閉接点は前記第１タイマへの通電回
    路接続に包含され、 前記第１タイマの常閉接点は前記第１リレーへの通電回
    路接続に包含され、 前記第２リレーの常開接点は前記第１制御弁への通電回
    路接続に包含され、 前記遅延ラッチリレーの常開接点の一方は前記遅延ラッ
    チリレーへの自己保持回路接続に含まれ、他方は前記遅
    延タイマへの通電回路接続に接続され、 前記第１リレーの常閉接点は前記第２制御弁への通電回
    路接続に接続され、前記第１リレーの常開接点は前記第
    ３制御弁の通電回路に接続され、前記基板が前記付着ロ
    ールにくわえ込まれると、前記第１電気スイッチが閉じ
    、前記第２リレーに通電され、該第２リレーの常閉接点
    が閉じ、前記第１制御弁が作動し、前記力発生手段が始
    動し、該力発生手段からの力が前記第２制御弁を介して
    前記付着ロールの少なくとも一方を押圧し、前記基板に
    前記乾燥フィルムを付着させ、次に前記第１リレーの常
    閉第１接点が前記第２制御弁への通電回路において閉じ
    、 これと同時に前記第１タイマが作動して付着時間を計数
    し、所定時間が経過すると該第１タイマの常閉接点が開
    き、前記第１リレーへの通電が止まり、前記第１リレー
    の第１および第２接点が反転し、前記第２制御弁が停止
    して前記第３制御弁が作動し、前記力発生手段からの力
    の方向が反転し、前記少なくとも一方の付着ロールを前
    記基板から離し、 前記第２電気スイッチが前記基板の表面後端部を検出す
    ると、前記遅延ラッチリレーの前記第１および第２接点
    の位置が変化し、前記遅延タイマへの通電回路が閉じ、
    前記遅延タイマが計数を開始し、計数が完了すると前記
    遅延タイマの常閉接点が開き、前記第１タイマへの通電
    が止まり、前記第１リレーが作動してその第１および第
    ２接点の位置が変化し、前記第２制御弁が作動して前記
    力発生手段を動作させ、前記少なくとも１つの付着ロー
    ルが前記基板に押し付けられて前記基板の表面後端部へ
    のフィルム付着を行い、 前記基板が前記付着ロールを離れると、前記第１電気ス
    イッチが開き、前記制御手段と前記力発生手段とへの通
    電が遮断され、前記電気回路がリセットされる、請求項
    １１に記載の装置。
20. ２０．前記力発生手段が第１および第２の空気圧シリン
    ダ手段を有する空気圧装置を有し、前記第１および第２
    の空気圧シリンダ手段が前記軸受支持手段の揺動板の各
    々の第２端部に接続され、前記空気圧シリンダ手段の各
    々が対向する空気室を有し、 前記第１制御弁が前記空気圧装置への空気圧の供給を制
    御すべく接続され、 前記第１、第２および第３の制御弁が各々電磁弁であり
    、 前記第２電磁弁を作動させると、各前記空気圧シリンダ
    の対向する空気室の一方に空気圧が接続され、前記一方
    の空気室への空気圧が前記揺動板の第２端部を移動させ
    、前記乾燥フィルムと前記基板とに前記少なくとも１つ
    の付着ロールを押し付け、 前記第３電磁弁を作動させると、各前記空気圧シリンダ
    の対向する空気室の他方に空気圧が接続され、前記基板
    から前記少なくとも１つの付着ロールを離反させる、請
    求項１９に記載の装置。