JPS6260646A - カバ−フイルムの自動剥離方法及びその装置 - Google Patents
カバ−フイルムの自動剥離方法及びその装置Info
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- JPS6260646A JPS6260646A JP60200616A JP20061685A JPS6260646A JP S6260646 A JPS6260646 A JP S6260646A JP 60200616 A JP60200616 A JP 60200616A JP 20061685 A JP20061685 A JP 20061685A JP S6260646 A JPS6260646 A JP S6260646A
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- peeling
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、プリント配線基板製造工程における感光性ド
ライフィルムレジスト（以下ＤＦＲと略記する）のカバ
ーフィルムの剥離方法及びその装置に関するものである
。
ライフィルムレジスト（以下ＤＦＲと略記する）のカバ
ーフィルムの剥離方法及びその装置に関するものである
。
従来、この種カバーフィルムを剥離する方法は、人手に
よる手作業か、あるいは第４図に示される如く、基板搬
送経路の上下に設けられた剥離用粘着テープ２０ 、２
０’をカバーフィルム剥離用ローラ２１，２１’に導き
、該剥離用ローラ２１，２１’に導かれた剥離用粘着テ
ープ２０ 、２０’によって、コンベア２２によって搬
送されてくるプリント配線基板２３にラミネートされて
いるＤＦＲのカバーフィルムを剥離し、剥離されたカバ
ーフイルムは粘着テープとともにボビン２４ 、２４’
に巻き付けられる。このように、粘着テープを介してテ
ープの接着力によってカバーフィルムを剥離する方法で
あった。
よる手作業か、あるいは第４図に示される如く、基板搬
送経路の上下に設けられた剥離用粘着テープ２０ 、２
０’をカバーフィルム剥離用ローラ２１，２１’に導き
、該剥離用ローラ２１，２１’に導かれた剥離用粘着テ
ープ２０ 、２０’によって、コンベア２２によって搬
送されてくるプリント配線基板２３にラミネートされて
いるＤＦＲのカバーフィルムを剥離し、剥離されたカバ
ーフイルムは粘着テープとともにボビン２４ 、２４’
に巻き付けられる。このように、粘着テープを介してテ
ープの接着力によってカバーフィルムを剥離する方法で
あった。
上記した従来のＤＦＲのカバーフィルム剥ｍ 方法の中
、人手による作業の場合は、作業人員を必要とするばか
りでなく、ＤＦＲの組成物を直接子で触れることから安
全衛生管理上問題があり、また、粘着テープを介して剥
離する方法は、カバーフィルムにカット不良があると剥
離ミスを生ずることがあり、更に、粘着テープの消費量
が膨大となる。そして、その消費量は通常ラミネート長
さ又はその２倍程度となり、その費用もまた極めて大き
いものとなる。
、人手による作業の場合は、作業人員を必要とするばか
りでなく、ＤＦＲの組成物を直接子で触れることから安
全衛生管理上問題があり、また、粘着テープを介して剥
離する方法は、カバーフィルムにカット不良があると剥
離ミスを生ずることがあり、更に、粘着テープの消費量
が膨大となる。そして、その消費量は通常ラミネート長
さ又はその２倍程度となり、その費用もまた極めて大き
いものとなる。
また、現状においては剥離除去したカバーフィルムの処
理に人手を要するという問題もある。
理に人手を要するという問題もある。
本発明は、前記の問題点に鑑みてなされたもので、ＤＦ
Ｈのカバーフィルムの剥離を確実にかつ低コストで行う
方法及び装置を提供すること金目的とする。
Ｈのカバーフィルムの剥離を確実にかつ低コストで行う
方法及び装置を提供すること金目的とする。
本発明は前記の目的を達成するために、感光性ドライフ
ィルムレジストがラミネートされたプリント配線基板を
搬送経路の所定の位置に停止させ、粘着ローラを前記基
板の先端部に圧着させて前記感光性ドライフィルムレジ
ストのカバーフィルムを接着し、前記粘着ローラを基板
より離間する方向に移行させてカバーフィルムを剥離し
、該剥Ｍｌ、タカバーフィルムにカバーフィルム剥離用
空気を吹きつけ、ついで基板を搬送させながら剥離され
るべきカバーフィルムと基板との間に前記カバーフィル
ム剥離用空気を吹きつけることによってカバーフィルム
を剥離する方法を特徴とするものであり、その装置も感
光性ドライフィルムレジストがラミネートされたプリン
ト配線基板を搬送経路の所定位置に停止させる手段を有
し、カバーフィルム剥離用粘着ローラを前記プリント配
線基板に対し昇降自在に設けるとともに、カバーフィル
ム剥離用空気を吹き出すノズルを配設したことを特徴と
するものである。
ィルムレジストがラミネートされたプリント配線基板を
搬送経路の所定の位置に停止させ、粘着ローラを前記基
板の先端部に圧着させて前記感光性ドライフィルムレジ
ストのカバーフィルムを接着し、前記粘着ローラを基板
より離間する方向に移行させてカバーフィルムを剥離し
、該剥Ｍｌ、タカバーフィルムにカバーフィルム剥離用
空気を吹きつけ、ついで基板を搬送させながら剥離され
るべきカバーフィルムと基板との間に前記カバーフィル
ム剥離用空気を吹きつけることによってカバーフィルム
を剥離する方法を特徴とするものであり、その装置も感
光性ドライフィルムレジストがラミネートされたプリン
ト配線基板を搬送経路の所定位置に停止させる手段を有
し、カバーフィルム剥離用粘着ローラを前記プリント配
線基板に対し昇降自在に設けるとともに、カバーフィル
ム剥離用空気を吹き出すノズルを配設したことを特徴と
するものである。
本発明は、プリント配線基板にラミネートされたＤＦＲ
のカバーフィルムを剥離するにあたり、前記基板を搬送
経路の所定位置で停止させ、その停止時に例えばエアシ
リンダの先端に固装した粘着ローラと前記の基板先端部
に圧着させ、ついで、前記の粘着ローラを基板より難関
する方向にエアシリンダを作動させることによって、粘
着ローラに接着したカバーフィルム乞剥離させ、ついで
前記基板を搬送させ、この搬送と同時に剥離されるヘキ
カバーフイルムと基板との間にカバーフィルム剥離用の
空気を吹きつけてカバーフィルムを剥離させるものであ
シ、すなわち、基板の搬送方向と反対方向に向ってカバ
ーフィルムと基板との間に空気を吹きつけることによっ
て前記のようにカバーフィルムを剥離するので、安全、
確実に剥離できるものである。
のカバーフィルムを剥離するにあたり、前記基板を搬送
経路の所定位置で停止させ、その停止時に例えばエアシ
リンダの先端に固装した粘着ローラと前記の基板先端部
に圧着させ、ついで、前記の粘着ローラを基板より難関
する方向にエアシリンダを作動させることによって、粘
着ローラに接着したカバーフィルム乞剥離させ、ついで
前記基板を搬送させ、この搬送と同時に剥離されるヘキ
カバーフイルムと基板との間にカバーフィルム剥離用の
空気を吹きつけてカバーフィルムを剥離させるものであ
シ、すなわち、基板の搬送方向と反対方向に向ってカバ
ーフィルムと基板との間に空気を吹きつけることによっ
て前記のようにカバーフィルムを剥離するので、安全、
確実に剥離できるものである。
本発明を図面に示す実施例に基づいて説明する。
１はＤＦＲがラミネートされたプリント配線基板（以下
単に基板という）であって、前工程よりコンベア２等で
搬送される。
単に基板という）であって、前工程よりコンベア２等で
搬送される。
３は基板検知センナであって、前記基板１が所定位置に
到達したとき基板１を検知してコンベア２と停止せしめ
前記基板１を定位置に停止させる。
到達したとき基板１を検知してコンベア２と停止せしめ
前記基板１を定位置に停止させる。
４．４′は基板１の搬送経路の上下にそれぞれ設けられ
ているエアシリンダであって、該それぞれのエアシリン
ダ４，４′のピストン先端部には粘着ローラ５，５′が
固装され、エアシリンダ４，４′は前記の基板検知セン
サ３が基板１を検知したとき同時に作動され、ピストン
先端部に固装された粘着ローラ５，５′を前記定位置に
停止されている基板１の先端部に圧着し、基板１にラミ
ネートされているＤＦＨのカバーフィルムｆ、ｆを前記
粘着ローラ５，５′に接着させる。カバーフィルムｆ、
ｆを粘着ローラ５，５′に接着させるとエアシリンダ４
，４′は作動前の位置に戻る。
ているエアシリンダであって、該それぞれのエアシリン
ダ４，４′のピストン先端部には粘着ローラ５，５′が
固装され、エアシリンダ４，４′は前記の基板検知セン
サ３が基板１を検知したとき同時に作動され、ピストン
先端部に固装された粘着ローラ５，５′を前記定位置に
停止されている基板１の先端部に圧着し、基板１にラミ
ネートされているＤＦＨのカバーフィルムｆ、ｆを前記
粘着ローラ５，５′に接着させる。カバーフィルムｆ、
ｆを粘着ローラ５，５′に接着させるとエアシリンダ４
，４′は作動前の位置に戻る。
６．６′はカバーフィルムｆ、ｆが剥離されているかど
うか乞チェックするために基板１の搬送経路の上下に設
けられたセンサであり、７．γ′は基板１の搬送経路の
上下に設けられた電磁弁でろ９１８．８′は前記のそれ
ぞれの電磁弁７，７′に送気されるカバーフィルム剥離
用の圧縮空気の圧力を調整する圧力調整弁であ、Ｑ、９
．９’は前記の圧縮空気吹き出し用のノズルである。そ
して、前記ノズル９，９′によって吹き出されるカバー
フィルム剥離用圧縮空気の方向は基板１の搬送方向と反
対方向であって、かつ、基板１を挾持する状態で設けら
れる一対のニップローラ１０ 、１０’に向けられ、剥
離すべきカバーフィルムに、ｆと基板１との間に吹き付
けられるように構成する。
うか乞チェックするために基板１の搬送経路の上下に設
けられたセンサであり、７．γ′は基板１の搬送経路の
上下に設けられた電磁弁でろ９１８．８′は前記のそれ
ぞれの電磁弁７，７′に送気されるカバーフィルム剥離
用の圧縮空気の圧力を調整する圧力調整弁であ、Ｑ、９
．９’は前記の圧縮空気吹き出し用のノズルである。そ
して、前記ノズル９，９′によって吹き出されるカバー
フィルム剥離用圧縮空気の方向は基板１の搬送方向と反
対方向であって、かつ、基板１を挾持する状態で設けら
れる一対のニップローラ１０ 、１０’に向けられ、剥
離すべきカバーフィルムに、ｆと基板１との間に吹き付
けられるように構成する。
１１ 、１１’は前記ニップローラ１０ 、１０’の上
部後方に設けられた剥離されたカバーフィルムを収容す
るカバーフィルムキャッチパンでちゃ、該キャッチパン
１１ 、１１’には吸引ダクト１２．１２’。
部後方に設けられた剥離されたカバーフィルムを収容す
るカバーフィルムキャッチパンでちゃ、該キャッチパン
１１ 、１１’には吸引ダクト１２．１２’。
１３ 、１３’が連通し、更に前記吸引ダクト１３゜１
３′は切断刃付吸引ブロワ１４に連通される。１５はフ
ィルムケーンである。なお、図中すは感光性組成物を示
す。
３′は切断刃付吸引ブロワ１４に連通される。１５はフ
ィルムケーンである。なお、図中すは感光性組成物を示
す。
本発明の実施例は以上のように構成されるので、ＤＦＲ
ｉラミネートされた基板１が前工程よりコンベア２によ
って搬送され、基板検知センサ３が前記基板１が所定位
置に到達したことを検知するとコンベア２を停止させ、
基板１を定位置に停止させる。前記した基板１の所定位
置に到達したことを基板検知センサ３が検知すると同時
にエアシリンダ４，４′を作動させてピストン先端部に
固装した粘着ローラ５，５′を前記定位置に停止してい
る基板１の先端部に圧着し、基板１にラミネートされて
いるＤＦＲのカバーフィルムｆ 、 ｆ ’を接着して
エアシリンダ４，４′を作動させて最初の位置に戻る。
ｉラミネートされた基板１が前工程よりコンベア２によ
って搬送され、基板検知センサ３が前記基板１が所定位
置に到達したことを検知するとコンベア２を停止させ、
基板１を定位置に停止させる。前記した基板１の所定位
置に到達したことを基板検知センサ３が検知すると同時
にエアシリンダ４，４′を作動させてピストン先端部に
固装した粘着ローラ５，５′を前記定位置に停止してい
る基板１の先端部に圧着し、基板１にラミネートされて
いるＤＦＲのカバーフィルムｆ 、 ｆ ’を接着して
エアシリンダ４，４′を作動させて最初の位置に戻る。
前記の粘着ローラ５，５′が基板１に圧着する位置は、
エアシリンダの接点、位置制御センサ又は作動時間タイ
マ等で制御することができる。
エアシリンダの接点、位置制御センサ又は作動時間タイ
マ等で制御することができる。
前記したように、粘着ローラ５，５′は剥離すべきカバ
ーフィルムｆ、ｆを接着してエヤーシリンダの作動によ
って元の位置に戻るが、この剥離すべきカバーフィルム
ｆ、ｆが剥離されているかどうかをセンサ６．６′で確
認し、もし剥離が完全にされていない場合は再度エアシ
リンダ４，４′を作動して粘着ローラ５，５’ｆ、基板
１の先端部に圧着してカバーフィルムｆ、ｆ’ｉ接着し
剥離を行う。
ーフィルムｆ、ｆを接着してエヤーシリンダの作動によ
って元の位置に戻るが、この剥離すべきカバーフィルム
ｆ、ｆが剥離されているかどうかをセンサ６．６′で確
認し、もし剥離が完全にされていない場合は再度エアシ
リンダ４，４′を作動して粘着ローラ５，５’ｆ、基板
１の先端部に圧着してカバーフィルムｆ、ｆ’ｉ接着し
剥離を行う。
粘着ローラ５，５′によってカバーフィルムｆ。
ｆが基板表面より剥離されたことをセンサ６．６′で検
知確認波電磁弁７，７′を開きカバーフィルム剥離用空
気をスリットあるいはノズル９，９′より吹き出す。前
記した粘着ローラ５，５′によって剥離されたカバーフ
ィルムｆ、ｆは粘着ローラ５゜５が、エアシリンダ４，
４の作動で元の位置へ戻るときそれぞれ外方へ案内され
るが、カバーフィルムｆ、ｆは基板１を挾持する状態で
設けられた上下一対のニップローラ１０ 、１０’で挾
まれた状態になっており、前記した粘着ロール５，５′
が元の位置に戻る途中でカバーフィルムｆ、ｆは粘着ロ
ール５，５′より接着がはがれその端部はフリー状態と
なる。このときは前記したようにカバーフィルム剥離用
空気はノズル９．９’ｉ介してカバーフィルムｆ、ｆに
吹き付けられている。
知確認波電磁弁７，７′を開きカバーフィルム剥離用空
気をスリットあるいはノズル９，９′より吹き出す。前
記した粘着ローラ５，５′によって剥離されたカバーフ
ィルムｆ、ｆは粘着ローラ５゜５が、エアシリンダ４，
４の作動で元の位置へ戻るときそれぞれ外方へ案内され
るが、カバーフィルムｆ、ｆは基板１を挾持する状態で
設けられた上下一対のニップローラ１０ 、１０’で挾
まれた状態になっており、前記した粘着ロール５，５′
が元の位置に戻る途中でカバーフィルムｆ、ｆは粘着ロ
ール５，５′より接着がはがれその端部はフリー状態と
なる。このときは前記したようにカバーフィルム剥離用
空気はノズル９．９’ｉ介してカバーフィルムｆ、ｆに
吹き付けられている。
そして粘着ローラ５，５′がエヤーシリンダ４゜４′の
作動によって元の位置に戻ったことを確認し、コンベア
２を作動して基板１の搬送を開始する。
作動によって元の位置に戻ったことを確認し、コンベア
２を作動して基板１の搬送を開始する。
この基板１の搬送方向と反対方向であって剥離されるべ
きカバーフィルムｆ、ｆと基板１との間にカバーフィル
ム剥離用空気がノズル９，９′等より吹き出され、前記
したようにカバーフィルムｆ。
きカバーフィルムｆ、ｆと基板１との間にカバーフィル
ム剥離用空気がノズル９，９′等より吹き出され、前記
したようにカバーフィルムｆ。
ｆはニップローラ１０ 、１０’で挾まれた状態となっ
ているので、基板１の搬送にともなってノズル等より吹
き出す空気で剥離すべきカバーフィルムｆ、ｆは基板よ
り剥離除去される。
ているので、基板１の搬送にともなってノズル等より吹
き出す空気で剥離すべきカバーフィルムｆ、ｆは基板よ
り剥離除去される。
カバーフィルムｆ、ｆは基板より完全に剥離されるとノ
ズル９，９から吹出される空気で後方に吹き飛ばされフ
ィルムキャッチパン１１ 、１１’内に入り、フィルム
キャッチパン１１ 、１１’内に運ばれた剥離後のフィ
ルムは吸引ダクト１２ 、１２’。
ズル９，９から吹出される空気で後方に吹き飛ばされフ
ィルムキャッチパン１１ 、１１’内に入り、フィルム
キャッチパン１１ 、１１’内に運ばれた剥離後のフィ
ルムは吸引ダクト１２ 、１２’。
１３ 、１３’で吸引搬送されて切断刃付吸引プロワ−
１４に至る。切断刃付吸引ブロワ−１４は剥離されたカ
バーフィルムを後の搬送処理が簡便となるように細かく
裁断し所定のフィルムケージ１５に搬送する。
１４に至る。切断刃付吸引ブロワ−１４は剥離されたカ
バーフィルムを後の搬送処理が簡便となるように細かく
裁断し所定のフィルムケージ１５に搬送する。
一方、カバーフィルムを除去された基板１′はコンベア
により次の現像工程へ移送される。この基板１′の後端
を基板検知センサ３で検知すると同時に電磁弁γ、７′
を閉じる。
により次の現像工程へ移送される。この基板１′の後端
を基板検知センサ３で検知すると同時に電磁弁γ、７′
を閉じる。
以上の動作を繰り返すことにより、基板上のカバーフィ
ルムを人手を使用せず、また従来のように粘着テープ乞
使用することもなく連続的に剥離除去し、剥離後のカバ
ーフィルムは所定のケージに収納するものである。
ルムを人手を使用せず、また従来のように粘着テープ乞
使用することもなく連続的に剥離除去し、剥離後のカバ
ーフィルムは所定のケージに収納するものである。
本発明は、プリント配線基板にラミネートされたＤＦＲ
のカバーフィルムを剥離するに当り、前記基板を所定の
位置で停止せしめて、その停止時においてエヤーシリン
ダの先端部に固装した粘着ローラを前記基板先端部に圧
着させ、ついで粘着ローラを基板より離間する方向へ作
動させて接着ローラに接着したカバーフィルムを基板よ
り剥離させ、剥離されたカバーフィルムにカバーフィル
ム剥離用空気を吹きつけ、ついで、基板を搬送させ、基
板の搬送にともなって前記のカバーフィルム剥離用空気
で剥離すべきカバーフィルムを基板より除去するもので
、カバーフィルムを確実に剥離できるものであり、また
、人手を用いない、粘着テープ等の副資材を全く使用し
ない、更に、剥離後のカバーフィルムを人手で処理する
必要もないことから安全にしかも簡単にカバーフィルム
が剥離可能となったものである。
のカバーフィルムを剥離するに当り、前記基板を所定の
位置で停止せしめて、その停止時においてエヤーシリン
ダの先端部に固装した粘着ローラを前記基板先端部に圧
着させ、ついで粘着ローラを基板より離間する方向へ作
動させて接着ローラに接着したカバーフィルムを基板よ
り剥離させ、剥離されたカバーフィルムにカバーフィル
ム剥離用空気を吹きつけ、ついで、基板を搬送させ、基
板の搬送にともなって前記のカバーフィルム剥離用空気
で剥離すべきカバーフィルムを基板より除去するもので
、カバーフィルムを確実に剥離できるものであり、また
、人手を用いない、粘着テープ等の副資材を全く使用し
ない、更に、剥離後のカバーフィルムを人手で処理する
必要もないことから安全にしかも簡単にカバーフィルム
が剥離可能となったものである。
第１図は本発明装置の説明図、第２図は基板にＤＦＲを
ラミネートした基板の断面図、第３図はカバーフィルム
を剥離除去したときの基板の断面図、第４図は従来装置
の説明図である。 特許出願人 旭化成工業株式会社 代 理 人 岩 木 謙 二り、：１１１
、同 大 島 道 男−′ゝ−］同
沖 野 佐 市へ＝二。 第１図 第２図 第３図
ラミネートした基板の断面図、第３図はカバーフィルム
を剥離除去したときの基板の断面図、第４図は従来装置
の説明図である。 特許出願人 旭化成工業株式会社 代 理 人 岩 木 謙 二り、：１１１
、同 大 島 道 男−′ゝ−］同
沖 野 佐 市へ＝二。 第１図 第２図 第３図
Claims (2)
- （１）感光性ドライフィルムレジストがラミネートされ
たプリント配線基板を搬送経路の所定位置に停止せしめ
、粘着ローラを前記基板の先端部に圧着させて前記感光
性ドライフィルムレジストのカバーフィルムを接着し、
前記粘着ローラを基板より離間する方向に移行させてカ
バーフィルムを剥離し、該剥離したカバーフィルムにカ
バーフィルム剥離用空気を吹きつけ、ついで、前記基板
を搬送させながら剥離されるべきカバーフィルムと前記
基板との間に前記カバーフィルム剥離用空気を吹きつけ
ることによつてカバーフィルムを剥離することを特徴と
するカバーフィルムの自動剥離方法。 - （２）感光性ドライフィルムレジストがラミネートされ
たプリント配線基板を搬送経路の所定位置に停止させる
手段を有し、カバーフィルム剥離用粘着ローラを前記プ
リント配線基板に対し昇降自在に設けるとともにカバー
フィルム剥離用空気を吹き出すノズルを配設したことを
特徴とするカバーフィルムの自動剥離装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60200616A JPS6260646A (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | カバ−フイルムの自動剥離方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60200616A JPS6260646A (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | カバ−フイルムの自動剥離方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6260646A true JPS6260646A (ja) | 1987-03-17 |
Family
ID=16427333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60200616A Pending JPS6260646A (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | カバ−フイルムの自動剥離方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6260646A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4996537A (en) * | 1988-08-31 | 1991-02-26 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method of and apparatus for recording image |
| JP2005039114A (ja) * | 2003-07-17 | 2005-02-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウェーハ移し替え装置 |
| JP2012133098A (ja) * | 2010-12-21 | 2012-07-12 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 基板組立装置 |
-
1985
- 1985-09-12 JP JP60200616A patent/JPS6260646A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4996537A (en) * | 1988-08-31 | 1991-02-26 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method of and apparatus for recording image |
| JP2005039114A (ja) * | 2003-07-17 | 2005-02-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウェーハ移し替え装置 |
| JP2012133098A (ja) * | 2010-12-21 | 2012-07-12 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 基板組立装置 |
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