JPH02158564A - フィルム剥離装置 - Google Patents
フィルム剥離装置Info
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- JPH02158564A JPH02158564A JP31043788A JP31043788A JPH02158564A JP H02158564 A JPH02158564 A JP H02158564A JP 31043788 A JP31043788 A JP 31043788A JP 31043788 A JP31043788 A JP 31043788A JP H02158564 A JPH02158564 A JP H02158564A
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- film
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- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 81
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- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
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Landscapes
- Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
皮果よ互肌反分立
本発明は、例えばタフパネル等に使用される基板の一方
の主表面を被覆している保護フィルムを自動的に基板か
ら剥離するフィルム剥離装置に関する。
の主表面を被覆している保護フィルムを自動的に基板か
ら剥離するフィルム剥離装置に関する。
従来■肢歪
タッチパネルを作製するに当たっては、第8図に示すよ
うに透明基板1の一方の主表面に透明な保護フィルム2
が被覆された原板3を予め所定寸法に打ち抜いておき、
この打ち抜かれた基板1から保護フィルム2を手作業で
剥離して、基板1の主表面に透明電極等を印刷配線が行
われる。
うに透明基板1の一方の主表面に透明な保護フィルム2
が被覆された原板3を予め所定寸法に打ち抜いておき、
この打ち抜かれた基板1から保護フィルム2を手作業で
剥離して、基板1の主表面に透明電極等を印刷配線が行
われる。
しよ゛と る
ところで、原板3を所定寸法に打ち抜くと、この打ち抜
かれた基板2及び保護フィルム1の各角部が第9図に示
すように湾曲する。そのため、フィルム2を基板1から
剥離する作業が困難となる。
かれた基板2及び保護フィルム1の各角部が第9図に示
すように湾曲する。そのため、フィルム2を基板1から
剥離する作業が困難となる。
本発明の目的は、上述の技術的課題を解決し、基板から
保護フンルムを自動的に剥離することができるフィルム
剥離装置を提供することである。
保護フンルムを自動的に剥離することができるフィルム
剥離装置を提供することである。
晋 ”るための
本発明は、一方の主表面が保護フィルムで被覆された基
板を搬送する搬送手段と、搬送経路の途中に設けられ、
基板上の保護フィルムの角部に超音波を発振する超音波
発振手段と、超音波照射手段よりも基板の搬送方向下流
側に設けられ、超音波によって基板から部分的に剥離し
たフィルムの剥離部分を貼り付ける粘着テープと、フィ
ルム剥離部分が貼り付けられた状態の粘着テープをその
長平方向に走行させる走行駆動手段と、を備えたことを
特徴としている。
板を搬送する搬送手段と、搬送経路の途中に設けられ、
基板上の保護フィルムの角部に超音波を発振する超音波
発振手段と、超音波照射手段よりも基板の搬送方向下流
側に設けられ、超音波によって基板から部分的に剥離し
たフィルムの剥離部分を貼り付ける粘着テープと、フィ
ルム剥離部分が貼り付けられた状態の粘着テープをその
長平方向に走行させる走行駆動手段と、を備えたことを
特徴としている。
作−m−1−
上記構成によれば、搬送手段によって一方の主表面が保
護フィルムで被覆された状態で搬送される。そして、こ
の搬送途中において超音波照射手段によって基板上の保
護フィルムの角部に超音波が照射される。これによって
、超音波が照射されたフィルムの角部は超音波の振動に
よって基板から部分的に剥離する。そして、このような
状態で基板が更に搬送され、粘着テープによってフィル
ムの剥離部分が接着される。このような状態で基板が更
に搬送されることによって、フィルムが完全に基板から
剥離される。一方、粘着テープはフィルムを貼り付けた
状態で走行し、次の剥離動作のための粘着面をフィルム
走行面に臨むようにして待機する。このような動作が、
基板の搬送度毎に行われ、順次供給される基板から保護
フィルムを自動的に剥離することができる。
護フィルムで被覆された状態で搬送される。そして、こ
の搬送途中において超音波照射手段によって基板上の保
護フィルムの角部に超音波が照射される。これによって
、超音波が照射されたフィルムの角部は超音波の振動に
よって基板から部分的に剥離する。そして、このような
状態で基板が更に搬送され、粘着テープによってフィル
ムの剥離部分が接着される。このような状態で基板が更
に搬送されることによって、フィルムが完全に基板から
剥離される。一方、粘着テープはフィルムを貼り付けた
状態で走行し、次の剥離動作のための粘着面をフィルム
走行面に臨むようにして待機する。このような動作が、
基板の搬送度毎に行われ、順次供給される基板から保護
フィルムを自動的に剥離することができる。
スー−」と−1m
第1図は本発明に係るフィルム剥離装置の斜視図であり
、第2図はその側面図である。このフィルム剥離装置1
00は、透明な保護フィルム2が被覆された透明基板1
を供給する供給部80と、基板1上のフィルム2の角部
に超音波を照射する超音波照射部81と、超音波によっ
て基板1から部分的に剥離したフィルムの剥離部分を粘
着テープ31に接着しフィルム2全体を基板1から剥離
するフィルム剥離部82と、フィルム2が剥離された基
板lが排出される排出部83とから構成される。これら
の供給部80と超音波照射部81とフィルム剥離部82
と排出部83とは、この順序で基板の搬送方向Aに沿っ
て上流側から下流側に向けて配設されている。
、第2図はその側面図である。このフィルム剥離装置1
00は、透明な保護フィルム2が被覆された透明基板1
を供給する供給部80と、基板1上のフィルム2の角部
に超音波を照射する超音波照射部81と、超音波によっ
て基板1から部分的に剥離したフィルムの剥離部分を粘
着テープ31に接着しフィルム2全体を基板1から剥離
するフィルム剥離部82と、フィルム2が剥離された基
板lが排出される排出部83とから構成される。これら
の供給部80と超音波照射部81とフィルム剥離部82
と排出部83とは、この順序で基板の搬送方向Aに沿っ
て上流側から下流側に向けて配設されている。
供給部80には、原板3から所定寸法で打ち抜かれ、か
つ保護フィルム2が被覆された複数の基板1が積み重ね
た状態で収納されるスタンカー6が備えられている。こ
のスタンカー6の下方には、一対の無端状搬送ベルト7
が設けられている。搬送ベルト7は、始端側プーリ8と
終端側ブー+79間に巻き掛けられている。
つ保護フィルム2が被覆された複数の基板1が積み重ね
た状態で収納されるスタンカー6が備えられている。こ
のスタンカー6の下方には、一対の無端状搬送ベルト7
が設けられている。搬送ベルト7は、始端側プーリ8と
終端側ブー+79間に巻き掛けられている。
超音波照射部81は、超音波を照射する超音波ホーン1
0と、供給部80から供給された基板1を搬送する一対
の搬送ベルト11とを有する。搬送ベルト11は、始端
側プーリ12、終端側プーリ13に巻き掛けられている
。搬送ベルト11の搬送経路の途中には、ベルト11間
にあってベル)11上の基板lをその上端面で支持する
支持体14が設けられている。この支持体14は、ロー
タリアクチュエータ15によってその軸回りに回転可能
であり、かつエアシリンダI6によって昇降自在である
。この支持体14の上方には、支持体14によって基板
1が持ち上げられた際、基板1を支持体14の上面との
間で挟み込んで固定する固定片17が備えられており、
この固定片17は取付部材18によって固定されている
。尚、固定片17は、超音波ホーンの超音波照射口10
aと同一高さ位置に位置している。
0と、供給部80から供給された基板1を搬送する一対
の搬送ベルト11とを有する。搬送ベルト11は、始端
側プーリ12、終端側プーリ13に巻き掛けられている
。搬送ベルト11の搬送経路の途中には、ベルト11間
にあってベル)11上の基板lをその上端面で支持する
支持体14が設けられている。この支持体14は、ロー
タリアクチュエータ15によってその軸回りに回転可能
であり、かつエアシリンダI6によって昇降自在である
。この支持体14の上方には、支持体14によって基板
1が持ち上げられた際、基板1を支持体14の上面との
間で挟み込んで固定する固定片17が備えられており、
この固定片17は取付部材18によって固定されている
。尚、固定片17は、超音波ホーンの超音波照射口10
aと同一高さ位置に位置している。
支持体14と終端側プーリ13間には、第3図に示すよ
うに搬送方向Aに直角な方向に間隔をあけて一対の位置
決め板19が設けられている。透明基板1が搬送され、
その先端が位置決め板19に当接することによって基板
の移動が停止し、搬送方向Aの位置決めが行われる。ま
た、一方のベル)11の外側方には、基板の搬送方向A
に垂直な方向における位置決めを行うための位置決め板
20が設けられている。位置決め板19によって搬送方
向Aの位置決めが行われた後、エアシリンダ21のシリ
ンダロッド22の先端に設けられている押圧片23によ
って基板1の一方側の側部(第3図の左側部)が押圧さ
れ、基板の他方側の側部(第3図の右側部)が位置決め
仮20に当接することによって、搬送方向Aに垂直な方
向の位置決めが行われる。そして、後述するようにエア
シリンダ16が昇降動作を行い、かつロークリアクチュ
エータ15が回転動作を行って、基板1を第4図に示す
ように45度回転させる。このような状態で、基板1上
のフィルム2の角部に超音波ホーン10の照射口10a
が当接した状態となる。
うに搬送方向Aに直角な方向に間隔をあけて一対の位置
決め板19が設けられている。透明基板1が搬送され、
その先端が位置決め板19に当接することによって基板
の移動が停止し、搬送方向Aの位置決めが行われる。ま
た、一方のベル)11の外側方には、基板の搬送方向A
に垂直な方向における位置決めを行うための位置決め板
20が設けられている。位置決め板19によって搬送方
向Aの位置決めが行われた後、エアシリンダ21のシリ
ンダロッド22の先端に設けられている押圧片23によ
って基板1の一方側の側部(第3図の左側部)が押圧さ
れ、基板の他方側の側部(第3図の右側部)が位置決め
仮20に当接することによって、搬送方向Aに垂直な方
向の位置決めが行われる。そして、後述するようにエア
シリンダ16が昇降動作を行い、かつロークリアクチュ
エータ15が回転動作を行って、基板1を第4図に示す
ように45度回転させる。このような状態で、基板1上
のフィルム2の角部に超音波ホーン10の照射口10a
が当接した状態となる。
そして、超音波がフィルム2の角部に照射されることに
よって、超音波の振動によりフィルム2の角部が基板1
から部分的に剥離する。
よって、超音波の振動によりフィルム2の角部が基板1
から部分的に剥離する。
フィルム剥離部82は、超音波照射部81から供給され
た基板1を搬送する一対の無端状搬送ベルト30と、照
射部81で剥離されたフィルムの剥離部分を接着する粘
着テープ31とを有する。
た基板1を搬送する一対の無端状搬送ベルト30と、照
射部81で剥離されたフィルムの剥離部分を接着する粘
着テープ31とを有する。
前記搬送ベルト30は、始端側ブーIJ 32と終端側
プーリ33間に巻き掛けられている。この搬送ベルト3
0の搬送経路の略中央部付近には、ローラ35,36が
備えられている。この案内ローラ35の搬送方向A上流
側近傍には、基板1の通過を検出するセンサSが設けら
れている。また、前記ローラ35の上方にはローラ35
に圧接するローラ37が設けられており、このローラ3
7はアーム38の一端に取り付けられ、アーム38の他
端はエアシリンダ39のピストンロッド40にビン41
によってビン結合されている。シリンダロッド40が伸
長動作を行うことによってアーム38は軸42の回りに
角、変位する。
プーリ33間に巻き掛けられている。この搬送ベルト3
0の搬送経路の略中央部付近には、ローラ35,36が
備えられている。この案内ローラ35の搬送方向A上流
側近傍には、基板1の通過を検出するセンサSが設けら
れている。また、前記ローラ35の上方にはローラ35
に圧接するローラ37が設けられており、このローラ3
7はアーム38の一端に取り付けられ、アーム38の他
端はエアシリンダ39のピストンロッド40にビン41
によってビン結合されている。シリンダロッド40が伸
長動作を行うことによってアーム38は軸42の回りに
角、変位する。
また、前記ローラ36の上方には、L字状のアーム43
が備えられており、このアーム43の一端はビン44に
よってエアシリンダ45のシリンダロッド46にピン結
合されている。アーム43の他端部には、ローラ36に
圧接可能な圧接ローラ47と、このローラ47の側方で
ローラ47に圧接する補助ローラ48が回転自在に取り
付けられている。また、ローラ47の補助ローラ48と
は反対側には、圧接ローラ47に圧接可能な補助ローラ
49が備えられており、この補助ローラ49は可動片5
0の一端部に取り付けられている。
が備えられており、このアーム43の一端はビン44に
よってエアシリンダ45のシリンダロッド46にピン結
合されている。アーム43の他端部には、ローラ36に
圧接可能な圧接ローラ47と、このローラ47の側方で
ローラ47に圧接する補助ローラ48が回転自在に取り
付けられている。また、ローラ47の補助ローラ48と
は反対側には、圧接ローラ47に圧接可能な補助ローラ
49が備えられており、この補助ローラ49は可動片5
0の一端部に取り付けられている。
可動片50はビン51によってアーム43に回転可能に
取り付けられており、この可動片50の他端にはバネ5
2の一端が連結され、バネ52の他端はアーム43に連
結されている。
取り付けられており、この可動片50の他端にはバネ5
2の一端が連結され、バネ52の他端はアーム43に連
結されている。
また、アーム43に関連して実線で示すアーム43の上
昇位置を制限するストッパー53と、仮想線で示すアー
ム43の下降位置を制限するストッパー54とが設けら
れている。
昇位置を制限するストッパー53と、仮想線で示すアー
ム43の下降位置を制限するストッパー54とが設けら
れている。
ロール状に巻回された粘着テープ31は供給側リール6
0に装填されており、この供給側からアーム43の軸4
3aを経てローラ47,48間、ローラ47.49間を
順次通過し、案内ローラ61.62を経て巻き取りリー
ル63に巻き取られるように構成されている。尚、案内
ローラ62は上下方向に変位可能であり、アーム64の
一端に回転自在に支持されている。このアーム64の他
端にはバネ65の一端が連結され、バネ65の他端は機
体に連結されている。そして、アーム64の下方近傍に
はリミットスイッチ66が備えられている。テープ31
が供給リール60にまだ存在している間は、テープ31
によってローラ62は持ち上げられ、これによってアー
ム64はバネ65のバネ力に抗して軸67の回りに第2
図の反時計方向に回転し、ストッパー68に当接した位
置で回転が停止する。このような状態では、リミットス
イッチ66のアクチュエータ66aがアーム64によっ
て押圧されるため、例えばオン状態となっており、従っ
てテープ31が供給リール60に残存していることが検
出される。供給リール60に装填されていたテープ31
が消費されたときには、ローラ62を持ち上げる力がテ
ープに作用せず、そのためバネ65のバネ力によってロ
ーラ62は軸67の回りに第2図の時計方向に回転する
。従って、アクチュエータ66aからアーム64が離反
し、これによってリミットスイッチ66は例えばオフ状
態となって、テープ31が全て消費されたことを検出す
ることができる。
0に装填されており、この供給側からアーム43の軸4
3aを経てローラ47,48間、ローラ47.49間を
順次通過し、案内ローラ61.62を経て巻き取りリー
ル63に巻き取られるように構成されている。尚、案内
ローラ62は上下方向に変位可能であり、アーム64の
一端に回転自在に支持されている。このアーム64の他
端にはバネ65の一端が連結され、バネ65の他端は機
体に連結されている。そして、アーム64の下方近傍に
はリミットスイッチ66が備えられている。テープ31
が供給リール60にまだ存在している間は、テープ31
によってローラ62は持ち上げられ、これによってアー
ム64はバネ65のバネ力に抗して軸67の回りに第2
図の反時計方向に回転し、ストッパー68に当接した位
置で回転が停止する。このような状態では、リミットス
イッチ66のアクチュエータ66aがアーム64によっ
て押圧されるため、例えばオン状態となっており、従っ
てテープ31が供給リール60に残存していることが検
出される。供給リール60に装填されていたテープ31
が消費されたときには、ローラ62を持ち上げる力がテ
ープに作用せず、そのためバネ65のバネ力によってロ
ーラ62は軸67の回りに第2図の時計方向に回転する
。従って、アクチュエータ66aからアーム64が離反
し、これによってリミットスイッチ66は例えばオフ状
態となって、テープ31が全て消費されたことを検出す
ることができる。
ローラ36の搬送方向A下流側近傍には、吸引パッド7
0が搬送ベルト30と同一高さ位置に配置されており、
この吸引パッド70はエアシリンダ71のシリンダロッ
ド72の先端に固定されている。吸引パッド70には、
吸引ブロア(図示せず)が連結されている。後述するに
ように、テープ31のローラ42外周面上の部分でフィ
ルム2の剥離部分が貼り付けられた際、基板1がベルト
30の走行に伴って持ち上げられる虞れがあり、そのた
め吸引ラド70によって基板1のみを吸着させた状態で
搬送させる必要があるからである。
0が搬送ベルト30と同一高さ位置に配置されており、
この吸引パッド70はエアシリンダ71のシリンダロッ
ド72の先端に固定されている。吸引パッド70には、
吸引ブロア(図示せず)が連結されている。後述するに
ように、テープ31のローラ42外周面上の部分でフィ
ルム2の剥離部分が貼り付けられた際、基板1がベルト
30の走行に伴って持ち上げられる虞れがあり、そのた
め吸引ラド70によって基板1のみを吸着させた状態で
搬送させる必要があるからである。
次に、上記構成を有するフィルム剥離装置1の動作につ
いて説明する。先ず、供給部80ではスタンカー6に収
納されている複数の基板1のうちの最下位置にある基板
が搬送ベルト7によって搬送方向Aに沿って供給される
。この供給された基板1は、搬送ベルト11によって更
に搬送される。
いて説明する。先ず、供給部80ではスタンカー6に収
納されている複数の基板1のうちの最下位置にある基板
が搬送ベルト7によって搬送方向Aに沿って供給される
。この供給された基板1は、搬送ベルト11によって更
に搬送される。
そして基板1の先端が位置決め板19に当接すると、基
板lはその移動が規制される。このような状態で、エア
シリンダ21が駆動され、押圧片23の伸長動作によっ
て基板1の一方側の側部が押圧され、基板1の他方側の
側部が位置決め板20に当接する。これによって、基板
1の搬送方向A及び搬送方向Aに垂直な方向への位置決
めが達成される。
板lはその移動が規制される。このような状態で、エア
シリンダ21が駆動され、押圧片23の伸長動作によっ
て基板1の一方側の側部が押圧され、基板1の他方側の
側部が位置決め板20に当接する。これによって、基板
1の搬送方向A及び搬送方向Aに垂直な方向への位置決
めが達成される。
このようにして、基板lの位置決めがなされた後、エア
シリンダ16及びロークリアクチュエータ15が駆動さ
れ、これによって基板1は45度回転し、かつ固定片1
7に当接する位置まで上昇する。このような状態で、基
板1上のフィルム2の角部が超音波ホーン10の照射口
10aに接触した状態となる。そして、超音波ホーン1
0が超音波を照射し、これによってフィルム2の角部が
基板1から剥離する。そして、このような45度回転し
た状態でかつフィルムの角部が基板から剥離した状態の
まま、エアシリンダ16の駆動によって基板1は下降し
再び搬送ベルト11に載置される。その後、搬送ベルト
11の搬送によってフィルム剥離部82へ搬送される。
シリンダ16及びロークリアクチュエータ15が駆動さ
れ、これによって基板1は45度回転し、かつ固定片1
7に当接する位置まで上昇する。このような状態で、基
板1上のフィルム2の角部が超音波ホーン10の照射口
10aに接触した状態となる。そして、超音波ホーン1
0が超音波を照射し、これによってフィルム2の角部が
基板1から剥離する。そして、このような45度回転し
た状態でかつフィルムの角部が基板から剥離した状態の
まま、エアシリンダ16の駆動によって基板1は下降し
再び搬送ベルト11に載置される。その後、搬送ベルト
11の搬送によってフィルム剥離部82へ搬送される。
フィルム搬送部82では、搬送ベルト30によって45
度回転した状態のまま、基板1が搬送され、スイッチS
によって検出されたときエアシリンダ39が駆動して、
シリンダロッド40が縮退してローラ37がローラ35
に接触する。また、これと同時にエアシリンダ45もま
た駆動され、シリンダロッド46が縮退し、これによっ
てアーム43がストッパー54に当接するまで回転して
、第2図の仮想線で示される状態となる。このような状
態では、ローラ47はフィルム31を介してローラ36
と接触した状態となっている。
度回転した状態のまま、基板1が搬送され、スイッチS
によって検出されたときエアシリンダ39が駆動して、
シリンダロッド40が縮退してローラ37がローラ35
に接触する。また、これと同時にエアシリンダ45もま
た駆動され、シリンダロッド46が縮退し、これによっ
てアーム43がストッパー54に当接するまで回転して
、第2図の仮想線で示される状態となる。このような状
態では、ローラ47はフィルム31を介してローラ36
と接触した状態となっている。
このような状態で基板1が搬送されると、第5図(1)
に示すようにフィルムの剥離部分1aがテープ31に貼
り付けられる。このような状態になったとき、チー13
1が巻き取りリール63側に走行する。尚、剥離部分2
aがローラ47に達する時間は、センサSの検出時から
予め定めた期間経過後である。
に示すようにフィルムの剥離部分1aがテープ31に貼
り付けられる。このような状態になったとき、チー13
1が巻き取りリール63側に走行する。尚、剥離部分2
aがローラ47に達する時間は、センサSの検出時から
予め定めた期間経過後である。
このような第5図(1)の状態からテープ31が走行し
、かつ基板1が搬送するため、フィルム剥離部分1aは
ローラ47の外周面の約手周長にわたってテープ31に
貼り付けられる。更に、テープ31はフィルム2の全長
の約1/3の量だけ走行し、また基板1は搬送するため
第5図(3)のようにフィルム2はテープ31の走行と
基板1の搬送とに相俟って剥離され続ける。このような
第5図(3)の状態でテープ31の走行は停止するけれ
ども、基板1は更に搬送されるため、その後は基板1の
搬送力によってフィルム2は基板lから第5図(4)で
示すように完全に剥離される。
、かつ基板1が搬送するため、フィルム剥離部分1aは
ローラ47の外周面の約手周長にわたってテープ31に
貼り付けられる。更に、テープ31はフィルム2の全長
の約1/3の量だけ走行し、また基板1は搬送するため
第5図(3)のようにフィルム2はテープ31の走行と
基板1の搬送とに相俟って剥離され続ける。このような
第5図(3)の状態でテープ31の走行は停止するけれ
ども、基板1は更に搬送されるため、その後は基板1の
搬送力によってフィルム2は基板lから第5図(4)で
示すように完全に剥離される。
そして、フィルムlはフィルムの約1/3程度だけテー
プ31に貼り付けられた状態となる。
プ31に貼り付けられた状態となる。
尚、基板1からフィルム2が剥離される際、基板1が持
ち上げられる虞れがあるけれども、これを防ぐため分離
バッド70によって基板1の下面が吸着され、またこの
分離パッド70は搬送ベルト30と同一速度でエアシリ
ンダ71によって搬送方向に移動されるため、基板1が
フィルム剥離動作中に上方へ持ち上げられることはない
。その後、フィルム2が完全に剥離された基板1は排出
部83に排出される。そして、このような動作が基板1
のスタッカー6からの供給の度毎に行われる。そのため
、フィルム31には第1図に示すように剥ぎ取られたフ
ィルム2が貼り付けられた状態のまま供給リール側に巻
き取られる。
ち上げられる虞れがあるけれども、これを防ぐため分離
バッド70によって基板1の下面が吸着され、またこの
分離パッド70は搬送ベルト30と同一速度でエアシリ
ンダ71によって搬送方向に移動されるため、基板1が
フィルム剥離動作中に上方へ持ち上げられることはない
。その後、フィルム2が完全に剥離された基板1は排出
部83に排出される。そして、このような動作が基板1
のスタッカー6からの供給の度毎に行われる。そのため
、フィルム31には第1図に示すように剥ぎ取られたフ
ィルム2が貼り付けられた状態のまま供給リール側に巻
き取られる。
尚、供給リール63は、第6図に示すように機体100
aに固定された支軸74と、外周面が部分的に切欠かれ
た切欠き部75aを有する筒体75とから構成される。
aに固定された支軸74と、外周面が部分的に切欠かれ
た切欠き部75aを有する筒体75とから構成される。
この筒体81の基端側には係止溝76が形成されており
、この係止溝76に機体に設けられている係止突起10
0bが嵌まり込む。これによって、筒体75が支軸74
に取り付けられた状態となる。尚、このような状態では
第7図に示すように支軸74の外周面の一部が筒体81
の外周面の一部を構成する状態となっている。このよう
な状態で、フィルム2が貼り付けられたテープ31が巻
き取り側に巻き取られると、筒体75の外周面及び支軸
74の外周面を覆って巻き取られる。そして、テープ3
1が全て使用された後、この巻き取られたテープ31を
巻き取り側から取り外す際、筒体75を支軸74から取
り外すことによってテープ31は筒体75に巻き取られ
た状態で取り外される。このとき筒体75に切欠き部7
5aがあるため、テープ31は筒体75から緩んだ状態
となるため、筒体75からテープ31を簡単に抜き取る
ことができる。
、この係止溝76に機体に設けられている係止突起10
0bが嵌まり込む。これによって、筒体75が支軸74
に取り付けられた状態となる。尚、このような状態では
第7図に示すように支軸74の外周面の一部が筒体81
の外周面の一部を構成する状態となっている。このよう
な状態で、フィルム2が貼り付けられたテープ31が巻
き取り側に巻き取られると、筒体75の外周面及び支軸
74の外周面を覆って巻き取られる。そして、テープ3
1が全て使用された後、この巻き取られたテープ31を
巻き取り側から取り外す際、筒体75を支軸74から取
り外すことによってテープ31は筒体75に巻き取られ
た状態で取り外される。このとき筒体75に切欠き部7
5aがあるため、テープ31は筒体75から緩んだ状態
となるため、筒体75からテープ31を簡単に抜き取る
ことができる。
発五夏肱果
以上のように本発明によれば、基板上のフィルムの角部
を超音波照射手段によって照射して部分的にフィルムを
基板から剥離させ、この剥離部分を粘着テープで引き剥
がすことによってフィ゛ルムを自動的に基板から剥離さ
せることが可能となる。
を超音波照射手段によって照射して部分的にフィルムを
基板から剥離させ、この剥離部分を粘着テープで引き剥
がすことによってフィ゛ルムを自動的に基板から剥離さ
せることが可能となる。
従って、従来技術のように手作業をする場合に比べ、作
業性が格段に向上する。
業性が格段に向上する。
第1図は本発明に係るフィルム剥離装置の斜視図、第2
図はフィルム剥離装置の側面図、第3図は超音波照射手
段3付近の正面図、第4図は超音波照射手段の平面図、
第5図はフィルム♀す雌部4における剥離動作を説明す
るための図、第6図は巻き取りリール側の構成を示す斜
視図、第7図はその断面図、第8図は原板3の斜視図、
第9図は原板3から打ち抜かれた状態における基板1及
び基板上のフィルム2の状態を示す断面図である。 1・・・透明基板、2・・・透明保護フィルム、2a・
・・フィルム剥離部分、3・・・原板、7,11.30
・・・搬送ベルト、10・・・超音波ホーン、31・・
・粘着テープ、43・・・アーム、45・・・エアシリ
ンダ、47・・・ローラ、60・・・供給側リール、6
3・・・巻取側リール、80・・・フィルム供給部、8
1・・・超音波照射部、82・・・フィルム剥離部、1
00・・・フィルム剥離装置、A・・・搬送方向。 第5図 特許出願人 : グンゼ株式会社 第3 図 第6図 第7図 1:13 第4図
図はフィルム剥離装置の側面図、第3図は超音波照射手
段3付近の正面図、第4図は超音波照射手段の平面図、
第5図はフィルム♀す雌部4における剥離動作を説明す
るための図、第6図は巻き取りリール側の構成を示す斜
視図、第7図はその断面図、第8図は原板3の斜視図、
第9図は原板3から打ち抜かれた状態における基板1及
び基板上のフィルム2の状態を示す断面図である。 1・・・透明基板、2・・・透明保護フィルム、2a・
・・フィルム剥離部分、3・・・原板、7,11.30
・・・搬送ベルト、10・・・超音波ホーン、31・・
・粘着テープ、43・・・アーム、45・・・エアシリ
ンダ、47・・・ローラ、60・・・供給側リール、6
3・・・巻取側リール、80・・・フィルム供給部、8
1・・・超音波照射部、82・・・フィルム剥離部、1
00・・・フィルム剥離装置、A・・・搬送方向。 第5図 特許出願人 : グンゼ株式会社 第3 図 第6図 第7図 1:13 第4図
Claims (1)
- (1)一方の主表面が保護フィルムで被覆された基板を
搬送する搬送手段と、 搬送経路の途中に設けられ、基板上の保護フィルムの角
部に超音波を発振する超音波発振手段と、超音波照射手
段よりも基板の搬送方向下流側に設けられ、超音波によ
って基板から部分的に剥離したフィルムの剥離部分を貼
り付ける粘着テープと、 フィルム剥離部分が貼り付けられた状態の粘着テープを
その長手方向に走行させる走行駆動手段と、 を備えたことを特徴とするフィルム剥離装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31043788A JPH02158564A (ja) | 1988-12-08 | 1988-12-08 | フィルム剥離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31043788A JPH02158564A (ja) | 1988-12-08 | 1988-12-08 | フィルム剥離装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02158564A true JPH02158564A (ja) | 1990-06-19 |
Family
ID=18005236
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31043788A Pending JPH02158564A (ja) | 1988-12-08 | 1988-12-08 | フィルム剥離装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02158564A (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58104864A (ja) * | 1981-12-15 | 1983-06-22 | Matsushita Electric Works Ltd | 搬送装置 |
JPS6024035A (ja) * | 1983-07-19 | 1985-02-06 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体ウエハの切断方法 |
-
1988
- 1988-12-08 JP JP31043788A patent/JPH02158564A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58104864A (ja) * | 1981-12-15 | 1983-06-22 | Matsushita Electric Works Ltd | 搬送装置 |
JPS6024035A (ja) * | 1983-07-19 | 1985-02-06 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体ウエハの切断方法 |
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