JPH02239921A - 立体形状形成方法 - Google Patents

立体形状形成方法

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JPH02239921A
JPH02239921A JP1061422A JP6142289A JPH02239921A JP H02239921 A JPH02239921 A JP H02239921A JP 1061422 A JP1061422 A JP 1061422A JP 6142289 A JP6142289 A JP 6142289A JP H02239921 A JPH02239921 A JP H02239921A
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  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明立体形状形成方法を以下の項目に従って説明する
A.産業上の利用分野 B 発明の概要 C,従来技術[第8図] D 発明が解決しようとする課題[第8図、第9図] E.課題を解決するための手段 F 実施例[*1図乃至第7図] a.立体形状形成装置[第1図乃至第3図]a−1,作
業部[第1図、第2図] a−2  ビーム走査部[第1図、第2図コa−3.制
御部[第1図乃至第3図] b 立体形状形成方法[第1図、第4図乃至第7図コ b−1,初期状態、外形走査及び面走査b−2.立体形
状の形成 b−3、形成された立体形状 G.発明の効果 (A.産業上の利用分野) 本発明は新規な立体形状形成方法に関する。詳しくは、
液状光硬化型樹脂材に露光ビームを照射して任意に設計
された立体像イメージに基づいて立体形状を形成する立
体形状形成方法、特に、液状光硬化型樹脂材の液面を立
体像イメージの一の方向で分解された分解平面の形状に
応じて露光することにより硬化樹脂層を形成すると共に
このような硬化樹脂層を順次積層して行くことにより立
体形状を形成する立体形状形成方法に関するものてあり
、液状光硬化型樹脂材の液面に対するビームの走査を2
種類の走査方式でかつこれを切り換えながら行なうよう
にし、それによって、表面が滑かな立体形状を得ること
ができると共に、立体形状の形成を高速て行なうことが
できるようにした新規な立体形状形成方法を提供しよう
とするものてある。
(B.発明の概要) 本発明立体形状形成方法は、液状光硬化型樹脂材の液面
に露光ビームを照射して任意に設計された立体像イメー
ジのーの方向で分解された分解平面の形状に応じた硬化
樹脂層の形成と、該硬化樹脂層の上への液状光硬化型樹
脂材の供給とを交互に行なうことにより任意の立体形状
を形成する立体形状形成方法であクて、露光ビームの照
射を当該分解平面の外形線に応じたパターンでベクトル
スキャンする外形走査と当該分解平面の全体をラスタス
キャンする面走査との2種類の走査方式で各別の硬化樹
脂層を形成すると共に、2種類の走査方式を切り換えな
がら行なうことにより、形成された立体形状の表面を滑
かに形成することができ、また、ビーム走査に必要なビ
ームスイッチング制御に音響光学変調手段を用いること
によって2種類の走査方式の切り換え速度及びビーム走
査速度を高め、それにより、立体形状を高速で形成する
ことができるようにしたものである。
(C.従来技術)[第8図コ 液状光硬化型樹脂材に所定の露光ビームを照射すること
により所望の形状の物品を形成する方法が提案されてお
り、例えば、特願昭63−267945号にそのような
形成方法が示されている。
第8図は上記した形成方法を実施するための立体形状形
成装置の一例aを示すものである。
同図において、bは所定の露光ビーム、例えば、紫外光
を照射することによって硬化する液状光硬化型樹脂材C
が貯留された樹脂貯留槽、dは水平な板状を為すステー
ジeを有し図示しない移勅手段によって上下方向へ移動
されるエレヘータ、fは樹脂貯留槽bの上方に配置され
露光ビームgを液状光硬化型樹脂材Cの液面hに対して
集光照射するビームスキャナー、iは造形コントローラ
であり、ビームスキャナーfによる露光ビームgの液面
hに対する走査やエレベータdの移動は上記造形コント
ローラiによって制御される。
そして、所定の立体形状を形成するには、先ず、エレベ
ータdを同図に実線で示すように、そのステージe上に
液状光硬化型樹脂材Cが所定の厚さ(この厚さについて
は後述する。)で位置する初期位置へと珍動ずる。
次に、露光ビームgによる液面hに対する走査を行なう
。この走査は、任意に設計された立体像イメーシJの一
の方向で多数に分解された各平面(以下、「分解平面」
と言う。)のそれぞれに応したパターンで、ラスタスキ
ャンが行なわれる。
このようなビームの走査が為されると、ビームが照射さ
れた液状光硬化型樹脂材Cの部分が硬化し、液面hのう
ち当該分解平面の形状と同じ形状を有したシート状に硬
化され、一の硬化樹脂層か形成される。また、エレベー
タdはこのようにの硬化樹脂層の形成か完了する度に下
方へ所定のピッチ、即ち、立体像イメージjを−の方向
て多数の分解平面に分解したときの分解ピッチに応じた
ピッチ(初期の状態におけるステージe上の液状光硬化
型樹脂材Cの厚さもこれと同じにされる。)で下方へ穆
動され、それにより、硬化樹脂層の上に液状光硬化型樹
脂材が1ピッチ分の厚さで流れ込むように供給され、次
の順位の分解平面についてのビームの走査が行なわれて
別の硬化樹脂層が形成される。尚、このとき当該硬化樹
脂層は前の硬化樹脂層と接着される。
しかして、形成された硬化樹脂層の上に新たな硬化樹脂
層kが順次積層されて行き、積層された多数の硬化樹脂
層により、所望の立体形状が形成される。
このような立体形状形成方法によれば、任意に設計され
た立体像イメージに基づいて立体形状を形成することが
できるので、従来の金型による立体形状形成方法に比し
て立体形状の試作を即座に行なうことかでき、設計から
量産段階までの開発作業を迅速かつ低コストに行なうこ
とができる。
(D.発明が解決しようとする課題)[第8図、第9図
] ところで、このような立体形状形成方法において、露光
ビームの走査をラスタスキャン方式により行なうと、形
成された立体形状の表面が荒くなるという問題が生ずる
第9図はある分解平面についての露光ビームの走査軌跡
の一部を概念的に示す平面図であり、k.k、・・・は
露光ビームgの主走査ライン、即ち、ビームスポットj
2.1.  ・・・の穆動ライン、mは当該分解平面の
外形線である。この図から明らかなように、形成された
硬化樹脂層の外形のうちビームの主走査方向と直交する
方向に延びる部分は、ビームの主走査ラインk,k, 
 ・・・の端部スポット℃、で、・・・の形状の一部が
現われてしまい、凹凸な外形線となってしまっており、
このような外形線の集合から成る立体像の表面は微小な
凹凸を有する表面になってしまうという問題がある。
ところで、ビームを走査させる方式には上記したラスタ
スキャンの他に所謂ベクトルスキャン、即ち、一義的に
直線状である主走査方向を持たないで走査方向をベクト
ルデータに応じた方向へ随時変えながら走査する方式が
あり、例えば、ボリゴン鏡(回転多面鏡)と移動描画テ
ーブルあるいは所謂X−Yフォトブロツタを用いた描画
システムにおいて良く用いられている。
そこで、この種の立体形状形成方法における露光ビーム
gの走査をベクトルスキャン方式で行なうようにすれば
、分解平面の外形をその外形線の延びる方向に従って移
動するビームスポットの連続から成る線、即ち、二次元
での方向性を有する線で画することができるので、凹凸
の無い滑らかな表面の立体形状を得ることがてきる。
しかしながら、この種の立体形状形成方法においての露
光ビームの走査をベクトルスキャン方式により行なうと
、ベクトルスキャンが二次元での方向性を有するため、
分解平面の外形線が直線でない限り、逐時、多方向へビ
ームスポットの向ぎを変更しなければならす、同一面積
の平面を走査するのに前記ラスタスキャンに比較して時
間がかかりすぎるという問題があった。
(E 課題を解決するための手段) そこで、本発明立体形状形成方法は、上記課題を解決す
るために、液状光硬化型樹脂材の液面に対するビーム照
射をビーム発振手段と音響光学変調手段と分解平面上の
一の直線方向でビームを偏向させる第1のガルバノミラ
ーと上記直線方向と直交する方向でビームを偏向させる
第2のガルバノミラーとを備えたビーム走査部により行
ない、また、ビーム照射は分解平面の外形線をベクトル
スキャン方式により走査する外形走査と分解平面の全面
をラスタスキャン方式により走査する面走査との2種類
の走査で行ない、外形走査は1乃至複数回の面走査が為
される度に行なうようにしたものである。
従って、本発明立体形状形成方法によれは、積層された
硬化樹脂層のうち、1乃至数個おぎの硬化樹脂層に、ベ
クトルスキャンによる外形走査て外形形状のみ硬化され
た層が形成されるため、その層の外形形状を滑らかに形
成することかでき、出来上った立体形状を全体として見
たときその表面を非常に滑らかなものにすることができ
、また、ビームの走査に必要なビームスイッチング制御
はその制御動作が電気的速度で為される音響光学変調手
段によって行なわれるため、ベクトルスキャンとラスタ
スキャンとの切換及びビームの走査を高速で行なうこと
ができ、従って、立体形状の形成を高速で行なうことか
でぎる。
(F.実施例)[第1図乃至第7図] 以下に、本発明立体形状形成方法の詳細を説明する。
先ず、本発明立体形状形成方法を実施するための立体形
状形成装置の一例を説明し、その後立体形状形成装置を
使用しての立体形状形成方法を説明する。
(a.立体形状形成装置)[第1図乃至′第3図コ 1は立体形状形成装置であり、液状光硬化型樹脂材を貯
留した樹脂貯留槽やエレベータ等を有する作業部と、露
光ビームを液状光硬化型樹脂材の液面に対して走査させ
るビーム走査部と、これら作業部及びビーム走査部の動
きを制御する制御部等から成る。
(a−1。作業部)[第1図、第2図コ2は作業部であ
る。
3は樹脂貯留槽てあり、その内部に液状光硬化型樹脂材
4が貯留されている。
この液状光硬化型樹脂材4は所定の露光ビームを照射さ
れることによって硬化する液状を為し、かつ、既に硬化
された部分の表面上で硬化する際上記表面に固着する接
着性を有することが必要であり、また、粘度はできるた
け低いことが望ましい。尚、このような特性を有する液
状光硬化型樹脂材4としては、例えば、紫外光硬化型の
変性アクリレートがある。
5はエレベータ(第4図及び第5図にも示してある。)
であり、その下端部に位置した水平な板状を為すステー
ジ6を有すると共に上端部7にナット8が固定されてお
り、該ナット8かステツピングモータ9により回転され
る送りねじ10と螺合され、該送りねじ10が回転する
ことによってナット8が送りねじ10に沿って軸方向に
移動され、それにより、エレベータ5が上下方向へ穆動
される。
尚、このようなエレベータ5は、そのステージ6が前記
樹脂貯留槽3に貯留されている液状光硬化型樹脂材4中
に位置され、また、所定のピッチでステップ穆動される
(a−2 ビーム走査部)[第1図、第2図]11はビ
ーム走査部てある。
12は後述するレーザビーム発振器から発振された露光
ビームを液状光硬化型樹脂材4の液面4aに対して第2
図における左右方向(以下、この方向を「第1の走査方
向」と言う。)で偏向するガルバノスキャナー、13は
上記第1の走査方向と直交する方向(以下、「第2の走
査方向」と言う。)で露光ビームを偏向するガルバノス
キャナーてあり、これらがガルバノスキャナー12及び
13は軸回り方向へ高速で回動される回動軸14、14
′を有する駆動部15、15′と回動$11114、1
4′に固定されたガルバノミラ16、16′とを備えて
いる。
そして、これら2つのガルバノスキャナー12、13の
一方12(以下、「第1のガルバノスキャナー」と言う
。)はその回動軸14の軸方向が上記第2の走査方向と
平行な方向に延びると共にガルバノミラー16が前記エ
レベータ5のステージ6の略真上に位置されており、ま
た、他方のガルバノスキャナー13(以下、「第2のガ
ルハノスキャナー」と言う。)はその回動軸14′の軸
方向か上下方向に沿って延びると共にそのガルバノミラ
ー16′の反射面16′aか第1のガルバノスキャナー
12のガルハノミラー16の反射面16aに側方から対
向するように配置されている。
17は所定の露光ビーム18、例えは、波長か360n
m(ナノメートル)のアルゴンイオンレーザあるいは波
長が325nmのヘリウムカドミウムレーザを発振する
レーザビーム発振器、19、20は該レーザビーム発振
器17から発振された露光ビーム18を所定の方向へ向
けて順次全反射して前記第2のガルバノスキャナー13
のガルバノミラー16′に入射せしめるための全反射ミ
ラー、21はこれら2つの全反射ミラー19と20との
間に配置されたA/Oモジュレータ(音響光学変調器)
、22は一方の全反射ミラー20と第2のガルバノスキ
ャナー13との間に配置されたフォーカシングレンズ2
3を有するフォーカス制御器である。
しかして、レーザビーム発振器17から発振された露光
ビーム18は、全反射ミラー19によってA/Oモジュ
レータ21へ向けて反射され、該A/Oモジュレータ2
1におけるスイッチング作用によってそこから先の光路
への進行をON一OFF制御され、A/Oモジュレータ
21のスイッチングがONであるときは全反射ミラー2
0に入射しかつここでフ才一カシングレンズ23へ向け
て反射せしめられ、このフォーカシングレンズ23を透
過する際光束が絞られ、2つのガルバノミラー16” 
 16により順次反射されて液状光硬化型樹脂材4に上
方から照射される。そして、このような露光ビーム18
はフ才一カシングレンズ23によって光束を絞られるこ
とにより液状光硬化型樹脂材4の液面4aに、常時、所
定の径のビームスポット24で集光照射され、また、第
1のガルバノスキャナー12の回動軸14が回動してそ
のガルバノミラー16が揺動されたときに液状光硬化型
樹脂材4の液面4aを前記第1の走査方向へ走査され、
第2のガルバノスキャナー13の回動軸14′が回動し
てそのガルバノミラー16′が揺動されたときに液状光
硬化型樹脂材4の液面4aを前記第2の走査方向へ走査
される。
従って、第1のガルバノミラ−16のみを揺動させるこ
とによって為される第1の走査方向でのライン走査(以
下、「第1のライン走査」と言う。)が1つ終了する度
に第2のガルバノミラー16′を揺動させて第1のライ
ン走査の第2の走査方向における位置を変えながら露光
ビームを照射するか、あるいは第2のガルバノミラ−1
6′のみを揺動させることによって為される第2の走査
方向でのライン走査(以下、「第2のライン走査」と言
う。)が1つ終了する度に第1のガルバノミラー16を
揺動させて第2のライン走査の第1の走査方向における
位置を変えながら露光ビーム18を照射することによっ
て、ラスタスキャンによる照射が行なわれ、また、第1
のガルバノミラ−16と第2のガルバノミラー16′の
両方を同時に揺動することによって、露光ビーム18が
一次元の方向性を有して走査されるベクトルスキャンに
よる照射が行なわれることになる。
(a−3.制御部)[第1図乃至第3図コ25は制御部
である。
26は前記送りねじ10と平行に配置されたエレベータ
位置検出センサー、27はエレベータ制御器であり、上
記センサー26により検出されたエレベータ5の位置を
示す信号が人力され、該信号に従って、前記ステッピン
グモータ9の回転を制御し、これによって、エレベータ
5の位置が制御される。
28は前記A/Oモジュレータ21のスイッチング動作
を制御するA/○モシュレータ制御器、29はガルバノ
コントローラであり、A/Oモジュレータ制御器28、
ガルバノスキャナー12、13及びフォーカス制御器2
2の動作は上記カルバノコントローラ29からの指令に
よって制御される。
30はこのような制御部25の回路である。
31は図示しない立体形状プログラミング装置、例えば
、所謂CADと接続されたメモリであり、立体形状プロ
グラミング装置により任意に設計された立体像イメージ
の前記分解平面のX方向及びY方向で分解された画素信
号が入力されて一時的に記憶される。
32は上記メモリ31に接続された変調回路であり、メ
モリ31に一時記憶された分解平面の個々の画素信号は
この変調回路32において、ラスク、即ち、露光ビーム
18の液状光硬化型樹脂材4の液面4aの走査領域に対
する位置を示す座標信号に変換される。
33はこれらメモリ31及び変調回路32を含むビーム
ポジション制御回路である。
34a、34bは上記変調回路32に接続されたD/A
変換回路、35a、35bは上記D/A変換回路34a
、34bと各別に接続されかつ第1のガルバノスキャナ
ー12、第2のガルバノスキャナー13と各別に接続さ
れたゲートであり、変調回路32で変換された座標信号
のうちX方向、即ち、第1の走査方向における信号はD
/A変換回路34aにおいてアナログ信号に変換された
後ゲート35aを経て第1のガルバノスキャナー12の
駆動部15へ出力され、また、Y方向、即ち、第2の走
査方向における座標信号はD/A変換回路34bにおい
てアナログ信号に変換された後ゲート35bを経て第2
のガルバノスキャナー13の駆動部15′へ出力される
ようになフており、駆動部15、15′はそれぞれの信
号の人力が為されている間、ガルバノミラー16、16
′をそれぞれ揺動する。
36はスキャン方式切換回路、即ち、露光ビーム18の
ビームスポット24の走査方式を、前記ラスタスキャン
かベクトルスキャンのいずれかに切り換え、また、ラス
タスキャン方式の場合は更に主走査方向、即ち、ライン
走査の方向を第1の走査方向としてのラスタスキャン(
以下、「第1のラスタスキャン」と言う。)か主走査方
向を第2の走査方向としてのラスタスキャン(以下、「
第2のラスタスキャン」と言う。)のいずれかに切り換
えるための回路であり、ゲート35a、35b及び変調
回路32と接続されている。
そして、スキャン方式はベクトルスキャン方式とラスタ
スキャン方式に交互に切り換えられ、ラスタスキャン方
式は、更に、第1のラスタスキャンと第2のラスタスキ
ャンとに切り換えられるようになっている。
尚、露光ビーム18のベクトルスキャンによる照射は、
当該分解平面の外形線の画素信号についてのみ行なわれ
、従って、この場合は、メモリ31に入力された画素信
号のうち外形線を為すデータのみが変調回路32へ出力
される。
しかして、ゲート35a、35bは上記スキャン方式切
換回路36からの指令により開閉され、この場合、スキ
ャン方式がベクトルスキャン方式であるときは2つのゲ
ート35a及び/又は35bが随時開放され、また、ス
キャン方式が第1のラスタスキャンであるときはゲート
35bは第1の走査方向における1つの走査ラインの走
査が終了する度に一瞬開放され、これによって、第2の
ガルバノスキャナー13のガルバノミラー16′を少し
回勅して露光ビーム18のライン走査のライン位置を第
2の走査方向における隣りのライン上に移動させ、更に
、スキャン方式が第2のラスタスキャンであるときは、
ゲート35aが第2の走査方向における1つの走査ライ
ンの走査が終了する度に一瞬開放され、これによって、
第1のガルバノスキャナー12のガルバノミラー16を
少し回動して露光ビーム18のライン走査のライン位置
を第1の走査方向における隣りのライン上に移動させる
37はビームポジション制御回路33と接続されたA/
Oモジュレータ駆動回路であり、平面データのうちX方
向における1つのライン上又はY方向における1つのラ
イン上の信号の有無に応じた制御信号をA/Oモジュレ
ータ21へ出力して、レーザビーム発振器17から発振
された露光ビーム18のA/Oモジュレータ21から先
の光路をON−OFFする。
38はフォーカス制御回路であり、露光ビーム18が液
状光硬化型樹脂材4の液面4aに対して、常時、所定の
径のスポットで集光するようにフオーカシングレンズ2
3のフォーカシング方向における位置を制御する。
39はモータ駆動回路であり、前記ステッピングモータ
9はこのモータ駆動回路39からの指令によって駆動さ
れ、該駆動は立体形状の形成動作が開始される時はエレ
ベータ5をそのステージ6が液状光硬化型樹脂材4の液
面4aより1階層ピッチ、即ち、立体像イメージを多数
の分解平面に分解したときの分解ピッチ分下方にある位
置(以下、「初期位置」と言う。)に移動されるように
制御され、また、上記形成動作が開始された後は1つの
分解平面についてのビームの走査が終了する度にエレベ
ータ5を1階層ピッチ分下方へ穆動させるように制御さ
れる。
尚、上記階層ピッチは、液状光硬化型樹脂材4を露光ビ
ーム18の照射により硬化させ層厚の半分以下の大ぎさ
に設定される。例えば、露光ビーム18が液状光硬化型
樹脂材4の液面4aに照射されると液状光硬化型樹脂材
4が該液面4aから略0.5乃至0.7ミリメートルの
厚さで硬化する場合、階層ピッチは0.2乃至0.3ミ
リメートル程度に設定される。
(b.立体形状形成方法)[第1図、第4図乃至第7図
] そこで、このような立体形状形成装置1を使用しての立
体形状の形成は次のように行なわれる。
尚、設計された立体像イメージ40(第1図参照)は厚
肉の円筒状の形状とする。
(b−1.初期状態、外形走査及び面走査)形成動作が
開始すると、先ず、エレベータ5が初期位置へと移動さ
れ、エレベータ5のステージ6の上面には液状光硬化型
樹脂材4が1階層ピッチ分の厚みで位置する。
そして、この状態から露光ビーム18の液状光硬化型樹
脂材4の液面4aのステージ6に対応した領域に対する
走査が為される。この走査は当該立体形状の各分解平面
の全域又は一部に対応して行なわれ、その順序は多数の
分解平面のうち分解方向における両端の2つの分解平面
のいずれか方のものから順次行なわれる。また、1つの
分解平面についての走査は、当該分解平面の外形線に応
じたパターンでのベクトルスキャン(以下、「外形走査
』と言う。)と当該分解平面の全域に応じたパターンで
のラスタスキャン(以下、「面走査」と言う。)のいず
れかで行なわれ、かつ、これら外形走査と面走査が1階
層ごとに交互に切り換えられて行なわれる。また、面走
査は前記第1のラスタスキャンと第2のラスタスキャン
に交互に切り換えて行なわれる。
尚、第7図にこのようなスキャン方式の切り換えの推移
を示す。
(b−2.立体形状の形成) そこで、エレベータ5が初期位置に来た状態から、先ず
、第1番目の分解平面についての外形走査が行なわれ、
露光ビーム18は第1番目の分解平面の外形線に応じた
パターン、即ち、外周ラインと内周ラインに応じたパタ
ーンでベクトルスキャンされる。これにより、第4図(
A)及び第5図(A)に示すように、ステージ6上に、
第1番目の分解平面の外周を画する環状の硬化条41、
及び内周を画する環状の硬化条421が形成されると共
に、硬化条411と42.どの間の液状光硬化型樹脂材
4は未硬化のまま残される。
次に、外形走査が終了すると、エレベータ5が1階層ピ
ッチ分下方へ移動され、上記硬化条411 .421及
び未硬化部分の上に液状光硬化型樹脂材4が1階層ピッ
チ分の厚みで流れ込む。
そして、この状態から、第2番目の分解平面についての
露光ビーム18が第1のラスタスキャンにより面走査さ
れる。この第1のラスタスキャンは、第1のガルバノス
キャナー12のガルバノミラー16を揺動ずることによ
りライン走査を行ない、1つのライン走査が終了する度
に第2のガルバノスキャナー13のガルバノミラー16
′を1ラインピッチに相当する角度分回動させてライン
走査の位置を第2の走査方向へ順次穆動させて行き、当
該分解平面を面的に画するように露光ビーム18を照射
して為される。また、このとき、露光ビーム18による
硬化作用は、第1番目の分解平面について露光ビーム1
8の照射が為されないで液状光硬化型樹脂材4が未硬化
のままとされた領域、即ち、環状の硬化条411と42
,との間の領域にある液状光硬化型樹脂材4にも及ぶの
で、この領域にある液状光硬化型樹脂材4も同時に硬化
される。これにより、第4図(B)及び第5図(B)に
示すように、2階層ピッチ分の厚さを有する略シ一ト状
をした硬化樹脂層431が形成される。
尚、硬化条41+,42,は上記硬化樹脂層431が形
成される際にこれと接着されて一体化され、第1番目に
形成されるべき分解平面の形状?ひ第2番目に形成され
るべき分解平面の形状と略同じ形状を有する複合硬化樹
脂層44.が形成される。
尚、第4図及び第5図に示した棒状のもの45、45、
・・・もしくは46、46、・・・(第6図においては
各硬化樹脂層43、43、・・に一部線で記入してある
。)は、1回のライン走査により形成される硬化条を示
す。
また次に、エレベータ5が1階層ピッチ分下方へ穆動さ
れると、硬化樹脂層431上に液状光硬化型樹脂材4が
1階層ピッチ分の厚さで琉れ込み、第3番目の分解平面
についての露光ビーム18の照射が行なわれる。この照
射は、当該分解平面の外形線のみについて外形走査によ
り行なわれ、それによって、第4図(C)及び第5図(
C)に示すように、既に形成済の硬化樹脂層43.上に
環状をした2つの硬化条41■と422が形成される。
尚、硬化条412及び422も複合硬化樹脂層44、に
接着されて一体化する。
そして、この状態からエレベータ5が1階層ピッチ分下
方へ珍動され、第4番目の分解平面についての露光ビー
ム18の照射が今度は第2のラスタスキャンによる面走
査で行なわれる。この第2のラスタスキャンは、第2の
ガルバノミラ−16′を揺動させることによってライン
走査を行ない、1つのライン走査が終了する度に第1の
ガルバノミラ−16を1ラインピッチに相当する角度分
回動させてライン走査の位置を第1の走査方向へ順次穆
動させて行き、当該分解平面を面的に画するように露光
ビーム18を照射して為される。また、このとき、第3
番目の分解平面について露光ビーム18の照射が為され
ないで液状光硬化型樹脂材4が未硬化のまま残された領
域、即ち、硬化条412と422との間の領域も同時に
硬化される。これにより、第4図(D)及び第5図(D
)に示すように、2階層ピッチ分の厚さを有する硬化樹
脂層432が形成される。尚、前記硬化条412、42
2は上記硬化樹脂層432が形成される際にこれと接着
されて一体化され、第3番目に形成されるべき分解平面
の形状及び第4番目に形成されるべき分解平面の形状と
略同じ形状を有する複合硬化樹脂層442が形成される
しかして、このような動作がくり返し行なわれることに
よって、多数の硬化樹脂層43,、432、・・・43
,がこれらの間に硬化条411及び42,.412及び
422、・・・41n及び42nを挟んでステージ6上
で積層され、それにより、立体像イメージ46の三次元
形状と同じ三次元形状を有する立体形状47が形成され
る。
(b−3.形成された立体形状) しかして、このように形成された立体形状47はその表
面が極めて滑らかなものになる。即ち、立体形状47の
外周面及び内周面は、1階層ピッチ間隔て、ベクトルス
キャンされた硬化条の外側面から成るので、全体として
見れば、凹凸の少ない極めて滑らかな表面に仕上げられ
る。
尚、この実施例においては、1階層ピッチ間隔で行なわ
れるラスタスキャンのライン走査の方向を交互に変える
ようにしたので、各硬化条45、45、・・・と46、
46、・・・が硬化するときの収縮作用による反りの方
向が一定で無く、従って、歪みのない立体形状を得るこ
とができる。
また、ライン走査方向が硬化樹脂層1つおきに異なるの
で、このライン走査の始点及び終点が立体形状の一の側
面にのみ現われることがなく、従って、どの側面も滑ら
かな表面の立体形状を得ることができる。
(G.発明の効果) 以上に記載したところから明らかなように、本発明立体
形状形成方法は、液状光硬化型樹脂材の液面にビーム照
射を行ない任意に設計された立体像イメージの一の方向
で分解された分解平面の形状に応じたパターンの硬化樹
脂層を形成し、次いで、該硬化樹脂層の上に液状光硬化
型樹脂材を位置させて、再び、液状光硬化型樹脂材の液
面をビーム照射して硬化樹脂層を積層するというように
硬化樹脂層を順次に積層していって任意の立体形状を形
成する立体形状形成方法であって、前記ビーム照射を、
ビーム発振手段と音響光学変調手段と分解平面上の一の
直線方向でビームを偏向させる第1のガルバノミラーと
上記直線方向と直交する方向てビームを偏向させる第2
のガルバノミラーとを備えたビーム走査部により行ない
、また、ビーム照射をベクトルスキャン方式による前記
分解平面の外形線を走査する外形走査と、ラスタスキャ
ン方式による前記分解平面の全面を走査する面走査との
2種類の走査で行ない、外形走査は一乃至複数回の面走
査による硬化樹脂層を形成する度に行なうようにしたこ
とを特徴とする。
従って、本発明立体形状形成方法によれば、積層された
硬化樹脂層のうち、1乃至数個おきの硬化樹脂層に、ベ
クトルスキャンによる外形走査で外形形状のみ硬化され
た層が形成されるため、その層の外形形状を滑らかに形
成することができ、出来上った立体形状を全体として見
たときその表面を非常に滑らかなものにすることができ
、また、ビームの走査に必要なビームスイッチング制御
はその制御動作が電気的速度で為される音響光学変調手
段によって行なわれるため、ベクトルスキャンとラスタ
スキャンとの切換及びビームの走査を高速で行なうこと
ができ、従って、立体形状の形成を高速で行なうことが
できる。
尚、前記実施例においては、外形走査を1つの硬化樹脂
層置きに行なうようにしたが、場合によっては、面走査
により形成される2以上のある程度の数の硬化樹脂層置
きに外形走査を行なうようにしても良い。
そして、本発明立体形状形成方法は、前記実施例に示し
た構造を有する立体形状形成装置により実施される方法
に特定されることは無く、実施例に示した立体形状形成
装置は、あくまでも、本発明立体形状形成方法を実施す
るための装置の一例を示したものであり、液状光硬化型
樹脂材の種類や露光ビームの種類あるいは立体形状の形
状等が実施例に示したものに限られることは無い。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第3図は本発明立体形状形成方法を実施する
ための立体形状形成装置の一例を示すものであり、第1
図は一部を切り欠いて示す全体の斜視図、第2図は作業
部を一部切断して示す正面図、第3図は制御部のブロッ
ク回路図、第4図は立体形状の形成過程の一部を(A)
から(D)へ順を追って示す斜視図、第5図は立体形状
の形成過程の一部を(A)から(D)へ順を追って示す
断面図、第6図は形成された立体形状を一部硬化樹脂層
毎に分離して示す概念図、第7図はビームスキャン方式
の切換推移を示すタイムチャート図、第8図及び第9図
は従来の立体形状形成方法を説明するためのもので、第
8図は立体形状形成装置の一例を示す概略断面図、第9
図は従来の立体形状形成方法における問題点を説明する
ための図である。 符号の説明 4・・・液状光硬化型樹脂材、 4a・・・液面、  11・・・ビーム走査部、16・
・・第1のガルバノミラー 16′・・・第2のガルバノミラー 17・・・ビーム発振手段、 18・・・ビーム、 21・・・音響光学変調手段、 40・・・立体像イメージ、 41、42、43・・・硬化樹脂層、 47・・・立体形状 ′ト 寸寸 概略断面図(従来例) 第8図 (従来例) 第9図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 液状光硬化型樹脂材の液面にビーム照射を行ない任意に
    設計された立体像イメージの一の方向で分解された分解
    平面の形状に応じたパターンの硬化樹脂層を形成し、次
    いで、該硬化樹脂層の上に液状光硬化型樹脂材を位置さ
    せて、再び、液状光硬化型樹脂材の液面をビーム照射し
    て硬化樹脂層を積層するというように硬化樹脂層を順次
    に積層していって任意の立体形状を形成する立体形状形
    成方法であって、 前記ビーム照射を、ビーム発振手段と音響光学変調手段
    と分解平面上の一の直線方向でビームを偏向させる第1
    のガルバノミラーと上記直線方向と直交する方向でビー
    ムを偏向させる第2のガルバノミラーとを備えたビーム
    走査部により行ない、 また、ビーム照射をベクトルスキャン方式による前記分
    解平面の外形線を走査する外形走査と、ラスタスキャン
    方式による前記分解平面の全面を走査する面走査との2
    種類の走査で行ない、 外形走査は一乃至複数回の面走査による硬化樹脂層を形
    成する度に行なうようにした ことを特徴とする立体形状形成方法
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