JPH02168407A

JPH02168407A - リードバック・パルスのアンダシュートを最小限に抑えるための記録ヘッドおよびその製造方法

Info

Publication number: JPH02168407A
Application number: JP1212010A
Authority: JP
Inventors: Seshadri Ramaswamy; ラマスワミセシャドリ
Original assignee: Digital Equipment Corp
Current assignee: Digital Equipment Corp
Priority date: 1988-08-17
Filing date: 1989-08-17
Publication date: 1990-06-28
Anticipated expiration: 2010-07-19
Also published as: DE68920510T2; EP0356126A3; DE68920510D1; ATE117118T1; US4970616A; CA1324440C; EP0356126A2; JPH0766500B2; EP0356126B1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明はリードハック・パルスのアンダシュートを最小
限に抑える磁気記録ヘッドに関する。

磁気記録ヘッドは磁気記録媒体上に交互の磁化パターン
からなる情報を記録したり、読み出したりするのに用い
られている。この場合、記録ヘッドと記録媒体との相互
作用で最高レベルの信号対雑音比を生じるのか望ましい
、記録媒体から記録済みのデータを読み出す場合、信号
対雑音比が高くなればそれだけ、それは背景干渉（付近
のパルスやその他の原因による）に対してより高い振幅
を有する望ましい中央パルスの形を採る。

薄膜磁気記録ヘッドが読み出し操作中に磁気媒体を横切
るとき１発生した波形は中央パルスに加えてケ上りアン
ダシュートと立下りアンダシュートを含む、これらのア
ンダシュートは中央パルスに匹敵する高周波成分を含ん
ている。中央パルスか孤立している場合には、アンダシ
ュートの大きさは孤立パルスの振幅の約５パーセントか
ら１５パーセントとなる。これらのアンダシュートは中
央パルスの振幅限、界値を４０パーセント低下させる可
能性かあり、パルス形状効果か５０パーセントだけウィ
ンドー限界を減らす可能性がある。

薄膜記録ヘッドを製造する方法は種々知られている。１
つの代表的な方法ては、ＡｌｗＯｚの絶縁ベース層を基
板に蒸着する。このような基板の１つかこの分野ではＡ
ＬＳＩＭＡＧとして知られている。次に、ＮｉＦｅのよ
うな積層をＡ　ｌ　２０３の絶縁ベース層上にスパッタ
蒸着する。次に、種層上にフォトレジストを紡出し、写
真石版技術によってフォトレジストとに磁極片パターン
を形成する。レジストが発生した後、ＮｉＦｅのような
磁極材料を電子メツキによってマスクを通して蒸着する
。

第１磁極片のメ・フキ後、Ａｌよ０３の薄い層のような
ギャップ層を蒸着する。絶縁層で囲んだこいる構造も磁
極構造のヨークのところに形成する。次に第２の磁極片
をこの構造上にメツキする。通常は、第２磁極の、その
先端（すなわち。

エアベアリング面）のところの幅か第１磁極のその先端
のところの幅よりも狭くなるようにメツキする。この構
成により、２つの磁極片間に生じる磁気的な短絡を回避
することかできる。

両磁極片は所望の最終的な磁極幅よりもかなり幅が広く
なるようにメツキする。その後、　第２／ａ極先端に、
そして、ヨークを覆って厚いレジストをパターン形成す
る。このパターンの幅か、最終的には、ギャップの磁極
の最終幅を決定することになる。次に、イオン・ミリン
グとして知られる方法によって、２つの磁極先端の幅に
沿ってメツキされた余分な磁性材料を除去する。通常の
方法ては、イオン・ビームはミリング処理の最初の部分
でウェファ面に対して直角にヘッドに衝突する。この垂
直ミリングは処理中に露出しているギャップを横切って
磁性材料の再付着を招く。これは磁気短絡の原因となり
、さらにミリングを行って除かなければならない。

上述したようなトラック・トリミング法は、普通、長子
方向に９０度の壁面を求めている場合、両磁極にとって
均〜の幅を得るために工業的に使用されている。しかし
ながら、実際には、この方法ては約８３度の壁角度しか
得られない、９０度からのこのようなずれは記録ヘッド
からのアンダシュートの大きさを２パーセントまで減ら
すことになる。しかしながら、それに伴ってギャップの
ところで第１磁極の幅か大きくなり、読み書きフリンジ
ングの増大を招く。

アンダシュートは特別に厚い磁極（７ミクロンのオーダ
ーの厚さ）を製作、することによっても低減することか
てきる。この低減はアンダシュートのサイズにおいて４
パーセントに達し得る。しかしながら、この低減量はこ
のような厚い磁極、特にトラック・トリミング法て作っ
た磁極の場合にそれを得るためになす処理の複雑さがか
なり増すという事実を相殺するほどではない、たとえば
。

磁極の厚さが増す場合、法外なトリミング時間が必要と
なる。

本発明の一特徴によれば、ギャップてそれぞれ隔てられ
た第１、第２の磁極先端を構成する第１、第２の磁極を
包含する磁気記録ヘッドを形成し、第１磁極先端の横断
面が第１、第２の領域を包含し、第１の領域か第２の領
域よりも大きく、これらの領域のうちの１つがギャップ
に隣接するようにすることによってアンダシュートを低
減する方法か得られる。

本発明の別の特徴によれば、ギャップてそれぞれ隔てら
れた第１．第２の磁極先端を構成する第１、第２の磁極
を包含する磁気記録ヘッドを形成し、第１磁極先端の横
断面が第１．第２の領域を包含し、第１の領域か第２の
領域よりも大きく、これらの領域のうちの１つかギャッ
プに隣接するようにするにし、第２の磁極先端が２つの
領域を包含し、一方の領域か他方のりよいきよりも大き
く、これら領域のうちの一方がギャップに隣接するよう
にすることによってアンダシュートを低減する方法が得
られる。

本発明の一実施例においては、磁気記録ヘッドはそれぞ
れギャップて隔てられた第１．第２の磁極先端を構成す
る第１、第２の磁極を包含し、第１の磁極先端の横断面
が第１、第２の領域を包含し、第１の領域か第２の領域
より大きく、これらの領域のうちの１つかギャップに隣
接している。

別の実施例においては、第１の磁極先端の横断面は第１
、第２の領域を包含し、第１の領域か第２の領域より大
きく、これらの領域のうちの１つかギャップに隣接して
おり、第２の磁極先端か２つの領域を包含し、一方の領
域か他方の領域より大きく、これら領域のうちの一方が
ギャップに隣接しており、第１１ｉ１極先端の横断面積
が第２磁極先端の横断面積より大きくなっている。

未発明の別の実施例はギャップで隔てられた第１、第２
の磁極先端を備えた第１．第２の磁極片を有する磁気記
録ヘッドを包含する。第１の磁極先端の横断面はギヤ・
ンプに隣接したほぼ矩形の部分と、この矩形部分に隣接
したほぼ台形の部分とを包含する。第２磁極片の横断面
はギャップに隣接したほぼ矩形の部分と、この矩形部分
に隣接したほぼ台形の部分とを包含する０両磁極部分は
ギャップに隣接したほぼ平行な壁面を有する。

本発明のまた別の実施例では、第１Ｉｉ１極片の縮小断
面は磁気媒体上のトランジションを読み取っているヘッ
ドで発生した波形におけるＱ上すアンタシュートを減ら
し、第２磁極片の拡大部分は波形の立下りアンダシュー
トを減らす。

本発明は増大した信号対雑音比を有する記録ヘッドの製
造を可能とする程度の立上り、立下りアンダシュートの
低減に向けたものである。本発明は記録ヘッドと磁気媒
体の間における読み出し、どき込みを改善てきる程度に
アンダシュートによる振幅変化、ピーク値偏移を減らす
。第１磁極片のこの新しい形態により、磁気媒体上のト
ランジションからヘッドによって発生した波形における
ひ上りアンダシュートを減らすことがてきる。第２磁極
片のこの新しい形態によれば、磁気媒体上のトランジシ
ョンからヘウドによって発生した波形における立下りア
ンダシュートを減らすことかできる。

他の利点および特徴は好まし・い実施例の以下の説明な
らびに特許請求の範囲から明らかとなろう。

データ・ビットを磁気媒体に記録する場合、データ・ビ
ットは媒体の成るセクション（「トラック」と呼ぶ）上
に格納されている磁気変化の集合（「トランジション」
と呼ぶ）の形を採るものとして理解されている。磁気媒
体トラック上のただ１つのトランジションを読み出して
いる薄膜記録ヘッドによって発生した代表的な波形が第
１図に示しである。ここでは、中央パルスｌＯは負の振
幅を有するものとして恣意的に示しである。この波形は
立上りアンダシュート１２と立下りアンダシュート１４
とで側部を構成している。

そして、各アンダシュートは正の振幅を有する。

第１図において、リードバック波形Ｔは振幅ゼロ（任意
の単位）で始まり、立上りアンダシュートのところでピ
ーク値１００まで徐々に上昇し、次に、ゼロのところの
トランジション点まで徐々に下降する。このトランジシ
ョン点て、中央パルスｌＯは−８５０の低点まで低下し
始める０次いて、中央パルスｌＯはゼロ点まで上昇し、
このゼロ点において、立下りアンダシュート１４が約６
０の単位まで上昇し始め、その後、ゼロまで下降し、こ
こで波形Ｔが終る。したがって、第１図の孤立した波形
Ｔを見れば、立上りアンダシュー）−１２が最初の２つ
のゼロ点Ａ、Ｈの間に構成され、中央パルスが第２、第
３のゼロ点Ｂ、Ｃの間に構成され、立下りアンダシュー
トが第３、第４のゼロ点Ｃ，Ｄ間に構成されていると言
える。

さらに、相対的なサイズで言えば、波形Ｔを第１のゼロ
点から第４のゼロ点まで５００ナノ秒パルスとして測定
した場合、中央パルスの持続時間について第２のゼロ点
から第３のゼロ点まで約２５０ナノ秒の持続時間を持つ
ことになる。

しかしながら、実際には、多くのデータ・ビットは記録
媒体に密集バックすることを求められる。それ故、高い
信号対雑音比を求める要望から、ヘッドによって読み取
られつつあるトランジションの隣接した中央パルス部分
に衝突するオーバラップしている立上り、立下りアンダ
シュートからの干渉を低減する必要性に目が向けられて
いる。アンダシュート１２．１４が先行の、あるいは、
後続のパルスの中央部分１０とオーバラップする場合、
振幅変化およびピーク値偏移が注目されることになる。

このような振幅変化は先行の。

あるいは、後続のパルス・アンダシュートからの過剰衝
突情報による中央部分の部分的な強調、取消しから生じ
る可能性があり、ピーク値偏移は中央部分のピーク値を
波形の中央の理想的な位置から時間の経過につれて偏移
させる。

第２ａ図を参照して、ここには典型的な磁気記録ヘッド
１９が磁気記録媒体の側にあるものとして示しである。

しかしながら、ここで、ヘッド１９の、トラック中心線
から半分の部分のみが示しであることに注意されたい、
このヘッドは２つの矩形の磁極片Ｐ１．Ｐ２からなり、
これらの磁極片は間にギャップｇを構成している。さら
に、第２ａ図において１ｍ界輪郭はへウド１９、磁極片
Ｐ１．Ｐ２およびギャップｇについて描いである。こう
して第２ａ図でわかるように、磁極片Ｐ１の前縁水平壁
面２１まわりに＋６の輪郭が長子方向に定められている
。この実施例では、最高磁界強度（Ｂｍａｘ）がこの第
１の輪郭内のある点において＋２２のレベルで示しであ
る０次に。

磁極ｐｔの一部および磁極Ｐ２の一部を囲み、ギャップ
ｇについでほぼ中心に位置し、−６の磁束密度を有する
第２の輪郭が構成されることかわかる。この−６輪郭内
で、内部に一４２輪郭を構成されたー１８輪郭が構成さ
れ、これらの輪郭はすべてギャップｇをほぼ中心として
いる。

ギャップそれ自体のところての最大磁束密度は−１５０
に等しいものとして示しである。＋６の磁束密度を有す
る磁極片Ｐ２の上壁面２３を部分的に含みかつそこから
突出する付加的な輪郭が示してあり、この輪郭内の成る
位置が＋１７の最大磁束密度を有するものとして示しで
ある。もちろん、ここで、図示した輪郭内およびこれら
輪郭間にいくつもの勾配があることは了解されたい、た
とえば、磁極片Ｐ２の壁面２７に隣接して位置した薄い
領域２５における磁束密度は一４２単位と一１５０単位
の間にある。同様に、＋６輪郭リング内の磁極片Ｐ２の
上壁面２３は＋６〜＋１７の範囲内のいずれかの磁束密
度を持つことになる。

ここで、磁気記録媒体が第２ａ図に矢印で示す方向にお
いて磁極片とギャップの脇をＰ１がらｇ、そしてＰ２へ
通過することは了解されたい。

この理由のために、記録中に磁極片ＰＩが媒体に与える
影響はギャップのところの磁束と磁極片Ｐ２の隣接領域
のところの磁束によって無効にされる。記録ヘッド１９
の作用て媒体に生じる記録データのトラック幅はフリン
ジングを除いでほぼギャップのところての記録ヘッドの
＠Ｗｇとなる。

しかしながら、読み取りサイクルにおいて、磁極片ＰＩ
の前縁および磁極片Ｐ２の後縁のところの磁界は共に記
録媒体から得られた波形に影響を与えることになる。事
実、長子方向に先行する磁極片ＰＩは立上りアンダシュ
ート１２の主要成分を生じさせ、磁極片Ｐ２の長手方向
に追従する上壁面２３は波形Ｔに立下りアンダシュート
１４の有意部分を与えることになる。

当業者には明らかなように、第２ａ図は矩形磁極につい
ての長−「方向磁界の輪郭のみを描いている。磁気記録
ヘッド１９の横方向磁界についての輪郭も描くことはて
きるか、説明を簡潔にするために省略した。それても、
これら横方向の磁界もアンダシュートに影響を与えるこ
とは了解されたい、′ハ実、横方向信号は波形Ｔの中心
についてシヌソイドであると考えることかでき、立−Ｅ
リアシタシュート１２にとっては加数てあってそれに加
わり、立下りアンダシュー）１４にとっては減数てあっ
てそれを減することになる。

記録媒体の１つの特性はその保磁性である。これは成る
磁気状態を別の磁気状態に磁気媒体を変えるのに必要な
磁界の量である。たとえば、第２ａＩｉｉのヘッド１９
と一緒に用いられる記録媒体の保磁性が５０の偵（第２
ａ図て用いたと同し任意の単位）に設定された場合、媒
体がギャップｇに近づくにつれて、媒体は保磁性値に等
しく、次いてそれよりも大きくなる磁界にさらされるこ
とになる。その結果、媒体で状態変化か行われることに
なる。媒体かギャップ領域を通って矢印の方向へ移動し
続けるにつれて、それ以上の磁界領域（５０単位より低
い）は今記録されたばかりの状態を変えるには不充分な
ものとなる。

磁極片の磁界の作用に関連して記録機能を以下に第２ｂ
図を参照しながら一層詳しく説明するが、この図は台形
の記録ヘッド２９の磁極片ＰＩ、Ｐ２からの長子方向磁
界分布を記録媒体から見た図である。ここて再び１台形
記録ヘッドの中心線から右側の半分のみが示しであるこ
とは了解されたい、また１輪郭線は長手方向の磁界のみ
を示している。さらに、記録ヘッドの占き込み作用中に
生じた記録媒体上のトラックの半分か中心線とそれに平
行な線の間に延びる両端矢印で示しである。この矢印は
、さらに、フリンジングについてのものを除いて、ギャ
ップｇの幅Ｗｇてトラック幅が本質的に定められること
を示している。

記録媒体の一特性は、書き込みモートにおける記録ヘッ
ドの磁界の特性が磁気記憶媒体における材料の対応する
磁気整合を生しさせることになるということにある。相
反の原理により、この記録された情報は読み出しモート
中に記録へウドに類似の応答を生じさせる傾向がある。

それ故、他のすべての事項は同等てあり、１０ミクロン
幅のギャップのところに長手方向磁束パターンを有する
ヘッドは媒体上にｌＯミクロン幅のトラックを生しさせ
ることになる。ただし、ギャップのフリンジのところに
位置する可能性のある横方向磁界成分はトランジション
幅を広げる可能性がある。

その結果、記録されたトラックにおける磁化はトラック
の中心におけるほぼ長子方向からヘッド中心のところの
ほぼ長子方向の磁界、そして、ヘッドの側部のところで
ほぼ横方向の磁界に対応するトラック縁でほぼ横方向に
外方へ徐々に変換するように見えるかも知れない。

こうして、磁気ヘッド２９の長ｆ方向磁界か媒体の磁化
をその同じ長手方向に向けさせることになることは了解
されたい、それ故、磁気媒体か第２ｂ図に矢印て示す長
子方向に移動する場合、そして、媒体になんら横方向の
磁界か与えられない場合、そのときには、磁化はほぼ長
手軸線に沿った向きにされることになる。しかしながら
、横方向磁界と非現実的な長子方向磁界がある場合、録
画は長子軸線に対して横方向に向けられることになる。

第２Ｃ図を参照して、ここには磁気媒体の記録済みトラ
ックか概略的に示してあり、ここに示すトランジション
４１は多数の録画からなる。これらの録画の向きは長い
矢印で示すようにそこに衝突した磁界の長芋方向あるい
は横方向の特性に基〈。第１の録画部分は長芋方向に整
合していてかなり強い長芋方向磁界を示し、横方向成分
の録画に対する影響は最小である。しかしながら、録画
かトラックの外側部（横方向磁界か最強となるヘッドの
外縁に相当する）に接近し始めるにつれて、録画は徐々
に横方向の向きを採り始める（長手方向の磁界の影響か
減し、横方向の磁界の影響か増大することを示す）、さ
らに、ここで、第２ａ図あるいは第２ｂ図に示すヘッド
の半分部分に記録されたとすれば、トランジション４１
がトラックの半分を表わしていることは了解されたい。

トランジション４１を読み出している際に記録ヘッド２
９の発生する振幅は、本質的には、トラック上の磁化パ
ターンとそれか作用するヘッドの磁界に対する位置とに
よって決定されることになる。さらに、一般には、長芋
方向の磁界はほぼ横方向に向いた媒体内の磁化パターン
と巻き合うことはない、同様に、横方向磁界はトランジ
ション内のほぼ長芋方向に向いた磁化パターンと巻き合
うことがない。

第２ａ図を参照してわかるように、記録済みのトランジ
ションが記録ヘッド１９に接近し始めた場合、媒体の磁
化はまず磁極ＰＩの前縁２１のところで磁界と反応し、
立上りアンダシュート１２を生しさせることになる。ト
ランジションがギャップによって読み取ら°れたとき、
中央パルス１０か発生する。トランジションが磁極Ｐ２
の後縁２３のところで読み出されたとき、立下りアンダ
シュート１４が読み出される。それ故、これら３つの領
域は磁気ヘッドの読み出し作用中の領域てあり、磁極片
Ｐｉ、Ｐ２の内部か低い磁界となる。たたし、側壁部に
沿った横方向磁界は高い。

ここて、トランジションの磁荷パターンか領域２５のと
ころて磁極Ｐ２の長手方向、横方向磁界に従って書き込
みサイクルで整合したことを思い出していただきたい。

それ故、書き込み時、長芋方向、横方向の成分（領域２
５における磁界の特性）はヘッドによって読み出される
ときのアンダシュート１２．１４を決定し得る。たとえ
ば、第１図てわかるように、アンダシュート１２はｉ　
ｏ　ｏ　１−位のピークを持ち、第２ａ図の形態の場合
には８０単位の長手方向成分と２０１位の横方向成分を
持ち得る。アンダシュート１４のピークは６０巾位てあ
り、第２ａ図の形態の場合には８０単位の長芋方向成分
と、−２０単位の横方向成分とを包含する。それ故、横
方向成分が非対称的てあり、立上りアンダシュートには
加入し、立下りアンダシュートは減じることになること
かわかる。

また、第２ａ図におけるように、矩形の磁極形態がフリ
ンジ域に大きな横方向磁界を生じさせ、磁極の外縁のと
ころにも大きな横方向磁界を生じさせることは了解され
たい。

次に第２ｂ図を参照して、ここでわかるように、ヘッド
２９の台形形状は磁極片Ｐ２の短くなった外壁面３３と
磁極片Ｐ１の長くなった壁面３１とを包含する。それで
も、磁極片Ｐ２の壁面３７のところで測ったギャップの
幅はＷｇに等しいままであり、これはトラックの幅でも
ある。

しかしながら、第２ｂ図の構成によれば、磁極Ｐｉの、
その壁面３１のところの幅の広い方の外縁は横方向（中
心線から離れる方向）に横方向磁界を発生する。したか
って、ギャップ付近で磁極Ｐ２において記録されたトラ
ンジションに横方向成分か存在する場合と、読み出し中
に磁極Ｐ１の外縁に向かって横方向磁界が突出する場合
との間にはずれか生じる。それ故、横方向磁界がさらに
外方に突出すると、このずれは現在磁極Ｐ１のところで
ほぼ長手方向の磁界によって読み出されていない横方向
磁化から立上りアンダシュートへの貢献度の大部分を減
らす、その結果、立上りアンダシュート波形は幅が狭く
なり、おそらくは８０単位まで減じ、２０単位の横方向
磁界貢献度を失うことになる。同様に、＋２２から＋１
３まで減じた最大長手方向磁界は磁極ＰＩのところで読
み出される長手方向成分の値がより低≦なり、たとえば
、８０単位てなくて６０単位となる。それ故、立上りア
ンダシュート１２はこの配置では１００単位から６０単
位まで減じることになる。

さらに１幅が狭くなりだアンダシュートはより少ない高
周波成分を含み、中央パルス１０と干渉し、検出ウィン
ドウ内の中央パルス・ピークの位置を偏移させるような
ピーク値偏移を少なくする。

第２ｂ図における磁極Ｐ２の台形部分はその外縁３３を
ギャップの幅に比べて狭くしている。これは負の長手方
向磁界の最大値を第２ａ図の＋１７から第２ｂ図の＋１
８まで実際に高める場合には逆効果である。しかしなが
ら、このような狭い紐輪は読み出し時の磁極Ｐ２の活動
領域をトランジションの長手方向成分の小部分に限定し
、したがって、実質的に読み出し長手方向信号を減らす
ことになる。さらに、この新しい台形磁極片Ｐ２からの
外縁３３のところの横方向磁界は横方向磁化がギヤ・ン
プのところで磁極Ｐ２によってトランジションに記録さ
れた場合に比べて横方向にオフセットする。このような
オフセットは横方向記録からのリードバック信号を打ち
消し、これはアンダシュートを増大させるが、Ｐ２によ
って読み出される低下した長手方向信号での減少分はど
大きくはならない、先に説明したように、横方向記録か
らの電圧は実際に立下りアンダシュートを減じる。それ
故、第２ｂ図のこのデザインは。

Ｐ２の外縁のところの幅がギャップ幅よりかなり狭くな
った場合にのみ立下りアンダシュートの低減を行い、そ
の結果、長手方向成分が横方向信号を排除したときに生
じる増加量よりも多い量減少する。

次に第３図を参照して１．これは本発明の第１の好まし
い実施例の横断面図であり、Ｉａ極先端Ｐｉ、Ｐ２がギ
ャップ１６を構成している。壁面１Ｂ、２０．２２．２
４はギャップ１６に対しでほぼ９０度となっている。し
かしながら、ａ１極ＰＩはさらに台形部分２６を含んて
いる。好ましくは、この台形部分は３０〜７０度の範囲
にある角度φ、を有する。この実施例では、アンダシュ
ートのサイズは磁極Ｐ１．Ｐ２の幅、すなわち、壁３２
．３４の幅とＰｉ、Ｐ２の厚さに依存する。アンダシュ
ートのサイズを低レベルに維持するためには、磁極Ｐ１
の外縁３２の幅はギャップの幅よりも、おそらくは数ミ
クロン分だけ１幅が広くなっていなければならない。

次に第４図に目を転じて、ここには本発明の第２の好ま
しい実施例による磁極先端の横断面が示してあり、この
実施例でも、壁面１８．２０．２２．２４はギャップ１
６に対しでほぼ直角となっている。この実施例では、磁
極片Ｐ２は台形部分３０を包含しており、磁極片ＰＩは
台形部分２６を有する。ここで再び、アンダシュートの
サイズは磁極Ｐ１の外縁３２および磁極Ｐ２の外縁３４
の幅に依存する。アンダシュートのサイズを小さく保つ
ためには、外縁３２のところの磁極ＰＩの幅Ｗ。′がギ
ャップのところの幅Ｗｇよりも数ミクロン広くなければ
ならない、磁極Ｐ２の外縁３４の幅Ｗ０”は、少なくと
も、Ｉｌｌ！Ｗｇよりも数ミクロン狭くなっていなけれ
ばならない、角度φ１．φ２は、好ましくは、３０〜７
０度の範囲内にある。さらに、Ｐｉ、Ｐ２はできるたけ
厚くなければならない、その場合、磁極Ｐｌの高さ（厚
さ）ＴＩと磁極Ｐ２の高さＴ２はそれぞれ約３ミクロン
以上でなければならない。

第３．４図の形態では、磁界を減らし、上述した要領て
本発明で減じようとしているアンダシュートに通じる磁
界領域の幅を減らす、これらの構成は、書き込み時に横
方向磁界がアンダシュートの読み取り時のヘッドの横方
向磁界に対してオフセットするので、ヘッドの横方向磁
界による媒体内の横方向磁化の読み出しを防ぐ、これは
ヘッドの信号対雑音比を高くすることになる。

さらに、各磁極片の、ギャップ領域のところの矩形形態
はトラック・トリミング法によって現在作られている非
矩形ヘッドに比べてギャップのところて書き込み、読み
出しフリンジングを約０゜２５ミクロン低下させる。フ
リンジングのこの低下により、所与のトラック・ピッチ
に対して磁極の幅をより広くすることができ、したがっ
て、ヘッドの信号強度をさらに高めることかできる。

ここで再び、薄膜ヘッドを作る方法の一部としてのイオ
ン・ミリングについて説明すると、本発明か記録ヘッド
製造プロセスのトラック・トリミング段階で最も容易に
行われるということは了解されたい、特に、磁極Ｐ２は
磁極ＰＩの頂部に形成されており、それらの間に絶縁ギ
ャップが形成されている０両磁極は所望の最終磁極幅よ
りもかなり幅が広くなるようにメツキされる。この場合
、厚いレジストか磁極Ｐ２の先端とヨークの残部の上に
マスクによってパターン化される。このパターンの幅は
最終的なギャップ幅を決定することになる。イオン・ミ
リングによって、２つの磁極の幅に沿った余分な磁性材
料が除去される。レジスト・パターンか次に磁極Ｐ２の
頂面から剥ぎ取られ、その結果、第２ｂ図の実施例にお
いて示唆したように、この磁極先端の横断面がほぼ台形
となる。

しかしながら、イオン・ミリングが磁極Ｐｌの余分な幅
全体を通して行われない場合には、磁極片Ｐｉにもほぼ
台形の部分２６が形成されることになる。これは第３，
４図において磁極片ｐｔについて示したと同し形状、配
置である。レジスト・パターンが幅を狭くしたマスクを
用いて磁極Ｐ２に形成され、次いで、イオン・ミリング
段階を行って第４図において磁極片Ｐ２について示した
台形を実現する。

本発明には他の実施例もある。たとえば、磁極先端を矩
形、台形の領域を有するものとして説明してきたか、任
、仇の形状の大小の領域を持つように磁極先端を形成し
てもよいし、イオン・ミリンク法を用いずに作ることも
できる。このような変更を行ってもその機能は上述した
実施例と同様である。

これらおよび他の実施例は本発明の精神、範囲内にあり
、すべての修正、変更が特許請求の範囲内に含まれると
考える。

【図面の簡単な説明】

第１図は薄膜磁気記録ヘッドで生成した巾−のトランジ
ションからの代表的な波形を示すグラフである。第２ａ図は矩形磁極を有する磁気記録ヘッドからの長手
方向磁界分布の半分を示す横断面図である。第２ｂ図は台形磁極を有する磁気記録ヘッドからの長手
方向磁界分布の半分を示す横断面図である。第２ｃ図は単一のトランジションを記録した記録媒体の
中央図である。第３図は本発明による磁気記録ヘッドの磁極先端の横断
面図である。第４図は本発明による磁気記録ヘッドの磁極先端の横断
面図である。図面において、１０・・・中央パルス、１２・・・立上
りアンダシュート、１４・・・立下りアンダシュート、
１６・・・ギャップ、１９・・・磁気記録ヘッド。１８．２０．２２．２４・・・壁面、２１・・・水モ前
壁、２３・・・上壁、２５・・・薄い領域、２７・・・
壁面、２９・・・磁気記録ヘッド、３１．３４・・・壁
、３２・・・外縁、３３・・・外側壁、３７・・・壁、
ＰＩ、Ｐ２・・・磁極片、４１・・・トランジション２での、４１（内７．：に文更なし）匍度Ｍ蘭薄膜ヘッドかうの代表的な孤立パルス手続補正書（方式）％式％１、事件の表示平成１年特許願第２１２０１０号３、補正をする者事件との関係出願人４、代理人５、補正命令の日付平成１年１１月２８日

Claims

【特許請求の範囲】

（１）、ギャップで隔たった第１、第２の磁極先端を構
成する第１、第２の磁極を包含し、第の磁極先端の横断
面が第１、第２の領域を包含し、第１の領域が第２の領
域よりも大きく、これら第１、第２の領域のうちの一方
がギャップに隣接していることを特徴とする磁気記録ヘ
ッド。
（２）、請求項１記載の磁気記録ヘッドにおいて、ギャ
ップに隣接した領域が２つの領域のうち小さい方である
ことを特徴とする磁気記録ヘッド。
（３）、請求項１記載の磁気記録ヘッドにおいて、ギャ
ップに隣接した領域が２つの領域のうち大きい方である
ことを特徴とする磁気記録ヘッド。
（４）、請求項１記載の磁気記録ヘッドにおいて、第２
の磁極先端の横断面が第３、第４の領域を包含し、これ
らの領域のうちの１つが他方よりも大きく、これら領域
のうちの一方がギャップに隣接していることを特徴とす
る磁気記録ヘッド。
（５）、請求項４記載の磁気記録ヘッドにおいて、第２
磁極先端のギャップに隣接した領域が第３、第４の領域
のうちの大きい方であることを特徴とする磁気記録ヘッ
ド。
（６）、請求項４記載の磁気記録ヘッドにおいて、第２
磁極先端のうちのギャップに隣接した領域が第３、第４
の領域のうちの小さい方であることを特徴とする磁気記
録ヘッド。
（７）、ギャップで隔てられた第１、第２の磁極先端を
構成する第１、第２の磁極を包含し、第１磁極先端の横
断面がギャップに隣接した見掛上矩形の部分と、この矩
形部分に隣接した見掛上台形の部分とを包含することを
特徴とする磁気記録ヘッド。
（８）、請求項７記載の磁気記録ヘッドにおいて、第２
の磁極先端の横断面がギャップに隣接した見掛上矩形の
部分と、この矩形部分に隣接した見掛上テーパ付き部分
とを包含することを特徴とする磁気記録ヘッド。
（９）、請求項８記載の磁気記録ヘッドにおいて、前記
テーパ付き部分が見掛上台形であることを特徴とする磁
気記録ヘッド。
（１０）、請求項８記載の磁気記録ヘッドにおいて、前
記テーパ付き部分が見掛上台形であり、第２の磁極先端
の見掛上矩形の部分よりも小さい面積となっていること
を特徴とする磁気記録ヘッド。
（１１）、請求項８記載の磁気記録ヘッドにおいて、前
記テーパ付き部分が見掛上台形であり、第２の磁極先端
の見掛上矩形の部分よりも面積が大きくなっていること
を特徴とする磁気記録ヘッド。
（１２）、ギャップで隔てられた第１、第２の磁極先端
を有する第１、第２の磁極を包含し、第１磁極先端横断
面がその外縁がギャップ幅よりもかなり大きい幅となる
ようにかなりのテーパを付けてあることを特徴とする磁
気記録ヘッド。
（１３）、請求項１２記載の磁気記録ヘッドにおいて、
第２磁極先端横断面がほぼ矩形であることを特徴とする
磁気記録ヘッド。
（１４）、請求項１２記載の磁気記録ヘッドにおいて、
第２磁極先端横断面がその外縁がギャップの幅よりもか
なり小さい幅となるようにかなりのテーパを付けてある
ことを特徴とする磁気記録ヘッド。
（１５）、ギャップで隔てられた第１、第２の磁極先端
を有する第１、第２の磁極を包含し、第１磁極先端横断
面がその外縁がギャップ幅よりも大きな幅となるような
輪郭となっており、第２磁極先端横断面がその外縁がギ
ャップ幅よりも小さい幅となるような輪郭となっている
ことを特徴とする磁気記録ヘッド。
（１６）、薄膜ヘッドを製造する方法であって、加工片
が少なくとも１つの記録ヘッドを有するウェファからな
り、第１の磁極片Ｐ１が横断面において第２磁極片Ｐ２
よりもやや大きい幅を有し、第１、第２の磁極片が絶縁
材料のギャップによって隔離されているオン・ウェファ
・トリミング方法において、（ａ）磁極片Ｐ２の側壁をギャップに対してやや傾ける
ようにトリミングを開始する段階と、（ｂ）磁極片Ｐ１
の一部をトリミングして、その側壁がそれぞれギャップ
付近でほぼ直角となり、トリミングした部分よりも幅の
広い磁極片Ｐ１のトリミング無しの部分を残す段階とを包含することを特徴とする方法。
（１７）、請求項１６記載の方法において、（ｃ）磁極
片Ｐ１のトリミング無し部分をそれぞれの角度でトリミ
ングして傾斜壁面を有する台形断面を作る付加的な段階を包含することを特徴とする方法。
（１８）、請求項１７記載の方法において、付加的段階
（ｃ）のそれぞれの角度が約３０度〜７０度であること
を特徴とする方法。
（１９）、請求項１７記載の方法において、さらに、（ｄ）磁極片Ｐ２のギャップから遠い方の縁に近い、磁
極片２の壁をトリミングして傾斜した壁面を有する台形
部分を作る段階を包含することを特徴とする磁気記録ヘッド。
（２０）、請求項１９記載の方法において、前記傾斜し
た壁面の各々が約３０〜７０度の角度で傾斜しているこ
とを特徴とする方法。
（２１）、薄膜ヘッドを製造する方法であって、加工片
が少なくとも１つの記録ヘッドを有するウェファからな
り、第１の磁極片Ｐ１が横断面において第２磁極片Ｐ２
よりもやや大きい幅を有し、第１、第２の磁極片が絶縁
材料のギャップによって隔離されているオン・ウェファ
・トリミング方法において、（ｉ）磁極片Ｐ２の一部をトリミングして、その側壁が
それぞれギャップ付近でほぼ直角となり、トリミングし
た部分よりも幅の狭い磁極片Ｐ２のトリミング無しの部
分を残す段階と、（ｉｉ）磁極片Ｐ２のトリミング無し
部分をそれぞれの角度でトリミングして傾斜壁面を有す
る台形断面を作る段階と、（ｉｉｉ）磁極片Ｐ１の一部をトリミングし、その側壁
面がギャップ付近でトリミング部分よりも幅の広い、磁
極片Ｐ１のトリミング無し部分を残すようにする段階とを包含することを特徴とする方法。
（２２）、請求項２１記載の方法において、（ｉｖ）磁
極片Ｐ１のトリミング無し部分をそれぞれの角度でトリ
ミングして傾斜した壁面を有する台形部分を作る付加的
な段階を包含することを特徴とする方法。
（２３）、請求項２１記載の方法において、段階（ｉｉ
）のそれぞれの角度が約３０〜７０度であることを特徴
とする方法。
（２４）、請求項２３記載の方法において、段階（ｉｉ
）のそれぞれの角度が約３０〜７０度であることを特徴
とする方法。