JPH0766500B2 - リードバック・パルスのアンダシュートを最小限に抑えるための記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

リードバック・パルスのアンダシュートを最小限に抑えるための記録ヘッドおよびその製造方法

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JPH0766500B2
JPH0766500B2 JP1212010A JP21201089A JPH0766500B2 JP H0766500 B2 JPH0766500 B2 JP H0766500B2 JP 1212010 A JP1212010 A JP 1212010A JP 21201089 A JP21201089 A JP 21201089A JP H0766500 B2 JPH0766500 B2 JP H0766500B2
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ラマスワミ セシャドリ
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    • G—PHYSICS
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明はリードバック・パルスのアンダシュートを最小
限に抑える磁気記録ヘッドに関する。
磁気記録ヘッドは磁気記録媒体上に交互の磁化パターン
からなる情報を記録したり、読み出したりするのに用い
られている。この場合、記録ヘッドと記録媒体との相互
作用で最高レベルの信号対雑音比を生じるのが望まし
い。記録媒体から記録済みのデータを読み出す場合、信
号対雑音比が高くなればそれだけ、それは背景干渉（付
近のパルスやその他の原因による）に対してより高い振
幅を有する望ましい中央パルスの形を採る。
薄膜磁気記録ヘッドが読み出し操作中に磁気媒体を横切
るとき、発生した波形は中央パルスに加えて立上りアン
ダシュートと立下りアンダシュートを含む。これらのア
ンダシュートは中央パルスに匹敵する高周波成分を含ん
でいる。中央パルスが孤立している場合には、アンダシ
ュートの大きさは孤立パルスの振幅の約５パーセントか
ら15パーセントとなる。これらのアンダシュートは中央
パルスの振幅限界値を40パーセント低下させる可能性が
あり、パルス形状効果が50パーセントだけウインドー限
界を減らす可能性がある。
薄膜記録ヘッドを製造する方法は種々知られている。１
つの代表的な方法では、Al2O3の絶縁ベース層を基板に
蒸着する。このような基板の１つがこの分野ではALSIMA
Gとして知られている。次に、NiFeのような種層をAl2O3
の絶縁ベース層上にスパッタ蒸着する。次に、種層上に
フォトレジストを紡出し、写真石版技術によってフォト
レジストに磁極片パターンを形成する。レジストが発生
した後、NiFeのような磁極材料を電子メッキによってマ
スクを通して蒸着する。
第１磁極片のメッキ後、Al2O3の薄い層のようなギャッ
プ層を蒸着する。絶縁層で囲んだコイル構造も磁極構造
のヨークのところに形成する。次に第２の磁極片をこの
構造上にメッキする。通常は、第２磁極の、その先端
（すなわち、エアベアリング面）のところの幅が第１磁
極の、その先端のところの幅よりも狭くなるようにメッ
キする。この構成により、２つの磁極片間に生じる磁気
的な短絡を回避することができる。
両磁極片は所望の最終的な磁極幅よりもかなり幅が広く
なるようにメッキする。その後、第２磁極先端に、そし
て、ヨークを覆って厚いレジストをパターン形成する。
このパターンの幅が、最終的には、ギャップの磁極の最
終幅を決定することになる。次に、イオン・ミリングと
して知られる方法によって、２つの磁極先端の幅に沿っ
てメッキされた余分な磁性材料を除去する。通常の方法
では、イオン・ビームはミリング処理の最初の部分でウ
ェファ面に対して直角にヘッドに衝突する。この垂直ミ
リングは処理中に露出しているギャップを横切って磁性
材料の再付着を招く。これは磁気短絡の原因となり、さ
らにミリングを行って除かなければならない。
上述したようなトラック・トリミング法は、普通、長手
方向に90度の壁面を求めている場合、両磁極にとって均
一の幅を得るために工業的に使用されている。しかしな
がら、実際には、この方法では約83度の壁角度しか得ら
れない。90度からのこのようなずれは記録ヘッドからの
アンダシュートの大きさを２パーセントまで減らすこと
になる。しかしながら、それに伴ってギャップのところ
で第１磁極の幅が大きくなり、読み書きフリンジングの
増大を招く。
アンダシュートは特別に厚い磁極（７ミクロンのオーダ
ーの厚さ）を製作することによっても低減することがで
きる。この低減はアンダシュートのサイズにおいて４パ
ーセントに達し得る。しかしながら、この低減量はこの
ような厚い磁極、特にトラック・トリミング法で作った
磁極の場合にそれを得るためになす処理の複雑さがかな
り増すという事実を相殺するほどではない。たとえば、
磁極の厚さが増す場合、法外なトリミング時間が必要と
なる。
本発明の一特徴によれば、ギャップでそれぞれ隔てられ
た第１、第２の磁極先端を構成する第１、第２の磁極を
包含する磁気記録ヘッドを形成し、第１磁極先端の横断
面が第１、第２の領域を包含し、第１の領域が第２の領
域よりも大きく、これらの領域のうちの１つがギャップ
に隣接するようにすることによってアンダシュートを低
減する方法が得られる。
本発明の別の特徴によれば、ギャップでそれぞれ隔てら
れた第１、第２の磁極先端を構成する第１、第２の磁極
を包含する磁気記録ヘッドを形成し、第１磁極先端の横
断面が第１、第２の領域を包含し、第１の領域が第２の
領域よりも大きく、これらの領域のうちの１つがギャッ
プに隣接するようにするにし、第２の磁極先端が２つの
領域を包含し、一方の領域が他方の領域よりも大きく、
これら領域のうちの一方がギャップに隣接するようにす
ることによってアンダシュートを低減する方法が得られ
る。
本発明の一実施例においては、磁気記録ヘッドはそれぞ
れギャップで隔てられた第１、第２の磁極先端を構成す
る第１、第２の磁極を包含し、第１の磁極先端の横断面
が第１、第２の領域を包含し、第１の領域が第２の領域
より大きく、これらの領域のうちの１つがギャップに隣
接している。
別の実施例においては、第１の磁極先端の横断面は第
１、第２の領域を包含し、第１の領域が第２の領域より
大きく、これらの領域のうちの１つがギャップに隣接し
ており、第２の磁極先端が２つの領域を包含し、一方の
領域が他方の領域より大きく、これら領域のうちの一方
がギャップに隣接しており、第１磁極先端の横断面積が
第２磁極先端の横断面積より大きくなっている。
本発明の別の実施例はギャップで隔てられた第１、第２
の磁極先端を備えた第１、第２の磁極片を有する磁気記
録ヘッドを包含する。第１の磁極先端の横断面はギャッ
プに隣接したほぼ矩形の部分と、この矩形部分に隣接し
たほぼ台形の部分とを包含する。第２磁極片の横断面は
ギャップに隣接したほぼ矩形の部分と、この矩形部分に
隣接したほぼ台形の部分とを包含する。両磁極部分はギ
ャップに隣接したほぼ平行な壁面を有する。
本発明のまた別の実施例では、第１磁極片の縮小断面は
磁気媒体上のトランジションを読み取っているヘッドで
発生した波形における立上りアンダシュートを減らし、
第２磁極片の拡大部分は波形の立下りアンダシュートを
減らす。
本発明は増大した信号対雑音比を有する記録ヘッドの製
造を可能とする程度の立上り、立下りアンダシュートの
低減に向けたものである。本発明は記録ヘッドと磁気媒
体の間における読み出し、書き込みを改善できる程度に
アンダシュートによる振幅変化、ピーク値偏移を減ら
す。第１磁極片のこの新しい形態により、磁気媒体上の
トランジションからヘッドによって発生した波形におけ
る立上りアンダシュートを減らすことができる。第２磁
極片のこの新しい形態によれば、磁気媒体上のトランジ
ションからヘッドによって発生した波形における立下り
アンダシュートを減らすことができる。
他の利点および特徴は好ましい実施例の以下の説明なら
びに特許請求の範囲から明らかとなろう。
データ・ビットは磁気媒体に記録する場合、データ・ビ
ットは媒体の或るセクション（「トラック」と呼ぶ）上
に格納されている磁気変化の集合（「トランジション」
と呼ぶ）の形を採るものとして理解されている。磁気媒
体トラック上のただ１つのトランジションを読み出して
いる薄膜記録ヘッドによって発生した代表的な波形が第
１図に示してある。ここでは、中央パルス10は負の振幅
を有するものとして恣意的に示してある。この波形は立
上りアンダシュート12と立下りアンダシュート14とで側
部を構成している。そして、各アンダシュートは正の振
幅を有する。第１図において、リードバック波形Ｔは振
幅ゼロ（任意の単位）で始まり、立上りアンダシュート
のところでピーク値100まで徐々に上昇し、次に、ゼロ
のところのトランジション点まで徐々に下降する。この
トランジション点で、中央パルス10は−850の低点まで
低下し始める。次いで、中央パルス10はゼロ点まで上昇
し、このゼロ点において、立下りアンダシュート14が約
60の単位まで上昇し始め、その後、ゼロまで下降し、こ
こで波形Ｔが終る。したがって、第１図の孤立した波形
Ｔを見れば、立上りアンダシュート12が最初の２つのゼ
ロ点Ａ、Ｂの間に構成され、中央パルスが第２、第３の
ゼロ点Ｂ、Ｃの間に構成され、立下りアンダシュートが
第３、第４のゼロ点Ｃ、Ｄ間に構成されていると言え
る。さらに、相対的なサイズで言えば、波形Ｔを第１の
ゼロ点から第４のゼロ点まで500ナノ秒パルスとして測
定した場合、中央パルスの持続時間について第２のゼロ
点から第３のゼロ点まで約250ナノ秒の持続時間を持つ
ことになる。
しかしながら、実際には、多くのデータ・ビットは記録
媒体に密集バックすることを求められる。それ故、高い
信号対雑音比を求める要望から、ヘッドによって読み取
られつつあるトランジションの隣接した中央パルス部分
に衝突するオーバラップしている立上り、立下りアンダ
シュートからの干渉を低減する必要性に目が向けられて
いる。アンダシュート12、14が先行の、あるいは、後続
のパルスの中央部分10とオーバラップする場合、振幅変
化およびピーク値偏移が注目されることになる。このよ
うな振幅変化は先行の、あるいは、後続のパルス・アン
ダシュートからの過剰衝突情報による中央部分の部分的
な強調、取消しから生じる可能性があり、ピーク値偏移
は中央部分のピーク値を波形の中央の理想的な位置から
時間の経過につれて偏移させる。
第2a図を参照して、ここには典型的な磁気記録ヘッド19
が磁気記録媒体のそばを通り過ぎるものとして示してあ
る。しかしながら、ここで、ヘッド19の、トラック中心
線から半分の部分のみが示してあることに注意された
い。このヘッドは２つの矩形の磁極片P1、P2からなり、
これらの磁極片は間にギャップｇを構成している。さら
に、第2a図において、磁界輪郭はヘッド19、磁極片P1、
P2およびギャップｇについて描いてある。こうして第2a
図でわかるように、磁極片P1の前縁水平壁面21まわりに
＋６の輪郭が長手方向に定められている。この実施例で
は、最高磁界強度（Bmax）がこの第１の輪郭内のある点
において＋22のレベルで示してある。次に、磁極P1の一
部および磁極P2の一部を囲み、ギャップｇについてほぼ
中心に位置し、−６の磁束密度を有する第２の輪郭が構
成されることがわかる。この−６輪郭内で、内部に−42
輪郭を構成された−18輪郭が構成され、これらの輪郭は
すべてギャップｇをほぼ中心としている。
ギャップそれ自体のところでの最大磁束密度は−150に
等しいものとして示してある。＋６の磁束密度を有する
磁極片P2の上壁面23を部分的に含みかつそこから突出す
る付加的な輪郭が示してあり、この輪郭内の或る位置が
＋17の最大磁束密度を有するものとして示してある。も
ちろん、ここで、図示した輪郭内およびこれら輪郭間に
いくつもの勾配があることは了解されたい。たとえば、
磁極片P2の壁面27に隣接して位置した薄い領域25におけ
る磁束密度は−42単位と−150単位の間にある。同様
に、＋６輪郭リング内の磁極片P2の上壁面23は＋６〜＋
17の範囲内のいずれかの磁束密度を持つことになる。
ここで、磁気記録媒体が第2a図に矢印で示す方向におい
て磁極片とギャップの脇をP1からｇ、そしてP2へ通過す
ることは了解されたい。この理由のために、記録中に磁
極片P1が媒体に与える影響はギャップのところの磁束と
磁極片P2の隣接領域のところの磁束によって無効にされ
る。記録ヘッド19の作用で媒体に生じる記録データのト
ラック幅はフリンジングを除いてほぼギャップのところ
での記録ヘッドの幅Wgとなる。
しかしながら、読み取りサイクルにおいて、磁極片P1の
前縁および磁極片P2の後縁のところの磁界は共に記録媒
体から得られた波形に影響を与えることになる。事実、
長手方向に先行する磁極片P1は立上りアンダシュート12
の主要成分を生じさせ、磁極片P2の長手方向に追従する
上壁面23は波形Ｔに立下りアンダシュート14の有意部分
を与えることになる。
当業者には明らかなように、第2a図は矩形磁極について
の長手方向磁界の輪郭のみを描いている。磁気記録ヘッ
ド19の横方向磁界についての輪郭も描くことはできる
が、説明を簡潔にするために省略した。それでも、これ
ら横方向の磁界もアンダシュートに影響を与えることは
了解されたい。事実、横方向信号は波形Ｔの中心につい
てシヌソイドであると考えることができ、立上りアンダ
シュート12にとっては加数であってそれに加わり、立下
りアンダシュート14にとっては減数であってそれを減ず
ることになる。
記録媒体の１つの特性はその保磁性である。これは或る
磁気状態を別の磁気状態に磁気媒体を変えるのに必要な
磁界の量である。たとえば、第2a図のヘッド19と一緒に
用いられる記録媒体の保磁性が50の値（第2a図で用いた
と同じ任意の単位）に設定された場合、媒体がギャップ
ｇに近づくにつれて、媒体は保磁性値に等しく、次いで
それよりも大きくなる磁界にさらされることになる。そ
の結果、媒体で状態変化が行われることになる。媒体が
ギャップ領域を通って矢印の方向へ移動し続けるにつれ
て、それ以上の磁界領域（50単位より低い）は今記録さ
れたばかりの状態を変えるには不充分なものとなる。
磁極片の磁界の作用に関連して記録機能を以下に第2b図
を参照しながら一層詳しく説明するが、この図は台形の
記録ヘッド29の磁極片P1、P2からの長手方向磁界分布を
記録媒体から見た図である。ここで再び、台形記録ヘッ
ドの中心線から右側の半分のみが示してあることは了解
されたい。また、輪郭線は長手方向の磁界のみを示して
いる。さらに、記録ヘッドの書き込み作用中に生じた記
録媒体上のトラックの半分が中心線とそれに平行な線の
間に延びる両端矢印で示してある。この矢印は、さら
に、フリンジングについてのものを除いて、ギャップｇ
の幅Wgでトラック幅が本質的に定められることを示して
いる。
記録媒体の一特性は、書き込みモードにおける記録ヘッ
ドの磁界の特性が磁気記憶媒体における材料の対応する
磁気整合を生じさせることになるということにある。相
反の原理により、この記録された情報は読み出しモード
中に記録ヘッドに類似の応答を生じさせる傾向がある。
それ故、他のすべての事項は同等であり、10ミクロン幅
のギャップのところに長手方向磁束パターンを有するヘ
ッドは媒体上に10ミクロン幅のトラックを生じさせるこ
とになる。ただし、ギャップのフリンジのところに位置
する可能性のある横方向磁界成分はトランジション幅を
広げる可能性がある。その結果、記録されたトラックに
おける磁化はトラックの中心におけるほぼ長手方向から
ヘッド中心のところのほぼ長手方向の磁界、そして、ヘ
ッドの側部のところでほぼ横方向の磁界に対応するトラ
ック縁でほぼ横方向に外方へ徐々に変換するように見え
るかも知れない。
こうして、磁気ヘッド29の長手方向磁界が媒体の磁化を
その同じ長手方向に向けさせることになることは了解さ
れたい。それ故、磁気媒体が第2b図に矢印で示す長手方
向に移動する場合、そして、媒体になんら横方向の磁界
が与えられない場合、そのときには、磁化はほぼ長手軸
線に沿った向きにされることになる。しかしながら、横
方向磁界と微弱な長手方向磁界がある場合、磁荷は長手
軸線に対して横方向に向けられることになる。
第2c図を参照して、ここには磁気媒体の記録済みトラッ
クが概略的に示してあり、ここに示すトランジション41
は多数の磁荷からなる。これらの磁荷の向きは長い矢印
で示すようにそこに衝突した磁界の長手方向あるいは横
方向の特性に基く。第１の磁荷部分は長手方向に整合し
ていてかなり強い長手方向磁界を示し、横方向成分の磁
荷に対する影響は最小である。しかしながら、磁荷がト
ラックの外側部（横方向磁界が最強となるヘッドの外縁
に相当する）に接近し始めるにつれて、磁荷は徐々に横
方向の向きを採り始める（長手方向の磁界の影響が減
じ、横方向の磁界の影響が増大することを示す）。さら
に、ここで、第2a図あるいは第2b図に示すヘッドの半分
部分によって記録されたとすれば、トランジション41が
トラックの半分を表わしていることは了解されたい。
トランジション41を読み出している際に記録ヘッド29の
発生する振幅は、本質的には、トラック上の磁化パター
ンとそれが作用するヘッドの磁界に対する位置とによっ
て決定されることになる。さらに、一般には、長手方向
の磁界はほぼ横方向に向いた媒体内の磁化パターンと巻
き合うことはない。同様に、横方向磁界はトランジショ
ン内のほぼ長手方向に向いた磁化パターンと巻き合うこ
とがない。
第2a図を参照してわかるように、記録済みのトランジシ
ョンが記録ヘッド19に接近し始めた場合、媒体の磁化は
まず磁極P1の前縁21のところで磁界と反応し、立上りア
ンダシュート12を生じさせることになる。トランジショ
ンがギャップによって読み取られたとき、中央パルス10
が発生する。トランジションが磁極P2の後縁23のところ
で読み出されたとき、立下りアンダシュート14が読み出
される。それ故、これら３つの領域は磁気ヘッドの読み
出し作用中の領域であり、磁極片P1、P2の内部が低い磁
界となる。ただし、側壁部に沿った横方向磁界は高い。
ここで、トランジションの磁荷パターンは、書き込みサ
イクルの間、25における磁極P2の長手方向、横方向磁界
に従って整合されていたことを思い出していただきた
い。それ故、書き込み時、長手方向、横方向の成分（領
域25における磁界の特性）はヘッドによって読み出され
るときのアンダシュート12、14を決定し得る。たとえ
ば、第１図でわかるように、アンダシュート12は100単
位のピークを持ち、第2a図の形態の場合には80単位の長
手方向成分と20単位の横方向成分を持ち得る。アンダシ
ュート14のピークは60単位であり、第2a図の形態の場合
には80単位の長手方向成分と、−20単位の横方向成分と
を包含する。それ故、横方向成分が非対称的であり、立
上りアンダシュートには加入し、立下りアンダシュート
は減じることになることがわかる。
また、第2a図におけるように、矩形の磁極形態がフリン
ジ域に大きな横方向磁界を生じさせ、磁極の外縁のとこ
ろにも大きな横方向磁界を生じさせることは了解された
い。
次に第2b図を参照して、ここでわかるように、ヘッド29
の台形形状は磁極片P2の短くなった外壁面33と磁極片P1
の長くなった壁面31とを包含する。それでも、磁極片P2
の壁面37のところで測ったギャップの幅はWgに等しいま
まであり、これはトラックの幅でもある。
しかしながら、第2b図の構成によれば、磁極P1の、その
壁面31のところの幅の広い方の外縁は横方向（中心線か
ら離れる方向）に横方向磁界を発生する。したがって、
ギャップ付近で磁極P2において記録されたトランジショ
ンに横方向成分が存在する場合と、読み出し中に磁極P1
の外縁に向かって横方向磁界が突出する場合との間には
ずれが生じる。それ故、横方向磁界がさらに外方に突出
すると、このずれは現在磁極P1のところでほぼ長手方向
の磁界によって読み出されていない横方向磁化から立上
りアンダシュートへの貢献度の大部分を減らす。その結
果、立上りアンダシュート波形は幅が狭くなり、おそら
くは80単位まで減じ、20単位の横方向磁界貢献度を失う
ことになる。同様に、＋22から＋13まで減じた最大長手
方向磁界は磁極P1のところで読み出される長手方向成分
の値がより低くなり、たとえば、80単位でなくて60単位
となる。それ故、立上りアンダシュート12はこの配置で
は100単位から60単位まで減じることになる。さらに、
幅が狭くなったアンダシュートはより少ない高周波成分
を含み、中央パルス10と干渉し、検出ウィンドウ内の中
央パルス・ピークの位置を偏移させるようなピーク値偏
移を少なくする。
第2b図における磁極P2の台形部分はその外縁33をギャッ
プの幅に比べて狭くしている。これは負の長手方向磁界
の最大値を第2a図の＋17から第2b図の＋18まで実際に高
める場合には逆効果である。しかしながら、このような
狭い縁幅は読み出し時の磁極P2の活動領域をトランジシ
ョンの長手方向成分の小部分に限定し、したがって、実
質的に読み出し長手方向信号を減らすことになる。さら
に、この新しい台形磁極片P2からの外縁33のところの横
方向磁界は横方向磁化がギャップのところで磁極P2によ
ってトランジションに記録された場合に比べて横方向に
オフセットする。このようなオフセットは横方向記録か
らのリードバック信号を打ち消し、これはアンダシュー
トを増大させるが、P2によって読み出される低下した長
手方向信号での減少分ほど大きくはならない。先に説明
したように、横方向記録からの電圧は実際に立下りアン
ダシュートを減じる。それ故、第2b図のこのデザイン
は、P2の外縁のところの幅がギャップ幅よりかなり狭く
なった場合にのみ立下りアンダシュートの低減を行い、
その結果、長手方向成分が横方向信号を排除したときに
生じる増加量よりも多い量減少する。
次に第３図を参照して、これは本発明の第１の好ましい
実施例の横断面図であり、磁極先端P1、P2がギャップ16
を構成している。壁面18、20、22、24はギャップ16に対
してほぼ90度となっている。しかしながら、磁極P1はさ
らに台形部分26を含んでいる。好ましくは、この台形部
分は30〜70度の範囲にある角度φ1を有する。この実施
例では、アンダシュートのサイズは磁極P1、P2の幅、す
なわち、壁32、34の幅とP1、P2の厚さに依存する。アン
ダシュートのサイズを低レベルに維持するためには、磁
極P1の外縁32の幅はギャップの幅よりも、おそらくは数
ミクロン分だけ、幅が広くなっていなければならない。
次に第４図に目を転じて、ここには本発明の第２の好ま
しい実施例による磁極先端の横断面が示してあり、この
実施例でも、壁面18、20、22、24はギャップ16に対して
ほぼ直角となっている。この実施例では、磁極片P2は台
形部分30を包含しており、磁極片P1は台形部分26を有す
る。ここで再び、アンダシュートのサイズは磁極P1の外
縁32および磁極P2の外縁34の幅に依存する。アンダシュ
ートのサイズを小さく保つためには、外縁32のところの
磁極P1の幅W0 1がギャップのところの幅Wgよりも数ミク
ロン広くなければならない。磁極P2の外縁34の幅W
0 2は、少なくとも、幅Wgよりも数ミクロン狭くなってい
なければならない。角度φ1、φ2は、好ましくは、30〜
70度の範囲内にある。さらに、P1、P2はできるだけ厚く
なければならない。その場合、磁極P1の高さ（厚さ）T1
と磁極P2の高さT2はそれぞれ約３ミクロン以上でなけれ
ばならない。
第３、４図の形態では、磁界を減らし、上述した要領で
本発明で減じようとしているアンダシュートを生じさせ
るような磁界領域の幅を減らす。これらの構成は、書き
込み時に横方向磁界がアンダシュートの読み取り時のヘ
ッドの横方向磁界に対してオフセットするので、ヘッド
の横方向磁界による媒体内の横方向磁化の読み出しを防
ぐ。これはヘッドの信号対雑音比を高くすることにな
る。さらに、各磁極片の、ギャップ領域のところの矩形
形態はトラック・トリミング法によって現在作られてい
る非矩形ヘッドに比べてギャップのところで書き込み、
読み出しフリンジングを約0.25ミクロン低下させる。フ
リンジングのこの低下により、所与のトラック・ピッチ
に対して磁極の幅をより広くすることができ、したがっ
て、ヘッドの信号強度をさらに高めることができる。
ここで再び、薄膜ヘッドを作る方法の一部としてのイオ
ン・ミリングについて説明すると、本発明が記録ヘッド
製造プロセスのトラック・トリミング段階で最も容易に
行われるということは了解されたい。特に、磁極P2は磁
極P1の頂部に形成されており、それらの間に絶縁ギャッ
プが形成されている。両磁極は所望の最終磁極幅よりも
かなり幅が広くなるようにメッキされる。この場合、厚
いレジストが磁極P2の先端とヨークの残部の上にマスク
によってパターン化される。このパターンの幅は最終的
なギャップ幅を決定することになる。イオン・ミリング
によって、２つの磁極の幅に沿った余分な磁性材料が除
去される。レジスト・パターンが次に磁極P2の頂面から
剥ぎ取られ、その結果、第2b図の実施例において示唆し
たように、この磁極先端の横断面がほぼ台形となる。
しかしながら、イオン・ミリングが磁極P1の余分な幅全
体を通して行われない場合には、磁極片P1にもほぼ台形
の部分26が形成されることになる。これは第３、４図に
おいて磁極片P1について示したと同じ形状、配置であ
る。レジスト・パターンが幅を狭くしたマスクを用いて
磁極P2に形成され、次いで、イオン・ミリング段階を行
って第４図において磁極片P2について示した台形を実現
する。
本発明には他の実施例もある。たとえば、磁極先端を矩
形、台形の領域を有するものとして説明してきたが、任
意の形状の大小の領域を持つように磁極先端を形成して
もよいし、イオン・ミリング法を用いずに作ることもで
きる。このような変更を行ってもその機能は上述した実
施例と同様である。
これらおよび他の実施例は本発明の精神、範囲内にあ
り、すべての修正、変更が特許請求の範囲内に含まれる
と考える。
【図面の簡単な説明】
第１図は薄膜磁気記録ヘッドで生成した単一のトランジ
ションからの代表的な波形を示すグラフである。 第2a図は矩形磁極を有する磁気記録ヘッドからの長手方
向磁界分布の半分を示す横断面図である。 第2b図は台形磁極を有する磁気記録ヘッドからの長手方
向磁界分布の半分を示す横断面図である。 第2c図は単一のトランジションを記録した記録媒体の中
央図である。 第３図は本発明による磁気記録ヘッドの磁極先端の横断
面図である。 第４図は本発明による磁気記録ヘッドの磁極先端の横断
面図である。 図面において、10…中央パルス、12…立上りアンダシュ
ート、14…立下りアンダシュート、16…ギャップ、19…
磁気記録ヘッド、18、20、22、24…壁面、21…水平前
壁、23…上壁、25…薄い領域、27…壁面、29…磁気記録
ヘッド、31、34…壁、32…外壁、33…外側壁、37…壁、
P1、P2…磁極片、41…トランジション

Claims (24)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】少なくとも２つの磁極片を有する薄膜磁気
    記録ヘッドであって、各磁極片は、エアベアリング面に
    対して実質的に平行に動作し且つ前記磁極片の中の第１
    の磁極片から前記磁極片の中の第２の磁極片へ向かう方
    向で通過するような磁気媒体と協働するようにして、エ
    アベアリング面を形成する平面において磁極先端で終極
    しており、前記磁極先端は、これらの磁極先端の間で横
    方向に、且つ前記磁極片の中の第１の磁極片から前記磁
    極片の中の第２の磁極片へ向かう方向に対して実質的に
    横方向に、幅方向で延長されているような、ギャップ層
    によって分離されており、前記磁極先端は各々一対の側
    壁を有している、薄膜磁気記録ヘッドにおいて、 前記薄膜磁気記録ヘッドは、前記エアベアリング面の平
    面で前記第１の磁極片の前記磁極先端の側壁によって形
    成された第１の領域と、前記エアベアリング面の平面で
    前記第１の磁極片の前記磁極先端の側壁によって形成さ
    れた横方向により幅の狭い第２の領域と、を包含してお
    り、前記第２の領域は前記ギャップ層に隣接しており、
    前記第１の領域の各側壁は互いに実質的に平行ではなく
    また前記第２の領域の各側壁と同一直線上には存在して
    おらず、前記第２の磁極片の前記磁極先端は前記ギャッ
    プ層に隣接する前記第２の磁極先端の横方向の幅よりは
    大きくない最大の横方向幅を有していることを特徴とす
    る薄膜磁気記録ヘッド。
  2. 【請求項２】請求項第１項記載のヘッドにおいて、前記
    エアベアリング面の平面の前記第２の磁極先端の面積は
    前記第１の磁極先端の面積よりも小さいヘッド。
  3. 【請求項３】請求項１記載のヘッドにおいて、前記エア
    ベアリング面の平面の前記第２の磁極先端の面積は第３
    および第４の領域を含み、前記第３の領域は前記ギャッ
    プ層に隣接しており、前記第３の領域の面積は前記第４
    の領域の面積より大きいヘッド。
  4. 【請求項４】請求項３項記載のヘッドにおいて、前記第
    ３の領域は矩形であり、前記第４の領域は２つの並行な
    側と２つの並行ではない側を有する四辺形を備えている
    ようなヘッド。
  5. 【請求項５】請求項３記載のヘッドにおいて、前記第１
    の領域の並行でない側壁は前記ギャップ層に対して30〜
    70度の角度であるヘッド。
  6. 【請求項６】請求項１記載のヘッドにおいて、前記第１
    の領域の前記並行でない側壁は前記ギャップ層に対して
    30〜70度の角度であるヘッド。
  7. 【請求項７】請求項１記載のヘッドにおいて、前記第１
    の領域は、２つの並行な側と２つの並行ではない側を有
    する四辺形を備えるヘッド。
  8. 【請求項８】請求項７記載のヘッドにおいて、前記第２
    の領域は矩形であるヘッド。
  9. 【請求項９】請求項７記載のヘッドにおいて、前記第２
    の磁極先端は矩形であるヘッド。
  10. 【請求項１０】請求項１記載のヘッドにおいて、前記第
    １の磁極先端は前記ギャップ層の幅よりも幅広い前縁を
    有するヘッド。
  11. 【請求項１１】請求項10記載のヘッドにおいて、前記第
    ２の磁極先端は前記ギャップ層の幅よりも狭い後縁を有
    するヘッド。
  12. 【請求項１２】請求項11記載のヘッドにおいて、前記第
    ２の磁極先端の後縁の幅は前記ギャップ層の幅より数ミ
    クロン分だけ狭いヘッド。
  13. 【請求項１３】請求項10記載のヘッドにおいて、前記第
    １の磁極先端の前縁の幅は前記ギャップ層の幅より数ミ
    クロン分だけ広いヘッド。
  14. 【請求項１４】請求項13記載のヘッドにおいて、前記第
    ２の磁極先端の後縁の幅は前記ギャップ層の幅より数ミ
    クロン分だけ狭いヘッド。
  15. 【請求項１５】請求項１記載のヘッドにおいて、前記第
    ２の磁極先端は前記ギャップ層の幅より狭い後縁を有す
    るヘッド。
  16. 【請求項１６】請求項１記載のヘッドにおいて、前記ヘ
    ッドの長手方向軸に沿って測定された各磁極先端の厚み
    は約３ミクロンであるヘッド。
  17. 【請求項１７】請求項１記載のヘッドにおいて、前記第
    ２の磁極先端は第３の領域と第４の領域を備え、前記第
    ３の領域は前記ギャップ層に隣接しており、前記第４の
    領域の側壁は前記ヘッドの横方向軸に対して約30〜70度
    で傾斜されているヘッド。
  18. 【請求項１８】少なくとも２つの磁極片を有する薄膜磁
    気記録ヘッドであって、各磁極片は、エアベアリング面
    に対して実質的に平行に動作し且つ前記磁極片の中の第
    １の磁極片から前記磁極片の中の第２の磁極片へ向かう
    方向で通過するような磁気媒体と協働するようにして、
    エアベアリング面を形成する平面において磁極先端で終
    極しており、前記磁極先端は、これらの磁極先端の間で
    横方向に、且つ前記磁極片の中の第１の磁極片から前記
    磁極片の中の第２の磁極片へ向かう方向に対して実質的
    に横方向に、幅方向で延長されているような、ギャップ
    層によって分離されており、前記磁極先端は各々一対の
    側壁を有している、薄膜磁気記録ヘッドにおいて、 前記薄膜磁気記録ヘッドは、前記エアベアリング面の平
    面で前記第１の磁極片の前記磁極先端の側壁によって形
    成された第１の領域と、前記エアベアリング面の平面で
    前記第１の磁極片の前記磁極先端の側壁によって形成さ
    れた横方向により幅の狭い第２の領域と、を包含してお
    り、前記第２の領域は前記ギャップ層に隣接しており、
    前記第２の領域の各側壁は互いに実質的に平行でありま
    た前記第１の領域の各側壁と同一直線上には存在してお
    らず、前記第２の磁極片の前記磁極先端は前記ギャップ
    層に隣接する前記第２の磁極先端の横方向の幅よりは大
    きくない最大の横方向幅を有していることを特徴とする
    薄膜磁気記録ヘッド。
  19. 【請求項１９】薄膜ヘッドの製造方法において、加工片
    は、前記薄膜ヘッドの第１の磁極片から薄膜ヘッドの第
    ２の磁極片へ向かう方向で通過する磁気媒体と協働する
    ようにして少なくとも１つの薄膜フィルムヘッドをその
    上に有しているようなウェハを備えており、前記第１の
    磁極片は、その横断面において第２の磁極片の横断面よ
    りもわずかに大きな幅を有し、前記第１および第２の磁
    極片は、絶縁材料のギャップによって分離されており、
    前記第１および第２の磁極片は、横断面においてギャッ
    プに実質的に垂直である側壁を有し、前記製造方法が、 ａ）トリミングを開始して前記第２の磁極片の側壁を前
    記ギャップに対して実質的に直角であるよう形成して前
    記第２の磁極片が前記ギャップ層に隣接する前記第２の
    磁極片の横方向の幅より大きくない最大の横方向幅を有
    するようにする段階と、 ｂ）その側壁が各々前記ギャップ付近で該ギャップにほ
    ぼ直角となるように前記第１の磁極片の一部をトリミン
    グして、このトリミングされた部分よりも幅の広い前記
    第１の磁極片のトリミング無しの部分を前記ギャップか
    ら離間する段階と、を備えることを特徴とする方法。
  20. 【請求項２０】請求項19記載の方法において、更に、
    ｃ）前記第１の磁極片のトリミング無しの部分をそれぞ
    れの角度でトリミングして、傾斜壁を有し且つ外部に向
    かって幅が狭くなるような横断面を形成する付加的な段
    階を備える方法。
  21. 【請求項２１】請求項20記載の方法において、外部に向
    かって幅が狭くなる横断面によって形成される前記それ
    ぞれの角度がほぼ30〜70度である方法。
  22. 【請求項２２】請求項20記載の方法において、更に、
    ｄ）前記第２の磁極片のエッジに近いが前記ギャップに
    は近くない前記第２の磁極片の前記壁をトリミングし
    て、傾斜壁を有し且つ内部に向かって狭くなるような横
    断面を形成する付加的な段階を備える方法。
  23. 【請求項２３】請求項20記載の方法において、前記内部
    に向かって狭くなる部分の前記傾斜壁の各々を約30〜70
    度で傾斜させる方法。
  24. 【請求項２４】請求項19記載の方法において、ａ）更
    に、前記第２の磁極片のトリミングした部分よりも幅の
    狭いトリミング無しの部分を残し、前記第２の磁極片の
    トリミング無しの部分をそれぞれの角度でトリミングし
    て傾斜壁を有し且つ内部に向かって狭くなるような横断
    面を作り出す方法。
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