JPH08287414A - 薄膜ヘッド - Google Patents
薄膜ヘッドInfo
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- JPH08287414A JPH08287414A JP10792195A JP10792195A JPH08287414A JP H08287414 A JPH08287414 A JP H08287414A JP 10792195 A JP10792195 A JP 10792195A JP 10792195 A JP10792195 A JP 10792195A JP H08287414 A JPH08287414 A JP H08287414A
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- JP
- Japan
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- thin film
- recording medium
- pole
- upper pole
- film head
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 薄膜ヘッドに生じるサイドフリンジングを抑
制し、記録パターンのトラックエッジに歪みが生じるこ
とを防止する。 【構成】 下ポール１と上ポール５との対向ギャップ２
間に磁界を発生させて記録媒体に対して磁気記録を行う
ための薄膜ヘッドにおいて、微細幅に形成された上ポー
ル５の記録媒体対向面側トラック幅方向の両端部５ａが
記録媒体対向面から緩やかに後退する曲面或いはテーパ
面として構成する。両端部５ａにエッジが形成されるこ
とがなくなり、磁界の集中が抑えられ、両端部５ａから
の洩れ磁界が低減され、サイドフリンジング効果が抑制
され、記録パターンにおける歪みやテイルの発生が防止
される。
制し、記録パターンのトラックエッジに歪みが生じるこ
とを防止する。 【構成】 下ポール１と上ポール５との対向ギャップ２
間に磁界を発生させて記録媒体に対して磁気記録を行う
ための薄膜ヘッドにおいて、微細幅に形成された上ポー
ル５の記録媒体対向面側トラック幅方向の両端部５ａが
記録媒体対向面から緩やかに後退する曲面或いはテーパ
面として構成する。両端部５ａにエッジが形成されるこ
とがなくなり、磁界の集中が抑えられ、両端部５ａから
の洩れ磁界が低減され、サイドフリンジング効果が抑制
され、記録パターンにおける歪みやテイルの発生が防止
される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置に用い
られる磁気ヘッドに関し、特に薄膜ヘッドに関する。
られる磁気ヘッドに関し、特に薄膜ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】薄膜ヘッドは、蒸着、スパッタリング、
メッキ等の成膜技術とフォトリソグラフィによるパター
ン技術とを組み合わせて、磁極である上下の各ポール
と、これらのポールを磁化させるコイルを形成する磁気
ヘッドである。このヘッドは高保磁力媒体に対して十分
な記録能力を有しており、バルクヘッド等に比べて精度
良くトラック幅が決定できるという利点を有しているた
め、高記録密度化に適した磁気ヘッドであると言える。
メッキ等の成膜技術とフォトリソグラフィによるパター
ン技術とを組み合わせて、磁極である上下の各ポール
と、これらのポールを磁化させるコイルを形成する磁気
ヘッドである。このヘッドは高保磁力媒体に対して十分
な記録能力を有しており、バルクヘッド等に比べて精度
良くトラック幅が決定できるという利点を有しているた
め、高記録密度化に適した磁気ヘッドであると言える。
【０００３】図７は薄膜ヘッドの一例を示す一部の斜視
図であり、下ポール１はパーマロイで、上ポール５はＮ
ｉＦｅでそれぞれ薄膜に形成され、両ポール間にＡｌ2
Ｏ3膜からなるポール間ギャップ２が設けられる。この
上ポール５の記録媒体に対向する面は微細幅に形成さ
れ、この微細幅がトラック幅となる。そして、図外のコ
イルにより両ポールの対向ギャップ間に磁界を発生さ
せ、記録媒体への磁気記録や再生を行うものである。
図であり、下ポール１はパーマロイで、上ポール５はＮ
ｉＦｅでそれぞれ薄膜に形成され、両ポール間にＡｌ2
Ｏ3膜からなるポール間ギャップ２が設けられる。この
上ポール５の記録媒体に対向する面は微細幅に形成さ
れ、この微細幅がトラック幅となる。そして、図外のコ
イルにより両ポールの対向ギャップ間に磁界を発生さ
せ、記録媒体への磁気記録や再生を行うものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述した従来の薄膜ヘ
ッドは、上ポールの記録媒体に対向する面のトラック幅
方向の両端部が、この記録媒体対向面から垂直方向に後
退された構造とされている。このため、図４（ｂ）にモ
デル的な磁界計算を行った記録動作時における記録媒体
面上での記録磁界の分布を示すように、この両端部にお
いて垂直なエッジが形成され、記録動作時にこのエッジ
部で記録磁界が集中的に増加される。磁界が強い部分か
らは漏れる磁界も大きいため、この両端部ではサイドフ
リンジング効果が発生し、記録パターンのトラックエッ
ジが同効果によって歪められる。
ッドは、上ポールの記録媒体に対向する面のトラック幅
方向の両端部が、この記録媒体対向面から垂直方向に後
退された構造とされている。このため、図４（ｂ）にモ
デル的な磁界計算を行った記録動作時における記録媒体
面上での記録磁界の分布を示すように、この両端部にお
いて垂直なエッジが形成され、記録動作時にこのエッジ
部で記録磁界が集中的に増加される。磁界が強い部分か
らは漏れる磁界も大きいため、この両端部ではサイドフ
リンジング効果が発生し、記録パターンのトラックエッ
ジが同効果によって歪められる。
【０００５】図５（ｂ）は前記した従来の薄膜ヘッドを
用いて磁性媒体に記録を行ったときの記録パターンを示
す図である。これから判るように、従来の薄膜ヘッドで
は、記録動作時にサイドフリンジング効果によって記録
パターンのトラックエッジに歪みが生じ、かつトラック
エッジにおいて長手方向にテイルが伸びたような形状を
している。したがって、この歪みによって情報を高品質
に記録し、かつ再生することが難しくなるという問題が
生じることになる。
用いて磁性媒体に記録を行ったときの記録パターンを示
す図である。これから判るように、従来の薄膜ヘッドで
は、記録動作時にサイドフリンジング効果によって記録
パターンのトラックエッジに歪みが生じ、かつトラック
エッジにおいて長手方向にテイルが伸びたような形状を
している。したがって、この歪みによって情報を高品質
に記録し、かつ再生することが難しくなるという問題が
生じることになる。
【０００６】
【発明の目的】本発明の目的はこのようなサイドフリン
ジングを抑制して、記録パターンのトラックエッジに歪
みが生じることを防止した薄膜ヘッドを提供することに
ある。
ジングを抑制して、記録パターンのトラックエッジに歪
みが生じることを防止した薄膜ヘッドを提供することに
ある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の薄膜ヘッドは、
下ポールと上ポールとの対向ギャップ間に磁界を発生さ
せて記録媒体に対して磁気記録を行うための薄膜ヘッド
において、下ポールに対して微細幅に形成された上ポー
ルの記録媒体対向面側トラック幅方向端部が記録媒体対
向面から緩やかに後退する構成とする。
下ポールと上ポールとの対向ギャップ間に磁界を発生さ
せて記録媒体に対して磁気記録を行うための薄膜ヘッド
において、下ポールに対して微細幅に形成された上ポー
ルの記録媒体対向面側トラック幅方向端部が記録媒体対
向面から緩やかに後退する構成とする。
【０００８】例えば、上ポールの記録媒体対向面側トラ
ック幅方向端部が、対抗面から両側面にわたって曲面状
に形成される。あるいは上ポールの記録媒体対向面側ト
ラック幅方向端部がテーパ面として形成され、かつ記録
媒体対向面とのなす角が鈍角として形成される。
ック幅方向端部が、対抗面から両側面にわたって曲面状
に形成される。あるいは上ポールの記録媒体対向面側ト
ラック幅方向端部がテーパ面として形成され、かつ記録
媒体対向面とのなす角が鈍角として形成される。
【０００９】
【作用】上ポールの記録媒体対向面のトラック幅方向の
両端部を曲面或いはテーパ面とすることで、この部分に
エッジが形成されることがなく、磁界の集中が抑えられ
る。これにより、両端部からの洩れ磁界が低減され、サ
イドフリンジング効果が抑制され、記録パターンにおけ
る歪みやテイルの発生が防止される。
両端部を曲面或いはテーパ面とすることで、この部分に
エッジが形成されることがなく、磁界の集中が抑えられ
る。これにより、両端部からの洩れ磁界が低減され、サ
イドフリンジング効果が抑制され、記録パターンにおけ
る歪みやテイルの発生が防止される。
【００１０】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図１（ａ），（ｂ）は本発明の一実施例の全体構成
を示す一部を破断した側面図と中央部の断面図である。
まず、図示を省略した薄い下地膜を形成し、その上にマ
スクを用いたフレームメッキにより厚さ３．０μｍのパ
ーマロイで下ポール１を成膜する。その後、下ポール１
のケミカルエッチングを行う。次いで、その上にスパッ
タ法により膜厚０．５９μｍのＡｌ2 Ｏ3 膜でポール間
ギャップ層２を形成する。このポール間ギャップ層２の
上部にはスパッタ法によりコイル下地を薄く形成した
後、その上に厚さ３μｍのレジストをコイル状にパター
ン形成し、これをマスクにしてＣｕのメッキを行い、コ
イル３を形成する。その後、前記レジストを除去し、か
つケミカルエッチングを行い前記コイル下地を除去す
る。
る。図１（ａ），（ｂ）は本発明の一実施例の全体構成
を示す一部を破断した側面図と中央部の断面図である。
まず、図示を省略した薄い下地膜を形成し、その上にマ
スクを用いたフレームメッキにより厚さ３．０μｍのパ
ーマロイで下ポール１を成膜する。その後、下ポール１
のケミカルエッチングを行う。次いで、その上にスパッ
タ法により膜厚０．５９μｍのＡｌ2 Ｏ3 膜でポール間
ギャップ層２を形成する。このポール間ギャップ層２の
上部にはスパッタ法によりコイル下地を薄く形成した
後、その上に厚さ３μｍのレジストをコイル状にパター
ン形成し、これをマスクにしてＣｕのメッキを行い、コ
イル３を形成する。その後、前記レジストを除去し、か
つケミカルエッチングを行い前記コイル下地を除去す
る。
【００１１】次いで、コイル３の上に再度２μｍのＡｌ
2 Ｏ3 で絶縁膜４を形成する。このとき、ヘッドに相当
する箇所には形成しない。そして、レジストを利用した
イオンミリング法により前記絶縁膜４に前記下ポール１
に達するまでの開口４ａを開設する。しかる上で、上ポ
ールの下地膜（図示せず）をスパッタ法により成膜し、
続いてマスクを用いたフレームメッキ法により、膜厚
４．０μｍのＮｉＦｅを用いて上ポール５を形成する。
このとき、前記開口４ａにも上ポール５の一部が充填さ
れて上下の各ポールを電気的に接続するポール接合部６
が形成される。これにより、図２に上下の各ポールのみ
を図示するように、ヘッドに相当する箇所では上ポール
５と下ポール１とは前記ポール間ギャップ層２の膜厚に
相当する微細寸法で開口される薄膜ヘッドが構成される
ことになる。
2 Ｏ3 で絶縁膜４を形成する。このとき、ヘッドに相当
する箇所には形成しない。そして、レジストを利用した
イオンミリング法により前記絶縁膜４に前記下ポール１
に達するまでの開口４ａを開設する。しかる上で、上ポ
ールの下地膜（図示せず）をスパッタ法により成膜し、
続いてマスクを用いたフレームメッキ法により、膜厚
４．０μｍのＮｉＦｅを用いて上ポール５を形成する。
このとき、前記開口４ａにも上ポール５の一部が充填さ
れて上下の各ポールを電気的に接続するポール接合部６
が形成される。これにより、図２に上下の各ポールのみ
を図示するように、ヘッドに相当する箇所では上ポール
５と下ポール１とは前記ポール間ギャップ層２の膜厚に
相当する微細寸法で開口される薄膜ヘッドが構成される
ことになる。
【００１２】そして、前記した上ポール５をメッキ法に
より形成する際には、そのマスクは上ポール５の記録媒
体対向面側の両端部において、対向面から緩やかに後退
するように、比較的に曲率半径が大きな曲面形状に形成
する。これにより、形成される上ポール５のヘッド部の
形状は、図３に拡大した斜視図で示すように、マスク形
状にならって記録媒体に対向する側の面からその両側の
側面にわたる部分５ａが緩やかな曲率の曲面として形成
されることになる。
より形成する際には、そのマスクは上ポール５の記録媒
体対向面側の両端部において、対向面から緩やかに後退
するように、比較的に曲率半径が大きな曲面形状に形成
する。これにより、形成される上ポール５のヘッド部の
形状は、図３に拡大した斜視図で示すように、マスク形
状にならって記録媒体に対向する側の面からその両側の
側面にわたる部分５ａが緩やかな曲率の曲面として形成
されることになる。
【００１３】このように構成された薄膜ヘッドでは、上
ポールの記録媒体対向面の両端部に鋭いエッジが存在し
ていないため、図４（ａ）にモデル的な磁界計算を行っ
た記録動作時における記録磁界の記録媒体面上での分布
を示すように、両端部におけるサイドフリンジング効果
が抑制される。これにより図５（ａ）に記録媒体に記録
した記録パターンを示すように、トラックエッジに歪み
もテイルも存在していないことが判る。
ポールの記録媒体対向面の両端部に鋭いエッジが存在し
ていないため、図４（ａ）にモデル的な磁界計算を行っ
た記録動作時における記録磁界の記録媒体面上での分布
を示すように、両端部におけるサイドフリンジング効果
が抑制される。これにより図５（ａ）に記録媒体に記録
した記録パターンを示すように、トラックエッジに歪み
もテイルも存在していないことが判る。
【００１４】また、この実施例の薄膜ヘッドと図７に示
した従来の薄膜ヘッドとを同一の記録媒体に同一の条件
で記録動作を行い、その後同一の磁気抵抗効果型ヘッド
を用いて再生動作を行い、再生波形の半値幅を測定し
た。この結果、本実施例の薄膜ヘッドでは０．３μｍで
あったのに対し、従来構成のものは０．４μｍであっ
た。これは、従来構成のものは、図５（ｂ）に示したよ
うにヘッド両端部における磁界成分の歪みやテイルの伸
びによって記録信号に歪みが生じて半値幅が大きくされ
ていたが、本実施例では図５（ａ）に示すように、磁界
成分のその歪みやテイルの伸びが存在しないため、記録
信号の歪みが防止され、半値幅を低減することが可能と
されたものと思われる。
した従来の薄膜ヘッドとを同一の記録媒体に同一の条件
で記録動作を行い、その後同一の磁気抵抗効果型ヘッド
を用いて再生動作を行い、再生波形の半値幅を測定し
た。この結果、本実施例の薄膜ヘッドでは０．３μｍで
あったのに対し、従来構成のものは０．４μｍであっ
た。これは、従来構成のものは、図５（ｂ）に示したよ
うにヘッド両端部における磁界成分の歪みやテイルの伸
びによって記録信号に歪みが生じて半値幅が大きくされ
ていたが、本実施例では図５（ａ）に示すように、磁界
成分のその歪みやテイルの伸びが存在しないため、記録
信号の歪みが防止され、半値幅を低減することが可能と
されたものと思われる。
【００１５】図６は本発明の第２実施例の要部の斜視図
である。この実施例では上ポール５のパターニングに用
いるマスク形状により、上ポールの記録媒体対向面のト
ラック幅両端部を記録媒体対向面に対して所要の角度α
で交差するテーパ面５ｂとして形成している。この場
合、この角度αとしては、９０度よりも大きい角度、す
なわち鈍角に形成することが好ましい。この実施例では
１３５度程度に形成している。
である。この実施例では上ポール５のパターニングに用
いるマスク形状により、上ポールの記録媒体対向面のト
ラック幅両端部を記録媒体対向面に対して所要の角度α
で交差するテーパ面５ｂとして形成している。この場
合、この角度αとしては、９０度よりも大きい角度、す
なわち鈍角に形成することが好ましい。この実施例では
１３５度程度に形成している。
【００１６】このように上ポールの記録媒体対向面のト
ラック幅両端部を後退させることで、両端部におけるサ
イドフリンジング効果が抑制できることは前記実施例と
同じである。そして、記録パターンは図４（ａ）に示し
た第１実施例の場合と同様に、トラックエッジには歪み
もテイルも存在していないことが確認された。また、第
１実施例と同様にして測定した半値幅も０．３μｍであ
り、従来の薄膜ヘッドに比較して低減できることが確認
された。
ラック幅両端部を後退させることで、両端部におけるサ
イドフリンジング効果が抑制できることは前記実施例と
同じである。そして、記録パターンは図４（ａ）に示し
た第１実施例の場合と同様に、トラックエッジには歪み
もテイルも存在していないことが確認された。また、第
１実施例と同様にして測定した半値幅も０．３μｍであ
り、従来の薄膜ヘッドに比較して低減できることが確認
された。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、記録媒体
に対して磁気記録を行うための薄膜ヘッドの上ポールの
記録媒体対向面側トラック幅方向端部が記録媒体対向面
から緩やかに後退する構成とすることにより、記録電流
を流したときに発生する磁界が上ポールの記録媒体対向
面のトラック幅方向の両端部に集中することが抑制さ
れ、この両端部からの漏れ磁界を低減し、上ポールによ
る不必要なサイドフリンジング効果が抑制できる。これ
により、記録媒体におけるトラックエッジの歪みや長手
方向にテイルが形成されることが防止でき、記録信号に
おける歪みの発生を有効に防止することができる効果が
ある。
に対して磁気記録を行うための薄膜ヘッドの上ポールの
記録媒体対向面側トラック幅方向端部が記録媒体対向面
から緩やかに後退する構成とすることにより、記録電流
を流したときに発生する磁界が上ポールの記録媒体対向
面のトラック幅方向の両端部に集中することが抑制さ
れ、この両端部からの漏れ磁界を低減し、上ポールによ
る不必要なサイドフリンジング効果が抑制できる。これ
により、記録媒体におけるトラックエッジの歪みや長手
方向にテイルが形成されることが防止でき、記録信号に
おける歪みの発生を有効に防止することができる効果が
ある。
【００１８】特に、本発明では、上ポールの記録媒体対
向面側トラック幅方向端部が、対抗面から両側面にわた
って曲面状に形成され、あるいはテーパ面状に形成さ
れ、さらに好ましくはこのテーパ面は記録媒体対向面と
のなす角が鈍角とされることで、前記した両端部での磁
界の集中を有効に抑制することができる。
向面側トラック幅方向端部が、対抗面から両側面にわた
って曲面状に形成され、あるいはテーパ面状に形成さ
れ、さらに好ましくはこのテーパ面は記録媒体対向面と
のなす角が鈍角とされることで、前記した両端部での磁
界の集中を有効に抑制することができる。
【図１】本発明の薄膜ヘッドの全体構成を示す一部を破
断した平面図とそのＡＡ線断面図である。
断した平面図とそのＡＡ線断面図である。
【図２】本発明の薄膜ヘッドの第１実施例の要部の斜視
図である。
図である。
【図３】要部の拡大斜視図である。
【図４】第１実施例の薄膜ヘッドと図７の従来の薄膜ヘ
ッドにおけるモデル計算を行った磁界領域を説明するた
めの図である。
ッドにおけるモデル計算を行った磁界領域を説明するた
めの図である。
【図５】第１実施例の薄膜ヘッドと図７の従来の薄膜ヘ
ッドによる記録パターンの図である。
ッドによる記録パターンの図である。
【図６】本発明の薄膜ヘッドの第２実施例の要部の拡大
斜視図である。
斜視図である。
【図７】従来の薄膜ヘッドの一部の拡大斜視図である。
【符号の説明】 １ 下ポール ２ ギャップ層 ３ コイル ４ 絶縁膜 ５ 上ポール ５ａ 両端部（曲面） ５ｂ 両端部（テーパ面）
Claims (5)
- 【請求項１】 膜状をした下ポールと、この下ボールに
所定のポール間ギッャプで隔てて対抗配置される膜状を
した上ポールと、前記下ポールと上ポールとの対向ギャ
ップ間に磁界を発生させるためのコイルとを備える薄膜
ヘッドにおいて、前記上ポールの記録媒体対向面側トラ
ック幅方向端部が前記記録媒体対向面から緩やかに後退
することを特徴とする薄膜ヘッド。 - 【請求項２】 前記上ポールの記録媒体対向面側トラッ
ク幅方向端部が、対抗面から両側面にわたって曲面状に
形成されてなる請求項１の薄膜ヘッド。 - 【請求項３】 前記上ポールの記録媒体対向面側トラッ
ク幅方向端部が、テーパ面として形成される請求項１の
薄膜ヘッド。 - 【請求項４】 テーパ面と記録媒体対向面とのなす角が
鈍角である請求項３の薄膜ヘッド。 - 【請求項５】 下ポールと上ポールとのポール間ギャッ
プ内には絶縁材が充填され、この絶縁材を挿通されるポ
ール接合部により下ポールと上ポールとは電気的に接続
され、このポール接合部の周囲には前記絶縁材により担
持されたコイルが配置される請求項１ないし４の薄膜ヘ
ッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10792195A JPH08287414A (ja) | 1995-04-08 | 1995-04-08 | 薄膜ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10792195A JPH08287414A (ja) | 1995-04-08 | 1995-04-08 | 薄膜ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08287414A true JPH08287414A (ja) | 1996-11-01 |
Family
ID=14471431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10792195A Pending JPH08287414A (ja) | 1995-04-08 | 1995-04-08 | 薄膜ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08287414A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6122144A (en) * | 1997-12-22 | 2000-09-19 | International Business Machines Corporation | Contoured pole tip structures for minimizing side track erasure |
| US6768611B2 (en) * | 2000-03-09 | 2004-07-27 | Alps Electric Co., Ltd. | Thin film magnetic head causing appropriately suppressed side fringing and method of manufacturing the same |
| CN100426380C (zh) * | 2005-04-28 | 2008-10-15 | 三星电子株式会社 | 垂直磁记录头 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04353609A (ja) * | 1991-05-30 | 1992-12-08 | Tdk Corp | 磁気ヘッド |
-
1995
- 1995-04-08 JP JP10792195A patent/JPH08287414A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04353609A (ja) * | 1991-05-30 | 1992-12-08 | Tdk Corp | 磁気ヘッド |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US8098456B2 (en) * | 2005-04-28 | 2012-01-17 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Perpendicular magnetic recording head having a tapered main pole |
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