JPH08287414A - 薄膜ヘッド - Google Patents

薄膜ヘッド

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JPH08287414A
JPH08287414A JP10792195A JP10792195A JPH08287414A JP H08287414 A JPH08287414 A JP H08287414A JP 10792195 A JP10792195 A JP 10792195A JP 10792195 A JP10792195 A JP 10792195A JP H08287414 A JPH08287414 A JP H08287414A
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JP
Japan
Prior art keywords
thin film
recording medium
pole
upper pole
film head
Prior art date
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Pending
Application number
JP10792195A
Other languages
English (en)
Inventor
Hirotomo Shiina
宏智 椎名
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 薄膜ヘッドに生じるサイドフリンジングを抑
制し、記録パターンのトラックエッジに歪みが生じるこ
とを防止する。 【構成】 下ポール1と上ポール5との対向ギャップ2
間に磁界を発生させて記録媒体に対して磁気記録を行う
ための薄膜ヘッドにおいて、微細幅に形成された上ポー
ル5の記録媒体対向面側トラック幅方向の両端部5aが
記録媒体対向面から緩やかに後退する曲面或いはテーパ
面として構成する。両端部5aにエッジが形成されるこ
とがなくなり、磁界の集中が抑えられ、両端部5aから
の洩れ磁界が低減され、サイドフリンジング効果が抑制
され、記録パターンにおける歪みやテイルの発生が防止
される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置に用い
られる磁気ヘッドに関し、特に薄膜ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】薄膜ヘッドは、蒸着、スパッタリング、
メッキ等の成膜技術とフォトリソグラフィによるパター
ン技術とを組み合わせて、磁極である上下の各ポール
と、これらのポールを磁化させるコイルを形成する磁気
ヘッドである。このヘッドは高保磁力媒体に対して十分
な記録能力を有しており、バルクヘッド等に比べて精度
良くトラック幅が決定できるという利点を有しているた
め、高記録密度化に適した磁気ヘッドであると言える。
【0003】図7は薄膜ヘッドの一例を示す一部の斜視
図であり、下ポール1はパーマロイで、上ポール5はN
iFeでそれぞれ薄膜に形成され、両ポール間にAl2
3膜からなるポール間ギャップ2が設けられる。この
上ポール5の記録媒体に対向する面は微細幅に形成さ
れ、この微細幅がトラック幅となる。そして、図外のコ
イルにより両ポールの対向ギャップ間に磁界を発生さ
せ、記録媒体への磁気記録や再生を行うものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】前述した従来の薄膜ヘ
ッドは、上ポールの記録媒体に対向する面のトラック幅
方向の両端部が、この記録媒体対向面から垂直方向に後
退された構造とされている。このため、図4(b)にモ
デル的な磁界計算を行った記録動作時における記録媒体
面上での記録磁界の分布を示すように、この両端部にお
いて垂直なエッジが形成され、記録動作時にこのエッジ
部で記録磁界が集中的に増加される。磁界が強い部分か
らは漏れる磁界も大きいため、この両端部ではサイドフ
リンジング効果が発生し、記録パターンのトラックエッ
ジが同効果によって歪められる。
【0005】図5(b)は前記した従来の薄膜ヘッドを
用いて磁性媒体に記録を行ったときの記録パターンを示
す図である。これから判るように、従来の薄膜ヘッドで
は、記録動作時にサイドフリンジング効果によって記録
パターンのトラックエッジに歪みが生じ、かつトラック
エッジにおいて長手方向にテイルが伸びたような形状を
している。したがって、この歪みによって情報を高品質
に記録し、かつ再生することが難しくなるという問題が
生じることになる。
【0006】
【発明の目的】本発明の目的はこのようなサイドフリン
ジングを抑制して、記録パターンのトラックエッジに歪
みが生じることを防止した薄膜ヘッドを提供することに
ある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の薄膜ヘッドは、
下ポールと上ポールとの対向ギャップ間に磁界を発生さ
せて記録媒体に対して磁気記録を行うための薄膜ヘッド
において、下ポールに対して微細幅に形成された上ポー
ルの記録媒体対向面側トラック幅方向端部が記録媒体対
向面から緩やかに後退する構成とする。
【0008】例えば、上ポールの記録媒体対向面側トラ
ック幅方向端部が、対抗面から両側面にわたって曲面状
に形成される。あるいは上ポールの記録媒体対向面側ト
ラック幅方向端部がテーパ面として形成され、かつ記録
媒体対向面とのなす角が鈍角として形成される。
【0009】
【作用】上ポールの記録媒体対向面のトラック幅方向の
両端部を曲面或いはテーパ面とすることで、この部分に
エッジが形成されることがなく、磁界の集中が抑えられ
る。これにより、両端部からの洩れ磁界が低減され、サ
イドフリンジング効果が抑制され、記録パターンにおけ
る歪みやテイルの発生が防止される。
【0010】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図1(a),(b)は本発明の一実施例の全体構成
を示す一部を破断した側面図と中央部の断面図である。
まず、図示を省略した薄い下地膜を形成し、その上にマ
スクを用いたフレームメッキにより厚さ3.0μmのパ
ーマロイで下ポール1を成膜する。その後、下ポール1
のケミカルエッチングを行う。次いで、その上にスパッ
タ法により膜厚0.59μmのAl2 3 膜でポール間
ギャップ層2を形成する。このポール間ギャップ層2の
上部にはスパッタ法によりコイル下地を薄く形成した
後、その上に厚さ3μmのレジストをコイル状にパター
ン形成し、これをマスクにしてCuのメッキを行い、コ
イル3を形成する。その後、前記レジストを除去し、か
つケミカルエッチングを行い前記コイル下地を除去す
る。
【0011】次いで、コイル3の上に再度2μmのAl
2 3 で絶縁膜4を形成する。このとき、ヘッドに相当
する箇所には形成しない。そして、レジストを利用した
イオンミリング法により前記絶縁膜4に前記下ポール1
に達するまでの開口4aを開設する。しかる上で、上ポ
ールの下地膜(図示せず)をスパッタ法により成膜し、
続いてマスクを用いたフレームメッキ法により、膜厚
4.0μmのNiFeを用いて上ポール5を形成する。
このとき、前記開口4aにも上ポール5の一部が充填さ
れて上下の各ポールを電気的に接続するポール接合部6
が形成される。これにより、図2に上下の各ポールのみ
を図示するように、ヘッドに相当する箇所では上ポール
5と下ポール1とは前記ポール間ギャップ層2の膜厚に
相当する微細寸法で開口される薄膜ヘッドが構成される
ことになる。
【0012】そして、前記した上ポール5をメッキ法に
より形成する際には、そのマスクは上ポール5の記録媒
体対向面側の両端部において、対向面から緩やかに後退
するように、比較的に曲率半径が大きな曲面形状に形成
する。これにより、形成される上ポール5のヘッド部の
形状は、図3に拡大した斜視図で示すように、マスク形
状にならって記録媒体に対向する側の面からその両側の
側面にわたる部分5aが緩やかな曲率の曲面として形成
されることになる。
【0013】このように構成された薄膜ヘッドでは、上
ポールの記録媒体対向面の両端部に鋭いエッジが存在し
ていないため、図4(a)にモデル的な磁界計算を行っ
た記録動作時における記録磁界の記録媒体面上での分布
を示すように、両端部におけるサイドフリンジング効果
が抑制される。これにより図5(a)に記録媒体に記録
した記録パターンを示すように、トラックエッジに歪み
もテイルも存在していないことが判る。
【0014】また、この実施例の薄膜ヘッドと図7に示
した従来の薄膜ヘッドとを同一の記録媒体に同一の条件
で記録動作を行い、その後同一の磁気抵抗効果型ヘッド
を用いて再生動作を行い、再生波形の半値幅を測定し
た。この結果、本実施例の薄膜ヘッドでは0.3μmで
あったのに対し、従来構成のものは0.4μmであっ
た。これは、従来構成のものは、図5(b)に示したよ
うにヘッド両端部における磁界成分の歪みやテイルの伸
びによって記録信号に歪みが生じて半値幅が大きくされ
ていたが、本実施例では図5(a)に示すように、磁界
成分のその歪みやテイルの伸びが存在しないため、記録
信号の歪みが防止され、半値幅を低減することが可能と
されたものと思われる。
【0015】図6は本発明の第2実施例の要部の斜視図
である。この実施例では上ポール5のパターニングに用
いるマスク形状により、上ポールの記録媒体対向面のト
ラック幅両端部を記録媒体対向面に対して所要の角度α
で交差するテーパ面5bとして形成している。この場
合、この角度αとしては、90度よりも大きい角度、す
なわち鈍角に形成することが好ましい。この実施例では
135度程度に形成している。
【0016】このように上ポールの記録媒体対向面のト
ラック幅両端部を後退させることで、両端部におけるサ
イドフリンジング効果が抑制できることは前記実施例と
同じである。そして、記録パターンは図4(a)に示し
た第1実施例の場合と同様に、トラックエッジには歪み
もテイルも存在していないことが確認された。また、第
1実施例と同様にして測定した半値幅も0.3μmであ
り、従来の薄膜ヘッドに比較して低減できることが確認
された。
【0017】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、記録媒体
に対して磁気記録を行うための薄膜ヘッドの上ポールの
記録媒体対向面側トラック幅方向端部が記録媒体対向面
から緩やかに後退する構成とすることにより、記録電流
を流したときに発生する磁界が上ポールの記録媒体対向
面のトラック幅方向の両端部に集中することが抑制さ
れ、この両端部からの漏れ磁界を低減し、上ポールによ
る不必要なサイドフリンジング効果が抑制できる。これ
により、記録媒体におけるトラックエッジの歪みや長手
方向にテイルが形成されることが防止でき、記録信号に
おける歪みの発生を有効に防止することができる効果が
ある。
【0018】特に、本発明では、上ポールの記録媒体対
向面側トラック幅方向端部が、対抗面から両側面にわた
って曲面状に形成され、あるいはテーパ面状に形成さ
れ、さらに好ましくはこのテーパ面は記録媒体対向面と
のなす角が鈍角とされることで、前記した両端部での磁
界の集中を有効に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の薄膜ヘッドの全体構成を示す一部を破
断した平面図とそのAA線断面図である。
【図2】本発明の薄膜ヘッドの第1実施例の要部の斜視
図である。
【図3】要部の拡大斜視図である。
【図4】第1実施例の薄膜ヘッドと図7の従来の薄膜ヘ
ッドにおけるモデル計算を行った磁界領域を説明するた
めの図である。
【図5】第1実施例の薄膜ヘッドと図7の従来の薄膜ヘ
ッドによる記録パターンの図である。
【図6】本発明の薄膜ヘッドの第2実施例の要部の拡大
斜視図である。
【図7】従来の薄膜ヘッドの一部の拡大斜視図である。
【符号の説明】 1 下ポール 2 ギャップ層 3 コイル 4 絶縁膜 5 上ポール 5a 両端部(曲面) 5b 両端部(テーパ面)

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 膜状をした下ポールと、この下ボールに
    所定のポール間ギッャプで隔てて対抗配置される膜状を
    した上ポールと、前記下ポールと上ポールとの対向ギャ
    ップ間に磁界を発生させるためのコイルとを備える薄膜
    ヘッドにおいて、前記上ポールの記録媒体対向面側トラ
    ック幅方向端部が前記記録媒体対向面から緩やかに後退
    することを特徴とする薄膜ヘッド。
  2. 【請求項2】 前記上ポールの記録媒体対向面側トラッ
    ク幅方向端部が、対抗面から両側面にわたって曲面状に
    形成されてなる請求項1の薄膜ヘッド。
  3. 【請求項3】 前記上ポールの記録媒体対向面側トラッ
    ク幅方向端部が、テーパ面として形成される請求項1の
    薄膜ヘッド。
  4. 【請求項4】 テーパ面と記録媒体対向面とのなす角が
    鈍角である請求項3の薄膜ヘッド。
  5. 【請求項5】 下ポールと上ポールとのポール間ギャッ
    プ内には絶縁材が充填され、この絶縁材を挿通されるポ
    ール接合部により下ポールと上ポールとは電気的に接続
    され、このポール接合部の周囲には前記絶縁材により担
    持されたコイルが配置される請求項1ないし4の薄膜ヘ
    ッド。
JP10792195A 1995-04-08 1995-04-08 薄膜ヘッド Pending JPH08287414A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6122144A (en) * 1997-12-22 2000-09-19 International Business Machines Corporation Contoured pole tip structures for minimizing side track erasure
US6768611B2 (en) * 2000-03-09 2004-07-27 Alps Electric Co., Ltd. Thin film magnetic head causing appropriately suppressed side fringing and method of manufacturing the same
CN100426380C (zh) * 2005-04-28 2008-10-15 三星电子株式会社 垂直磁记录头

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04353609A (ja) * 1991-05-30 1992-12-08 Tdk Corp 磁気ヘッド

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04353609A (ja) * 1991-05-30 1992-12-08 Tdk Corp 磁気ヘッド

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6122144A (en) * 1997-12-22 2000-09-19 International Business Machines Corporation Contoured pole tip structures for minimizing side track erasure
US6768611B2 (en) * 2000-03-09 2004-07-27 Alps Electric Co., Ltd. Thin film magnetic head causing appropriately suppressed side fringing and method of manufacturing the same
CN100426380C (zh) * 2005-04-28 2008-10-15 三星电子株式会社 垂直磁记录头
US8098456B2 (en) * 2005-04-28 2012-01-17 Samsung Electronics Co., Ltd. Perpendicular magnetic recording head having a tapered main pole

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