JPH02140483A - スクロール形流体機械 - Google Patents
スクロール形流体機械Info
- Publication number
- JPH02140483A JPH02140483A JP63279241A JP27924188A JPH02140483A JP H02140483 A JPH02140483 A JP H02140483A JP 63279241 A JP63279241 A JP 63279241A JP 27924188 A JP27924188 A JP 27924188A JP H02140483 A JPH02140483 A JP H02140483A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scroll
- orbiting scroll
- fluid machine
- orbiting
- type fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims description 60
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 20
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 13
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 13
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/02—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
- F04C18/063—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents with coaxially-mounted members having continuously-changing circumferential spacing between them
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/105—Cycloid or wobble motors; Harmonic traction motors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01C—ROTARY-PISTON OR OSCILLATING-PISTON MACHINES OR ENGINES
- F01C1/00—Rotary-piston machines or engines
- F01C1/02—Rotary-piston machines or engines of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
- F01C1/0207—Rotary-piston machines or engines of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form
- F01C1/0215—Rotary-piston machines or engines of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form where only one member is moving
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01C—ROTARY-PISTON OR OSCILLATING-PISTON MACHINES OR ENGINES
- F01C1/00—Rotary-piston machines or engines
- F01C1/02—Rotary-piston machines or engines of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
- F01C1/0207—Rotary-piston machines or engines of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents both members having co-operating elements in spiral form
- F01C1/0246—Details concerning the involute wraps or their base, e.g. geometry
- F01C1/0253—Details concerning the base
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01C—ROTARY-PISTON OR OSCILLATING-PISTON MACHINES OR ENGINES
- F01C17/00—Arrangements for drive of co-operating members, e.g. for rotary piston and casing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C15/00—Component parts, details or accessories of machines, pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C2/00 - F04C14/00
- F04C15/0057—Driving elements, brakes, couplings, transmission specially adapted for machines or pumps
- F04C15/0061—Means for transmitting movement from the prime mover to driven parts of the pump, e.g. clutches, couplings, transmissions
- F04C15/0065—Means for transmitting movement from the prime mover to driven parts of the pump, e.g. clutches, couplings, transmissions for eccentric movement
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C15/00—Component parts, details or accessories of machines, pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C2/00 - F04C14/00
- F04C15/0057—Driving elements, brakes, couplings, transmission specially adapted for machines or pumps
- F04C15/008—Prime movers
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2/00—Rotary-piston machines or pumps
- F04C2/02—Rotary-piston machines or pumps of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents
- F04C2/025—Rotary-piston machines or pumps of arcuate-engagement type, i.e. with circular translatory movement of co-operating members, each member having the same number of teeth or tooth-equivalents the moving and the stationary member having co-operating elements in spiral form
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2240/00—Components
- F04C2240/40—Electric motor
- F04C2240/401—Linear motor
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は、気体あるいは液体の移送、昇圧に利用される
スクロール形流体機械に係り、特に小型で微小流量の流
体を扱うに好適なスクロール形流体機械に関する。 〔従来の技術〕 スクロール形流体機械は、周知のように、端板に渦巻き
状ラップを直立させてなる旋回スクロールと、同様な構
成の固定スクロールとを、ラップを内側にして互に噛み
合せ、旋回スクロールを固定スクロールに対して自転さ
せずに旋回運動させるようになっている。 従来のスクロール形流体機械では、ＵＳＰ４．５２２，
５７５号、 Ｕ Ｓ Ｐ４，５５２，５１８号等に記載
のように、旋回スクロールと静止部材との間にオルダム
リング等の自転防止部材を配置し、クランクシャフトの
偏心部と旋回スクロールを係合し、該クランクシャフト
を回転モータで回転させることにより、旋回スクロール
を自転させることなく旋回運動させて、流体の移送、圧
縮などを行う構造となっていた。 〔発明が解決しようとする課題〕 このような従来のスクロール形流体機械では、オルダム
リング等の自転防止部材が必要であり、また、モータの
回転運動を旋回運動に交換するためにクランクシャフト
が必要であり、回転力を得るために容積が大きく重い電
動機を用いなければならないなと、小型、軽量化に困難
がある。またクランクシャフトを回転支持するためには
、軸受に油を用いて潤滑しなければならないなと、オイ
ルフリー化に対する困難があった。また電動機から発す
る電磁音が振動、騒音の大きな要因となっていた。 さらには、旋回スクロールを駆動する上で、従来技術で
は、旋回スクロールの安定支持について種々検討、改良
等がされているが、旋回スクロールは、たいていの場合
、その中央に嵌合するクランク軸によって旋回駆動され
るので、このときに生じる遠心力やガス圧縮力によって
もモーメント力を受けるので、旋回運動を行うと「みそ
すり運動」も誘発される。そして、旋回スクロールの外
周部はフレームと固定スクロールとによりサンドウィッ
チ状に支持されているが、その微小すきま内でばたつき
があるため振動、騒音源となるなどの問題があった。 本発明の第１の目的は、旋回スクロールを圧電モータ等
で直接駆動し旋回運動を行なわせ、オルダムリングなど
の特別な自転防止機構を用いず小形・軽量なスクロール
形流体機械を提供することにある。第２の目的はオイル
フリー化の容易なスクロール形流体機械を提供すること
にある。第３の目的は旋回スクロールの運動を安定化し
、低振動、低騒音なスクロール形流体機械を提供するこ
とにある。 〔課題を解決するための手段〕 上記目的は、端板とこれに直立する渦巻き状のラップか
らなる固定スクロールと、同様な端板とこれに直立する
渦巻状のラップからなる旋回スクロールとを互いにラッ
プを内側にして組み合せて複数の圧縮室を形成し、伸縮
可能な複数のアクチュエータをフレームに対して支承し
て配置し、駆動回路により適切な位相差を有する交流電
圧で該アクチュエータの伸縮運動により旋回スクロール
との接融点を移動させて旋回スクロールを直接駆動して
旋回スクロールを自転させることなく、固定スクロール
に対して旋回運動させることにより達成される。さらに
他の目的は、アクチュエータ自身により旋回スクロール
の軸方向を拘束して、旋回スクロールの離脱を防止する
構成とすることにより達成される。 〔作用〕 第１に、伸縮可能な複数のアクチュエータをフレームに
対して支承して配置し、駆動回路により適切な位相差を
有する交流電圧で該アクチュエータの伸縮運動により旋
回スクロールとの接触点を移動させて旋回スクロールを
直接駆動して旋回スクロールを自転させることなく、固
定スクロールに対して旋回運動させる構成としたので、
自転防止機構が不要となり、偏平な設計が可能となる。 第２に、アクチュエータと旋回スクロールとの接融点を
移動させて旋回スクロールを駆動させているので、摺動
部分は極端に少なくなり、無潤滑で動作可能である。 第３にアクチュエータ自身により旋回スクロールの軸方
向を拘束して、旋回スクロールの離脱を防止しているの
で、スラスト力を受け、かつ隙間なしに運動の案内もす
ることができるので、ラップ間のすきまの変動もなくな
り、旋回スクロールの駆動中にガスによって生ずるモー
メント荷重が作用しても旋回スクロールのみそすり運動
等の不安定な運動状況の発生は防止され、旋回スクロー
ルのばたつきも押さえる。 〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を第１図〜第６図により説明す
る。固定スクロール２は、端板２ａと、これに直立して
インボリュート曲線と円弧の組み合わせで形成されるス
クロールラップ２ｂとで構成されている。さらに、該固
定スクロール２は、その外周部に気体の吸入口８を、ま
た中央部には気体の吐出口１４を有している。固定スク
ロール２は外周部のフランジ部でフレーム４（静止部材
）に固定されている。また、旋回スクロール３は、ラッ
プ形状がほぼ固定スクロール２のラップ２ｂと同じラッ
プ３ｂを有し、このラップ３ｂは端板３ａに直立してい
る。旋回スクロール３は、固定スクロール２と噛み合わ
され、フレーム４に固定された複数個の圧電モータのア
クチュエータ２０と固定スクロール２に設けられたスラ
スト受２４とによって挟まれて位置決めされている。ア
クチュエータ２０は旋回スクロール３に固定されたスラ
イダ２１に接触しており、アクチュエータ２０とスライ
ダ２１とで圧電モータが構成される。スクロールラップ
２ｂ、３ｂは、噛み合った状態において、互いの最大水
平間隔が、旋回スクロールの旋回半径をＥとするとき、
ちょうと２εにほぼ等しくなるように形成されている。 圧電モータのアクチュエータ２０は、導線により駆動回
路２２に接続されている。圧電モータのアクチュエータ
２０と旋回スクロール３に固定されたスライダ２１は、
耐摺動材料で形成されたスラスト受け２４によって、旋
回スクロール３の端板を介して、互いに強く接触してい
る。 圧電モータのアクチュエータ２０は、本実施例では、第
２図に示すように、中心半径が旋回スクロール３の旋回
半径εにほぼ等しい半径を有するリング状のものとなっ
ており、旋回スクロール３の端板裏面に対向するフレー
ム４の面に同形状のものが複数個配置されている。すな
わち、第３図に示すように、該アクチュエータ２ｏの配
置は、プレーＡ４の中央部に１個、そして外周部に同一
円周上で複数個並べら九でいる。 アクチュエータ２ｏは、第２図に示したように、圧電素
子２０ａと溝付き振動子２０ｂとから構成される。第４
図に示したように、圧電素子２０ａは、溝付振動子２０
ｂの裏面に分割して接着された板状圧電素子１ａ、ｌｂ
等からなり、板状圧電素子１ａ、ｌｂ、ｌｅ、Ｉｆ等は
反転増幅！５ａ。 ６ａ、５ｂ、６ｂ等を介して駆動電圧を供給されように
なっている。図中Ａ、Ｂで示した導線には駆動回路２２
により第５図に示したように９０’の位相差を有する交
流電圧を印加すると前記圧電素子１ａ、ｌｂ等がそれぞ
れ９０°ずつ位相差を有する伸縮運動を行い、前記溝付
振動子２０ｂに矢印７ａで示した方向の屈曲進行波を生
じさせる。 よって、圧電素子２０ａに超音波領域の９０’位相差を
有する高周波電圧を印加すると、振動子２０ｂに微小振
動の進行波が発生し、旋回スクロール３に固定されたス
ライダ２１との接触点を順次移動して接触駆動し、旋回
スクロール３を第４図、第６図に示した如く、進行波の
進む方向と同方向に駆動する。各アクチュエータ２０の
駆動を合成した結果、旋回スクロール３が旋回駆動され
る。 第１図に示すように、圧電モータは、全て同一の駆動回
路２２から駆動されるので、全く同じ周期でリング状の
アクチュエータ２０に進行波が発生し、旋回スクロール
３のスムーズな旋回運動が行われる。しかも、旋回スク
ロール３は、スラスト受け２４と圧電モータによってし
っかりと挟支されているので、ばたつきの全くない旋回
運動を行うことができる。また、これらの圧電モータは
旋回スクロール３に旋回運動を与えると同時にその自転
を阻止している。尚、該圧電モータは、振動子２０ｂに
超音波領域の高周波電圧を印加して駆動することから別
名「超音波モータ」とも一般的に呼ばれている。 以上のような構成もとに、電源Ｐから駆動回路２２に電
力が供給されると圧電モータが駆動され。 これに従って旋回スクロール３は、そのラップ３ｂが固
定スクロール２のラップ２ｂに衝接することなしに旋回
運動が行われる。この運動に従って、気体は吸入口８か
ら取り込まれラップ間２ｂ。 ３ｂの圧縮作動室内で気体が圧縮され。吐出口１４から
排出される。また、圧電モータを逆転させることも可能
であり、この逆転動作では、吐出口１４が吸入口になり
、吸入口８が吐出口となる。 これらの一連の動作は、摺動部等に油潤滑を行わなくて
も実行が可能であり、全く油気の無いクリーンなスクロ
ール形流体機械を提供できる。 なお、上記実施例において、圧電モータは、フレーム４
と旋回スクロールとの間に設ける代りに、固定スクロー
ルの端板外周部と旋回スクロールの鏡板外周部との間に
設けてもよい。この場合には、スラスト受２４はフレー
ム４に設ける。 他の実施例は第７図に示す。本実施例は、旋回スクロー
ル３の端板部３ａの外周部の上下両面に前記と。同様の
圧電モータを配設したものである。 アクチュエータ（２０，２１）は、端板３ａの上下両面
のいずれにも同一円周上に複数個分布配置されており、
また端板３ａの下面中央部には、圧縮作動室内部のガス
圧力等による端板の変形を防ぐことも兼ねて、フレーム
４との間にさらに１つ圧電モータを配置している。旋回
スクロール６３を駆動するために配置した全てのこれら
の圧電モータは、そのアクチュエータ２０がいずれも旋
回スクロールの旋回半径にほぼ等しい同じ中心半径を有
するリング状圧電モータである。端板３ａの上面に配設
した圧電モータは、固定スクロール２に設けた抑え板２
６と締め具２５により旋回スクロール３に押し付けられ
ている。この結果、端板３ａの下面に配設した圧電モー
タも旋回スクロール３を介して強く押しつけられている
。端板３ａの上下の圧電モータはそれぞれ駆動回路２２
゜２２′によって駆動されるが、端板３ａの下面の圧電
モータと上面の圧電モータは回転方向が反対になってい
るため、旋回スクロール３には、第１図の実施例に比べ
ると約２倍の回転力を作用させることができる。さらに
、本実施例では、第１図のスラスト受２４をなくした構
造となっているので、該スラスト受２４で発生していた
ような摺動部がなく、しかもスラスト力自身を圧電モー
タが受けられるようになっているから、旋回スクロール
３を安定した姿勢のまま駆動することができる。 他の効果として、旋回スクロールに摺動部が無いことか
ら機器としての機械的損失が非常にすくなくなる。 第８図にリング状の圧電モータを使用した他の実施例を
示す。２１ａは、アクチュエータ２０の外径より大きい
寸法でスライダの径方向の動きを規制するガイド付のス
ライダで、旋回スクロール３の旋回半径εに等しい距離
だけリング状の圧電モータの中心軸から偏心したピンを
有している。 ２１ｂは、前記ピンと嵌合する穴を有し、旋回スクロー
ル３に設けた凹部内で回転可能に取り付けられたスライ
ダであり、その他の構成は第１図と全く同一である。ア
クチュエータ２ｏに駆動回路２２から高周波の交流電圧
が供給されると、アクチュエータ２０が駆動され、スラ
イダ２１ａを回転させる。この回転にともなって、偏心
したピンを介してスライダ２１ｂが従動して、旋回スク
ロール３を自転させることなく、旋回運動させる。 この運動に従って、気体は、吸入口８がら取り込まれラ
ップ２ｂ、３ｂの圧縮作動室内で気体が圧縮され、吐出
口１４から排出される。この圧電モータは、前記と同様
、スラスト受を兼ねるように、あるいは旋回スクロール
３の両側に設置するように構成することもできる。圧電
モータを本発明の如く適用することにより、スクロール
流体機械を偏平形に設計することができ、従来の電動モ
ータを使用したスクロール形流体機械に比較し、十分な
小形・軽量化を達成することができる。さらには、軸受
等、摺動部分を極端に少なくすることができるので信頼
性が高くなる。また圧電モータは、接触振動部を有して
いるが、無潤滑で動作できるので潤滑油の不要な完全オ
イルフリーのスクロール流体機械を提供することができ
る。また、圧電モータ自身で旋回スクロールを支持し、
そのスラスト力を受け、かつ隙間なしに運動の案内もす
ることができるので、ラップ間のすきまの変動もなく、
旋回スクロールの駆動中にガスによって生ずるモーメン
ト荷重が作用しても旋回スクロールのみそすり運動等の
不安定な運動状況の発生は防止され、旋回スクロールの
ばたつきも抑えることができ、低振動化及び高効率化を
達成することができる。また、圧電モータは電力を加え
ても磁気を帯びないため、磁気の無いスクロール形流体
機械を提供できる。そして、電磁騒音も発生せず、軸受
が不要になることから機械全体を大巾に低騒音化するこ
とができる。また、圧電モータは旋回スクロールに旋回
運動を与えると同時に、その自転を阻止する機能も果す
ことができる。さらに、圧電モータの材料にはセラミッ
ク等が使われるので、耐蝕性を有しており、本発明のス
クロール流体機械は半導体製造装置等の真空ポンプとし
ても有効に利用することができる。 さらに他の実施例を第９図及び第１０図により説明する
。本実施例は、リング状圧電モータの代りにリニア形圧
電モータ（アクチュエータ２０とスライダ２１とから成
る）を旋回スクロール３の端板３ａの裏面に４個配設し
たものである。対向する２つのリニア形圧電モータの中
心線は互いに直交するようになっており１例えばＸ軸に
配置した２つのリニア形圧電モータと、Ｙ軸に配置した
他の２つのリニア形圧電モータは、それぞれ異なる駆動
回路２２ａ、２２ｂにより駆動できるようになっている
。リニア形圧電モータのアクチュエータ２０は圧電素子
と振動子から形成され、フレーム４に固定されている。 他方、スライダ２１は、旋回スクロール３に固定されて
いる。駆動回路により電力が供給されると、それぞれの
リニア形圧電モータはＸ軸方向およびＹ軸方向に旋回ス
クロール３を変位させるように作用するが、Ｘ軸とＹ軸
に配置したリニア形圧電モータは互いに位相が９０度程
ずれており、Ｘ方向変位とＹ方向変位あるいは速度の合
成結果として旋回スクロール３は自転なしに一定半径で
旋回運動が行われるようになる。 なお、上記実施例において、リニア形圧電モータは、フ
レーム４と旋回スクロールとの間に設ける代りに、固定
スクロールの端板外周部と旋回スクロールの端板外周部
との間に設けてもよい。この場合は、スラスト受２４は
フレーム４に設ける。 或いは、第７図に示したように、リニア形圧電モータを
旋回スクロールの端板外周部の両側に設けてもよい。 本発明の圧電型リニアアクチュエータを適用した、他の
実施例を第９図〜第１８図を用いて説明する。第１１図
は本実施例によるスクロール流体機械の全体構造を示し
た縦断面図、第１２図は第１１図の１−１線断面図、第
１３回は第１１図の■−■線断面図である。なお、アク
チュエータを駆動するための駆動回路２２は省略して示
している。 円板状の端板２ａはインボリュート曲線あるいはこれに
類似の曲線から°なるうず巻状のスクロールラップ２ｂ
を直立させて形成した固定スクロール２と、同様に、端
板３ａとこれに直立したうず巻状のスクロールラップ３
ｂからなる旋回スクロール３とは、互にスクロールラッ
プ２ｂ、３ｂを内側に向けて噛み合せて第１１図に示す
如く組み合わされている。固定スクロール２は周部にて
フレーム４に結合固定され、旋回スクロール３はその端
板３ａの背面外周部がフレーム４に設けられたスラスト
座２７と接し、背面方向への移動が制限されている。旋
回スクロール３の背面に位置するフレーム４には、固定
スクロール２の中心を中心として放射状に圧電素子から
なるリニアアクチュエータ２８が複数個配置されている
。この圧電型リニアアクチュエータは、例えば、セラミ
ックス類の薄い圧電素子の多数の積層貼着して棒状にし
たものである。これら圧電型リニアアクチュエータは、
それぞれの一端はフレーム４の中心部に設けた座３０に
固定され、他端は旋回スクロール３の背面周部に設けら
れた座３ｃの内側面に受座２９を介して接している。こ
れらの放射状に設けられた圧電リニアアクチュエータ２
８の相互間の配置角α１に等しい位相差を持った交流電
圧により該アクチュエータ２８を夫々駆動する。それぞ
れのリニアアクチュエータ２８はスクロールラップを備
えた端板３ｂに平行な面内でそれぞれ放射状配置の中心
から半径方向にε＝εｏｓｉｎ （ωｔ＋α１）なる関
数で表わされる変位を生じる。各リニアアクチュエータ
に上記の変位を与えると第１４図に示したように、各受
座２９と座２９との接触点ｔ ｘ、 ｔ ｓ、 ｔ ｓ
、 ｔ ｓが別の接触点８１．８番、ｓ６゜ｓ７に移動
し、座３Ｃが３Ｇ’ に移動し旋回スクロール３が駆動
される。従って、旋回スクロール３はこれらのアクチュ
エータにより駆動され、第１５図〜第１８図に示すごと
く、旋回スクロール３上の各点がＥｌを半径とする円を
描く旋回運動を行う。すなわち、旋回スクロール３は固
定スクロール２に対して、自転せずに半径ε。の旋回運
動を行う。このため、両スクロールのラップと端板によ
り形成される密閉空間は、旋回スクロール３が計時方向
に旋回運“動すると、両スクロール２．３の中心に向っ
て移動しながら体積が減少していく。。よって固定スク
ロール２の中心に設けられたボート１４を吐出口とし、
固定スクロール２の外周部に設けられたポート８を吸入
口とすると、この装置はスクロール圧縮機として動作す
る。この装置が作動している状態では固定スクロール２
と旋回スクロール３とを引離そうとするカが、密閉空間
内に存在する流体圧により、両スクロール２．３間に発
生する。従って、このままでは両スクロール２，３は互
に離れてしまい、正常な流体の圧縮、移送動作を行うこ
とができない。この事を防ぐため、旋回スクロール３の
背面外周部を、フレーム４に設けたスラスト座２７によ
り支持し。 背面方向への移動を制限している。圧電アクチュエータ
２８と旋回スクロールの端板３ａの背面の座３Ｃとの間
に設けられた受座２９は、上記座面３Ｃと接し、円周方
向へのそれらの相対的微小滑りを許容して旋回スクロー
ル３の前記旋回運動を可能ならしめる。 第１９図に受座２９の他の例を示す。この受座２９は周
方向に柔構造となっており、微動が可能である。すなわ
ち、この受座２９は、旋回スクロール３の周部の座３Ｃ
の内側面に揺動可能に係止された座板２９ｄに一端を連
結した板ばね２９ａと、リニアアクチュエータ２８の端
部に一端に連結して板ばね２９ｂとを、互に他端２９ｃ
にて結合したものである。このため、この受座２９と旋
回スクロール３とは、滑りを生ずることなく、この柔構
造でアクチュエータ２８と旋回スクロール３との周方向
の相対移動を吸収し、旋回スクロールの旋回運動を行う
ことができる。この柔構造部は圧電アクチュエータ２８
によるカを旋回スクロール３に伝えるが、旋回スクロー
ル３の自転を拘束するには十分な剛さを有し、自転防止
機能をはだすことができるので、他に特別に自転防止部
材を必要としない。 次に第２０図により他の実施例を示す。圧電素子を用い
たリニアアクユエータでは、素子自体で得られる変位は
小さいため、旋回スクロールの旋回半径を大きくするた
めには、リニアアクチュエータの変位を拡大して旋回ス
クロールに伝える機構を備えることが必要である。本実
施例では、旋回スクロール３の背面に対向して直角方向
に、固定スクロール２の中心から等しい距離の円周上に
配置された圧電リニアアクチュエータ２８と、中心部が
球ジヨイント３１等を介して揺動自在に、フレーム４の
中央座３０に結合されたレバー３２と、ピン３５により
回転自在に静止部材３４に結合され、一端をレバー３２
に回動自在に連結され、他端を受座２９を介して旋回ス
クロール３の端板３ａ外周部の座３Ｃの内面に接するレ
バー３３とを具えており、圧電リニアアクチュエータ２
８の端部とレバー３２とは回動自在に係合している。 前述の実施例と同様、圧電アクチュエータ２８の相互間
の配置角に等しい位相差を持った交流電圧により圧電ア
クチュエータ２８を駆動すると、てこの原理により該ア
クチュエータの変位が拡大され、比較的大きな旋回半径
で旋回スクロール自転なしに旋回駆動することができる
。 第２１図、第２２図に他の拡大機構を有する二つの実施
例を示す、第２１図においては、固定スクロール中心か
ら等距離の円周上に直角方向に配した複数の圧電リニア
アクチュエータ２８（図ではその１つを示す）は、フレ
ーム４の中央庁３０に板ばね関節３８で結合されたレバ
ー３６に係合され、レバー３６の端部はフレーム４に板
ばね関節３９で結合されたレバー３７との一端と係合し
、レバー３７の他端は旋回スクロール３の周片の内側面
に嵌合している。旋回スクロール３の周部はフレーム４
に設けたスラスト座２７で受けられている。レバー３７
は第２３図に示すように中間に板ばね関節４０を有する
ので、旋回スクロールの旋回運動を妨げない、第２２図
は、二段階のレバーによる拡大機構を有する第２１図に
代えて、段階レバーのみによる拡大機構を有する実施例
であり、同様に、板ばね関節を具えている。これら実施
例では、ピン等によるジヨイントを有する拡大機構に比
べ、ガタの無いことが特徴であり、より精度の良い旋回
運動を旋回スクロールに与えることができる。また、旋
回スクロール３と係合するレバー３７は、第２３図に示
すごとく板ばね関節４０で周方向への微動が可能である
ので旋回スクロール３と直接嵌合しても旋回スクロール
３の旋回運動を行わせることができる。また、旋回スク
ロール自体に対しては十分な則さを持ち、自転防止機能
を持ち合せることができる。 以上いずれの実施例においても、圧電アクチュエータを
駆動する交流電圧の周波数を変えることにより旋回スク
ロールの旋回運動の速度を、また。 各圧電アクチュエータに加わる交流電圧の位相差の正負
を変えることにより旋回運動の方向を変えることができ
る。また旋回スクロールの駆動機構部には、大きな相対
速度を有する摺動部が無いので潤滑油を用いず、旋回ス
クロールを支持する座面２７に自己潤滑材等を使用する
ことによりオイルフリー化を図ることができる。このよ
うに、小形軽量で高い効率を得、回転の方向及び速度を
容易に変えることができ、オイルフリー化に適したスク
ロール流体機械を得ることができる。 以上の実施例においては圧電素子からなりリニアアクチ
ュエータを用いた例について説明したが、リニアソレノ
イド等地のリニアアクチュエータを用いても同様の作用
を得ることができる。 本発明によれば、圧電素子などからなるリニアアクチュ
エータの直線方向の変位を旋回スクロールの旋回運動に
変換し、これを固定スクロール部材と組合せることによ
り流体の圧縮・移送を行うことができるので、小型軽量
化、高い効率、高速回転を図り、回転の方向及び速度制
御が容易で、オイルフリー化に適したスクロール流体機
械を提供できる。 又、スラスト座でスラスト力を受け、かつ隙間なしに運
動の案内もすることができるので、ラップ間のすきまの
変動もなく、旋回スクロールの駆動中にガスによって生
ずるモーメント荷重が作用しても旋回スクロールのみそ
すり運動等の不安定な運動状況の発生は防止され、旋回
スクロールのばたつきも抑えることができ、低振動化及
び高効率化を達成することができる。そして、電磁騒音
も発生せず、軸受が不要になることから機械全体を大巾
に低騒音化することができる。 さらに他の実施例を第２４図に従って説明する。 本実施例は２つの圧電素子４２，４３を斜向体状に形成
し、その頂部に駆動端部４４を設けて成るアクチュエー
タを旋回スクロール３の端板３ａの裏面に複数個配置し
、コントローラ５３．５４によって圧電素子４２．４３
にそれぞれ矢印４７゜４８の方向に変位を与え、駆動端
部４４を介して旋回スクロール３に旋回動作を発生せし
めて、固定スクロールのラップ２ｂと旋回スクロールの
ラップ３ｂとの間で圧縮運動を行わせようとするもので
ある。 以下に第２４図の構成について具体的に説明する。固定
スクロール２は、端板２ａとうす巻き状に形成されたラ
ップ２ｂとから成り、フレーム４に固定されている。端
板２ａには流路８および１４が設けられている。一方、
旋回スクロール３も固定スクロールのラップ２ｂと基本
的に同形状のうす巻き状のラップ３ｂと端板３ａとから
成っている。そして固定スクロール２と旋回スクロール
３は互いに噛み合って圧縮作動室を形成している。旋回
スクロール３の端板３ａの裏面には旋回スクロール３の
駆動のためのアクチュエータ４９〜５２を配設しである
。これらのアクチュエータ４９〜５２は同じ構成を有し
、例えばアクチュエータ４９は上記したように斜向体状
に形成した２つの圧電素子４２，４３、駆動端部４４．
柔機構部４１からなる。圧電素子４２．４３は例えばチ
タン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ−Ｔｉ）Ｏｓ）（通称
ＰＺＴ）を用い、低電圧で大変位を得る積層構造をなし
ている。駆動端部４４は、耐摩耗性材料から成っていて
片面を旋回スクロール３の端板部３ａに押圧接触してい
る。圧電素子４２．４３と駆動端部４０の間には、柔機
構部４１が設けてあり、圧電素子４２．４３の変位方向
（矢印）４７゜４８のみに力を剛に伝達することができ
、矢印４７．４８と直角方向には力に対し柔とするよう
になっている。圧電素子４２．４３の底面は４５’に形
成したベース４５に固着されている。ベース４５と、柔
機構４１との間には弾性部材４６を設け、圧電素子４２
．４３に常に圧縮力が作用するようにしている。固定ス
クロール端板２ａの外周部には、旋回スクロール端板３
ａに対向して弾性部材２７を配設し、駆動端部４４に圧
縮力が作用するようにしている。弾性部材５５は、さら
に、その部位で左右の空間を隔絶するシール要素の機能
も有している。旋回スクロール３に一定半径の旋回運動
を与えるために、上記のように構成した駆動装置４９と
同じもの５０をＸ軸方向にさらに設け、Ｙ軸方向にも同
様の駆動装置５１．５２の２台を配置しである。そして
、それぞれに組込まれた圧電素子４２．４３の駆動は、
発振器、増巾器、位相変換器、電源等からなるコントロ
ーラ５３および５４によって行われる。Ｘ軸方向に配置
した一対の駆動装置４９．５０はコントローラ５３によ
って、また、Ｙ軸方向に配置した１対の駆！！Ｉ装置ｄ
５１．５２はコントローラ５４によって駆動される。コ
ントローラ５３および５４は、Ｘ軸、Ｙ＠力方向それぞ
れ制御するため、常時、相互に位相補償行っている。 次に、本実施例の動作について説明する。圧電素子４２
．４３に適切な位相差をもつ交流電圧をかけると、第２
５図に示したように、圧ｉｕ素子４２．４３はそれぞれ
変位方向４７．４８で変位ａ伸縮し、柔機構部４１が平
行リング機構の役割をし、それぞれの微小変位を干渉さ
せずに先端に伝え駆ｖノ端部４４と旋回スクロール３と
の接触点ｔ１を３１へ移動させることにより駆動端部４
４は、旋回スクロール３を矢印５７で示した方向に変位
させる。 そして、駆動端部４４が楕円軌跡を描くことによって、
押し付けられた旋回スクロール３を１方向に接触駆動す
るものである。旋回スクロール３に対して４５度方向に
配設した圧電素子４２゜４３に交流電圧を作用させると
、電圧の大きさに応じた楕円軌跡を生じる。そして、そ
れぞれの最大振巾をａとすると、その組み合せによって
生ずる接触面方向の変位をｆ「７に近くなる大きな変位
とすることができる。この変位をＸ＠Ｙ軸に対し共動す
るよう制御しく９０度の位相補償）、これによって、旋
回スクロール３は自転なしに一定半径の旋回運動をなし
、固定スクロールと共に圧縮動作を行うことができる。 圧縮動作を行うに際し、弾性部材４６は、スラスト力を
発生するとともに、シール機能を有しているので、作動
室内のガスを外部に漏らさず、そのため種々のガスに対
しても有効な圧縮機を提供することができる。また動作
中圧電素子には圧縮力が作用しているので、引張力に弱
い特性をもつ圧電体の耐久性が大巾に向上し、ひいＣは
、機械の信頼性が大巾に向上する。 本発明のスクロール形流体機械は、圧電モータにより直
接旋回スクロールを駆動するように構成したので、スク
ロール流体機械を偏平形に設計することができ、従来の
電動モータを使用したスクロール形流体機械に比較し、
十分な小形、軽量化を達成することができる。また、圧
電モータ自身で旋回スクロールを支持し、そのスラスト
力を受け、かつ隙間なしに運動の案内もすることができ
るので、ラップ間のすきまの変動もなく、旋回スクロー
ルの駆動中にガスによって生ずるモーメント荷重が作用
しても旋回スクロールのみそすり運動等の不安定な運動
状況の発生は防止され、旋回スクロールのばたつきを抑
えることができ、低振動化及び高効率化を達成すること
ができる。さらには、軸受等、摺動部分を極端に少なく
することができるので信頼性が高くなる。また圧電モー
タは、接触振動部を有しているが、無潤滑で動作できる
ので潤滑油の不要な完全オイルフリーのスクロール流体
機械を提供することができる。また、電磁騒音も発生せ
ず、軸受が不要になることから機械全体を大巾に低騒音
化することができる。また、圧電モータは旋回スクロー
ルに旋回運動を与えると同時に、その自転を阻止する機
能も果すことができる。さらに、圧電モータの材料には
セラミック等が使われるので、耐蝕性を有しており、本
発明のスクロール流体機械は半導体製造装置等の真空ポ
ンプとしても有効に利用することができる。 第２６図は、本発明の他２の実施例を示している。 旋回スクロール３には、圧縮途中の流体を旋回スクロー
ル３の背面とフレーム４で形成される空間に導びくため
の導入孔５６が設けられている。その他の構成は第１図
で示した実施例と同一なものとして示しているが、本発
明に示した他の実施例にも適用できるものである。この
構成では、吸入圧力と吐出圧力の中間的な圧力が前記空
間に導びかれ、圧縮室との差圧により旋回スクロール３
を固定スクロール２へ向って押し付ける。このため、前
記導入孔５６の位置を適切に選定すると、固定スクロー
ル３の端板３ａに過大な荷重が作用することなく、圧電
モータあるいはスラスト受に作用するスラスト力を軽減
できる。その他の動作は前記したものと同様であるので
省略する。 〔発明の効果〕 本発明によれば、第１に圧電モータ等により直接旋回ス
クロールを駆動するように構成したので、オルダムリン
グ等の自転防止機構が不要であり、従来の電動モータを
使用したスクロール形流体機械に比較し、偏平形に設計
することができ大幅な小形・軽量化を達成できる。第２
に圧電モータ等は、接触振動部を有しているが、無潤滑
で動作できるので潤滑油の不要な完全オイルフリーのス
クロール流体機械を提供することができる。さらには、
軸受等、摺動部分を極端に少なくすることができるので
信頼性が高くなる。さらに、圧電モータの材料にはセラ
ミック等が使われるので、耐蝕性を有しており、本発明
のスクロール流体機械は半導体製造装置等の真空ポンプ
としても有効に利用することができる。 第３に圧電モータ自身で旋回スクロールを支持し、その
スラスト力を受け、かつ隙間なしに運動の案内もするこ
とができるので、ラップ間のすきまの変動もなく、旋回
スクロールのＩｖＡｌ！ｌ＋中にガスによって生ずるモ
ーメント荷重が作用しても旋回スクロールのみそすり運
動等の不安定な運動状況の発生は防止され、旋回スクロ
ールのばたつきも押さえることができ、低振動化及び高
効率化を達成することができる。さらに、圧電モータは
電力を加えても電磁騒音も発生せず、軸受が不要になる
ことから機械全体を大巾に低騒音化することができる。 ．
スクロール形流体機械に係り、特に小型で微小流量の流
体を扱うに好適なスクロール形流体機械に関する。 〔従来の技術〕 スクロール形流体機械は、周知のように、端板に渦巻き
状ラップを直立させてなる旋回スクロールと、同様な構
成の固定スクロールとを、ラップを内側にして互に噛み
合せ、旋回スクロールを固定スクロールに対して自転さ
せずに旋回運動させるようになっている。 従来のスクロール形流体機械では、ＵＳＰ４．５２２，
５７５号、 Ｕ Ｓ Ｐ４，５５２，５１８号等に記載
のように、旋回スクロールと静止部材との間にオルダム
リング等の自転防止部材を配置し、クランクシャフトの
偏心部と旋回スクロールを係合し、該クランクシャフト
を回転モータで回転させることにより、旋回スクロール
を自転させることなく旋回運動させて、流体の移送、圧
縮などを行う構造となっていた。 〔発明が解決しようとする課題〕 このような従来のスクロール形流体機械では、オルダム
リング等の自転防止部材が必要であり、また、モータの
回転運動を旋回運動に交換するためにクランクシャフト
が必要であり、回転力を得るために容積が大きく重い電
動機を用いなければならないなと、小型、軽量化に困難
がある。またクランクシャフトを回転支持するためには
、軸受に油を用いて潤滑しなければならないなと、オイ
ルフリー化に対する困難があった。また電動機から発す
る電磁音が振動、騒音の大きな要因となっていた。 さらには、旋回スクロールを駆動する上で、従来技術で
は、旋回スクロールの安定支持について種々検討、改良
等がされているが、旋回スクロールは、たいていの場合
、その中央に嵌合するクランク軸によって旋回駆動され
るので、このときに生じる遠心力やガス圧縮力によって
もモーメント力を受けるので、旋回運動を行うと「みそ
すり運動」も誘発される。そして、旋回スクロールの外
周部はフレームと固定スクロールとによりサンドウィッ
チ状に支持されているが、その微小すきま内でばたつき
があるため振動、騒音源となるなどの問題があった。 本発明の第１の目的は、旋回スクロールを圧電モータ等
で直接駆動し旋回運動を行なわせ、オルダムリングなど
の特別な自転防止機構を用いず小形・軽量なスクロール
形流体機械を提供することにある。第２の目的はオイル
フリー化の容易なスクロール形流体機械を提供すること
にある。第３の目的は旋回スクロールの運動を安定化し
、低振動、低騒音なスクロール形流体機械を提供するこ
とにある。 〔課題を解決するための手段〕 上記目的は、端板とこれに直立する渦巻き状のラップか
らなる固定スクロールと、同様な端板とこれに直立する
渦巻状のラップからなる旋回スクロールとを互いにラッ
プを内側にして組み合せて複数の圧縮室を形成し、伸縮
可能な複数のアクチュエータをフレームに対して支承し
て配置し、駆動回路により適切な位相差を有する交流電
圧で該アクチュエータの伸縮運動により旋回スクロール
との接融点を移動させて旋回スクロールを直接駆動して
旋回スクロールを自転させることなく、固定スクロール
に対して旋回運動させることにより達成される。さらに
他の目的は、アクチュエータ自身により旋回スクロール
の軸方向を拘束して、旋回スクロールの離脱を防止する
構成とすることにより達成される。 〔作用〕 第１に、伸縮可能な複数のアクチュエータをフレームに
対して支承して配置し、駆動回路により適切な位相差を
有する交流電圧で該アクチュエータの伸縮運動により旋
回スクロールとの接触点を移動させて旋回スクロールを
直接駆動して旋回スクロールを自転させることなく、固
定スクロールに対して旋回運動させる構成としたので、
自転防止機構が不要となり、偏平な設計が可能となる。 第２に、アクチュエータと旋回スクロールとの接融点を
移動させて旋回スクロールを駆動させているので、摺動
部分は極端に少なくなり、無潤滑で動作可能である。 第３にアクチュエータ自身により旋回スクロールの軸方
向を拘束して、旋回スクロールの離脱を防止しているの
で、スラスト力を受け、かつ隙間なしに運動の案内もす
ることができるので、ラップ間のすきまの変動もなくな
り、旋回スクロールの駆動中にガスによって生ずるモー
メント荷重が作用しても旋回スクロールのみそすり運動
等の不安定な運動状況の発生は防止され、旋回スクロー
ルのばたつきも押さえる。 〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を第１図〜第６図により説明す
る。固定スクロール２は、端板２ａと、これに直立して
インボリュート曲線と円弧の組み合わせで形成されるス
クロールラップ２ｂとで構成されている。さらに、該固
定スクロール２は、その外周部に気体の吸入口８を、ま
た中央部には気体の吐出口１４を有している。固定スク
ロール２は外周部のフランジ部でフレーム４（静止部材
）に固定されている。また、旋回スクロール３は、ラッ
プ形状がほぼ固定スクロール２のラップ２ｂと同じラッ
プ３ｂを有し、このラップ３ｂは端板３ａに直立してい
る。旋回スクロール３は、固定スクロール２と噛み合わ
され、フレーム４に固定された複数個の圧電モータのア
クチュエータ２０と固定スクロール２に設けられたスラ
スト受２４とによって挟まれて位置決めされている。ア
クチュエータ２０は旋回スクロール３に固定されたスラ
イダ２１に接触しており、アクチュエータ２０とスライ
ダ２１とで圧電モータが構成される。スクロールラップ
２ｂ、３ｂは、噛み合った状態において、互いの最大水
平間隔が、旋回スクロールの旋回半径をＥとするとき、
ちょうと２εにほぼ等しくなるように形成されている。 圧電モータのアクチュエータ２０は、導線により駆動回
路２２に接続されている。圧電モータのアクチュエータ
２０と旋回スクロール３に固定されたスライダ２１は、
耐摺動材料で形成されたスラスト受け２４によって、旋
回スクロール３の端板を介して、互いに強く接触してい
る。 圧電モータのアクチュエータ２０は、本実施例では、第
２図に示すように、中心半径が旋回スクロール３の旋回
半径εにほぼ等しい半径を有するリング状のものとなっ
ており、旋回スクロール３の端板裏面に対向するフレー
ム４の面に同形状のものが複数個配置されている。すな
わち、第３図に示すように、該アクチュエータ２ｏの配
置は、プレーＡ４の中央部に１個、そして外周部に同一
円周上で複数個並べら九でいる。 アクチュエータ２ｏは、第２図に示したように、圧電素
子２０ａと溝付き振動子２０ｂとから構成される。第４
図に示したように、圧電素子２０ａは、溝付振動子２０
ｂの裏面に分割して接着された板状圧電素子１ａ、ｌｂ
等からなり、板状圧電素子１ａ、ｌｂ、ｌｅ、Ｉｆ等は
反転増幅！５ａ。 ６ａ、５ｂ、６ｂ等を介して駆動電圧を供給されように
なっている。図中Ａ、Ｂで示した導線には駆動回路２２
により第５図に示したように９０’の位相差を有する交
流電圧を印加すると前記圧電素子１ａ、ｌｂ等がそれぞ
れ９０°ずつ位相差を有する伸縮運動を行い、前記溝付
振動子２０ｂに矢印７ａで示した方向の屈曲進行波を生
じさせる。 よって、圧電素子２０ａに超音波領域の９０’位相差を
有する高周波電圧を印加すると、振動子２０ｂに微小振
動の進行波が発生し、旋回スクロール３に固定されたス
ライダ２１との接触点を順次移動して接触駆動し、旋回
スクロール３を第４図、第６図に示した如く、進行波の
進む方向と同方向に駆動する。各アクチュエータ２０の
駆動を合成した結果、旋回スクロール３が旋回駆動され
る。 第１図に示すように、圧電モータは、全て同一の駆動回
路２２から駆動されるので、全く同じ周期でリング状の
アクチュエータ２０に進行波が発生し、旋回スクロール
３のスムーズな旋回運動が行われる。しかも、旋回スク
ロール３は、スラスト受け２４と圧電モータによってし
っかりと挟支されているので、ばたつきの全くない旋回
運動を行うことができる。また、これらの圧電モータは
旋回スクロール３に旋回運動を与えると同時にその自転
を阻止している。尚、該圧電モータは、振動子２０ｂに
超音波領域の高周波電圧を印加して駆動することから別
名「超音波モータ」とも一般的に呼ばれている。 以上のような構成もとに、電源Ｐから駆動回路２２に電
力が供給されると圧電モータが駆動され。 これに従って旋回スクロール３は、そのラップ３ｂが固
定スクロール２のラップ２ｂに衝接することなしに旋回
運動が行われる。この運動に従って、気体は吸入口８か
ら取り込まれラップ間２ｂ。 ３ｂの圧縮作動室内で気体が圧縮され。吐出口１４から
排出される。また、圧電モータを逆転させることも可能
であり、この逆転動作では、吐出口１４が吸入口になり
、吸入口８が吐出口となる。 これらの一連の動作は、摺動部等に油潤滑を行わなくて
も実行が可能であり、全く油気の無いクリーンなスクロ
ール形流体機械を提供できる。 なお、上記実施例において、圧電モータは、フレーム４
と旋回スクロールとの間に設ける代りに、固定スクロー
ルの端板外周部と旋回スクロールの鏡板外周部との間に
設けてもよい。この場合には、スラスト受２４はフレー
ム４に設ける。 他の実施例は第７図に示す。本実施例は、旋回スクロー
ル３の端板部３ａの外周部の上下両面に前記と。同様の
圧電モータを配設したものである。 アクチュエータ（２０，２１）は、端板３ａの上下両面
のいずれにも同一円周上に複数個分布配置されており、
また端板３ａの下面中央部には、圧縮作動室内部のガス
圧力等による端板の変形を防ぐことも兼ねて、フレーム
４との間にさらに１つ圧電モータを配置している。旋回
スクロール６３を駆動するために配置した全てのこれら
の圧電モータは、そのアクチュエータ２０がいずれも旋
回スクロールの旋回半径にほぼ等しい同じ中心半径を有
するリング状圧電モータである。端板３ａの上面に配設
した圧電モータは、固定スクロール２に設けた抑え板２
６と締め具２５により旋回スクロール３に押し付けられ
ている。この結果、端板３ａの下面に配設した圧電モー
タも旋回スクロール３を介して強く押しつけられている
。端板３ａの上下の圧電モータはそれぞれ駆動回路２２
゜２２′によって駆動されるが、端板３ａの下面の圧電
モータと上面の圧電モータは回転方向が反対になってい
るため、旋回スクロール３には、第１図の実施例に比べ
ると約２倍の回転力を作用させることができる。さらに
、本実施例では、第１図のスラスト受２４をなくした構
造となっているので、該スラスト受２４で発生していた
ような摺動部がなく、しかもスラスト力自身を圧電モー
タが受けられるようになっているから、旋回スクロール
３を安定した姿勢のまま駆動することができる。 他の効果として、旋回スクロールに摺動部が無いことか
ら機器としての機械的損失が非常にすくなくなる。 第８図にリング状の圧電モータを使用した他の実施例を
示す。２１ａは、アクチュエータ２０の外径より大きい
寸法でスライダの径方向の動きを規制するガイド付のス
ライダで、旋回スクロール３の旋回半径εに等しい距離
だけリング状の圧電モータの中心軸から偏心したピンを
有している。 ２１ｂは、前記ピンと嵌合する穴を有し、旋回スクロー
ル３に設けた凹部内で回転可能に取り付けられたスライ
ダであり、その他の構成は第１図と全く同一である。ア
クチュエータ２ｏに駆動回路２２から高周波の交流電圧
が供給されると、アクチュエータ２０が駆動され、スラ
イダ２１ａを回転させる。この回転にともなって、偏心
したピンを介してスライダ２１ｂが従動して、旋回スク
ロール３を自転させることなく、旋回運動させる。 この運動に従って、気体は、吸入口８がら取り込まれラ
ップ２ｂ、３ｂの圧縮作動室内で気体が圧縮され、吐出
口１４から排出される。この圧電モータは、前記と同様
、スラスト受を兼ねるように、あるいは旋回スクロール
３の両側に設置するように構成することもできる。圧電
モータを本発明の如く適用することにより、スクロール
流体機械を偏平形に設計することができ、従来の電動モ
ータを使用したスクロール形流体機械に比較し、十分な
小形・軽量化を達成することができる。さらには、軸受
等、摺動部分を極端に少なくすることができるので信頼
性が高くなる。また圧電モータは、接触振動部を有して
いるが、無潤滑で動作できるので潤滑油の不要な完全オ
イルフリーのスクロール流体機械を提供することができ
る。また、圧電モータ自身で旋回スクロールを支持し、
そのスラスト力を受け、かつ隙間なしに運動の案内もす
ることができるので、ラップ間のすきまの変動もなく、
旋回スクロールの駆動中にガスによって生ずるモーメン
ト荷重が作用しても旋回スクロールのみそすり運動等の
不安定な運動状況の発生は防止され、旋回スクロールの
ばたつきも抑えることができ、低振動化及び高効率化を
達成することができる。また、圧電モータは電力を加え
ても磁気を帯びないため、磁気の無いスクロール形流体
機械を提供できる。そして、電磁騒音も発生せず、軸受
が不要になることから機械全体を大巾に低騒音化するこ
とができる。また、圧電モータは旋回スクロールに旋回
運動を与えると同時に、その自転を阻止する機能も果す
ことができる。さらに、圧電モータの材料にはセラミッ
ク等が使われるので、耐蝕性を有しており、本発明のス
クロール流体機械は半導体製造装置等の真空ポンプとし
ても有効に利用することができる。 さらに他の実施例を第９図及び第１０図により説明する
。本実施例は、リング状圧電モータの代りにリニア形圧
電モータ（アクチュエータ２０とスライダ２１とから成
る）を旋回スクロール３の端板３ａの裏面に４個配設し
たものである。対向する２つのリニア形圧電モータの中
心線は互いに直交するようになっており１例えばＸ軸に
配置した２つのリニア形圧電モータと、Ｙ軸に配置した
他の２つのリニア形圧電モータは、それぞれ異なる駆動
回路２２ａ、２２ｂにより駆動できるようになっている
。リニア形圧電モータのアクチュエータ２０は圧電素子
と振動子から形成され、フレーム４に固定されている。 他方、スライダ２１は、旋回スクロール３に固定されて
いる。駆動回路により電力が供給されると、それぞれの
リニア形圧電モータはＸ軸方向およびＹ軸方向に旋回ス
クロール３を変位させるように作用するが、Ｘ軸とＹ軸
に配置したリニア形圧電モータは互いに位相が９０度程
ずれており、Ｘ方向変位とＹ方向変位あるいは速度の合
成結果として旋回スクロール３は自転なしに一定半径で
旋回運動が行われるようになる。 なお、上記実施例において、リニア形圧電モータは、フ
レーム４と旋回スクロールとの間に設ける代りに、固定
スクロールの端板外周部と旋回スクロールの端板外周部
との間に設けてもよい。この場合は、スラスト受２４は
フレーム４に設ける。 或いは、第７図に示したように、リニア形圧電モータを
旋回スクロールの端板外周部の両側に設けてもよい。 本発明の圧電型リニアアクチュエータを適用した、他の
実施例を第９図〜第１８図を用いて説明する。第１１図
は本実施例によるスクロール流体機械の全体構造を示し
た縦断面図、第１２図は第１１図の１−１線断面図、第
１３回は第１１図の■−■線断面図である。なお、アク
チュエータを駆動するための駆動回路２２は省略して示
している。 円板状の端板２ａはインボリュート曲線あるいはこれに
類似の曲線から°なるうず巻状のスクロールラップ２ｂ
を直立させて形成した固定スクロール２と、同様に、端
板３ａとこれに直立したうず巻状のスクロールラップ３
ｂからなる旋回スクロール３とは、互にスクロールラッ
プ２ｂ、３ｂを内側に向けて噛み合せて第１１図に示す
如く組み合わされている。固定スクロール２は周部にて
フレーム４に結合固定され、旋回スクロール３はその端
板３ａの背面外周部がフレーム４に設けられたスラスト
座２７と接し、背面方向への移動が制限されている。旋
回スクロール３の背面に位置するフレーム４には、固定
スクロール２の中心を中心として放射状に圧電素子から
なるリニアアクチュエータ２８が複数個配置されている
。この圧電型リニアアクチュエータは、例えば、セラミ
ックス類の薄い圧電素子の多数の積層貼着して棒状にし
たものである。これら圧電型リニアアクチュエータは、
それぞれの一端はフレーム４の中心部に設けた座３０に
固定され、他端は旋回スクロール３の背面周部に設けら
れた座３ｃの内側面に受座２９を介して接している。こ
れらの放射状に設けられた圧電リニアアクチュエータ２
８の相互間の配置角α１に等しい位相差を持った交流電
圧により該アクチュエータ２８を夫々駆動する。それぞ
れのリニアアクチュエータ２８はスクロールラップを備
えた端板３ｂに平行な面内でそれぞれ放射状配置の中心
から半径方向にε＝εｏｓｉｎ （ωｔ＋α１）なる関
数で表わされる変位を生じる。各リニアアクチュエータ
に上記の変位を与えると第１４図に示したように、各受
座２９と座２９との接触点ｔ ｘ、 ｔ ｓ、 ｔ ｓ
、 ｔ ｓが別の接触点８１．８番、ｓ６゜ｓ７に移動
し、座３Ｃが３Ｇ’ に移動し旋回スクロール３が駆動
される。従って、旋回スクロール３はこれらのアクチュ
エータにより駆動され、第１５図〜第１８図に示すごと
く、旋回スクロール３上の各点がＥｌを半径とする円を
描く旋回運動を行う。すなわち、旋回スクロール３は固
定スクロール２に対して、自転せずに半径ε。の旋回運
動を行う。このため、両スクロールのラップと端板によ
り形成される密閉空間は、旋回スクロール３が計時方向
に旋回運“動すると、両スクロール２．３の中心に向っ
て移動しながら体積が減少していく。。よって固定スク
ロール２の中心に設けられたボート１４を吐出口とし、
固定スクロール２の外周部に設けられたポート８を吸入
口とすると、この装置はスクロール圧縮機として動作す
る。この装置が作動している状態では固定スクロール２
と旋回スクロール３とを引離そうとするカが、密閉空間
内に存在する流体圧により、両スクロール２．３間に発
生する。従って、このままでは両スクロール２，３は互
に離れてしまい、正常な流体の圧縮、移送動作を行うこ
とができない。この事を防ぐため、旋回スクロール３の
背面外周部を、フレーム４に設けたスラスト座２７によ
り支持し。 背面方向への移動を制限している。圧電アクチュエータ
２８と旋回スクロールの端板３ａの背面の座３Ｃとの間
に設けられた受座２９は、上記座面３Ｃと接し、円周方
向へのそれらの相対的微小滑りを許容して旋回スクロー
ル３の前記旋回運動を可能ならしめる。 第１９図に受座２９の他の例を示す。この受座２９は周
方向に柔構造となっており、微動が可能である。すなわ
ち、この受座２９は、旋回スクロール３の周部の座３Ｃ
の内側面に揺動可能に係止された座板２９ｄに一端を連
結した板ばね２９ａと、リニアアクチュエータ２８の端
部に一端に連結して板ばね２９ｂとを、互に他端２９ｃ
にて結合したものである。このため、この受座２９と旋
回スクロール３とは、滑りを生ずることなく、この柔構
造でアクチュエータ２８と旋回スクロール３との周方向
の相対移動を吸収し、旋回スクロールの旋回運動を行う
ことができる。この柔構造部は圧電アクチュエータ２８
によるカを旋回スクロール３に伝えるが、旋回スクロー
ル３の自転を拘束するには十分な剛さを有し、自転防止
機能をはだすことができるので、他に特別に自転防止部
材を必要としない。 次に第２０図により他の実施例を示す。圧電素子を用い
たリニアアクユエータでは、素子自体で得られる変位は
小さいため、旋回スクロールの旋回半径を大きくするた
めには、リニアアクチュエータの変位を拡大して旋回ス
クロールに伝える機構を備えることが必要である。本実
施例では、旋回スクロール３の背面に対向して直角方向
に、固定スクロール２の中心から等しい距離の円周上に
配置された圧電リニアアクチュエータ２８と、中心部が
球ジヨイント３１等を介して揺動自在に、フレーム４の
中央座３０に結合されたレバー３２と、ピン３５により
回転自在に静止部材３４に結合され、一端をレバー３２
に回動自在に連結され、他端を受座２９を介して旋回ス
クロール３の端板３ａ外周部の座３Ｃの内面に接するレ
バー３３とを具えており、圧電リニアアクチュエータ２
８の端部とレバー３２とは回動自在に係合している。 前述の実施例と同様、圧電アクチュエータ２８の相互間
の配置角に等しい位相差を持った交流電圧により圧電ア
クチュエータ２８を駆動すると、てこの原理により該ア
クチュエータの変位が拡大され、比較的大きな旋回半径
で旋回スクロール自転なしに旋回駆動することができる
。 第２１図、第２２図に他の拡大機構を有する二つの実施
例を示す、第２１図においては、固定スクロール中心か
ら等距離の円周上に直角方向に配した複数の圧電リニア
アクチュエータ２８（図ではその１つを示す）は、フレ
ーム４の中央庁３０に板ばね関節３８で結合されたレバ
ー３６に係合され、レバー３６の端部はフレーム４に板
ばね関節３９で結合されたレバー３７との一端と係合し
、レバー３７の他端は旋回スクロール３の周片の内側面
に嵌合している。旋回スクロール３の周部はフレーム４
に設けたスラスト座２７で受けられている。レバー３７
は第２３図に示すように中間に板ばね関節４０を有する
ので、旋回スクロールの旋回運動を妨げない、第２２図
は、二段階のレバーによる拡大機構を有する第２１図に
代えて、段階レバーのみによる拡大機構を有する実施例
であり、同様に、板ばね関節を具えている。これら実施
例では、ピン等によるジヨイントを有する拡大機構に比
べ、ガタの無いことが特徴であり、より精度の良い旋回
運動を旋回スクロールに与えることができる。また、旋
回スクロール３と係合するレバー３７は、第２３図に示
すごとく板ばね関節４０で周方向への微動が可能である
ので旋回スクロール３と直接嵌合しても旋回スクロール
３の旋回運動を行わせることができる。また、旋回スク
ロール自体に対しては十分な則さを持ち、自転防止機能
を持ち合せることができる。 以上いずれの実施例においても、圧電アクチュエータを
駆動する交流電圧の周波数を変えることにより旋回スク
ロールの旋回運動の速度を、また。 各圧電アクチュエータに加わる交流電圧の位相差の正負
を変えることにより旋回運動の方向を変えることができ
る。また旋回スクロールの駆動機構部には、大きな相対
速度を有する摺動部が無いので潤滑油を用いず、旋回ス
クロールを支持する座面２７に自己潤滑材等を使用する
ことによりオイルフリー化を図ることができる。このよ
うに、小形軽量で高い効率を得、回転の方向及び速度を
容易に変えることができ、オイルフリー化に適したスク
ロール流体機械を得ることができる。 以上の実施例においては圧電素子からなりリニアアクチ
ュエータを用いた例について説明したが、リニアソレノ
イド等地のリニアアクチュエータを用いても同様の作用
を得ることができる。 本発明によれば、圧電素子などからなるリニアアクチュ
エータの直線方向の変位を旋回スクロールの旋回運動に
変換し、これを固定スクロール部材と組合せることによ
り流体の圧縮・移送を行うことができるので、小型軽量
化、高い効率、高速回転を図り、回転の方向及び速度制
御が容易で、オイルフリー化に適したスクロール流体機
械を提供できる。 又、スラスト座でスラスト力を受け、かつ隙間なしに運
動の案内もすることができるので、ラップ間のすきまの
変動もなく、旋回スクロールの駆動中にガスによって生
ずるモーメント荷重が作用しても旋回スクロールのみそ
すり運動等の不安定な運動状況の発生は防止され、旋回
スクロールのばたつきも抑えることができ、低振動化及
び高効率化を達成することができる。そして、電磁騒音
も発生せず、軸受が不要になることから機械全体を大巾
に低騒音化することができる。 さらに他の実施例を第２４図に従って説明する。 本実施例は２つの圧電素子４２，４３を斜向体状に形成
し、その頂部に駆動端部４４を設けて成るアクチュエー
タを旋回スクロール３の端板３ａの裏面に複数個配置し
、コントローラ５３．５４によって圧電素子４２．４３
にそれぞれ矢印４７゜４８の方向に変位を与え、駆動端
部４４を介して旋回スクロール３に旋回動作を発生せし
めて、固定スクロールのラップ２ｂと旋回スクロールの
ラップ３ｂとの間で圧縮運動を行わせようとするもので
ある。 以下に第２４図の構成について具体的に説明する。固定
スクロール２は、端板２ａとうす巻き状に形成されたラ
ップ２ｂとから成り、フレーム４に固定されている。端
板２ａには流路８および１４が設けられている。一方、
旋回スクロール３も固定スクロールのラップ２ｂと基本
的に同形状のうす巻き状のラップ３ｂと端板３ａとから
成っている。そして固定スクロール２と旋回スクロール
３は互いに噛み合って圧縮作動室を形成している。旋回
スクロール３の端板３ａの裏面には旋回スクロール３の
駆動のためのアクチュエータ４９〜５２を配設しである
。これらのアクチュエータ４９〜５２は同じ構成を有し
、例えばアクチュエータ４９は上記したように斜向体状
に形成した２つの圧電素子４２，４３、駆動端部４４．
柔機構部４１からなる。圧電素子４２．４３は例えばチ
タン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ−Ｔｉ）Ｏｓ）（通称
ＰＺＴ）を用い、低電圧で大変位を得る積層構造をなし
ている。駆動端部４４は、耐摩耗性材料から成っていて
片面を旋回スクロール３の端板部３ａに押圧接触してい
る。圧電素子４２．４３と駆動端部４０の間には、柔機
構部４１が設けてあり、圧電素子４２．４３の変位方向
（矢印）４７゜４８のみに力を剛に伝達することができ
、矢印４７．４８と直角方向には力に対し柔とするよう
になっている。圧電素子４２．４３の底面は４５’に形
成したベース４５に固着されている。ベース４５と、柔
機構４１との間には弾性部材４６を設け、圧電素子４２
．４３に常に圧縮力が作用するようにしている。固定ス
クロール端板２ａの外周部には、旋回スクロール端板３
ａに対向して弾性部材２７を配設し、駆動端部４４に圧
縮力が作用するようにしている。弾性部材５５は、さら
に、その部位で左右の空間を隔絶するシール要素の機能
も有している。旋回スクロール３に一定半径の旋回運動
を与えるために、上記のように構成した駆動装置４９と
同じもの５０をＸ軸方向にさらに設け、Ｙ軸方向にも同
様の駆動装置５１．５２の２台を配置しである。そして
、それぞれに組込まれた圧電素子４２．４３の駆動は、
発振器、増巾器、位相変換器、電源等からなるコントロ
ーラ５３および５４によって行われる。Ｘ軸方向に配置
した一対の駆動装置４９．５０はコントローラ５３によ
って、また、Ｙ軸方向に配置した１対の駆！！Ｉ装置ｄ
５１．５２はコントローラ５４によって駆動される。コ
ントローラ５３および５４は、Ｘ軸、Ｙ＠力方向それぞ
れ制御するため、常時、相互に位相補償行っている。 次に、本実施例の動作について説明する。圧電素子４２
．４３に適切な位相差をもつ交流電圧をかけると、第２
５図に示したように、圧ｉｕ素子４２．４３はそれぞれ
変位方向４７．４８で変位ａ伸縮し、柔機構部４１が平
行リング機構の役割をし、それぞれの微小変位を干渉さ
せずに先端に伝え駆ｖノ端部４４と旋回スクロール３と
の接触点ｔ１を３１へ移動させることにより駆動端部４
４は、旋回スクロール３を矢印５７で示した方向に変位
させる。 そして、駆動端部４４が楕円軌跡を描くことによって、
押し付けられた旋回スクロール３を１方向に接触駆動す
るものである。旋回スクロール３に対して４５度方向に
配設した圧電素子４２゜４３に交流電圧を作用させると
、電圧の大きさに応じた楕円軌跡を生じる。そして、そ
れぞれの最大振巾をａとすると、その組み合せによって
生ずる接触面方向の変位をｆ「７に近くなる大きな変位
とすることができる。この変位をＸ＠Ｙ軸に対し共動す
るよう制御しく９０度の位相補償）、これによって、旋
回スクロール３は自転なしに一定半径の旋回運動をなし
、固定スクロールと共に圧縮動作を行うことができる。 圧縮動作を行うに際し、弾性部材４６は、スラスト力を
発生するとともに、シール機能を有しているので、作動
室内のガスを外部に漏らさず、そのため種々のガスに対
しても有効な圧縮機を提供することができる。また動作
中圧電素子には圧縮力が作用しているので、引張力に弱
い特性をもつ圧電体の耐久性が大巾に向上し、ひいＣは
、機械の信頼性が大巾に向上する。 本発明のスクロール形流体機械は、圧電モータにより直
接旋回スクロールを駆動するように構成したので、スク
ロール流体機械を偏平形に設計することができ、従来の
電動モータを使用したスクロール形流体機械に比較し、
十分な小形、軽量化を達成することができる。また、圧
電モータ自身で旋回スクロールを支持し、そのスラスト
力を受け、かつ隙間なしに運動の案内もすることができ
るので、ラップ間のすきまの変動もなく、旋回スクロー
ルの駆動中にガスによって生ずるモーメント荷重が作用
しても旋回スクロールのみそすり運動等の不安定な運動
状況の発生は防止され、旋回スクロールのばたつきを抑
えることができ、低振動化及び高効率化を達成すること
ができる。さらには、軸受等、摺動部分を極端に少なく
することができるので信頼性が高くなる。また圧電モー
タは、接触振動部を有しているが、無潤滑で動作できる
ので潤滑油の不要な完全オイルフリーのスクロール流体
機械を提供することができる。また、電磁騒音も発生せ
ず、軸受が不要になることから機械全体を大巾に低騒音
化することができる。また、圧電モータは旋回スクロー
ルに旋回運動を与えると同時に、その自転を阻止する機
能も果すことができる。さらに、圧電モータの材料には
セラミック等が使われるので、耐蝕性を有しており、本
発明のスクロール流体機械は半導体製造装置等の真空ポ
ンプとしても有効に利用することができる。 第２６図は、本発明の他２の実施例を示している。 旋回スクロール３には、圧縮途中の流体を旋回スクロー
ル３の背面とフレーム４で形成される空間に導びくため
の導入孔５６が設けられている。その他の構成は第１図
で示した実施例と同一なものとして示しているが、本発
明に示した他の実施例にも適用できるものである。この
構成では、吸入圧力と吐出圧力の中間的な圧力が前記空
間に導びかれ、圧縮室との差圧により旋回スクロール３
を固定スクロール２へ向って押し付ける。このため、前
記導入孔５６の位置を適切に選定すると、固定スクロー
ル３の端板３ａに過大な荷重が作用することなく、圧電
モータあるいはスラスト受に作用するスラスト力を軽減
できる。その他の動作は前記したものと同様であるので
省略する。 〔発明の効果〕 本発明によれば、第１に圧電モータ等により直接旋回ス
クロールを駆動するように構成したので、オルダムリン
グ等の自転防止機構が不要であり、従来の電動モータを
使用したスクロール形流体機械に比較し、偏平形に設計
することができ大幅な小形・軽量化を達成できる。第２
に圧電モータ等は、接触振動部を有しているが、無潤滑
で動作できるので潤滑油の不要な完全オイルフリーのス
クロール流体機械を提供することができる。さらには、
軸受等、摺動部分を極端に少なくすることができるので
信頼性が高くなる。さらに、圧電モータの材料にはセラ
ミック等が使われるので、耐蝕性を有しており、本発明
のスクロール流体機械は半導体製造装置等の真空ポンプ
としても有効に利用することができる。 第３に圧電モータ自身で旋回スクロールを支持し、その
スラスト力を受け、かつ隙間なしに運動の案内もするこ
とができるので、ラップ間のすきまの変動もなく、旋回
スクロールのＩｖＡｌ！ｌ＋中にガスによって生ずるモ
ーメント荷重が作用しても旋回スクロールのみそすり運
動等の不安定な運動状況の発生は防止され、旋回スクロ
ールのばたつきも押さえることができ、低振動化及び高
効率化を達成することができる。さらに、圧電モータは
電力を加えても電磁騒音も発生せず、軸受が不要になる
ことから機械全体を大巾に低騒音化することができる。 ．
第１図は本発明のスクロール形流体機械の一実施例の側
断面図、第２図は第１図の実施例の圧電モータのステー
タの斜視図、第３図は第１図における圧電モータの平面
配置を示す図、第４図〜第６図はそれぞれ第１図で示し
た実施例の動作説明図、第７図は本発明の他の実施例の
側断面図、第８図はさらに他の実施例の側断面図、第９
図は本発明のさらに他の実施例の側断面図、第１０図は
第９図における圧電モータの平面配置を示す図、第１１
図は本発明の他の実施例の縦断面図、第１２図は第１１
図の１−１断面図、第１３図は第１１図の「−■断面図
、第１４図は第１１図で示した実施例の動作説明図、第
１５図〜第１８図は該実施例の動作を示す図、第１９図
は受座の他の実施例を示す図、第２０図は本発明の他の
実施例の縦断面図、第２１図は本発明の更に他の実施例
のアクチュエータ部を示す図、第２２図は本発明の更に
他の実施例のアクチュエータ部を示す図、第２３図はそ
のレバーの一部の斜視図、第２４図は本発明の更に他の
実施例の側断面図、第２５図は第２４図で示した実施例
の動作説明図、第２６図は旋回スクロールに導入孔を設
置した実施例を示す側断面図である。 １・・・板状圧電素子、２・・・固定スクロール、３・
−・旋回スクロール、４・・・フレーム、５・・・反転
増幅器、６・・・反転増幅器、８・・・吸入孔、１４・
・・吐出口、２０・・・アクチュエータ、２１・・・ス
ライダ、２２・・・駆動回路、２４・・・スラスト受、
２５・・・締め具、２６・・・抑え板、２７・・・スラ
スト座、２８・・・圧電リニアアクチュエータ、２９・
・・受座、３０・・・中央片、３１・・・球ジヨイント
、３２・・・レバー、３３・・・レバ３４・・・静止部
材、３５・・〜ビン、３６・・・レバー３７・・・レバ
ー、３８・・・板ばね関節、３９・・・板ばね関節、４
０・・・板ばね関節、４１・・・柔機構部、４２゜４３
・・・圧電素子、４５・・・ベース、４９〜５２・・・
アクチュエータ、５３．５４・・・コントローラ、５６
・・・導入孔。 第 Ｉ ２ 第 ３ の 拳 図 第 区 イ 乎 目 ２１０−・−スライタ゛ ２／ １）−６−スライタ゛′ 第 Ｉ 圀 早 す ３Ｃ−一一座 、ｚｕ−−一宋央屋 牛 ／Ｓ 図 第 劉 第 回 第 冒 第 則 第 第 口 第 ５３５４・・・コ〉トフーラ ａｏ・−＠＋ｆａＨ’９ 第 凹 、ζ７
断面図、第２図は第１図の実施例の圧電モータのステー
タの斜視図、第３図は第１図における圧電モータの平面
配置を示す図、第４図〜第６図はそれぞれ第１図で示し
た実施例の動作説明図、第７図は本発明の他の実施例の
側断面図、第８図はさらに他の実施例の側断面図、第９
図は本発明のさらに他の実施例の側断面図、第１０図は
第９図における圧電モータの平面配置を示す図、第１１
図は本発明の他の実施例の縦断面図、第１２図は第１１
図の１−１断面図、第１３図は第１１図の「−■断面図
、第１４図は第１１図で示した実施例の動作説明図、第
１５図〜第１８図は該実施例の動作を示す図、第１９図
は受座の他の実施例を示す図、第２０図は本発明の他の
実施例の縦断面図、第２１図は本発明の更に他の実施例
のアクチュエータ部を示す図、第２２図は本発明の更に
他の実施例のアクチュエータ部を示す図、第２３図はそ
のレバーの一部の斜視図、第２４図は本発明の更に他の
実施例の側断面図、第２５図は第２４図で示した実施例
の動作説明図、第２６図は旋回スクロールに導入孔を設
置した実施例を示す側断面図である。 １・・・板状圧電素子、２・・・固定スクロール、３・
−・旋回スクロール、４・・・フレーム、５・・・反転
増幅器、６・・・反転増幅器、８・・・吸入孔、１４・
・・吐出口、２０・・・アクチュエータ、２１・・・ス
ライダ、２２・・・駆動回路、２４・・・スラスト受、
２５・・・締め具、２６・・・抑え板、２７・・・スラ
スト座、２８・・・圧電リニアアクチュエータ、２９・
・・受座、３０・・・中央片、３１・・・球ジヨイント
、３２・・・レバー、３３・・・レバ３４・・・静止部
材、３５・・〜ビン、３６・・・レバー３７・・・レバ
ー、３８・・・板ばね関節、３９・・・板ばね関節、４
０・・・板ばね関節、４１・・・柔機構部、４２゜４３
・・・圧電素子、４５・・・ベース、４９〜５２・・・
アクチュエータ、５３．５４・・・コントローラ、５６
・・・導入孔。 第 Ｉ ２ 第 ３ の 拳 図 第 区 イ 乎 目 ２１０−・−スライタ゛ ２／ １）−６−スライタ゛′ 第 Ｉ 圀 早 す ３Ｃ−一一座 、ｚｕ−−一宋央屋 牛 ／Ｓ 図 第 劉 第 回 第 冒 第 則 第 第 口 第 ５３５４・・・コ〉トフーラ ａｏ・−＠＋ｆａＨ’９ 第 凹 、ζ７
Claims (19)
- １．端板と端板に直立した渦巻き状のラツプとで各々構
成された固定スクロールおよび旋回スクロールを、互い
にラツプを内側にして組み合せ、旋回スクロールを自転
させずに旋回運動させることにより、両スクロールのラ
ツプによつて形成される密閉空間の容積を遂次変化させ
た流体の移送を行うスクロール形流体機械において、電
圧印加により伸縮可能な複数のアクチユエータを旋回ス
クロールに近接して配置し、該アクチユエータの伸縮運
動により前記アクチユエータと旋回スクロールとの接触
点を移動させて旋回スクロールを直接旋回させることを
特徴とするスクロール形流体機械。 - ２．端板と端板に直立した渦巻状のラツプとで各各構成
された固定スクロールおよび旋回スクロールを、互いに
ラツプを内側にして組み合せ、旋回スクロールを自転さ
せずに旋回運動させることにより、両スクロールのラツ
プによつて形成される密閉空間の容積を遂次変化させて
流体の移動を行うスクロール形流体機械において、電圧
印加により伸縮可能な複数のアクチユエータを旋回スク
ロールに近接して配置し、各アクチユエータにより各々
特定方向に旋回スクロールを駆動して、その合成速度を
制御して旋回スクロールを旋回運動させることを特徴と
するスクロール形流体機械。 - ３．前記アクチユエータが圧電素子を利用した圧電モー
タである請求項１記載のスクロール形流体機械。 - ４．前記圧電モータがリング状圧電モータであつて、該
圧電モートとスライドするスライダを旋回スクロールに
設けている請求項３記載のスクロール形流体機械。 - ５．前記リング状圧電モータをフレームの中央部と外周
部の同一周上に複数個配列し、高周波高流電圧で駆動す
ることを特徴とする請求項４記載のスクロール形流体機
械。 - ６．前記リング状圧電モータの中心半径が旋回スクロー
ルの旋回半径とほぼ等しいことを特徴とする請求項４記
載のスクロール形流体機械。 - ７．スライダが前記リング状圧電モータの中心軸に対し
て旋回半径だけ偏心したピン部を有し、該圧電モータと
スライドするスライダと、該ピン部と嵌合する穴を有し
、旋回スクロールに設けた凹部内で回転可能に取り付け
られたスライダからなる請求項４記載のスクロール形流
体機械。 - ８．圧電モータがリニア形圧電モ−タである請求項３記
載のスクロール形流体機械。 - ９．圧電モータが、２つの圧電素子を斜向体形状に形成
し、その頂部に駆動端部を設けてなる請求項３記載のス
クロール形流体機械。 - １０．前記リニア形圧電モータが固定スクロールの中心
軸を通り、直交する方向に配置され、それらの合成速度
が旋回運動速度にしたことを特徴とする請求項８記載の
スクロール形流体機械。 - １１．端板と端板に直立した渦巻き状のラツプとで各各
構成された固定スクロールおよび旋回スクロールを、互
いにラツプを内側にして組み合せ、旋回スクロールを自
転させずに旋回運動させることにより、両スクロールの
ラツプによつて形成される密閉空間の容積を遂次変化さ
せて流体の移送を行うスクロール形流体機械において、
旋回スクロールの駆動要素が圧電素子を利用した圧電モ
ータで構成され、かつ、前記圧電モータが旋回スクロー
ルの軸方向の動きを拘束していることを特徴とするスク
ロール形流体機械。 - １２．旋回スクロールの、固定スクロールと対向する側
もしくはその反対側またはその両側に圧電モータを配設
した請求項３又は８に記載のスクロール形流体機械。 - １３．端板にインボリユートまたは類似の曲線からなる
渦巻状のラツプを直立させて形成した固定スクロールと
、同様に端板とこれに直立した渦巻状のラツプからなる
旋回スクロールとを互にラツプを内側にして且つ互に端
板を平行にして噛み合せ、旋回スクロールを自転させず
に旋回運動させ、両スクロールのラツプによつて形成さ
れる密閉空間の容積を遂次変化させて流体の移送を行う
スクロール形流体機械において固定スクロールをその周
部で静止部材に固定し、旋回スクロールを端板と平行な
面内で運動可能に静止部材に対して支承し、旋回スクロ
ールの背面側において静止部材に複数個のリニアアクチ
ユエータを設け、これら各リニアアクチユエータにより
固定スクロールの中心軸線から複数の半径方向に生ずる
変位を旋回スクロールの端板背面周部に伝達するように
なし、これらのリニアアクチユエータを上記複数の半径
方向の相互の配置角に等して位相差を持つ交流電圧で駆
動することにより、旋回スクロールを自転することなく
固定スクロールに対して旋回運動せしめることを特徴と
するスクロール形流体機械。 - １４．前記の各リニアアクチユエータにより前記複数の
半径方向に生ずる変化は、伸縮方向が該複数の半径方向
にあるように配置された各リニアアクチユエータの変位
によつて与えられる請求項１３記載のスクロール形流体
機械。 - １５．前記の各リニアアクチユエータにより前記複数の
半径方向に生ずる変化は、各リニアアクチユエータの変
位を変位拡大機構によつて拡大した変位によつて与えら
れる請求項１３記載のスクロール形流体機械。 - １６．前記の各リニアアクチユエータは圧電素子を積層
して形成された棒状体からなる請求項１３記載のスクロ
ール形流体機械。 - １７．前記の各リニアアクチユエータは圧電素子を積層
して形成された棒状体からなる請求項１４記載のスクロ
ール形流体機械。 - １８．前記の各リニアアクチユエータは圧電素子を積層
して形成された棒状体からなる請求項１５記載のスクロ
ール形流体機械。 - １９．前記旋回スクロールの吸入圧力と吐出圧力の中間
である圧縮行程途中となる位置に前記旋回スクロールの
背面と圧縮室側を連通する導圧孔を設けた特許請求項１
又は１３記載のスクロール形流体機械。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62-286085 | 1987-11-12 | ||
| JP28608587 | 1987-11-12 | ||
| JP20752288 | 1988-08-22 | ||
| JP63-207522 | 1988-08-22 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02140483A true JPH02140483A (ja) | 1990-05-30 |
| JP2723933B2 JP2723933B2 (ja) | 1998-03-09 |
Family
ID=26516300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63279241A Expired - Fee Related JP2723933B2 (ja) | 1987-11-12 | 1988-11-07 | スクロール形流体機械 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4950135A (ja) |
| JP (1) | JP2723933B2 (ja) |
| KR (1) | KR910008211B1 (ja) |
| DE (1) | DE3838382A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005180318A (ja) * | 2003-12-19 | 2005-07-07 | Daikin Ind Ltd | スクロール圧縮機 |
Families Citing this family (54)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BR9001468A (pt) * | 1989-04-03 | 1991-04-16 | Carrier Corp | Dispositivo de acionamento de espiral orbitante num compressor de espiral hermetico |
| JP2710827B2 (ja) * | 1989-05-26 | 1998-02-10 | 株式会社ゼクセル | スクロール流体機械 |
| JPH072029B2 (ja) * | 1989-06-26 | 1995-01-11 | セイコー電子工業株式会社 | 超音波モータ |
| JPH0389875A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-15 | Brother Ind Ltd | リニア超音波モータ |
| US5105117A (en) * | 1989-10-31 | 1992-04-14 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ultrasonic motor |
| US5087852A (en) * | 1990-03-13 | 1992-02-11 | Rockwell International Corporation | Direct current traveling wave motor |
| US5351412A (en) * | 1991-06-11 | 1994-10-04 | International Business Machines Corporation | Micro positioning device |
| DE4234055C2 (de) * | 1992-10-09 | 1994-09-08 | Danfoss As | Spiralkompressor |
| JPH06303782A (ja) * | 1993-04-14 | 1994-10-28 | Hitachi Ltd | 駆動装置 |
| FR2709213B1 (fr) * | 1993-08-18 | 1995-10-27 | Figest Bv | Moteur électrique à éléments vibrants et coupleur élastique. |
| FR2709214B1 (fr) * | 1993-08-18 | 1995-10-27 | Figest Bv | Moteur piézo-électrique à onde progressive. |
| FR2715780B1 (fr) * | 1994-02-01 | 1996-04-05 | Imra Europe Sa | Stator de moteur rotatif piézoélectrique et moteur rotatif piézoélectrique comportant un tel stator. |
| US5469716A (en) * | 1994-05-03 | 1995-11-28 | Copeland Corporation | Scroll compressor with liquid injection |
| DE4443520A1 (de) * | 1994-12-07 | 1996-06-13 | Abb Patent Gmbh | Fehlerstromschutzschalter |
| DE4446606A1 (de) * | 1994-12-28 | 1996-07-04 | Wilo Gmbh | Piezo-Wanderwellenmotor |
| DE19605214A1 (de) * | 1995-02-23 | 1996-08-29 | Bosch Gmbh Robert | Ultraschallantriebselement |
| JPH08261167A (ja) * | 1995-03-24 | 1996-10-08 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 圧縮機 |
| KR970066416A (ko) * | 1996-03-16 | 1997-10-13 | 이상철 | 압전압축기 및 이를 이용한 압전냉동기 |
| FR2750543B1 (fr) * | 1996-06-27 | 1998-08-21 | Cedrat Rech | Moteur piezoactif a base de modules statoriques independants |
| US5791900A (en) * | 1997-03-04 | 1998-08-11 | Deboisblanc; Robert J. | Temporary tooth construction |
| US5951270A (en) * | 1997-06-03 | 1999-09-14 | Tecumseh Products Company | Non-contiguous thrust bearing interface for a scroll compressor |
| JP2000139086A (ja) * | 1998-11-02 | 2000-05-16 | Minolta Co Ltd | 圧電アクチュエータ |
| US6168404B1 (en) | 1998-12-16 | 2001-01-02 | Tecumseh Products Company | Scroll compressor having axial compliance valve |
| US6492760B1 (en) * | 1999-06-01 | 2002-12-10 | Minolta Co., Ltd. | Actuator |
| US6713943B1 (en) | 1999-06-14 | 2004-03-30 | Minolta Co., Ltd. | Actuator and driving method thereof |
| JP2001136761A (ja) | 1999-11-02 | 2001-05-18 | Minolta Co Ltd | アクチュエータ |
| DE19952946A1 (de) * | 1999-11-03 | 2001-05-17 | Siemens Ag | Elektromechanischer Motor |
| US6465931B2 (en) | 2000-03-29 | 2002-10-15 | Qortek, Inc. | Device and method for driving symmetric load systems |
| US6464467B2 (en) * | 2000-03-31 | 2002-10-15 | Battelle Memorial Institute | Involute spiral wrap device |
| US6558126B1 (en) * | 2000-05-01 | 2003-05-06 | Scroll Technologies | Compressor utilizing low volt power tapped from high volt power |
| JP2002058266A (ja) * | 2000-08-08 | 2002-02-22 | Minolta Co Ltd | 超音波駆動装置 |
| JP2002112562A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Minolta Co Ltd | 駆動装置 |
| US6388364B1 (en) * | 2001-03-15 | 2002-05-14 | Optovation (Canada) Corp. | Piezoelectric rotator |
| US6664711B2 (en) * | 2001-08-23 | 2003-12-16 | Delphi Technologies, Inc. | Harmonic motor |
| DE10158806A1 (de) * | 2001-11-30 | 2003-06-18 | Siemens Ag | Vorrichtung mit einem piezoelektrischen Stapel zur Erzeugung oder Erfassung einer Schwenkbewegung |
| US20040258541A1 (en) * | 2002-01-03 | 2004-12-23 | Greg Glatzmaier | Orbital fluid pump |
| US6619936B2 (en) | 2002-01-16 | 2003-09-16 | Copeland Corporation | Scroll compressor with vapor injection |
| JP3753131B2 (ja) * | 2003-03-10 | 2006-03-08 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | アクチュエータ |
| US20050143664A1 (en) * | 2003-10-09 | 2005-06-30 | Zhongping Chen | Scanning probe using MEMS micromotor for endosocopic imaging |
| US7446582B2 (en) * | 2003-11-21 | 2008-11-04 | Greg C Glatzmaier | Phase angle control method |
| US7148605B2 (en) * | 2003-12-15 | 2006-12-12 | Palo Alto Research Center, Incorporated | Biaxial piezoelectric motor |
| US7527130B2 (en) * | 2005-04-29 | 2009-05-05 | Delphi Technologies, Inc. | Harmonic drive linear actuator |
| US20060283289A1 (en) * | 2005-06-16 | 2006-12-21 | Baudendistel Thomas A | Harmonic drive motor with flex-spline interlock |
| US20070059193A1 (en) * | 2005-09-12 | 2007-03-15 | Copeland Corporation | Scroll compressor with vapor injection |
| GB0600588D0 (en) * | 2006-01-12 | 2006-02-22 | Boc Group Plc | Scroll-type apparatus |
| US7857603B2 (en) * | 2007-07-24 | 2010-12-28 | Scroll Technologies | Piezoelectric drive for scroll compressor |
| WO2014025076A1 (ko) * | 2012-08-08 | 2014-02-13 | 알피니언메디칼시스템 주식회사 | 복합재료의 정렬방법 및 그 장치 |
| DE102013020763A1 (de) * | 2013-12-07 | 2015-06-11 | Daimler Ag | Scrollmaschine und eine Verwendung einer Scrollmaschine |
| US10215174B2 (en) | 2017-02-06 | 2019-02-26 | Emerson Climate Technologies, Inc. | Co-rotating compressor with multiple compression mechanisms |
| US11111921B2 (en) * | 2017-02-06 | 2021-09-07 | Emerson Climate Technologies, Inc. | Co-rotating compressor |
| US10995754B2 (en) | 2017-02-06 | 2021-05-04 | Emerson Climate Technologies, Inc. | Co-rotating compressor |
| WO2021097297A1 (en) | 2019-11-15 | 2021-05-20 | Emerson Climate Technologies, Inc | Co-rotating scroll compressor |
| US11732713B2 (en) | 2021-11-05 | 2023-08-22 | Emerson Climate Technologies, Inc. | Co-rotating scroll compressor having synchronization mechanism |
| US11624366B1 (en) | 2021-11-05 | 2023-04-11 | Emerson Climate Technologies, Inc. | Co-rotating scroll compressor having first and second Oldham couplings |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53115196A (en) * | 1977-03-18 | 1978-10-07 | Hitachi Ltd | Electrostrictive driving type specimen moving device |
| JPS5540220A (en) * | 1978-09-14 | 1980-03-21 | Hitachi Ltd | Scroll fluid machinary |
| JPS5726203A (en) * | 1980-07-22 | 1982-02-12 | Ebara Corp | Scroll machine |
| JPS5966392U (ja) * | 1982-10-25 | 1984-05-04 | ソニー株式会社 | 表面波型超音波モータ |
| JPS6277968A (ja) * | 1985-10-02 | 1987-04-10 | Nec Corp | プリンタ装置 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR93048E (fr) * | 1966-10-06 | 1969-01-31 | Vulliez Paul | Appareil columétrique tel que pompe ou analogue a cycle de translation circulaire. |
| JPS59201685A (ja) * | 1983-04-30 | 1984-11-15 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
| JPS6013481A (ja) * | 1983-07-04 | 1985-01-23 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
| US4522575A (en) * | 1984-02-21 | 1985-06-11 | American Standard Inc. | Scroll machine using discharge pressure for axial sealing |
| US4552518A (en) * | 1984-02-21 | 1985-11-12 | American Standard Inc. | Scroll machine with discharge passage through orbiting scroll plate and associated lubrication system |
| US4613782A (en) * | 1984-03-23 | 1986-09-23 | Hitachi, Ltd. | Actuator |
| JPH072024B2 (ja) * | 1985-10-24 | 1995-01-11 | キヤノン株式会社 | 振動波モ−タ |
| JPH0648910B2 (ja) * | 1987-02-12 | 1994-06-22 | 日本電気株式会社 | 圧電モ−タ |
-
1988
- 1988-11-07 JP JP63279241A patent/JP2723933B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1988-11-07 US US07/268,197 patent/US4950135A/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-11-10 KR KR1019880014767A patent/KR910008211B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1988-11-11 DE DE3838382A patent/DE3838382A1/de active Granted
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53115196A (en) * | 1977-03-18 | 1978-10-07 | Hitachi Ltd | Electrostrictive driving type specimen moving device |
| JPS5540220A (en) * | 1978-09-14 | 1980-03-21 | Hitachi Ltd | Scroll fluid machinary |
| JPS5726203A (en) * | 1980-07-22 | 1982-02-12 | Ebara Corp | Scroll machine |
| JPS5966392U (ja) * | 1982-10-25 | 1984-05-04 | ソニー株式会社 | 表面波型超音波モータ |
| JPS6277968A (ja) * | 1985-10-02 | 1987-04-10 | Nec Corp | プリンタ装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005180318A (ja) * | 2003-12-19 | 2005-07-07 | Daikin Ind Ltd | スクロール圧縮機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4950135A (en) | 1990-08-21 |
| JP2723933B2 (ja) | 1998-03-09 |
| DE3838382C2 (ja) | 1991-05-29 |
| KR910008211B1 (ko) | 1991-10-11 |
| DE3838382A1 (de) | 1989-06-01 |
| KR890008459A (ko) | 1989-07-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH02140483A (ja) | スクロール形流体機械 | |
| KR0167867B1 (ko) | 압축기 | |
| KR100643974B1 (ko) | 회전/이동 변환 액추에이터 | |
| JPS62293978A (ja) | 回転アクチエ−タ | |
| JPS6098186A (ja) | スクロ−ル型圧縮機 | |
| JPH06221277A (ja) | スクロール形流体機械 | |
| JP2008099487A (ja) | 振動アクチュエータ | |
| JP2006504896A (ja) | 複数の回転防止ユニットで接続されるマルチスクロール機械 | |
| JPH01273890A (ja) | スクロール型圧縮機 | |
| JPH08275558A (ja) | 圧電モータ | |
| JPH06101659A (ja) | 同期回転型のスクロール形流体機械 | |
| JP2915110B2 (ja) | スクロール流体機械 | |
| JP2002339882A (ja) | スクロール圧縮機の自転防止装置 | |
| JPH08159050A (ja) | スクロール型流体装置 | |
| US11516407B2 (en) | Vibration driving device and image pickup apparatus using this | |
| JPS61190183A (ja) | 回転式流体機械 | |
| JPH1172092A (ja) | スクロール型圧縮機 | |
| JP2886968B2 (ja) | スクロール流体機械 | |
| JPS59110885A (ja) | スクロ−ル圧縮機 | |
| JP2592157B2 (ja) | スクロール型流体機械 | |
| JP2804928B2 (ja) | スクロール流体機械 | |
| WO1999063227A1 (fr) | Compresseur helicoidal | |
| JPH0476201A (ja) | スクロール流体機械 | |
| JP3235269B2 (ja) | スクロール型流体機械 | |
| JPH04331480A (ja) | 中空型超音波モータ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |