JPH0210753A - 基板取扱に於ける搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はウェハーなど基板の取扱装置及び搬送装置に関
する。

（従来の技術） 半導体基板の加工工程においては、化学的、物理的な各
種処理や横歪等が何回となく行われるが、こうした処理
装置や検査装置におけル各グロセス内にはウェハーの収
納やピックアップ及び移送を行う搬送機構が付設される
。

第５図は従来例を示すものであって、１′はモーター２
）によＩ）駆動される一対のグー９３１間に張設したエ
ンドレスベルト／トであシ、該エンドレスへ／Ｌ／ト１
１には所定間隔でワークステーション４′が設置しであ
る。該ワークステーション４Ｉは基台５′上に取付け、
且つ該基台５１上には突設したべρトノリップ８Ｉを設
けてエンドレスベルト１′の外周部分を挾漕するように
なっている。

しかして、基台５１はエンドレスベルトｌ′によシ引張
られると共に、該基台５１下部にはその動きを規制する
だめのガイトレー＃９’に沿って回動するガイドローラ
１０’が設けてあシ、モーター牙の駆動でプーリ３′が
回転されることによりワークステーション４′が任意の
位置へ移動されるものとなる。

（発明が解決しようとする。Ｉｌ！ｌ！題）上記の如き
従来に於けるベルト方式やその他コンベア方式は必ず摺
動部分を有しておシ、その摺動部分から発生する塵埃が
ウェハーに付着して悪影響を及ぼす問題があ１切、また
コンベア方式では定まったルートの処理や検査しか出来
ず、且つ生産速度を向上させるだめの収納、ピンクアッ
プ及び移送速度の向上という要求に対応することができ
ないと言う問題があった。

本発明は上記問題点に鑑み、塵埃の発生がなく、コンパ
クトで正確且つ迅速に行われ、しかもフレキシフ諏しを
処理を可能とする基板の取扱装置及び搬送装置を提供せ
んとするものである。

（課題を解決するだめの手段） 本発明の基板取扱装置は１つのモーター全使用した簡単
且つコンパクトな（荷造で物品の収納やピックアップな
どのチャックによる伸縮動作が簡便に行われる構成であ
シ、また基板搬送装置はワイヤーを使用し、レール部材
を断面コ字状となさしめると共に、ワイヤーと平行な横
向きに配役し且つその開放面側へ断面コ字状となした２
個の逆り字状摺動台板をその各垂直板が対向する状態に
設け、各垂直板の内面側にはガイドレールと保合するガ
イドローラを、外面側には操作用の電気配線や配管類が
取付けられるようになさしめ、また１つの摺動台板には
上記基板取扱装置を、これに対し他の摺動台板にはワイ
ヤーを１回以上巻掛けしたプーリを取付けて動滑車作用
で移動するように構成したことにある。

以下、本発明の一実施例を添付図面に基づいて説明する
。

（実施例） 第１図は本発明で使用される基板取扱装置を示すもので
あって、Ａは平面図、Ｂは一部破断側面図である。

こ＼に基板取扱装置は１つのモーターでチャック（ワー
クステーション）の直線運動ト回転運動が行われるよう
になされるのでａ５Ｄ、その構成は次のとうシである。

Ｉはチャックであって図示例では２個０アーム２．３を
介し屈伸自在なるようにして匣体４内の支軸５に取付け
られるのであシ、具体的にはチャック１の根元部支軸１
ａがアーム２の先端部箇所を回動自在に貫挿し、支軸ｌ
ａの下端にはプーリｌｂが取付けられてなシ、−方アー
ム２の根元部支軸２ａがアーム３の先端部箇所を回動自
在に貫挿し、該支軸２ａの上記プーリ１ｂと対応する水
平箇所にはプーリ２ｂを、また支軸２ａの下端部にはプ
ーリ２ｔが取付けられてなる。

他方、アーム３は根元部の支軸５が匣体４内に立設した
ブラケット６を介し回動自在に支承させてあり、且つ該
支軸５の駆動は匣体４内に設けたモーター７の駆動で該
モーター７の出力軸に設けたウオーム８が支軸５側に取
付けたウオームホイール９と噛合し、これを回動させる
ことによプ行われる。

ｌＯは支軸５とフリーの状態で上記プーリ２ｇと対応す
る水平箇所に設けてなるプーリ、１１は上記プーリを支
軸５の外周と一定間隙で内側から支承する軸承座であっ
て、プーリ２ｔがセットボルト１２を使用しこれと一体
的に止着されてなる。

１３．１４及び１５は上記軸承座１１の下部に構成され
る電磁クラッチであって、ローター１８はセットスクリ
ュー１４を使用して軸５と一体的に止着され、１５はス
テーターである。

こ！にアーム２とアーム３の軸間距離ｇ１．１２はｌ！
ｔ　＝　ｌｘとなしてあシ、且つプーリｌｂとプーリ２
ｂの直径比は２：１、プーリ２Ｃとプーリ１０の直径比
は１：２の関係となしである。図・示例に於ける各・プ
ーリ間のベルトは省略しである。なお、デー’Ｊ　１０
の上Ｎ１０ａ外周而には適当間隔に複数（図示例では９
０°間隔で４個）の切欠１６が設けてあシ、これら切欠
１６のうち対向する切欠に対し何方からコ字状となした
板バネ１７の５１Ｗｉ力で板バネ先端部に設けたベアリ
ング１８で挾持状態となさしめることによシ、プーリ１
０の後述する回動時に於けるその特定位置が決められる
ようになっている。

上記構成に於いて、プ・−’Ｊ　１０をフリー状態とし
て支軸５をモーター７の駆動でウオーム８及びウオーム
ホイー／Ｌ／９を介し回動させると、チャックｌはその
長さ方向へ仲１７Ｍ動作するものとなるのであル、この
状態は第２図に示す通りである。即ち、物品の受は渡し
時にはアーム２．３が伸びてその収納、ピックアップを
行い、物品の移送時にはアーム２．３が組んで小さなス
ペースによるコンパクト化を可能となすのである。

ところで電磁クラッチを通電状態にすると軸承座、１１
はローター１３に張着されて電磁クラッチが入る。仁の
とき、プーリーＩＯは軸承座１１に固定されているため
同時に回転するのであるが、アーム全体（チャックｌ及
びアーム２．３）は伸縮せずに回転のみが行われるので
めって、図示例ではプーリー１０の９０’回転で上鍔１
０ａの切欠１６にベアリング１８が保合する。この時、
モーター７の駆動を停止するとアーム全体が９０°回転
したことになり（第３図参照）、次にｔ磁りフツチを非
通電状態にしてモーター７を再駆動させると上記の９０
°回転した状態でアーム全体の伸縮ｗＪ作が行われるも
のとなる。

上記実施例ではアーム全体を９０°回転したものについ
て説明したが、切欠１６を任意角度に設けることにより
所望の角度（方向）へ方向転換を可能ならしめることの
できるものとなる。

次に上記基板取扱装Ｖを取付けて走行移動する搬送装置
について説明する。

第４図は搬送装置の斜視図であって２０は装置枠、２）
はその始端側ブラケット２０ａＶｃ取付けた駆動用モー
ターで該駆動軸端にはプーリ２２が取付けられる。２３
は適当距離隔て九終端（ｔｌｌブラケット２０ｂに設け
た今１つのプーリでろって両者間にはワイヤー２４が張
設されてなる。

２５及び２６は上記ワイヤー２４に対し所定間隔で設置
される摺動台板であって共に水平板と垂直板とからなる
逆り型状に形成し、摺動台板２５の水平板２５ａはワイ
ヤー２４の片端を受板ａミＣとの間で挾持止着させ、受
板２ＦＪｇには前述の基板取扱手段）が取付けられるよ
うになされる。これに対し摺動台板２６の水平板２６ｄ
にはプーリ２７を回動自在に取付け、ワイヤー２４の同
様片端を該プーリ２７に１回転以上巻付けるようになし
である。

一方、２８は上記プーリ２２．２３間に張設されたワイ
ヤー２４の下方位置に、これと平行をなす状態に設け、
しめてなる断面コ字状のガイきに配置してあシ、且つ谷
垂直板２５１ｂ％、２６りの上下部箇所には夫々れガイ
ドローラ２９を設はガイトレー／Ｌ／２８の上下鍔部２
８ａ２Ｂｋ内面をｂｒｔｔｗＪ台板２５，２６の上記ガ
イドローラ２９が接触状態に走行して茶内されるように
なっている。

他方、各垂直板ｚ５６．２仕ｂ３の外側面には基板取扱
装置を操作するための電気配線や配管類３０が取付けら
れるようになされるのであシ、３１はその取付始端の止
着板、３２は案内ローフである。

上記構成に於いて駆動用モーター２）が駆動されると、
摺動台２５及び２６が走行移動するものとなるが、後者
は動滑車り作用で前者後動量の７である。

ところで従来では電気配線や配Ｉｉ＃頬が走行移動時に
ガイトレーｌｖ９’やガイドローフ１０’（′！；ｌｒ
、５図参照）に巻付いてその走行が不能になったり、電
気配線や配管類の破損の原因となさしめていたが、本発
明ではガイドレール２８を立設状態として電気配線や配
管類をガイトレー／ｌ／２８の外方の走行路外に纏めて
規制されるようになさしめたことから、上述の如き従来
の欠点を解消する仁とのできたものである。

上記Ｍ成ではガイドローラ２９の摺動部分が立設したガ
イトレー／Ｌ／２８内に構成されることから、上方へ向
っては決して塵埃の発生するものとならないのであるが
、超ＬＳＩ！１＆ｉＩａ工程での使用では駆動部分及び
搬送レール部全体へ更らにカバーを取付けしめ、該カバ
ー内の排、気処理を行うことによってよシ高度なりリー
ン搬送を可能となすことができる。

（発明の効果） 本発明の基板取扱装置は１つのモーターでプロセス間へ
の基板の収納、ピックアップや移送が自由自在且つ簡便
に実行されるのであシ、コンパクトな簡単構造と共に安
価に製造できるものである。

また、その搬送装置はワイヤーと立設状態としたＩｇｒ
而コ面伏のガイドレールと逆り字状の摺動台板の採用に
よ＃）１１ｔ気配線や配管類の引き廻しによる問題やＭ
埃発生の問題を解消し、能率的で高信頼搬送システムと
なさしめるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図Ａ、Ｂは基板取扱装置を示すものでＡは平面図、
Ｂは一部破断側面図、第２図ＡＢ、Ｏ，Ｄ、Ｅはチャッ
クの伸縮作用説明図、第３図はチャックの回ｖＪ作用説
明図、第４図は搬送装置の斜視図、第５図は従来装置の
破断斜視図である。 ！・・・チャック　　２．３・・・・アーム４・・・匣
体　　　　　　５・・・・支軸７・・・モーター　　　
　８・・・・ウオーム９・・・ウオームホイー／Ｉ／　
　１０　　・・・・プーリ１３．１４．１５・・・電磁
クラッチａ＋ｔ４１６　・・・切欠　　　　　　１８　
・・・ベアリング２）・・・モーター　　　２２・・・
プーリ２４・・・ワイヤー　　　２５．２６・・、摺動
台板２８・・・ガイトレー／Ｉ／２９・・・ガイドロー
ラ８０・・・ｆ棟配線、配管類 ＄１図 Ｃｎ ■ 口」

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）等長となした上下二段アームの上段アーム先端に
   チャックの支軸を回動自在に取付け、該上段アームは下
   段アーム先端に支軸を介し回動自在に取付け、下段アー
   ムの後端は匣体内に回動自在の立設状態となした支軸に
   取付け、一方前記チャック支軸の突出下端と水平状態に
   対応する上段アーム支軸箇所には直径比２：１のプーリ
   を、他方上段アーム支軸の突出下端と水平状態に対応す
   る下段アーム支軸箇所には直径比１：２のプーリを後者
   プーリが支軸とフリーの状態で且つ電磁クラッチ機構で
   該支軸の回動を「断・続」するように構成し、１つのモ
   ーターで電磁クラッチ機構が「断」の場合はチャックが
   直線方向の伸縮作動を行い、これに対し「続」の場合は
   チャックが適宜所望な角度（方向）へ回動することを特
   徴とした基板取扱装置。
2. （２）モーターの駆動で回動される一対のプーリ間にワ
   イヤーを張設し、該ワイヤーの下方位置に断面コ字状の
   ガイドレールをワイヤーと平行な横向きに配設し、その
   開放面側へ断面逆Ｌ字状となした２個の摺動台板をその
   各垂直板が対向する状態に設け、各垂直板の内面側には
   ガイドレールと係合するガイドローラを、外面側には操
   作用の電気配線や配管類が取付けられるようになし、ま
   た１つの摺動台板には基板を収納したりピツクアツプし
   たりする基板取扱装置を取付け、これに対し他の摺動台
   板にはワイヤーを１回以上巻掛けしたプーリを取付け、
   動滑車作用の走行移動するようになしたことを特徴とす
   る基板搬送装置。