JPS62268137A - ウエハキヤリア移載装置 - Google Patents
ウエハキヤリア移載装置Info
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- JPS62268137A JPS62268137A JP11059086A JP11059086A JPS62268137A JP S62268137 A JPS62268137 A JP S62268137A JP 11059086 A JP11059086 A JP 11059086A JP 11059086 A JP11059086 A JP 11059086A JP S62268137 A JPS62268137 A JP S62268137A
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- wafer carrier
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- arms
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- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- WTDRDQBEARUVNC-LURJTMIESA-N L-DOPA Chemical compound OC(=O)[C@@H](N)CC1=CC=C(O)C(O)=C1 WTDRDQBEARUVNC-LURJTMIESA-N 0.000 description 1
- 206010034719 Personality change Diseases 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体製造工程における、例えば半導体ウェ
ハキャリアの自ｅ！ＪＲ送システムと半導体製造装置間
において、ウェハキャリアの移載を行うウェハキャリア
移載装置に関し、特にウェハキャリアの搬送姿勢を変換
し得るウェハキャリア移載装置に関するものである。
ハキャリアの自ｅ！ＪＲ送システムと半導体製造装置間
において、ウェハキャリアの移載を行うウェハキャリア
移載装置に関し、特にウェハキャリアの搬送姿勢を変換
し得るウェハキャリア移載装置に関するものである。
一般に半導体製造工程におけろウェハキャリアの搬送は
、発塵源たる作業者の介在を排除するために自動搬送シ
ステムが導入されている。このシステムにおける搬送路
と半導体製造装置の間の移載においては、半導体製造装
置へのローディング・アンローディングの際のウェハキ
ャリアの姿勢が装置毎に異なり、例えばある装置では下
面を下にした通常の姿勢（以下横姿勢という。）で、別
の装置では前面を下にした姿勢（以下縦姿勢という。）
でローディング等が行われろものであるので、搬送の際
のウェハキャリアの姿勢とローディング・アンローディ
ングの際の姿勢が異なる場合には、姿勢変換を行うこと
が必要となる。
、発塵源たる作業者の介在を排除するために自動搬送シ
ステムが導入されている。このシステムにおける搬送路
と半導体製造装置の間の移載においては、半導体製造装
置へのローディング・アンローディングの際のウェハキ
ャリアの姿勢が装置毎に異なり、例えばある装置では下
面を下にした通常の姿勢（以下横姿勢という。）で、別
の装置では前面を下にした姿勢（以下縦姿勢という。）
でローディング等が行われろものであるので、搬送の際
のウェハキャリアの姿勢とローディング・アンローディ
ングの際の姿勢が異なる場合には、姿勢変換を行うこと
が必要となる。
第２図は従来の移載装置を示す全体斜視図である。同図
に示すように、ウェハキャリア１は、工場の天井部分に
吊設された軌道２を走行する自動搬送車のアーム３に横
姿勢で＠置されて所定のステーションまで搬送されろ。
に示すように、ウェハキャリア１は、工場の天井部分に
吊設された軌道２を走行する自動搬送車のアーム３に横
姿勢で＠置されて所定のステーションまで搬送されろ。
そしてアーム３が回動し、ウェハキャリア１のフラ、ン
ジ部１ａと係合してこれを支持するフォーク型のアーム
４に移載されろ。さらにこのアーム４はリフタ５により
下降し、半導体製造装置のテーブル６に設けられた載置
台７上にウェハキャリア１を載置した後、アーム４がフ
ランジ部１ａに係合しないように対向方向について開い
たうえで上昇する。そして姿勢変換機構（図示せず。）
によりウェハキャリア１が縦姿勢に変換された後、移送
ロボット８により移送されてウェハキャリア１の半導体
製造装置へのローディングが行われろものであった。ま
た以上の動作を逆に行うことによりアンローディングが
行われろ。
ジ部１ａと係合してこれを支持するフォーク型のアーム
４に移載されろ。さらにこのアーム４はリフタ５により
下降し、半導体製造装置のテーブル６に設けられた載置
台７上にウェハキャリア１を載置した後、アーム４がフ
ランジ部１ａに係合しないように対向方向について開い
たうえで上昇する。そして姿勢変換機構（図示せず。）
によりウェハキャリア１が縦姿勢に変換された後、移送
ロボット８により移送されてウェハキャリア１の半導体
製造装置へのローディングが行われろものであった。ま
た以上の動作を逆に行うことによりアンローディングが
行われろ。
しかしながら上記の自動搬送システムでは、ウェハキャ
リア１を自動搬送車からテーブル６上に移載し、さらに
姿勢変換機構により姿勢を変換したうえで、ローディン
グする構造であるので、移載時間が長くなってしまい非
能率的であった。しかも移載回数が多くなり、これはト
ラブルが多発する要因となると共に、変型なる移載の際
の衝撃によってウェハとウェハキャリア間の接触による
塵埃発生の要因となるなどの問題点があった。
リア１を自動搬送車からテーブル６上に移載し、さらに
姿勢変換機構により姿勢を変換したうえで、ローディン
グする構造であるので、移載時間が長くなってしまい非
能率的であった。しかも移載回数が多くなり、これはト
ラブルが多発する要因となると共に、変型なる移載の際
の衝撃によってウェハとウェハキャリア間の接触による
塵埃発生の要因となるなどの問題点があった。
本発明は、このような問題点に鑑み、移載回数を減らす
ことにより上記の諸問題点を解決することを目的とする
。
ことにより上記の諸問題点を解決することを目的とする
。
本発明は、ウェハキャリアを支持する一対のアームが昇
降材に付設されているウェハキャリア移載装置において
、前記ウェハキャリアを保持する保持部が前記アームに
回転自在に設けられているものである。
降材に付設されているウェハキャリア移載装置において
、前記ウェハキャリアを保持する保持部が前記アームに
回転自在に設けられているものである。
本発明によれば、アームによりウェハキャリアを移載し
た状態で、保持部を回転させることにより、ウェハキャ
リアの移載中においてその姿勢を変換させろことができ
る。
た状態で、保持部を回転させることにより、ウェハキャ
リアの移載中においてその姿勢を変換させろことができ
る。
第１図は本発明の一実施例の要部を示す部分斜視図、第
３図は同実施例を示す全体斜視図、第４図は同実施例の
動作を示す部分斜視図及び第５図（ａ） ｆｂｌは角度
センサを示す側面図及びｘ−ｘ’断面図である。
３図は同実施例を示す全体斜視図、第４図は同実施例の
動作を示す部分斜視図及び第５図（ａ） ｆｂｌは角度
センサを示す側面図及びｘ−ｘ’断面図である。
まず本発明の一実施例の移載装置を説明する。
第１図及び第３図に示すように、半導体製造装置（図示
せず。）へのローディング・アンローディングためのテ
ーブル６の近傍には、リフタ５が立設されており、リフ
タ５の昇降部（図示せず。）には取付板１０が固定され
ている。そしてこの取付板１０には一対のスライドブロ
ック１１が固定されており、このスライドブロック１１
によりアーム１２がスライド自在に支持されている。こ
のアーム１２間には、基部１２ａにおいて引張りコイル
バネ１３が張架されている。また基部１２ａの後辺には
回転ローラ１４が付設されている。さらに取付板１０に
はモータ１５が付設されて部り、その回転軸には楕円状
のカム１６が取り付けられている。アーム１２が引張り
コイルバネ１３により対向方向に付勢されているので、
この回転ローラ１４は常にカム１６に当接しており、モ
ータ１５を駆動してカム１６を回転させ所定の角度に位
置させることにより、アーム１２の対向方向についての
移動が行われろものである。
せず。）へのローディング・アンローディングためのテ
ーブル６の近傍には、リフタ５が立設されており、リフ
タ５の昇降部（図示せず。）には取付板１０が固定され
ている。そしてこの取付板１０には一対のスライドブロ
ック１１が固定されており、このスライドブロック１１
によりアーム１２がスライド自在に支持されている。こ
のアーム１２間には、基部１２ａにおいて引張りコイル
バネ１３が張架されている。また基部１２ａの後辺には
回転ローラ１４が付設されている。さらに取付板１０に
はモータ１５が付設されて部り、その回転軸には楕円状
のカム１６が取り付けられている。アーム１２が引張り
コイルバネ１３により対向方向に付勢されているので、
この回転ローラ１４は常にカム１６に当接しており、モ
ータ１５を駆動してカム１６を回転させ所定の角度に位
置させることにより、アーム１２の対向方向についての
移動が行われろものである。
また上記のアーム１２には、ウェハキャリア１のフラン
ジ部１ａを保持する凹部１７ａを有する保持部１７がそ
れぞれ２つずつ、ベアリングが封入された軸受１８を介
して軸支されている。そして図中左側の保持部１７の支
軸にはプーリ１９が固設されろと共に、右側の保持部１
７の支軸には２段プーリ２０が固設されている。またア
ーム１２の基部１２ａにはモータ２１が付設されており
、その軸にはプーリ２２が固設されている。さらにタイ
ミングベルト２３を介してプーリ１９とプーリ２０が連
結されろと共に、タイミングベルト２４を介してブーＩ
Ｊ ２０とプーリ２２が連結されてし）ろ。タイミング
ベルト２３．２４は、バックラッシのないベルトであり
、角度を狂わせることなくプーリ２２の回転をプーリ１
９とプーリ２ｏに伝達するものである。
ジ部１ａを保持する凹部１７ａを有する保持部１７がそ
れぞれ２つずつ、ベアリングが封入された軸受１８を介
して軸支されている。そして図中左側の保持部１７の支
軸にはプーリ１９が固設されろと共に、右側の保持部１
７の支軸には２段プーリ２０が固設されている。またア
ーム１２の基部１２ａにはモータ２１が付設されており
、その軸にはプーリ２２が固設されている。さらにタイ
ミングベルト２３を介してプーリ１９とプーリ２０が連
結されろと共に、タイミングベルト２４を介してブーＩ
Ｊ ２０とプーリ２２が連結されてし）ろ。タイミング
ベルト２３．２４は、バックラッシのないベルトであり
、角度を狂わせることなくプーリ２２の回転をプーリ１
９とプーリ２ｏに伝達するものである。
以上の構造において、自動搬送車からウェハキャリア１
が移載される際は、まずリフタ５が作動して昇降部が所
定の高さまで上昇する。このときウェハキャリア１を支
持した自動搬送車のアーム３は回動してアーム１２の上
方に位置している。
が移載される際は、まずリフタ５が作動して昇降部が所
定の高さまで上昇する。このときウェハキャリア１を支
持した自動搬送車のアーム３は回動してアーム１２の上
方に位置している。
またアーム１２は、カム１６が所定の角度に位置するこ
とにより引張りコイルバネ１３の付勢力に抗して、対向
方向について外側に押し広げられている（以下、この状
態を開状態という。）。
とにより引張りコイルバネ１３の付勢力に抗して、対向
方向について外側に押し広げられている（以下、この状
態を開状態という。）。
そしてアーム１２が所定の高さに達すると、モータ１５
が駆動してカム１６が回転し、引張りコイルバネ１３の
付勢力によりアーム１２が対向方向について内側に移動
することになる（以下、この状態を閉状態という。）。
が駆動してカム１６が回転し、引張りコイルバネ１３の
付勢力によりアーム１２が対向方向について内側に移動
することになる（以下、この状態を閉状態という。）。
この動作により、ウェハキャリア１のフランジ部１ａが
保持部１７に嵌入し、もってウェハキャリア１の保持が
行われる。
保持部１７に嵌入し、もってウェハキャリア１の保持が
行われる。
そしてアーム１２は若干上昇し、自動搬送車のアーム３
が回動して元の位置に戻った後、テーブル６に向かって
下降する。
が回動して元の位置に戻った後、テーブル６に向かって
下降する。
この下降中において、モータ２１が駆動してプーリ２２
が回転し、タイミングベルト２３，２４を介して２段プ
ーリ２０、さらにはプーリ１９が回転して保持部１７が
回転し、第４図に示すように、ウェハキャリア１が縦姿
勢へと変換されろ。
が回転し、タイミングベルト２３，２４を介して２段プ
ーリ２０、さらにはプーリ１９が回転して保持部１７が
回転し、第４図に示すように、ウェハキャリア１が縦姿
勢へと変換されろ。
□そして第３図に戻って説明すると、テーブル６上にウ
ェハキャリア１が載置されろ位置までアーム１２が下降
し、さらにモータ１５が駆動してカム１６が回転し、ア
ーム１２が対向方向について外側に移動することになる
。この動作により、ウェハキャリア１の保持が解除され
る。この後、テーブル６の駆動により、半導体製造装置
へのウェハキャリアのローディングが行われろ。なおア
ンローディングは上記と逆の動作により行われろ。
ェハキャリア１が載置されろ位置までアーム１２が下降
し、さらにモータ１５が駆動してカム１６が回転し、ア
ーム１２が対向方向について外側に移動することになる
。この動作により、ウェハキャリア１の保持が解除され
る。この後、テーブル６の駆動により、半導体製造装置
へのウェハキャリアのローディングが行われろ。なおア
ンローディングは上記と逆の動作により行われろ。
また保持部１７は、ウェハキャリア１の確実な保持・載
置を行うために、正確な角度制御が要求されろ。そこで
第５図（ａｌ （ｂｌに示すような角度センサを、それ
ぞれのアームについていずれかのプーリに付設する態様
が望ましい。本実施例では２段プーリ２０に吊設した例
を示す。同図に示すように、２段プーリ２０の支軸２５
に円板２６が固定されており、この円板２６の周縁には
例えば４５″毎に切り火き２６ａが形成されている。角
度センサ２７はフォトカプラを用いたセンサで、軸受１
８に固定きれた支持材２８により円板２６の周縁に位置
するように支持されている。この角度センサ２７の検出
信号はモータ２１の制御装置（図示せず。）に送出され
ろものであり、以上の構成により正確な角度制御が可能
となる。なおそれぞれのアームについて角度は、回転途
中で一致していなくても、ウェハキャリアのフランジ部
を把持する時点で一致していればよい。
置を行うために、正確な角度制御が要求されろ。そこで
第５図（ａｌ （ｂｌに示すような角度センサを、それ
ぞれのアームについていずれかのプーリに付設する態様
が望ましい。本実施例では２段プーリ２０に吊設した例
を示す。同図に示すように、２段プーリ２０の支軸２５
に円板２６が固定されており、この円板２６の周縁には
例えば４５″毎に切り火き２６ａが形成されている。角
度センサ２７はフォトカプラを用いたセンサで、軸受１
８に固定きれた支持材２８により円板２６の周縁に位置
するように支持されている。この角度センサ２７の検出
信号はモータ２１の制御装置（図示せず。）に送出され
ろものであり、以上の構成により正確な角度制御が可能
となる。なおそれぞれのアームについて角度は、回転途
中で一致していなくても、ウェハキャリアのフランジ部
を把持する時点で一致していればよい。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、アームによりウ
ェハキャリアを移載した状態で、保持部を回転させるこ
とにより、ウェハキャリアの移載中においてその姿勢を
変換させろことができるので、別途姿勢変換工程を行う
必要がな（、能率的な移載が行えると共に、移載の際の
ウェハとウェハキャリアの接触による塵埃発生を最小限
に押さえられるという効果がある。
ェハキャリアを移載した状態で、保持部を回転させるこ
とにより、ウェハキャリアの移載中においてその姿勢を
変換させろことができるので、別途姿勢変換工程を行う
必要がな（、能率的な移載が行えると共に、移載の際の
ウェハとウェハキャリアの接触による塵埃発生を最小限
に押さえられるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例の要部を示す部分斜視図、第
２図；よ従来の移載装置を示す全体斜視図、第３図は同
実施例を示す全体斜視図、第４図は同実施例の動作を示
す部分斜視図及び第５図（ａｌ （ｂｌは角度センサを
示す側面図及びｘ−ｘ’断面図である。 １：ウェハキャリア、１ａ：フランジ部、３：自動搬送
車のアーム、５： リフタ、６：テーブル、１０：取付
板、１１ニスライドブロツク、１２：アーム、１３：引
張りコイルバネ、１４：回転ローラ、１５：モータ、１
６：カム、１７：保持部、１９：プーリ、２０： ２段
プーリ、２１：モータ、２２：モータの軸に固定された
ブーＩＪ、２３，２４：タイミングベルト、２６：円板
、２６ａ：切り欠き、２７：角度センサ。 特許出願人 沖電気工業株式会社 − 代理人角 １）仁之助・−・、−三゛ 、′、°−フ 実施例を示す全体斜視図 悄ｖ ２ ドパ Ｘ′＝ 角度センサ全示す図
２図；よ従来の移載装置を示す全体斜視図、第３図は同
実施例を示す全体斜視図、第４図は同実施例の動作を示
す部分斜視図及び第５図（ａｌ （ｂｌは角度センサを
示す側面図及びｘ−ｘ’断面図である。 １：ウェハキャリア、１ａ：フランジ部、３：自動搬送
車のアーム、５： リフタ、６：テーブル、１０：取付
板、１１ニスライドブロツク、１２：アーム、１３：引
張りコイルバネ、１４：回転ローラ、１５：モータ、１
６：カム、１７：保持部、１９：プーリ、２０： ２段
プーリ、２１：モータ、２２：モータの軸に固定された
ブーＩＪ、２３，２４：タイミングベルト、２６：円板
、２６ａ：切り欠き、２７：角度センサ。 特許出願人 沖電気工業株式会社 − 代理人角 １）仁之助・−・、−三゛ 、′、°−フ 実施例を示す全体斜視図 悄ｖ ２ ドパ Ｘ′＝ 角度センサ全示す図
Claims (1)
- ウェハキャリアを支持する一対のアームが昇降材に付
設されているウェハキャリア移載装置において、前記ウ
ェハキャリアを保持する保持部が前記アームに回転自在
に設けられていることを特徴とするウェハキャリア移載
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11059086A JPS62268137A (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | ウエハキヤリア移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11059086A JPS62268137A (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | ウエハキヤリア移載装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62268137A true JPS62268137A (ja) | 1987-11-20 |
Family
ID=14539712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11059086A Pending JPS62268137A (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | ウエハキヤリア移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62268137A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6082798A (en) * | 1997-10-24 | 2000-07-04 | Siemens Ag | Device for gripping magazines |
| CN102390650A (zh) * | 2011-05-24 | 2012-03-28 | 友达光电股份有限公司 | 机械承载臂 |
| CN106938776A (zh) * | 2017-03-02 | 2017-07-11 | 北京创世威纳科技有限公司 | 一种真空腔室物料转送装置 |
| CN110877809A (zh) * | 2019-10-11 | 2020-03-13 | 精诚工科汽车系统有限公司 | 物料输送装置 |
-
1986
- 1986-05-16 JP JP11059086A patent/JPS62268137A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6082798A (en) * | 1997-10-24 | 2000-07-04 | Siemens Ag | Device for gripping magazines |
| CN102390650A (zh) * | 2011-05-24 | 2012-03-28 | 友达光电股份有限公司 | 机械承载臂 |
| CN102390650B (zh) * | 2011-05-24 | 2014-06-11 | 友达光电股份有限公司 | 机械承载臂 |
| CN106938776A (zh) * | 2017-03-02 | 2017-07-11 | 北京创世威纳科技有限公司 | 一种真空腔室物料转送装置 |
| CN110877809A (zh) * | 2019-10-11 | 2020-03-13 | 精诚工科汽车系统有限公司 | 物料输送装置 |
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