JPH0585312B2

JPH0585312B2 -

Info

Publication number: JPH0585312B2
Application number: JP63161146A
Authority: JP
Inventors: Takeyuki Urabe; Michikazu Takahashi
Original assignee: Tatsumo KK
Current assignee: Tatsumo KK
Priority date: 1988-06-28
Filing date: 1988-06-28
Publication date: 1993-12-07
Also published as: JPH0210753A

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明はウエハーなど基板取扱に於ける搬送装
置に関する。

（従来の技術）半導体基板の加工工程においては、化学的、物
理的な各種処理や検査等が何回となく行われる
が、こうした処理装置や検査装置における各プロ
セス内にはウエハーの収納やピツクアツプ及び移
送を行う搬送機構が付設される。

第５図は従来例を示すものであつて、１¹はモ
ーター２¹により駆動される一対のプーリ３¹間に
張設したエンドレスベルトであり、該エンドレス
ベルト１¹には所定間隔でワークステーシヨン４¹
が設置してある。該ワークステーシヨン４¹は基
台５¹上に取付け、且つ該基台５¹上には突設した
ベルトクリツプ８¹を設けてエンドレスベルト１¹
の外周部分を挾着するようになつている。

しかして、基台５¹はエンドレスベルト１¹によ
り引張られると共に、該基台５¹下部にはその動
きを規制するためのガイドレール９¹に沿つて回
動するガイドローラ１０¹が設けてあり、モータ
ー２¹の駆動でプーリ３¹が回転されることにより
ワークステーシヨン４¹が任意の位置へ移動され
るものとなる。

（発明が解決しようとする課題）上記の如き従来に於けるベルト方式やその他コ
ンベア方式は必ず摺動部分を有しており、その摺
動部分から発生する塵埃がウエハーに付着して悪
影響を及ぼす問題があり、またコンベア方式では
定まつたルートの処理や検査しか出来ず、且つ生
産速度を向上させるための収納、ピツクアツプ及
び移送速度の向上という要求に対応することがで
きないと言う問題があつた。

本発明は上記問題点に鑑み、塵埃の発生がな
く、コンパクトで正確且つ迅速に行われ、しかも
フレキシブルな処理を可能とする基板の取扱に於
ける搬送装置を提供せんとするものである。

（課題を解決するための手段）本発明の基板取扱装置は１つのモーターを使用
した簡単且つコンパクトな構造で物品の収納やピ
ツクアツプなどのチヤツクによる伸縮動作が簡便
に行われる構成であり、また基板搬送装置はワイ
ヤーを使用し、レール部材を断面コ字状となさし
めると共に、ワイヤーと平行な横向きに配設し且
つその開放面側へ断面コ字状となした２個の逆Ｌ
字状摺動台板をその各垂直板が対向する状態に設
け、各垂直板の内面側にはガイドレールと係合す
るガイドローラを、イドローラを、そして前者の
垂直板の外面側には操作用の電気配線を係止する
止着板を取付け、これに対し後者の垂直板には上
記電気配線を逆方向へ転換する案内ローラを取付
け、又前者の摺動台板には基板を収納したりピツ
クアツプしたりする基板取扱装置を取付け、これ
に対し後者の摺動台板にはワイヤーを１回以上巻
掛けしたプーリを取付けて動滑車作用で移動する
ように構成したことにある。

以下、本発明の一実施例を添付図面に基づいて
説明する。

（実施例）第１図は本発明で使用される基板取扱装置を示
すものであつて、Ａは平面図、Ｂは一部破断側面
図である。

こゝに基板取扱装置は１つのモーターでチヤツ
ク（ワークステーシヨン）の直線運動と回転運動
が行われるようになされるのであり、その構成は
次のとうりである。

１はチヤツクであつて図示例では２個のアーム
２，３を介し屈伸自在なるようにして匣体４の支
軸５に取付けられるのであり、具体的にはチヤツ
ク１の根元部支軸１^aがアーム２の先端部箇所を
回動自在に貫挿し、支軸１^aの下端にはプーリ１^b
が取付けられてなり、一方アーム２の根元部支軸
２^aがアーム３の先端部箇所を回動自在に貫挿し、
該支軸２^aの上記プーリ１^bと対応する水平箇所に
はプーリ２^bを、また支軸２^aの下端部にはプーリ
２^cが取付けられてなる。

他方、アーム３は根元部の支軸５が匣体４内に
立設したブラケツト６を介し回動自在に支承させ
てあり、且つ該支軸５の駆動は匣体４内に設けた
モーター７の駆動で該モーター７の出力軸に設け
たウオーム８が支軸５側に取付けたウオームホイ
ール９と噛合し、これを回動させることにより行
われる。

１０は支軸５とフリーの状態で上記プーリ２^c
と対応する水平箇所に設けてなるプーリ、１１は
上記プーリを支軸５の外周と一定間隙で内側から
支承する軸承座であつて、プーリ２^cがセツトボ
ルト１２を使用しこれと一体的に止着されてな
る。

１３，１４及び１５は上記軸承座１１の下部に
構成される電磁クラツチであつて、ローター１３
はセツトスクリユー１４を使用して軸５と一体的
に止着され、１５はステーターである。

こゝにアーム２とアーム３の軸間距離l¹，l²は
l¹＝l²となしてあり、且つプーリ１^bとプーリ２^b
の直径比は２：１、プーリ２^cとプーリ１０の直
径比は１：２の関係となしてある。図示例に於け
る各プーリ間のベルトは省略してある。なお、プ
ーリ１０の上鍔１０^a外周面には適当間隔に複数
（図示例では90゜間隔で４個）の切欠１６が設けて
あり、これら切欠１６のうち対向する切欠に対し
側方からコ字状となした板バネ１７の弾撥力で板
バネ先端部に設けたベアリング１８で挾持状態と
なさしめることにより、プーリ１０の後述する回
動時に於けるその特定位置が定められるようにな
つている。

上記構成に於いて、プーリ１０をフリー状態と
して支軸５をモーター７の駆動でウオーム８及び
ウオームホイール９を介し回動させると、チヤツ
ク１はその長さ方向へ伸縮動作するものとなるの
であり、この状態は第２図に示す通りである。即
ち、物品の受け渡し時にはアーム２，３が伸びて
その収納、ピツクアツプを行い、物品の移送時に
はアーム２，３が縮んで小さなスペースによるコ
ンパクト化を可能となすのである。

ところで電磁クラツチを通電状態にすると軸承
座１１はローター１３に吸着されて電磁クラツチ
が入る。このとき、プーリー１０は軸承座１１に
固定されているため同時に回転するのであるが、
アーム全体（チヤツク１及びアーム２，３）は伸
縮せずに回転のみが行われるのであつて、図示例
ではプーリー１０の90゜回転で上鍔１０^aの切欠１
６にベアリング１８が係合する。この時、モータ
ー７の駆動を停止するとアーム全体が90゜回転し
たことになり（第３図参照）、次に電磁クラツチ
を非通電状態にしてモーター７を再駆動させると
上記の90゜回転した状態でアーム全体の伸縮動作
が行われるものとなる。

上記実施例ではアーム全体を90゜回転したもの
について説明したが、切欠１６を任意角度に設け
ることにより所望の角度（方向）へ方向転換を可
能ならしめることのできるものとなる。

次に上記基板取扱装置を取付けて走行移動する
搬送装置について説明する。

第４図は搬送装置の斜視図であつて２０は装置
枠、２１はその始端側ブラケツト２０^aに取付け
た駆動用モーターで該駆動軸端にはプーリ２２が
取付けられる。２３は適当距離隔てた終端側ブラ
ケツト２０^bに設けた今１つのプーリであつて両
者間にはワイヤー２４が張設されてなる。

２５及び２６は上記ワイヤー２４に対し所定間
隔で設置される摺動台板であつて共に水平板と垂
直板とからなる逆Ｌ型状に形成し、摺動台板２５
の水平板２５^aはワイヤー２４の片端を受板２５^c
との間で挾持止着させ、受板２５^cには前述の基
板取扱手段が取付けられるようになされる。これ
に対し摺動台板２６の水平板２６^aにはプーリ２
７を回動自在に取付け、ワイヤー２４の同様片端
を該プーリ２７に１回転以上巻付けるようになし
てある。

一方、２８は上記プーリ２２，２３間に張設さ
れたワイヤー２４の下方位置に、これと平行をな
す状態に設けしめてなる断面コ字状のガイドレー
ルであつて、その開放部ｍが上記摺動台板２５，
２６の垂直板２５^b，２６^bの側に向うよう横向き
に配置してあり、且つ各垂直板２５^b，２６^bの上
下部箇所には夫々れガイドローラ２９を設けガイ
ドレール２８の上下鍔部２８^a，２８^b内面を各摺
動台板２５，２６の上記ガイドローラ２９が接触
状態に走行して案内されるようになつている。

他方、各垂直板２５^b，２６^bの外側面には基板
取扱装置を操作するための電気配線や配管類３０
が取付けられるようになされるのであり、３１は
その取付始端の止着板、３２は案内ローラであ
る。

上記構成に於いて駆動用モーター２１が駆動さ
れると、摺動台２５及び２６が走行移動するもの
となるが、後者は動滑車の作用で前者移動量の1/
２である。

ところで従来では電気配線や配管類が走行移動
時にガイドレール９¹やガイドローラ１０¹（第５
図参照）に巻付いてその走行が不能になつたり、
電気配線や配管類の破損の原因となさしめていた
が、本発明ではガイドレール２８を立設状態とし
て電気配線や配管類をガイドレール２８の外方の
走行路外に纒めて規制されるようになさしめたこ
とから、上述の如き従来の欠点を解消することの
できたものである。

上記構成ではガイドローラ２９の摺動部分が立
設したガイドレール２８内に構成されることか
ら、上方へ向つては決して塵埃の発生するものと
ならないのであるが、超LSI製造工程での使用で
は駆動部分及び搬送レール部全体へ更らにカバー
を取付けしめ、該カバー内の排気処理を行うこと
によつてより高度なクリーン搬送を可能となすこ
とができる。

（発明の効果）本発明の基板取扱装置は１つのモーターでプロ
セス間への基板の収納、ピツクアツプや移送が自
由自在且つ簡便に実行されるのであり、コンパク
トな簡単構造と共に安価に製造できるものであ
る。

また、その搬送装置はワイヤーと立設状態とし
た断面コ字状のガイドレールと逆Ｌ字状の摺動台
板の採用により電気配線や配管類の引き廻しによ
る問題や塵埃発生の問題を解消し、能率的で高信
頼搬送システムとなさしめるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図Ａ，Ｂは基板取扱装置を示すものでＡは
平面図、Ｂは一部破断側面図、第２図Ａ，Ｂ，
Ｃ，Ｄ，Ｅはチヤツクの伸縮作用説明図、第３図
はチヤツクの回動作用説明図、第４図は搬送装置
の斜視図、第５図は従来装置の破断斜視図であ
る。１…チヤツク、２，３…アーム、４…匣体、５
…支軸、７…モーター、８…ウオーム、９…ウオ
ームホイール、１０…プーリ、１３，１４，１５
…電磁クラツチ機構、１６…切欠、１８…ベアリ
ング、２１…モーター、２２…プーリ、２４…ワ
イヤー、２５，２６…摺動台板、２８…ガイドレ
ール、２９…ガイドローラ、３０…電気配線、配
管類。

Claims

【特許請求の範囲】

１モーターの駆動で回動される１対のプーリ間
にワイヤーを張設し、該ワイヤーの下方位置に断
面コ字状のガイドレールをワイヤーと平行な横向
きに配設し、その開放面側へ断面逆Ｌ字状になし
た２個の摺動台板をその各垂直板が対向する状態
に設け、各垂直板の内面側にはガイドレールと係
合するガイドローラを、そして前者の垂直板の外
面側には操作用の電気配線を係止する止着板を取
付け、これに対し後者の垂直板には上記電気配線
を逆方向へ転換する案内ローラを取付け、又前者
の摺動台板には基板を収納したりピツクアツプし
たりする基板取扱装置を取付け、これに対し後者
の摺動台板にはワイヤーを１回以上巻掛けしたプ
ーリを取付け、動滑車作用で走行移動するように
なしたことを特徴とする基板取扱に於ける搬送装
置。