JPH05708A - 移載装置 - Google Patents
移載装置Info
- Publication number
- JPH05708A JPH05708A JP17579991A JP17579991A JPH05708A JP H05708 A JPH05708 A JP H05708A JP 17579991 A JP17579991 A JP 17579991A JP 17579991 A JP17579991 A JP 17579991A JP H05708 A JPH05708 A JP H05708A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pallet
- wafer storage
- traveling carriage
- transfer robot
- stocker
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウエハ収納キャリアの形状に応じて走行台車
の載置部や移載ロボットの把持部を変更する必要がな
く、画一的にウエハ収納キャリアを移載することができ
る移載装置を提供する。 【構成】 走行レールＲに沿って走行する走行台車１に
着脱自在に設けられ、複数のウエハ収納キャリア３を載
置するパレット２と、このパレット２に係合可能なハン
ド部８ａ，８ｂを有し、走行台車１と前記キャリア３を
保管するストッカ５との間で前記パレット２を移載する
移載ロボット６とを具備したことを特徴とする。
の載置部や移載ロボットの把持部を変更する必要がな
く、画一的にウエハ収納キャリアを移載することができ
る移載装置を提供する。 【構成】 走行レールＲに沿って走行する走行台車１に
着脱自在に設けられ、複数のウエハ収納キャリア３を載
置するパレット２と、このパレット２に係合可能なハン
ド部８ａ，８ｂを有し、走行台車１と前記キャリア３を
保管するストッカ５との間で前記パレット２を移載する
移載ロボット６とを具備したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハ収納キャリアを
搭載して搬送する走行台車とウエハ収納キャリアを保管
するストッカとの間でウエハ収納キャリアの移載を行な
う移載装置に関する。特に、ウエハ収納キャリアの形状
に応じて走行台車の載置部や移載ロボットの把持部を変
更する必要がない移載装置に関するものである。
搭載して搬送する走行台車とウエハ収納キャリアを保管
するストッカとの間でウエハ収納キャリアの移載を行な
う移載装置に関する。特に、ウエハ収納キャリアの形状
に応じて走行台車の載置部や移載ロボットの把持部を変
更する必要がない移載装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来よりウエハを収納したキャリア（ウ
エハ収納キャリア）は製造工程において、走行レールに
沿って走行する走行台車に搭載されて高クリーン度の装
置間を搬送されている。このような走行台車とウエハ収
納キャリアを保管するストッカとの間におけるウエハ収
納キャリアの移載には、ウエハ収納キャリアを把持して
移載する移載ロボットが用いられている。
エハ収納キャリア）は製造工程において、走行レールに
沿って走行する走行台車に搭載されて高クリーン度の装
置間を搬送されている。このような走行台車とウエハ収
納キャリアを保管するストッカとの間におけるウエハ収
納キャリアの移載には、ウエハ収納キャリアを把持して
移載する移載ロボットが用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の移載装
置には、次のような問題があった。
置には、次のような問題があった。
【０００４】ウエハ収納キャリアの形状は、ウエハの種
類や形状により異なったものとなっているので、キャリ
アの形状にあわせて走行台車の載置部や移載ロボットの
把持部を変更する必要があった。
類や形状により異なったものとなっているので、キャリ
アの形状にあわせて走行台車の載置部や移載ロボットの
把持部を変更する必要があった。
【０００５】本発明の目的は、以上のような従来の問題
点を解決し、ウエハ収納キャリアの形状に応じて走行台
車の載置部や移載ロボットの把持部を変更する必要がな
く、画一的にウエハ収納キャリアを移載することができ
る移載装置を提供することにある。
点を解決し、ウエハ収納キャリアの形状に応じて走行台
車の載置部や移載ロボットの把持部を変更する必要がな
く、画一的にウエハ収納キャリアを移載することができ
る移載装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、走行レールに沿って走行する走行台車に着
脱自在に設けられ、複数のウエハ収納キャリアを載置す
るパレットと、このパレットに係合可能なハンド部を有
し、走行台車と前記キャリアを保管するストッカとの間
で前記パレットを移載する移載ロボットとを具備した構
成としてある。
に本発明は、走行レールに沿って走行する走行台車に着
脱自在に設けられ、複数のウエハ収納キャリアを載置す
るパレットと、このパレットに係合可能なハンド部を有
し、走行台車と前記キャリアを保管するストッカとの間
で前記パレットを移載する移載ロボットとを具備した構
成としてある。
【０００７】
【作用効果】本発明は上記の構成としたので、次のよう
な作用効果を奏する。
な作用効果を奏する。
【０００８】すなわち、ウエハ収納キャリアは移載ロボ
ットにより、パレットに搭載されたままパレット単位で
走行台車とストッカとの間で移載されることとなる。
ットにより、パレットに搭載されたままパレット単位で
走行台車とストッカとの間で移載されることとなる。
【０００９】したがって、本発明の移載装置によれば、
ウエハの種類や形状によってウエハ収納キャリアの形状
が異なっていても、キャリアの形状に応じて走行台車の
載置部や移載ロボットの把持部を変更する必要がなく、
画一的にウエハ収納キャリアを移載することができると
いう効果がある。
ウエハの種類や形状によってウエハ収納キャリアの形状
が異なっていても、キャリアの形状に応じて走行台車の
載置部や移載ロボットの把持部を変更する必要がなく、
画一的にウエハ収納キャリアを移載することができると
いう効果がある。
【００１０】
【実施例】以下、図示の実施例について説明する。
【００１１】図１は本発明に係る移載装置の一実施例を
示す概略斜視図、図２は同じく移載ロボットを示す概略
斜視図、図３は図２の支持部のIII ーIII線概略断面
図、図４はハンド部とパレットとの係合状態を示す説明
図である。
示す概略斜視図、図２は同じく移載ロボットを示す概略
斜視図、図３は図２の支持部のIII ーIII線概略断面
図、図４はハンド部とパレットとの係合状態を示す説明
図である。
【００１２】これらの図面において、１は走行台車であ
り、建物の天井より吊設された走行レールＲに沿って走
行するようになっている。２はウエハ収納キャリア搭載
用のパレットであり、走行台車１の上部に着脱自在な構
造となっている。このパレット２上には、複数枚のウエ
ハを収容したウエハ収納キャリア３が走行台車１の走行
方向に２セット並べて搭載できるようになっている。パ
レット２の両側面部には、水平方向に張り出された係合
部４，４が形成されている。この係合部４，４は、後述
する移載ロボットのハンド部に係合するようになってい
る。
り、建物の天井より吊設された走行レールＲに沿って走
行するようになっている。２はウエハ収納キャリア搭載
用のパレットであり、走行台車１の上部に着脱自在な構
造となっている。このパレット２上には、複数枚のウエ
ハを収容したウエハ収納キャリア３が走行台車１の走行
方向に２セット並べて搭載できるようになっている。パ
レット２の両側面部には、水平方向に張り出された係合
部４，４が形成されている。この係合部４，４は、後述
する移載ロボットのハンド部に係合するようになってい
る。
【００１３】５は高クリーン度のストッカであり、前工
程からのウエハ収納キャリア３を図示しないモービルロ
ボットにより搬入し、走行台車１により次工程へ搬送さ
れるまで保管しておく。
程からのウエハ収納キャリア３を図示しないモービルロ
ボットにより搬入し、走行台車１により次工程へ搬送さ
れるまで保管しておく。
【００１４】６はストッカ５に設けられた移載ロボット
であり、走行台車１とストッカ５との間でパレット２を
移載するようになっている。７は移載ロボット６の支持
部であり、図３に示すように、支持部回動用のモータ８
の回転軸８ａに固定され、回転軸８ａによって回転駆動
されるようになっている。
であり、走行台車１とストッカ５との間でパレット２を
移載するようになっている。７は移載ロボット６の支持
部であり、図３に示すように、支持部回動用のモータ８
の回転軸８ａに固定され、回転軸８ａによって回転駆動
されるようになっている。
【００１５】９，１０はタイミングプーリであり、支持
部７内の回転軸８ａ回りに配置され、モータカバー８ｂ
の上部８ｃに固定されている。タイミングプーリ９，１
０の内側には、ベアリング１０ａが配置され、回転軸８
ａを支持している。
部７内の回転軸８ａ回りに配置され、モータカバー８ｂ
の上部８ｃに固定されている。タイミングプーリ９，１
０の内側には、ベアリング１０ａが配置され、回転軸８
ａを支持している。
【００１６】１１，１２は支持部７の両端近傍にそれぞ
れ回動自在に配置されたタイミングプーリであり、タイ
ミングベルト１３，１４を介してタイミングプーリ９，
１０に接続してある。したがって、支持部回動用のモー
タ８を作動させると、回転軸８ａが回動し、支持部７が
回動する。タイミングプーリ１１，１２は、タイミング
ベルト１３，１４を介してタイミングプーリ９，１０に
それぞれ接続されているので、支持部７が、例えば、図
中矢印Ａ方向に回動したときには、図中矢印Ｂ方向にそ
れぞれ回動することとなる。タイミングプーリ１１，１
２は、支持部７が１回転したときに、それぞれ１回転す
るようになっている。
れ回動自在に配置されたタイミングプーリであり、タイ
ミングベルト１３，１４を介してタイミングプーリ９，
１０に接続してある。したがって、支持部回動用のモー
タ８を作動させると、回転軸８ａが回動し、支持部７が
回動する。タイミングプーリ１１，１２は、タイミング
ベルト１３，１４を介してタイミングプーリ９，１０に
それぞれ接続されているので、支持部７が、例えば、図
中矢印Ａ方向に回動したときには、図中矢印Ｂ方向にそ
れぞれ回動することとなる。タイミングプーリ１１，１
２は、支持部７が１回転したときに、それぞれ１回転す
るようになっている。
【００１７】１５ａ，１５ｂは支持部７の両端部に設け
た一対のハンド部であり、タイミングプーリ１１，１２
の軸１１ａ，１２ａに固定され、プーリ１１，１２とそ
れぞれ一体的に回動するようになっている。一対のハン
ド部１５ａ，１５ｂは、図４に示すように側面視略Ｃ字
形状に形成されている。１５ｃ，１５ｃはハンド部１５
ａ，１５ｂの下端を内側に折り曲げて設けた引掛部であ
り、パレット２の係合部４，４に係合する大きさに形成
されている。このような一対のハンド部１５ａ，１５ｂ
は、図１に示すような向きで、支持部７の両端部に取り
付けられ、走行台車１側とストッカ５側とではハンド部
の向きが９０度ずれた状態となっている。すなわち、走
行台車１側では、開口部１５ｄが走行レールＲに沿って
開口し、また、ストッカ５側では、開口部１５ｄが出庫
口５ａに向けて開口するようになっている。
た一対のハンド部であり、タイミングプーリ１１，１２
の軸１１ａ，１２ａに固定され、プーリ１１，１２とそ
れぞれ一体的に回動するようになっている。一対のハン
ド部１５ａ，１５ｂは、図４に示すように側面視略Ｃ字
形状に形成されている。１５ｃ，１５ｃはハンド部１５
ａ，１５ｂの下端を内側に折り曲げて設けた引掛部であ
り、パレット２の係合部４，４に係合する大きさに形成
されている。このような一対のハンド部１５ａ，１５ｂ
は、図１に示すような向きで、支持部７の両端部に取り
付けられ、走行台車１側とストッカ５側とではハンド部
の向きが９０度ずれた状態となっている。すなわち、走
行台車１側では、開口部１５ｄが走行レールＲに沿って
開口し、また、ストッカ５側では、開口部１５ｄが出庫
口５ａに向けて開口するようになっている。
【００１８】１６は支持部７の支軸をなすスプライン軸
であり、基部１７に固定されたボールスプライン１８に
案内されて昇降動するようになっている。スプライン軸
１６の下端には、ナット１９が固定されており、ボール
ねじ２０と螺合するようになっている。ボールねじ２０
の下部には、タイミングプーリ２１が一体的に固定され
ている。２２は支持部昇降用のモータであり、タイミン
グプーリ２３、タイミングベルト２４を介してタイミン
グプーリ２１に接続してある。これにより、支持部昇降
用のモータ２２を作動させると、その回転方向に従って
スプライン軸１６が昇降動し、支持部７が昇降動するよ
うになっている。
であり、基部１７に固定されたボールスプライン１８に
案内されて昇降動するようになっている。スプライン軸
１６の下端には、ナット１９が固定されており、ボール
ねじ２０と螺合するようになっている。ボールねじ２０
の下部には、タイミングプーリ２１が一体的に固定され
ている。２２は支持部昇降用のモータであり、タイミン
グプーリ２３、タイミングベルト２４を介してタイミン
グプーリ２１に接続してある。これにより、支持部昇降
用のモータ２２を作動させると、その回転方向に従って
スプライン軸１６が昇降動し、支持部７が昇降動するよ
うになっている。
【００１９】なお、移載ロボットの作動は、制御部２５
により制御されるようになっている。また、ストッカ５
の出庫口５ａには、ストッカ５内の図示しないクレーン
によりパレットが出庫されてくるようになっている。
により制御されるようになっている。また、ストッカ５
の出庫口５ａには、ストッカ５内の図示しないクレーン
によりパレットが出庫されてくるようになっている。
【００２０】次に、以上のよう移載装置の動作につい
て、ストッカから走行台車へパレットを移載する場合を
例にとって説明する。
て、ストッカから走行台車へパレットを移載する場合を
例にとって説明する。
【００２１】走行台車１を移載ロボット側方の所定の位
置に待機させる。これとともに、ハンド部１５ｂをスト
ッカ５の出庫口５ａに待機させ、ストッカ５内の図示し
ないクレーンよりウエハ収納キャリア３が搭載されたパ
レット２を受け取る。その後、制御部２５により、支持
部昇降用のモータ２２を作動させて、支持部７を上昇さ
せる。これにより、ハンド部１５ｂの引掛部１５ｃ，１
５ｃがパレットの係合部４，４に引っ掛かり、パレット
２がハンド部１５ｂに受渡される。その後、制御部２５
により支持部回動用のモータ８を作動させて、支持部７
を回動させ、ハンド部１５ｂを走行台車１上に持ってく
る。
置に待機させる。これとともに、ハンド部１５ｂをスト
ッカ５の出庫口５ａに待機させ、ストッカ５内の図示し
ないクレーンよりウエハ収納キャリア３が搭載されたパ
レット２を受け取る。その後、制御部２５により、支持
部昇降用のモータ２２を作動させて、支持部７を上昇さ
せる。これにより、ハンド部１５ｂの引掛部１５ｃ，１
５ｃがパレットの係合部４，４に引っ掛かり、パレット
２がハンド部１５ｂに受渡される。その後、制御部２５
により支持部回動用のモータ８を作動させて、支持部７
を回動させ、ハンド部１５ｂを走行台車１上に持ってく
る。
【００２２】その後、制御部２５により支持部昇降用の
モータ２２を作動させて、支持部７を下降させる。する
と、ハンド部１５ｂのパレット２が走行台車１上に載置
され、ハンド部の引掛部１５ｃ，１５ｃとパレットの係
合部４，４との引っ掛かりが解除される。これにより、
ストッカ５から走行台車１へのパレット２の移載が終了
する。その後、走行台車１を図示しない軌道装置により
走行させてパレットを搬送する。
モータ２２を作動させて、支持部７を下降させる。する
と、ハンド部１５ｂのパレット２が走行台車１上に載置
され、ハンド部の引掛部１５ｃ，１５ｃとパレットの係
合部４，４との引っ掛かりが解除される。これにより、
ストッカ５から走行台車１へのパレット２の移載が終了
する。その後、走行台車１を図示しない軌道装置により
走行させてパレットを搬送する。
【００２３】このように本実施例の移載装置によれば、
ウエハ収納キャリアは、パレットに搭載されたままパレ
ット単位で移載されるようになっているので、ウエハの
種類や形状によってウエハ収納キャリアの形状が異なっ
ていても、ウエハ収納キャリアの形状に応じて走行台車
の載置部や移載ロボットの把持部を変更する必要がな
く、画一的にウエハ収納キャリアを移載することができ
る。
ウエハ収納キャリアは、パレットに搭載されたままパレ
ット単位で移載されるようになっているので、ウエハの
種類や形状によってウエハ収納キャリアの形状が異なっ
ていても、ウエハ収納キャリアの形状に応じて走行台車
の載置部や移載ロボットの把持部を変更する必要がな
く、画一的にウエハ収納キャリアを移載することができ
る。
【００２４】以上本発明の実施例について説明したが、
本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明
の要旨の範囲内において適宜変形実施可能である。
本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明
の要旨の範囲内において適宜変形実施可能である。
【図１】本発明に係る移載装置の一実施例を示す概略斜
視図。
視図。
【図２】移載ロボットを示す概略斜視図。
【図３】図３は図２のIII ー III線概略断面図。
【図４】ハンド部とパレットとの係合状態を示す説明図
である。
である。
１ 走行台車 ２ パレット ３ ウエハ収納キャリア ５ ストッカ ６ 移載ロボット Ｒ 走行レール
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 走行レールに沿って走行する走行台車に
着脱自在に設けられ、複数のウエハ収納キャリアを載置
するパレットと、このパレットに係合可能なハンド部を
有し、走行台車と前記キャリアを保管するストッカとの
間で前記パレットを移載する移載ロボットとを具備した
移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3175799A JP2525297B2 (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3175799A JP2525297B2 (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 移載装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05708A true JPH05708A (ja) | 1993-01-08 |
| JP2525297B2 JP2525297B2 (ja) | 1996-08-14 |
Family
ID=16002455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3175799A Expired - Lifetime JP2525297B2 (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2525297B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002532362A (ja) * | 1998-12-18 | 2002-10-02 | アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド | 統合イントラベイ移送・貯蔵・配送システム |
| US7611318B2 (en) * | 2003-01-27 | 2009-11-03 | Applied Materials, Inc. | Overhead transfer flange and support for suspending a substrate carrier |
| JP2010215099A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Murata Machinery Ltd | 天井搬送システムと物品の移載方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5433425A (en) * | 1977-08-13 | 1979-03-12 | Gkn Group Services Ltd | Axle assembly for roaddcar |
| JPS6341004U (ja) * | 1986-09-02 | 1988-03-17 | ||
| JPH01149310U (ja) * | 1988-04-07 | 1989-10-16 |
-
1991
- 1991-06-21 JP JP3175799A patent/JP2525297B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5433425A (en) * | 1977-08-13 | 1979-03-12 | Gkn Group Services Ltd | Axle assembly for roaddcar |
| JPS6341004U (ja) * | 1986-09-02 | 1988-03-17 | ||
| JPH01149310U (ja) * | 1988-04-07 | 1989-10-16 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002532362A (ja) * | 1998-12-18 | 2002-10-02 | アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド | 統合イントラベイ移送・貯蔵・配送システム |
| US7611318B2 (en) * | 2003-01-27 | 2009-11-03 | Applied Materials, Inc. | Overhead transfer flange and support for suspending a substrate carrier |
| JP2010215099A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Murata Machinery Ltd | 天井搬送システムと物品の移載方法 |
| US8206077B2 (en) | 2009-03-17 | 2012-06-26 | Murata Machinery, Ltd. | Overhead transportation system and method of transferring article |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2525297B2 (ja) | 1996-08-14 |
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