JPH0393250A - 移替え装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、移替え装置に関する． （従来の技術） 半導体集積回路の製造工程例えば酸化工程，拡散工程，
ＣＶＤ工程，アニール工程等を行なう手段として、熱処
理装置が主に用いられている．即ち、熱処理用反応炉内
に基板例えば半導体ウエハを複数枚例えば１５０枚配列
収納した耐熱性収納容器例えば石英ボートを搬入し、上
記ウエハの熱処理を行なっている．この工程を総て自動
的に実行するためこの熱処理を行なう際には前工程から
キャリアに収納されて搬送されたウエハを上記熱処理用
の石英ボートに移替える操作や、上記熱処理後のウエハ
を上記石英ボートから上記キャリアに移替える操作が行
なわれている． この移替え技術は、例えば特開昭５４−３４７７４号，
特開昭６２−６９６３３号．特開昭６１−２２４４３０
号，特公昭６１−４１８６号，実開昭６１−９７８４２
号．実開昭６１−３３４４３号，実開昭６１−２７６４
０号公報等多数に開示されているように、対向配置した
一対の扶持板の各対向面側に所定ピッチの複数の溝が等
間隔で設けられたウエハ保持部と、上記扶持板を対向方
向に相対的に移動する扶持板駆動部と、上記保持部をＸ
−Ｙ・２方向に移動させるロボット機構とにより構成さ
れている．この移替え装置でキャリアと石英ボート間の
移替え動作を行なう．この移替え動作は、例えばウエハ
をキャリアから石英ボートに移替える場合、まず、キャ
リア内に収納されている複数枚のウエハを押上機構によ
りキャリア内から予め定められた高さに上昇させ、この
上昇した複数のウエハを上記ウエハ保持部の扶持仮に設
けられている複数の溝に、ウエハ周辺部を係合させる如
く上記扶持板駆動部で扶持仮を対向方向に相対的に移動
させて、上記複数のウエハを扶持する。この扶持された
ウエハは、石英ボート上まで上記移動部により搬送され
、石英ボートの一端側から順に搭載する。このようにし
て移替え動作が行なわれている。

（発明が解決しようとする課題） 一般に、上記熱処理炉内において処理するウエハは、そ
の処理に応じて設置する向きが異なっている。即ち、ウ
エハの板厚方向に等間隔て道数枚のウエハを積載したボ
ートを熱処理炉内に設置する向きが、処理例えば酸化処
理，拡散処理，Ｃ■Ｄ処理等の処理の違いに応じて１８
０”異なっていることがある。このようにウエハの設置
する向きが異なると、当然ボートに載置するウエハの向
きを変える必要がある。従来は、上記処理に応じた移替
え装置を夫々製造していたが、通常、熱処理装置に接続
して使用する移替え装置は、熱処理装置の処理が異なっ
ていても構或上に大きな違いはなかったが、従来は上記
処理に応じた移替え装置を夫々製造していたため、移替
え装置の標準化に支障があった。

また、処理に応じてウエハの設置する向きを変えること
は、移替え装置にキャリアを搬入する際に、このキャリ
アの向きを反転させて移替え装置に載置させればよいが
、近年、移替え装置が使用されるクリーンルーム内では
、クリーン度をより向上させるために、自動キャリア搬
送機を使用した自動化が行なわれており、しかも、この
クリーンルームは非常に高価であるために、上記自動キ
ャリア搬送機の占有面積が非常に小さく、この自動キャ
リア寂送機にキャリアの向きを反転させる機構を設ける
ことは困難となっていた。

本発明は上記点に対処してなされたもので、複数の処理
に対しても同一の装置で対応することが可能な移替え装
置を提供しようとするものである。

〔発明の構或〕

（課題を解決するための手段） 本発明は、複数の基板をキャリアからボートに移替える
装置において、上記ボートに載置する基板の向きを反転
した状態で載置することが可能な反転機構を設けたこと
を特徴とする移替え装置を得るものである． （作用効果） 即ち、本発明は、複数の基板をキャリアからボートに移
替える装置において、上記ボートに載置する基板の向き
を反転した状態で載置することが可能な反転機構を設け
たことにより、複数の処理に対しても同一の装置で対応
することが可能となり、移替え装置を標準化して装置の
製造を容易とすることができる。

（実施例） 以下、本発明装置の一実施例につき、図面を参照して説
明する． まず、移替え装置の構威を説明する。

基板例えば半導体ウエハ（１）を複数枚収納するための
溝を有するキャリア（２）と、上記ウエハ（１）を複数
枚搭載するための溝を有する例えば石英製のボ−ト（３
）との間で上記ウエハ（１）を移替える移替え装置（４
）には、第１図に示すように、複数枚例えば２５枚のウ
エハ（１）を、このウエハ（１）の板厚方向に所定の間
隔をおいて整列収納したキャリア（２）を、図示しない
外部の自動政送機と受け渡しを行なう搬出人ポート（５
）が設けられている。この搬出人ボート（５）は第２図
に示すように、上面に上記キャリア（２）を載置可能で
、このキャリア（２）の下面周縁部の３辺のみに当接支
持する如く断面がコの字状に形或されている．そして、
この搬出人ボート（５）に上記自動搬送機で搬送１載置
されたキャリア（２）を後述するキャリアストッカの最
下段に搬送するキャリア搬送機構（７）が設けられてい
る．このキャリア搬送機構（７｝は第２図に示すように
、上記コの字状搬出人ボート（５）の内側の面積よりも
小さい設置台（８）を回転可能に下方から支持している
。ここで、この設置台（８）の回転は、上記キャリア搬
送機構（７）本体に設けられた駆動機構例えばエアシリ
ンダ００）の先端に連設した平板状歯車ＯＤが、上記設
置台（８）の下面に接続した回転軸（９）の一部に形威
されたギアと当接してラック＆ピニオンを構威し、上記
エアシリンダ００）を駆動させることで上記設置台（８
）の回転を可能としている．この回転駆動機構としては
、ロータリーソレノイドやモータ等でも同様に実行する
ことができる。この設置台（８）の回転は、上面に載置
したキャリア（２）を反転即ち１８０ｍ回転させるため
のものであるため、１８０”回転した時点で設置台（８
）の回転を停止させるストッパー（図示せず）を設けて
いる。更に、この設置台（８）は、ガイドレール（７ａ
）に沿って図示しない昇降機構により昇降が可能とされ
ており、この設置台（８）を上記搬出人ボート（５）の
下方から上昇することでこの搬出人ボート（５）に載置
されているキャリア（２）を設置台（８）上面に載せ換
えることが可能となっている。

このキャリア（２）をｔ３！置した設置台（８）は、上
記キャリア搬送機構（７）に設けられたスライド移動機
構例えば図示しないモータと連設したボールネジ０粉に
より、上記搬出人ポート（５）から後述するキャリアス
トッカの最下段に搬送が可能となっている。

また、キャリア載置台（６）は、上記キャリア（２）を
複数個例えば６個一括載置して、キャリア受け渡し位置
と移替え位置との間を例えば図示しないモータに連設し
たボールネジによりスライド移動が可能となっている。

このキャリア載置台（６）に載置して上記移替え位置ま
で搬送するキャリア（２）は、上記キャリア搬送機構（
７）により搬入されて一時収納しておくキャリアストッ
カ０４）から、キャリアエレベータ０５）に設けられた
キャリア把持機ｔ！４０ωにより、収納されているキャ
リア（２）を複数個例えば６個一括に把持して取り出さ
れ、上記キャリア載置台（６）上に載置されるようにな
っている。そして、上記移替え位置に設定されたキャリ
ア載置台（６）に載置されているキャリア（２）内のウ
エハ（１）を、移替え位置に設定されたボート（４）に
移替える移載機Ｑ７）力５設けられている。この移載機
０″ｒ）は、対向配置した把持片（図示せず）により上
記ウエハ（１）を把持して移載する如く構威されている
．そして、上記ボート（３）は、ボート載置台０■に載
置されており、これは上記移替え位置と次工程の装置例
えば熱処理装置に上記ウエハ（１）が搭載されたボート
（３）を受け渡す受け渡し位置との間を、例えばモータ
に連設したボールネジ（図示せず）によりスライド移動
可能に構威されている．このようにして移替え装置が構
威されている。

次に、上述した移替え装置の動作作用及び半導体ウエハ
の移替え方法を説明する． まず、次工程の熱処理装置の炉内一で処理する時に設置
するウエハの向きを、移替え装置（４）のセットアップ
時或いは所望時に応じて設定して移替え装置（４）に記
憶させ、この後、図示しない自動搬送機によりウエハ（
１）を政送させて搬出人ボート（５）上に載置する。

そして、この搬出人ボート（５）に載置したキャリア（
２）を、キャリア搬送機構（７）によりキャリア受け渡
し位置に設定されたキャリア載置台（６）上に載置する
．このキャリア（２）搬送動作は、まず、搬出人ポート
（５）の下方から設置台（８）を上昇させて上記搬出人
ボート（５）に載置されているキャリア（２）を上昇さ
せることにより、キャリア（２）を搬出人ボート（５）
上から設置台（８）上に載せ換える。そして、この設置
台（８）上に載置したキャリア（２）をキャリアストツ
カ０４）最下段に搬送し設置する．この時、上記設定し
た次工程の熱処理装置の炉内で処理する時に設置するウ
エハの向きに向いている場合はこのまま上記キャリアス
トッカ０４最下段に搬送し設置するが、それが逆となっ
ている場合はエアシリンダ００）を駆動して設置台（８
）を反転即ち１８０’回転させてこれに載置されている
キャリア（２》を同様に反転させた後に上記キャリアス
トツカ０４）最下段に搬送し設置する。

そして、このキャリアストツカ側最下段に載置されたキ
ャリア（２）は、キャリアエレベータ０５）のキャリア
把持機横００により一括把持されて一旦キャリアストツ
カ０４）内に収納しておく。これを連続して，複数のキ
ャリア（２》を収納しておき、必要に応じて上記キャリ
ア把待機構０６）により一括把持して受け渡し位置に設
定されたキャリア載置台（６）上に載置させる。

そして、このキャリア（２）を載置したキャリア載置台
（６）を移替え位置に移動させ、同時にボート載置台０
８）を移動することでボート（３）を移替え位置に設定
する．この移替え位置で、キャリア（２）内に収納され
ているウエハ（１）をこのキャリア（２）からボート（
３）上に移載機０７）により移替える．この移替えによ
りウエハ（１）を搭載したボート（３）を、ボート載置
台０υの移動により受け渡し位置に設定し、次工程の熱
処理装置に受け渡してウエハ（１）の熱処理が行なわれ
る． そして、この熱処理が終了すると、上述した流れとは逆
に、受け渡し位置に設定されたボート載置台０１上にボ
ート（３）を設置し、このボート（３）に搭載されてい
る処理済みのウエハ（１）を移載４ｔ９Ｇ？）によりキ
ャリア（２）内に移替え、このキャリア（２）を鍛出入
ポート（５）から自動搬送機により外部に搬送する上記
実施例では、ボートに載置するウエハの向きを反転させ
る構戒としてキャリアの向きを反転させる構或としたが
、これに限定するものではなく、例えばキャリアからボ
ートにウエハを移替える際に反転させる構威としても同
様な効果が得られる． 以上述べたようにこの実施例によれば、複数の基板をキ
ャリアからボートに移替える装置において、上記ボート
に載置する基板の向きを反転した状態で載置することが
可能な反転機構を設けたことにより、複数の処理に対し
ても同一の装置で対応することが可能となり、移替え装
置を標準化して装置の製造を容易とすることができる。

【図面の簡単な説明】

第ｌ図は本発明装置の一実施例を説明するための移替え
装置の構戒図、第２図は第１図移替え装置のキャリア搬
送機構説明図である． ｌ・・・ウエハ　　　　２・・・キャリア４・・・移替
え装置　　５・・・搬出人ポート７・・・キャリア搬送
機構 ８・・・設置台

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数の基板をキャリアからボートに移替える装置におい
   て、上記ボートに載置する基板の向きを反転した状態で
   載置することが可能な反転機構を設けたことを特徴とす
   る移替え装置。