JPH0196641A - フォトレジスト用二軸延伸ポリエステルフィルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はフォトレジスト用二軸延伸ポリエステルフィル
ムに関するものでアシ、詳しくは、溶剤現像型フォトレ
ジストフィルムにおいてポリエステル層を現像前に感光
層から塩化メチレンで処理して除去する際、カールし難
い特性を有する二軸延伸ポリエステルフィルムに関する
ものである。

〔従来の技術と解決すべき問題点〕

ポリエステルニ軸延伸フィルムは耐熱性、機械的性質、
耐薬品性等に優れているためフォトレジスト用ベースフ
ィルムとして需要が急増している。

ところで、溶剤現像型フォトレジストフィルムでは、現
像前にポリエステル層を感光層から塩化メチレンで処理
して除去する工程があるが、この工程においてフィルム
は感光層側にカールしてくる。このカールの度合が著し
いときには、現像に支障をきたす場合があり、非常に重
大網題点となっている。このため、フィルムを塩化メチ
レンで処理してもカールし難い特性を有するポリエステ
ルフィルムの開発が強く要望されている。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明者らは、上記問題点に鑑み、鋭意検討した結果、
ある特定の物性を有するフィルムがカールし難い特性を
有することを見い出し本発明に到達した。

即ち、本発明の要旨は、下記式［１］〜［３］を同時に
満足することを特徴とするフォトレジスト用二軸延伸ポ
リエステルフィルムに存する。

０、／　ｌ、　？≦△Ｐ≦θ、／ざＯ・・・・・・■／
、４０４０≦云≦ハロ０ざＳ　　・・・・・・■り０≦
０く６Ｓ　　　　　　・・・・・・■（式中、ΔＰ、　
ｎ及びひは、それぞれ面配向度、平均屈折率、及び水滴
接触角（ｄｅｇ）を表わす。）以下本発明を更に詳細に
説明する。

本発明にいうポリエステルとはテレフタル酸、イソフタ
ル酸Ｊびナフタレン−コツ６−ジカルボン酸の如き芳香
族ジカルボン酸Ｊはそのエステルとエチレングリコール
、ジエチレングリコール、テトラメチレングリコール、
及びネオペンチルグリコール等のジオールとを重縮合さ
せて得ることの出来る結晶性芳香族ポリエステルである
。該ポリエステルは芳香族ジカルボン酸とグリコールを
直接重縮合させて得られる他、芳香族ジカルボン酸ジア
ルキルエステルとグリコールをエステル交換反応させた
後、重縮合せしめる、ちるいは芳香族ジカルボン酸のジ
グリコールエステルを重縮合せしめる等の方法によって
も得られる。

かかるポリマーの代表的なものとして、ポリエチレンテ
レフタレート、ホリエチレンーユ、６−ナフクレート、
ポリテトラメチレンテレフタレート及びポリテトラメチ
レンーユ、乙−ナフタレート等であシ、例えばポリエチ
レンテレフタレート、あるいはポリエチレン−２，６−
ナフタレートはテレフタル酸あるいはナフタレン−コツ
６−ジカルポン酸とエチレングリコールとが結合したポ
リエステルのみならず、繰り返し単位のｇθモル係以上
がエチレンテレフタレートあるいはエチレン−２，６−
ナフタレート単位よシ成シ繰シ返し単位の２０モル係以
下が他の成分である共重合ポリエステル、またはこれら
のポリエステルに他のポリで−を添加、混合した混合ポ
リエステルである。

また、本発明においてはポリエステルの重合度が低すぎ
ると機械的特性が低下するので、その固有粘度はＯ０μ
Ｏ以上、好ましくはＯｌりＯ〜０．９０．更に好ましく
はＯ，タタ〜ｏ、ｇ　ｓのものである。

更に、滑υ性を付与するために微粒子を含有せしめるこ
とが出来る。滑り性を付与する微粒子としては、例えば
カオリン、クレー、炭酸カルシウム、酸化ケイ素等の公
知の不活性外部粒子が挙げられる。

本発明は、面配向度（△Ｐ）が０．／　Ａ　９〜０．／
１０の範囲でなければならない。好ましくは０．／７２
−０．／１０．更に好ましくは０．／　７ぐ〜Ｑ、／ｇ
Ｏの範囲である。面配向度（ΔＰ）が０．／　Ａ　９未
満では、塩化メチレンによるカールの度合いが大きく不
適当である。

また、本発明の平均屈折率（云）は、／、ＡＯＡＯ〜／
、４０ｔ夕の範囲でなければならない。好ましくは７．
６０４　ｊ〜７．６０ｔり、更に好ましくは／、１．０
７０〜／、６０：夕の範囲である。平均屈折率（Ｉｌｌ
）がへ６０６０未満では、上記と同様にカールの度合い
が大きくなシネ適当である。

更に本発明のフィルムの水滴接触角（θ）　（ｄｅｇ）
は夕０≦θく６５でなければならない。好ましくはタタ
≦θ（Ａ？、？更に好ましくはＳ５≦θ≦６２である。

水滴接触角（θ）が６５以上のときは、作成したフォト
レジストの感度が低くなる恐れがある。一方、水滴接触
角θが５Ｓ未満となると、ポリエステルフィルムの剥離
が困難となり不適当である。

本発明のフィルムはフィルムの固有粘度（〔η〕）がＯ
ｏりＳ≦〔η〕≦０．７タを満足することが好ましい。

更に好ましくは０．Ａ　Ｏ≦〔η〕≦０．７０でちる。

フィルムの固有粘度〔η〕がＯ，Ｓりより低いと、塩化
メチレンに片面のみ浸した場合に結晶化度の表裏の差が
つき易くカールし易７い。フィル本発明のフィルムがカ
ールし難い特性を有する理由は必ずしも明らかではない
が、以下のように考えられる。つｔｂ塩化メチレンにポ
リエステルフィルムを浸漬した際ポリエステルの非晶部
に塩化メチレン分子が侵入し、ポリエステルの溶媒結晶
化が進み片面の結晶化が進み表裏で結晶性の差が生じて
感光層側にカールしてくるものと考えられる。

それ故、フィルムにカールし難い特性を付与するために
は、ポリエステルフィルムの結晶性を高めて非晶部を少
くしたシ、非晶部の配向を高めることによシ、塩化メチ
レン分子がポリエステル分子鎖中に侵入し難たくなるよ
うＫすればよいものと考えられる。

次に、本発明のフィルムの製膜方法を具体的に述べる。

本発明のフィルムは、前記のポリエステルを通常２１０
〜３２０℃の範囲の温度で押出機よシシート状に押し出
し約７０℃以下の温度に冷却して実質的に無定形のシー
トとし次いでかかへ るシート状物を縦及び横方向に出来るだけ低温で７５倍
以上に延伸して二軸配向ポリエステル　　−フィルムと
し、更にかかるフィルムを２３り〜２１０℃の範囲の温
度で熱処理することにょシ得ることができる。

特に面配向度をあげるために、再縦延伸及び／又は再横
延伸、熱固定時巾出し、縦多段延伸等を適用することは
好ましい形態である。本発明のフィルムは、上記範囲内
で条件を適宜選択することによシ得ることができ、その
厚みは通常ｉ０　Ｎｉｏｏｔｔｍ、好ましくはｌｏＮり
□ａｍである。

〔実施例〕

以下に実施例にて本発明を具体的に説明するが本発明は
これら実施例のみに限定されるものではない。

なおフィルムの評価方法を以下に示す。

（１）　　塩化メチレンに浸漬した際のフィルムのカー
ルしやすさの評価 塩化メチレンで満たした容器に、縦ｉｔ。

■、横２００ｍの評価フィルムを片面が浸漬するように
載置し、室温にて６θ秒間塩化メチレンにフィルムの片
面を浸漬した。その後フィルムを室温にて乾燥し、−０
時間放置した。塩化メチレンを浸漬した側の縦方向にカ
ールしたフィルムのカールの度合を目視で評価し、以下
のランクに分類した。

ランク二〇　（極めて良好） ランク：○　（良好） ランク：Δ　（やや不良） ランク：×（不良） （２）面配向度及び平均屈折率 フィルムの屈折率の測定はアタゴ■製アツベの屈折計を
使用し、光源にはナトリウムランプを用いて行なった。

フィルム面内の最大の屈折率１ｒ、それに直角方向の屈
折率りηβ及び厚さ方向の屈折率ηαを求め、面配向度
及び平均屈折率を算出した。

平均屈折率、１ｒ＋１ｆｉ＋７′ （３）水滴接触角 蒸留水を用い、２０℃湿度６！チの条件下、フィルムと
水滴との接触角をエルマ光学製ゴニオメータ−で測定し
た。水滴の直径は約λ閣である。

（４）極限粘度〔η〕 ポリマー／Ｊ９をフェノール／テトラクロルエタン＝り
０／！；０（重量比）の混合溶媒１００−に溶解し落下
式粘度計を用い３０℃で測定した。

次に、実施例及び比較例で用いたフィルムの製造方法を
示す。

実施例１ ７．３μのＳｉｎ□が６０ｐｐｍ、−欠粒径３０　ｍｔ
ｔのＳｉＯ□が／　２　Ｑ　ｐｐｍとなるように調整し
たポリエチレンテレフタレート樹脂を常法にょシ乾燥し
、２１：０℃で溶融押出し、ダ。℃にしたキャスティン
グドラム上に静電密着法にょシ冷却固化せしめ無定形シ
ートを得た。

上記無定形シートをまず３３℃で２．９倍縦延伸したの
ち、更に７ｇ℃でへ夕倍縦延伸し次にテンターで１１０
℃でＩｌ、Ｑ倍横延伸し、２ｑコ℃で熱固定してコタ、
１ｌＷＬのフィルムを得た。

得られたフィルムの物性及び特性を表１に示す。

実施例コ 実施例１において熱固定温度を、２ｑ７°Ｇとする以外
は実施例１と同様に製膜してコＳμのフィルムを得た。

得られたフィルムの物性及び特性を表／に示す。

実施例３ 実施例／の無定形フィルムを用い、まず縦方向にざ５℃
で’ＩＱ倍縦延伸したのち、９５℃です、０倍横延伸し
たのち、更に縦方向に１３０′Ｃでへ１倍ｌ再縦延伸を
行ない更に横方向にｉｑ。

℃で／、１倍再横延伸して、２ｑ２℃で熱固定し２５μ
のフィルムを得た。得られたフィルムの物性及び特性を
表１に示す。

比較例１ 実施例／の無定形シートを縦方向に３．１倍漢方向にも
３．７倍延伸したのち２’１２°Ｃて一固定し２５μの
フィルムを得た。得られたフィルムの物性及び特性を表
１に示す。

比較例２．３ 実施例１において、熱固定温度を２２ｇ　℃コタタ℃と
する以外は実施例／と同様にしてフィルムを得た。得ら
れたフィルムの物性及び特性を表１に示す。

表　７ 〔発明の効果〕 本発明によれば、溶剤現像型フォトレジストフィルムに
おいて、塩化メチレンで処理してポリエステル層を感光
層から除去する際、゛カールし難い特性を有するフォト
レジスト用ベースフィルムを製造することができ、その
工業的価値は高い。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）下記式［１］〜［３］を同時に満足することを特
   徴とするフォトレジスト用二軸延伸ポリエステルフィル
   ム。 ０．１６９≦ΔＰ≦０．１８０・・・・・・［１］ １．６０６０≦＠ｎ＠≦１．６０８５・・・［２］ ５０≦Ｑ＜６５・・・・・・［３］ （式中、ΔＰ、＠ｎ＠及びＱはそれぞれ面配向度、平均
   屈折率、及び水滴接触角（ｄｅｇ）を表わす。）