JPH0196640A - フォトレジスト用二軸延伸ポリエステルフィルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はフォトレジスト用二軸延伸ポリエステルフィル
ムに関するものでアシ、詳しくは、溶剤現像型フォトレ
ジストフィルムにおいてポリエステル層を現像前に感光
層から塩化メチレンで処理し除去する際、カールし難い
特性を有する二軸延伸ポリエステルフィルムに関するも
のである。

〔従来の技術と解決すべき問題点〕

ポリエステルニ軸延伸フィルムは耐熱性、機械的性質、
耐薬品性等に優れているためフォトレジスト用ベースフ
ィルムとして需要が急増している。

ところで溶剤現像屋フォトレジストフィルムは、現像前
にポリエステル層を感光層から塩化メチレンで処理して
除去する工程があるが、この工程においてフィルムは感
光層側にカールしてくる。このカールの度合が著しいと
きには、現像に支障をきたす場合があり、非常に重大な
問題点となっている。このため、フィルムを塩化メチレ
ンで処理してもカールし難い特性を有するポリエステル
フィルムの開発が強く要望すれている。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明者らは上記問題点に鑑み鋭意検討した結果、有機
滑剤を含有する二軸延伸ポリエステルフィルムのうち、
ある特定の物性を満たすフィルムが塩化メチレンに浸漬
しても、カールし難い特性を有することを見出した。

即ち、本発明の要旨は、有機滑剤を含有するフィルムで
あって、下記式［１］〜［３］を同時に満足することを
特徴とするフォトレジスト用二軸延伸ポリエステルフィ
ルムニ存する。

０、／　３；　０≦ΔＰ≦００１１ｒＯ・・曲■ン、６
０コＯ≦五≦八ｔ、１０ｏ　　　　−・−・−＠６Ｓ≦
θ≦９０　　　　　　　曲・・■半≠→喝キ （式中、ΔＰ１云及びθはそれぞれ面配向度、平均屈折
率及び水滴接触角（ａｅｇ）を表わす。）以下本発明を
更に詳細に説明する。

本発明にいうポリエステルとは、テレフタル酸、インフ
タル酸及びナフタレンーコ、６−ジカルポン酸の如き芳
香族ジカルボン酸又ハそのエステルとエチレングリコー
ル、ジエチレングリコール、テトラメチレングリコール
及びネオペンチルグリコール等のジオールとを重縮合さ
せて得ることの出来る結晶性芳香族ポリエステルである
。該ポリエステルは芳香族ジカルボン酸とグリコールを
直接重縮合させて得られる他、芳香族ジカルボン酸ジア
ルキルエステルとグリコールをエステル交換反応させた
後、重縮合せしめるあるいは芳香族ジカルボン酸のジグ
リコールエステルを重縮合せしめる等の方法によっても
得られる。

かかるポリマーの代表的なものとして、ポリエチレンテ
レフタレート、ポリエチレン−２，Ａ−ナフタレート、
ポリテトラメチレンテレフタレート及びポリテトラメチ
レン−２，６−ナフタレート等であり、例えばポリエチ
レンテレフタレートあるいはポリエチレン−コア６−ナ
フタレートはテレフタル酸あるいはナフタレン−２，６
−ジカルボン酸とエチレングリコールとが結合したポリ
エステルのみならス繰シ返し単位のｇｏモルチ以上がエ
チレンテレフタレートあるいはエチレンーコ、Ａ−ナフ
タレート単位よシ成シ繰シ返し単位の２０モルチ以下が
他の成分である共重合ポリエステル、またはこれらのポ
リエステルに他のポリマーを添加、混合した混合ポリエ
ステルである。

また、本発明においてはポリエステルの重合度が低すぎ
ると機械的特性が低下するので、その固有粘度はｏ、ｔ
ｔ　ｏ以上、好ましくは０．５０〜０．９０１更に好ま
しくはＯ，タタ〜ｏ、ｇりのものである。

また、滑υ性を付与するために微粒子を含有せしめるこ
とが出来る。滑り性を付与する微粒子としては、例えば
、カオリン、クレー、炭酸カルシウム、酸化ケイ素等の
公知の不活性外部粒子が挙げられる。

本発明は面配向度（ΔＰ）がｏ、ｉりｏ−ｏ、ｉｇ。

の範囲でなければならない。面配向度（△Ｐ）がθ、／
　！ｉ　０未満ではカールの度合が大きくなり不適当で
ある。

また、本発明の平均屈折率（ｆｉ）は八６ρ２０〜／、
６１００の範囲でなければならない。好ましくは／、１
，６ｔｌ：）　〜／−＆１００の範囲である。

平均屈折率（云）がへ６０２ｐ未満ではカールの度合が
大きくなり不適当である。一方平均屈折を 率（ｒｌ）が八＆／１００を超えると、フィルム強度が
低下すると共にカールの度合が大きくなり不適当である
。

更に、本発明のフィルムは、水滴接触角（θ）が６Ｓ≦
θ≦９０を満足しなければならない。

好ましくは７０≦θ≦９０でおる。更に好ましくは７０
≦θ≦ｇｏであも水滴接触角（θ）が９０を超えると、
余シに疎水的になシすぎて、感光層との密着性が悪化す
るため不適当である。

本発明フィルムがカールし難い特性を有する理由は、必
ずしも明らかではないが、以下のように考えられる。つ
ｔｂ塩化メチレンにポリエステルフィルムを浸漬した際
°、ポリエステルの非晶部に塩化メチレン分子が侵入し
、ポリエステルの溶媒結晶化が進み、それによシ片面の
結晶化が進み表裏で結晶性の差が生じてコート面側にカ
ールしてくるものと考えられる。

それ故、フィルムにカールし難い特性を付与するために
は、ポリエステルフィルムの結晶性を高めて非晶部を少
なくするか、或いは、非晶部の配向を高めたシ、フィル
ムの疎水性を高めたシするととによって塩化メチレン分
子がポリエステル分子鎖中に侵入し難くすればよいと考
られる。

次に、本発明フィルムの製造方法を具体的に述べる。

本発明では、水滴接触角（θ）が前記した特定範囲のフ
ィルムを得るために、原料ポリエステルに有機滑剤を配
合して用いる。

有機滑剤は、脂肪族炭化水素、脂肪酸エステル、アルキ
レンビス脂肪族アミド、アルキレンビス芳香族アミド等
がすすめられる。更に好ましくはアルキレンビス脂肪族
アミド、アルキレンビス芳香族アミドである。アルキレ
ンビス脂肪族アミド、アルキレンビス芳香族アミドとし
ては、ヘキサメチレンビスベヘンアミド、ヘキサメチレ
ンビスステアリルアミド、Ｎ、Ｎ’−ジステアリルテレ
フタルアミド等が挙げられる。

これらの滑剤はすべて水滴接触角（θ）が６５〜９０の
範囲内にある。添加量としてはポリエステルに対し、／
　Ｏｐｐｍ以上１１００００ｐｐ以下である。好ましく
は２０　ｐｐｍ以上２０００　ｐｐｍ以下である。更に
好ましくはｊ　Ｏｐｐｍ以上／　０００　ｐｐｍ以下で
ある。

／　Ｏｐｐｍ以下では、効果が甑めて小さく、逆にｉｏ
ｏｏｏｐｐｍ以上では、フィルム表面に滑剤つ がブリードアクトする恐れがある。

有機滑剤を含む原料ポリエステルは、先ず、通常２１０
〜３２０℃の範囲の温度で押出機よシシート状に押し出
され、約り０℃以下の温度に冷却されて実質的に無定形
のシートにされる。

次いで、かかるシートは、縦及び横方向に１０倍以上、
好ましくは１２倍以上に延伸して二軸配向ポリエステル
フィルムとされ、更に２００〜２１．０℃の範囲の温度
で熱処理される。

尚、フィルムの厚さは、通常１０Ｎ１００μｍ１好まし
くは、１０−ｔＯｔｔｍの範囲とされる。

〔実施例〕

以下に実施例にて本発明を具体的に説明するが本発明は
これら実施例のみに限定されるものではない。

なお、フィルムの評価方法を以下に示す。

（１）　　塩化メチレンに浸漬した際のフィルムのカー
ルしやすさの評価 塩化メチレンで満たした容器に、縦ｌりθ踵、横２００
ｖｍの評価フィルムを片面が浸漬するよう載置し室温に
て６０秒間塩化メチレンにフィルムの片面を浸漬した。

その後フィルムを室温にて乾燥し、２０時間放置した。

塩化メチレンを浸漬した側の縦方向にカールしたフィル
ムのカールの度合を目視で評価し、以下のランクに分類
した。

ランク：◎　（極めて良好） ランク二〇　（良好） ランク：Δ　（やや不良） ランク＝×（不良） （２）面配向度及び平均屈折率 フィルムの屈折率の測定は、アタゴ銖製アツベの屈折計
を年月し、光源にはす）　ＩＪウムランプを用いて行な
った。

フィルム面内の最大の屈折率ηｒ１　それに直角方向の
屈折率Ｃηβ、及び厚さ方向の屈折率ηαを求め、面配
向度及び平均屈折率を算出した。

（３）水滴接触角 蒸留水を用い、２０′Ｃ湿度６タチの条件下フィルムと
水滴との接触角をエルマ光学製ゴニオメータ−で測定し
た。水滴の直径は約２咽である。

（４）極限粘度〔η〕 ポリマー１ｇをフェノール／テトラクロルエタン＝り０
／’；０（重量比）の混合溶媒ｉｏ。

−に溶解し落下式粘度計を用い３００Ｃで測定した。

次に、実施例及び比較例で用いたフィルムの製造方法を
示す。

実施例／ ／、３μのＳｉＯ□が９０ｐｐｍ、−次粒径３０ｒｎμ
のＳｉＯ□がｉｏｏｐｐｍ１ヘキサメチレンビスペラン
アミド（有機滑剤）が２００　ｐｐｍとなるように調整
したポリエチレンテレフタレート樹脂を常法により乾燥
し２９０℃で溶融押出し冷却固化し無定形シートを得た
。

上記の無定形シートを縦方向に３．９倍、横方向にｔｉ
、ｏ倍延伸した後ｕ　！　ｆ　’Ｃで熱固定して二軸延
伸フィルムを得た。得られたフィルムの物性、及び特性
を表１に示す。

実施例２．３ 実施例／において熱固定温度を２．３２０Ｃ。

２９２℃とした以外は、実施例／と同様に製膜してフィ
ルムを得た。得られたフィルムの物性及び特性を表／に
示す。

実施例弘 実施例λにおいて有機滑剤をりθＯｐｐｍにした以外は
、実施例コと同様に製膜してフィルムを得た。得られた
フィルムの物性及び特注を表１に示す。

比較例１１　コ 実施例／、２において有機滑剤を含ない以外は実施例／
、２と同様に製膜しフィルムを得だ。

得られたフィルムの物性及び特性を表／に示す。

比較例３ 比較例コにおいて縦延伸倍率３．０倍、横延伸率３．０
倍とする以外は比較例コと同様に製膜しフィルムを得た
。得られたフィルムの物性及び特性を表／に示す。

比較例ｑ 実施例１において熱固定温度を、１９ダＣとする以外は
、実施例１と同様にしてフィルムを得た。得られたフィ
ルムの物性及び特性を表／に示す。

比較例り 実施例／において熱固定温度をコタ２°Ｃとする以外は
実施例／と同様にして比較例Ｓを製膜したが破断が多く
、長尺サンプルが得られなかった。

尚、実施例及び比較例で示した全ての二軸延伸フィルム
の厚さは２５μである。

＆　　／ 〔発明の効果〕 本発明によれば、溶剤現像型フォトレジストフィルムに
おいて、塩化メチレンで処理してポリエステル層を感光
層から除去する際カールし難い特性を有するフォトレジ
スト用ベースフィルムを製造することができその工業的
価値は高い。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）有機滑剤を含有するポリエステルフィルムであっ
   て、下記式［１］〜［３］を同時に満足することを特徴
   とするフォトレジスト用二軸延伸ポリエステルフィルム
   。 ０．０１５０≦ΔＰ≦０．１８０・・・・・・［１］ １．６０２０≦＠ｎ＠≦１．６１００・・・・［２］ ６５≦θ≦９０・・・・・・［３］ （式中、ΔＰ、＠ｎ＠及びθはそれぞれ面配向度、平均
   屈折率及び水滴接触角（ｄｅｇ）を表わす。）（２）有
   機滑剤が脂肪族炭化水素、脂肪酸エステル、アルキレン
   ビス脂肪族アミド及びアルキレンビス芳香族アミドから
   選ばれた１種以上であり、その含有量が１０ｐｐｍ以上
   １００００ｐｐｍ以下であることを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載のフォトレジスト用二軸延伸ポリエス
   テルフィルム。