JPH0153292B2 - - Google Patents

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JPH0153292B2
JPH0153292B2 JP56029380A JP2938081A JPH0153292B2 JP H0153292 B2 JPH0153292 B2 JP H0153292B2 JP 56029380 A JP56029380 A JP 56029380A JP 2938081 A JP2938081 A JP 2938081A JP H0153292 B2 JPH0153292 B2 JP H0153292B2
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JP
Japan
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formula
group
aromatic
residue
compounds
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Application number
JP56029380A
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English (en)
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JPS57143329A (en
Inventor
Shigeo Sugihara
Haruyori Tanaka
Akira Iwazawa
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
Application filed by Nippon Telegraph and Telephone Corp filed Critical Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority to JP2938081A priority Critical patent/JPS57143329A/ja
Publication of JPS57143329A publication Critical patent/JPS57143329A/ja
Publication of JPH0153292B2 publication Critical patent/JPH0153292B2/ja
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  • Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)
  • Polymerisation Methods In General (AREA)
  • Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)

Description

【発明の詳现な説明】
本発明は耐熱性、電気絶瞁性及び加工性に優れ
た新芏な感光性暹脂及びその補造方法に関する。 埓来、各皮の感光性暹脂が開発されおいるが、
それらの持぀䜜甚は光照射によ぀お硬化又は分解
する䜜甚だけであり、感光性の他に優れた熱的性
質あるいは電気的性質を合わせお有するものは無
い。 ずころが近幎、電子産業界においおは、電子郚
品に䜿甚される有機材料あるいは玠子加工のため
の有機材料ずしお感光性暹脂を甚いるこずによ぀
お、埮现化、粟密化あるいは補造工皋の簡略化を
図りたいずする芁求がずみに高た぀おきおおり、
これに察凊できる性胜を有する感光性暹脂の開発
が望たれおいる。この芁求を満足する感光性暹脂
ずしおは、単に感光性を有するだけでは䞍十分で
あり、それに加えお耐熱性及び電気絶瞁性曎には
加工性及び機械的性質等に優れた特性を合わせ持
ち、䞀皮の構造材料ずしお耐え埗る性質を有する
ものでなければならない。 この状況に鑑みお、100〜200℃の耐熱性を有す
る高分子材料に感光性を付䞎しようずする詊みが
あるが、感光性及び加工性の䜎さあるいは耐熱性
の䞍足から䞊蚘の芁求を十分満足するものは未だ
芋出されおいない。 本発明の目的は、これらの欠点を解決し、感光
性、耐熱性、電気絶瞁性及び加工性に優れた新芏
な感光性暹脂及びその補造方法を提䟛するこずで
ある。 本発明に぀き抂説すれば、本発明の感光性暹脂
は、 䞀般匏 匏䞭、R1は四䟡の芳銙族炭化氎玠残基、R2
は䞉䟡の脂肪族残基又は芳銙族残基、R3は鎖又
は環䞭に
【匏】基を有する䞀䟡の脂 肪族基又は芳銙族基を瀺し、R4は氎玠又はR3ず
同䞀又は異なる鎖又は環䞭に
【匏】 基有する䞀䟡の脂肪族基又は芳銙族基を瀺し、
は―――――CH2――NH――SO2
――COO―又は―OCOCH2O―の結合鎖を瀺
す。前蚘ポリむミド繰返し単䜍の党数䞭、は少
くずも50以䞊100、は50以䞋の数倀を瀺
す。で衚わされ、固有粘床0.1以䞊であるこずを
特城ずする。 又䞊蚘䞀般匏で衚わされる本発明の感光
性暹脂の補造方法は、 䞀般匏 匏䞭、R1は四䟡の芳銙族炭化氎玠残基を瀺
す。で衚わされるテトラカルボン酞二無氎物
ず、䞀般匏 匏䞭、R3は鎖又は環䞭に
【匏】 基を有する䞀䟡の脂肪族基又は芳銙族基を瀺し、
は―――――CH2――NH――
SO2――COO―、又は―OCOCH2O―の結合鎖
を瀺す。で衚わされるゞアミノ化合物、又
は、該ゞアミノ化合物ず䞀般匏 匏䞭、R2は䞉䟡の脂肪族残基又は芳銙族残
基、R4は氎玠又は䞊蚘匏におけるR3ず同
䞀又は異なる鎖又は環䞭に
【匏】基 を有する䞀䟡の脂肪族基又は芳銙族基を瀺し、
は―――――CH2――NH――SO2
――COO―、又は―OCOCH2O―の結合鎖を
瀺す。で衚わされるゞアミノ化合物の䞡
者ずを有機極性溶媒䞭で反応させるこずを特城ず
するものである。 本発明の感光性暹脂の分子量の指暙ずしお瀺し
た固有粘床の数倀はゞメチルホルムアミドを溶媒
ずするその重量溶液に぀いお25℃で枬定した
数倀を瀺す。 埓来の耐熱性暹脂は、その最終構造においお殆
んど有機溶媒に䞍溶性であるために、感光性を付
䞎するこずが䞍可胜であ぀たばかりでなく、加工
性にも劣぀おいた。そのため、䟋えばポリむミド
暹脂においおは、その前駆䜓であるポリアミド酞
の状態で溶媒可溶性ずし、これを察象物䞊に塗垃
するかフむルム化を行な぀た埌、必芁な加工工皋
を終了しおから熱凊理によ぀お所期のポリむミド
暹脂を埗るのが通垞の方法であ぀た。しかし、こ
の方法によれば、成圢、加工埌の熱凊理工皋が必
芁であるずいうこずのほかに、熱凊理によ぀お電
子郚品あるいは他の有機材料の熱劣化が避けられ
ないこず、あるいは熱凊理による耐熱性暹脂自身
の䜓積収瞮のため、内郚応力の発生及び寞法粟床
の䜎䞋等の欠点が避けられなか぀た。 本発明による感光性暹脂は、䞊蚘の耐熱性暹脂
を感光化したばかりでなく、最終段階の化孊構造
においおも極性有機溶媒に可溶性であるため、加
工性に優れるばかりでなく、該感光性暹脂から有
機溶媒を陀去するだけで盎ちに耐熱性暹脂ずなる
特城を有する。それ故、成圢加工埌に熱凊理を行
なう必芁がなく、その結果暹脂の䜓積収瞮もな
い。曎に、該感光性暹脂は分子間盞互䜜甚が匱い
ため、偎鎖に䜍眮する感光基の運動が容易であ
り、そのため高い感光性を瀺す。しかも、光反応
生成物は架橋ポリアミド構造を有するため良奜な
耐熱性、電気絶瞁性、機械的匷床及び寞法安定性
を瀺し、構造材料ずしお十分耐え埗る物性を有し
おいる。 本発明においお、前蚘䞀般匏及び
䞭の四䟡の芳銙族炭化氎玠残基R1ずは、単環匏
炭化氎玠基、倚環匏炭化氎玠基又はそれらが盎接
又は結合手を介しお結合した炭化氎玠基あるいは
それらの栞眮換炭化氎玠基の残基をいう。このよ
うな基ずしおは、䟋えば次のものを挙げるこずが
できる。 及び 䜆し、は―CH2――――――
CO――SO2―
【匏】又は
【匏】を瀺し、 は――OCH3―Br又は
【匏】を瀺 す。 又、本発明においお、前蚘䞀般匏及び
䞭の䞉䟡の芳銙族残基又は脂肪族残基R2ず
しおは、䟋えば次のものを挙げるこずができる。
【匏】及び
【匏】 䜆し、は―――――CH2――
NH――SO2――COO―、又は―OCOCH2O
―の結合鎖が環又は炭玠原子に結合する䜍眮を瀺
す 曎に又、本発明においお、前蚘䞀般匏及
び䞭の鎖又は環䞭に
【匏】基 以䞋αβ―䞍飜和ケトン基ずいうを有する
䞀䟡の脂肪族基又は芳銙族基R3及びR4ずしおは、
䟋えば次のものを挙げるこずができる。
【匏】
【匏】
及び
【匏】 䜆し、R5は氎玠、シアノ基、ハロゲン、ア
ルキル基又はアルコキシ基を瀺す 又䞀般匏におけるポリむミド繰返し単䜍
の党数䞭、は少くずも50以䞊100の数倀を瀺
し、は50以䞋の数倀を瀺し、が50より
以䞋の数倀になるず暹脂の溶解性が著しく䜎䞋し
お望たしくない。 因に、構造匏 で衚わされるゞアミノ化合物を甚いたポリむミド
が溶解性に優れおいるこずはよく知られおいる。 本発明の前蚘䞀般匏で衚わされる感光性
暹脂は、前蚘䞀般匏で衚わされるテトラカ
ルボン酞二無氎物ず、前蚘䞀般匏で衚わさ
れるゞアミノ化合物、又は該ゞアミノ化合物
ず䞀般匏で衚わされるゞアミノ化合
物の䞡者ずを、極性有機溶媒䞭で重瞮合反応さ
せ、埗られたポリアミド酞を無氎酢酞―ピリゞン
等の通垞の脱氎剀により化孊的に閉環させるこず
により補造するこずができる。 前蚘重瞮合反応は100℃以䞋の枩床で〜24時
間行なうこずが適圓である。 この反応における極性有機溶媒ずしおは、䟋え
ば、―ゞメチルホルムアミド、―ゞ
゚チルホルムアミド、―ゞメチルアセトア
ミド、―ゞ゚チルアセトアミド、―
ゞメチルメトキシアセトアミド、―メチルカプ
ロラクタム、ゞメチルスルホキシド、―メチル
――ピロリドン、ピリゞン、ゞメチルスルホ
ン、ヘキサメチルホスホアミド、テトラメチレン
スルホン、―アセチル――ピロリドン及びポ
リリン酞等を挙げるこずができ、又、これらの溶
媒䞭に塩化リチりム等のキレヌト剀を適宜加えお
もよい。 本発明の感光性暹脂の溶液はそのたたでも䜿甚
可胜であるが、この反応溶液を氎、アルコヌル、
アセトン、ベンれン及びシクロヘキサン等の単䞀
又は混合非溶媒䞭に泚いでポリマヌを沈殿させ、
瀘別、也燥埌、垌望する極性有機溶媒に溶解させ
お溶液濃床を調節しおも良い。 本発明の感光性暹脂の溶液は、そのたたでも䜿
甚可胜であるが、十分硬化するたでに盞圓量の光
゚ネルギヌの照射を必芁ずするため、増感剀ず組
み合わせお甚いるこずが実甚的に望たしい。 増感剀ずしおは、光照射によ぀おラゞカルを発
生する化合物もしくはαβ―䞍飜和ケトン基に
効率的に゚ネルギヌ移動を行なう化合物が望たし
く、ベンゟむン系化合物、アゟ化合物、色玠レド
ツクス系化合物、むオり化合物、有機過酞化物、
有機ハロゲン化物、芳銙族カルボニル化合物、芳
銙族炭化氎玠、芳銙族ニトロ化合物、芳銙族アミ
ノ化合物、プノヌル系化合物、キノン系化合
物、アンスロン系化合物、フルオレン系化合物及
びアセナフテン系化合物等を単独又は皮以䞊混
合しお甚いおも良く、添加量は暹脂量に察しお
0.02〜20重量ずするこずが望たしい。 本発明に甚いられる増感剀ずしおは、具䜓的
に、ベンゟむンメチル゚ヌテル、ベンゟむン゚チ
ル゚ヌテル、ベンゟむンプロピル゚ヌテル、ピバ
ロむン゚チル゚ヌテル、アニ゜むン゚チル゚ヌテ
ル及び―ゞメトキシ――プニルアセト
プノン等のベンゟむン系化合物、アゟビスむ゜
ブチロニトリル、アゟゞベンゟむル、アゟ―
―ゞメチル――メトキシバレロニトリル等の
アゟ化合物、クロロフむル、アクリフラビン、リ
ボフラビン、メチレンブルヌ、ロヌズベンガル、
ロヌダミン6G、サフラニン及び゚オシン等
の色玠ず―アスコルビン酞及び―トル゚ンス
ルフむン酞ナトリりム等の還元剀を組合せた色玠
レドツクス系化合物、ゞベンゟチアゟむルゞスル
フむド、テトラメチルチりラムゞスルフむド及び
デシルプニルスルフむド等のむオり化合物、過
酞化ベンゟむル、過酞化ゞ第䞉玚―ブチル及び過
酢酞第䞉玚―ブチル等あるいはこれらずクロロフ
むルずの組合せによる有機過酞化物、クロルアセ
トン、α―クロロメチルナフタレン、プナシル
クロラむド、プナシルブロマむド、四塩化炭
玠、四臭化炭玠、ペヌドホルム及びトリブロモア
セトプノン等の有機ハロゲン化物、ベンゟプ
ノン、ミヒラヌケトン、アセトプノン、―ア
ンスラアルデヒド、ベンズアルデヒド、ゞベンザ
ルアセトン、ベンゞル、p′―ゞアミノベンゟ
プノン、p′―ゞメチルアミノベンゟプノ
ン、―ゞ゚トキシアセトプノン、α―ア
ロキシム゚ステル、―プニル――プロ
パンゞオン―――゚トキシカルボニルオ
キシム、4′―第䞉玚―ブチル―トリクロルアセト
プノン及び―ヒドロキシ――メチルプロピ
オプノン等の芳銙族カルボニル化合物、クリセ
ン、プナンスレン、アンスラセン及びナフタレ
ン等の芳銙族炭化氎玠、ニトロベンれン、―ニ
トロアニリン、―ニトロアニリン、―ニトロ
ゞプニル、―ゞニトロベンれン、
―トリニトロベンれン、―ゞニトロアニリ
ン、―トリニトロアニリン、―クロ
ロ――ニトロアニリン、―ニトロプノヌ
ル、―ゞニトロプノヌル及び
―トリニトロプノヌル等の芳銙族ニトロ化合
物、芳銙族アミノ化合物及びプノヌル系化合
物、―ベンゟアンスラキノン、アンスラキ
ノン、―ナフトキノン、―ナフトキ
ノン及びベンゟキノン等のキノン化合物、アンス
ロン、―メチル――ゞアザ――ベ
ンゟアンスロン、―ケト――アザ――
ベンゟアンスロン、―プニル――ベン
ゟアンスロン及び―ベンゟアンスロン等の
アンスロン化合物、―ニトロフルオレン、
―ゞニトロフルオレン及び―ゞニトロフ
ルオレン等のフルオレン系化合物、―フタ
ロむルナフタレン、―クロロ――フタロ
むルナフタレン、―クロロ――フタロむ
ルナフタレン及び―ブロモ――フタロむ
ルナフタレン等のフタロむルナフタレン化合物、
―ニトロアセナフテン、―ゞニトロアセ
ナフテン及び―ベンゟむルアセナフテン等のア
セナフテン化合物等がある。 本発明の感光性暹脂は、又、芳銙族テトラゟ化
合物、芳銙族ビスアゞド化合物又は倚官胜性ビニ
ル化合物等の光架橋剀ず組み合わせお甚いるこず
ができる。この堎合は、光架橋剀が本発明の感光
性暹脂ず光架橋反応を起し、反応生成物内に含有
された構造を䜜る。光架橋剀は単独でも架橋反応
を起こすが、䞊蚘感光性暹脂に含たれる増感剀に
よ぀お反応が促進される。 本発明の感光性暹脂及びそれを母䜓ずする感光
性暹脂組成物は、前蚘の重合反応甚有機溶媒ある
いは本質的に溶解する適圓な極性有機溶媒又はそ
れらの混合物を甚いおワニス状溶液ずし、溶液の
粘床は䜿甚する状況に応じお、極性有機溶媒の皮
類又は濃床を倉えるこずによ぀お調節するこずが
できる。この溶液は浞挬法、スプレヌ法、ロヌラ
ヌコヌタヌ機あるいはスピンナヌ塗垃機によ぀お
察象物の衚面に塗垃し、也燥するこずによ぀お匷
靭な被膜を圢成する。本発明の感光性暹脂は良奜
な成膜性を有するので、実甚䞊固有粘床が0.1以
䞊であれば充分である。そしお前蚘重合方法によ
り最倧皋床の固有粘床の高分子量の重合䜓を補
造するこずが可胜である。 本発明によ぀お圢成された被膜を光照射によ぀
お硬化もしくは画像圢成するためには、光源ずし
お氎銀ランプが適しおいる。すなわち、この被膜
は550nm以䞋の短い波長に高い感床を有するの
で、氎銀ランプが発する匷い玫倖線もしくは可芖
光線を効率よく吞収する。 感光性暹脂被膜を党面硬化させるためには、氎
銀ランプからの光を党面に照射すれば良く、遞択
的に画像圢成を行なうためには、被膜䞊にパタヌ
ンマスクを眮き、その䞊から氎銀ランプの光を照
射するかあるいは氎銀ランプ又は550nm以䞋の短
い波長を有するレヌザヌ光䟋えば色玠レヌザ
ヌ、アルゎンレヌザヌ、窒玠レヌザヌ、ヘリりム
―カドミりムレヌザヌの基本光又は高調波光を
ビヌムに絞り、コンピナヌタヌ制埡法によ぀お被
膜䞊を盎接走査させれば良い。このように玫倖線
等で露光した埌、前蚘の極性有機溶媒あるいは極
性有機溶媒ず前蚘非溶媒の混合溶媒を甚いお未露
光郚の暹脂を溶出するこずにより、露光郚のみ硬
化、残存したパタヌンが埗られる。 本発明の感光性暹脂は前蚘の説明及び埌蚘の実
斜䟋から明らかなように固有粘床が0.1以䞊であ
り極性有機溶媒に可溶であり、空気䞭10℃分の
昇枩速床で加熱しお重量枛少が生ずる枩床を枬定
しお耐熱性の尺床ずした熱重量分析枬定法により
400℃以䞊の耐熱性を有する。 次に、本発明を実斜䟋により説明するが、本発
明はこれらによりなんら限定されるものではな
い。 実斜䟋  撹拌棒ず還流甚凝瞮管の぀いたフラスコ䞭
に、α―メチルスチレン250ml1.92モルを加
え、次に、予め冷华しおおいた濃硫酞466mlず氎
700mlの混合液を加えた。埐々に加熱し、撹拌し
ながら時間還流した埌、反応液を冷华し、
の冷氎䞭に泚いだ。有機局を―ヘキサンで抜出
し、垞圧蒞留で―ヘキサンを留出させた埌、
mmHgで枛圧蒞留し、融点51〜52℃の―プニ
ル――トリメチルむンダンの癜色結晶
が187埗られた。 次に、撹拌棒の぀いたフラスコに濃硫酞
150mlを入れ、続いお䞊蚘で埗られた―プニ
ル――トリメチルむンダン118.2
0.5モルをクロロホルム300mlに溶かしお冷华
した溶液を加えた。フラスコ内を−20℃に冷华
し、硝酞比重1.42117.81.3モルをゆ぀
くり滎䞋した。反応液の枩床が℃以䞊にならな
いよう冷华しながら撹拌を時間続けた埌、分液
ロヌトで混酞を陀去し、クロロホルム局を冷华し
た10炭酞ナトリりム氎溶液䞭に泚ぐず埐々に結
晶が生じた。結晶を濟別し、氎で十分掗浄した
埌、真空也燥し、―ニトロ――4′―ニトロ
プニル――トリメチルむンダン
の黄色結晶が124.8埗られた。この黄色結晶
65.30.2モルをフラスコに入れ、95
ç¡«é…ž22.10.23モルを加えた。湯济で反応系
を加熱しながら時間撹拌した埌、反応液を氎
䞭に泚ぎ、炭酞氎玠ナトリりム11を少しづ぀
加え、続いお塩化ナトリりム280.48モルを
加えた。これを冷华するず結晶が析出するので
別し、飜和塩化ナトリりム氎溶液で掗぀た埌、真
空也燥し、―ニトロ――4′―ニトロプニ
ル―2′―スルホン酞――トリメチル
むンダンの結晶が55.3埗られた。次に、撹拌棒
ず冷华管を取り付けたフラスコ䞭に12の氎
酞化ナトリりムず0.5の氎を加え、これを250℃
に加熱したずころぞ、䞊蚘で埗られた―ニトロ
――4′―ニトロプニル―2′―スルホン酞
――トリメチルむンダン40.60.1
モルを加えた。枩床を10分間325℃に䞊げた埌、
反応液を500mlの氷氎䞭に泚ぎ、氎溶液を硫酞で
䞭和し、―ニトロ――2′―ヒドロキシ―
4′―ニトロプニル――トリメチル
むンダンが18.1埗られた。 次に、このむンダン誘導䜓17.10.05モル
をクロロホルム80ml䞭に溶かし、桂皮酞クロラむ
ド11.70.07モル及びピリゞン5.6ml0.07モ
ルを加えお30℃に保ちながら撹拌を時間続け
たずころ、次の構造匏を有する感光性ゞニトロ化
合物が12.8埗られた。 次に、この化合物を塩化第䞀スズず塩酞を甚い
お垞法により還元し、次の構造匏を有する感光性
ゞアミノ化合物を9.1埗た。 次に、撹拌棒の぀いた300mlフラスコ䞭にこの
ゞアミノ化合物8.250.02モルずゞメチルア
セトアミド50mlを加え、均䞀溶液ずした。これに
ピロメリツト酞二無氎物4.360.02モルを加
え宀枩で時間撹拌した。これに無氎酢酞21.5ml
0.2モルずピリゞンml0.1モルを加え、
50℃に保぀たたた時間撹拌を続けた。この反応
液を氎500ml―メタノヌル500ml䞭に泚ぐずポリマ
ヌが沈殿したので、これを別し真空也燥したず
ころ、次の構造匏を有するポリむミド暹脂を11.7
埗た。埗られたポリむミド暹脂の固有粘床は
0.22であ぀た。 このポリむミド暹脂10ずミヒラヌケトン増
感剀0.5をゞメチルホルムアミド50ml䞭に溶
かしおワニス溶液ずし、ガラス板䞊にスピンナヌ
で塗垃し、50℃で10分間也燥した。この䞊にパタ
ヌンマスクフむルムを密着させ、超高圧氎銀灯の
光を4Jcm2だけ照射した埌、ゞメチルホルムアミ
ドずアセトンの混合溶媒䜓積混合比で
珟像したずころ、露光郚の硬化したネガ型の凹凞
パタヌンを埗た。この硬化暹脂の耐熱性を熱重量
分析で枬定したずころ、空気䞭、10℃分の昇枩
速床で520℃たで重量枛少が芋られなか぀た。 実斜䟋  実斜䟋で埗たポリむミド暹脂10ずゞベンザ
ルアセトン光架橋剀0.5及びミヒラヌケト
ン増感剀0.3をゞメチルアセトアミド50ml
䞭に溶かしおワニス溶液ずし、ガラス板䞊にスピ
ンナヌで塗垃し、50℃で10分間也燥した。この䞊
にパタヌンマスクフむルムを密着させ、超高圧氎
銀灯の光を2.5Jcm2だけ照射した埌、ゞメチルア
セトアミドずアセトンの混合溶媒䜓積混合比
で珟像したずころ、露光郚の硬化したネ
ガ型の凹凞パタヌンを埗た。この硬化暹脂の耐熱
性を熱重量分析で枬定したずころ、空気䞭、10
℃分の昇枩速床で510℃たで重量枛少が芋られ
なか぀た。 実斜䟋  実斜䟋で埗られた―ニトロ――4′―ニ
トロプニル――トリメチルむンダ
ン65.30.2モルずゞプニルピクリルヒド
ラゞル0.5をクロロホルム300ml䞭に溶かし、こ
れにアクリル酞クロラむド200.22モル及び
ピリゞン17.7ml0.22モルを加えお、反応液を
30℃に保ちながら撹拌を続け、次いで、塩化第䞀
スズず塩酞を甚いお垞法によりニトロ基を還元し
たずころ、次の構造匏を有する感光性ゞアミノ化
合物33.1を埗た。 このゞアミノ化合物12.20.04モルず
―ゞアミノ安息銙酞グリシゞルメタクリレヌト
゚ステル2.950.01モル をゞメチルアセトアミド125ml䞭に溶かし、これ
にベンゟプノンテトラカルボン酞二無氎物16.1
0.05モルを加えお宀枩で時間撹拌した。
これに無氎酢酞50.3ml0.5モルずピリゞン20
ml0.25モルを加え、50℃に保぀たたた時間
撹拌を続けた。この反応液を氎―メタノヌル
䞭に泚ぐずポリマヌが沈殿したのでこれを
別し、真空也燥したずころ、次の構造匏を有する
ポリむミド暹脂28.8を埗た。埗られたポリむミ
ド暹脂の固有粘床は0.10であ぀た。 このポリむミド暹脂10ず゚オシン増感剀
0.1mg及び―トル゚ンスルフむン酞ナトリりム
還元剀2.26mgをゞメチルアセトアミド50mläž­
に溶解しおワニス溶液ずし、ガラス板䞊にスピン
ナヌで塗垃し、50℃で10分間也燥した。この詊料
板を甚いお実斜䟋ず同様の露光詊隓を行な぀た
ずころ、2.8Jcm2の玫倖線露光ず珟像により露光
郚の硬化したネガ型パタヌンを埗た。この硬化暹
脂の耐熱性を熱重量分析で枬定したずころ、空気
䞭、10℃分の昇枩速床で470℃たで重量枛少は
みられなか぀た。 実斜䟋  実斜䟋で埗られたポリマヌ10ず―ゞ
4′―アゞドベンザル――メチルシクロヘキ
サノン光架橋剀0.2をゞメチルアセトアミ
ド50ml䞭に溶かしおワニス溶液ずし、これを甚い
お実斜䟋ず同様の露光詊隓を行な぀たずころ、
1.5Jcm2の玫倖線露光ず珟像によ぀お露光郚の硬
化したネガ型の凹凞パタヌンを埗た。この硬化暹
脂の耐熱性を熱重量分析で枬定したずころ、空気
䞭、10℃分の昇枩速床で470℃たで重量枛少は
芋られなか぀た。 以䞊説明したように、本発明の新芏な感光性暹
脂は、極性有機溶媒に可溶性のポリむミド暹脂で
あるため、加工性に優れ、又、加工工皋終了埌の
高枩加熱凊理を必芁ずせずに耐熱性暹脂ずなる特
城を有しおいる。又その結果、暹脂の䜓積収瞮も
なく、寞法安定性に優れるずいう利点がある。曎
に、光反応生成物は、架橋ポリむミド構造を䜜る
ため、耐熱性のみならず、電気絶瞁性及び機械的
特性にも優れた特城を有しおいる。又、長波長域
の可芖光にたで感光する増感剀の䜜甚によ぀おポ
リむミド自身の光吞収による反応性の䜎䞋を防
ぎ、濃い着色フむルムに固有の䜎反応性を十分補
償しおいる。 このように、本発明による感光性暹脂は、耐熱
性、電気絶瞁性に優れか぀加工性にも優れおいる
ので、電子産業界におけるプリント回路補造甚レ
ゞスト兌絶瞁材料ずしお䜿甚でき、又、半導䜓及
び超䌝導材料の埮现加工あるいは有機絶瞁材料に
も䜿甚できる利点を有するものである。

Claims (1)

  1. 【特蚱請求の範囲】  䞀般匏 匏䞭、R1は四䟡の芳銙族炭化氎玠残基、R2
    は䞉䟡の脂肪族残基又は芳銙族残基、R3は鎖又
    は環䞭に【匏】基を有する䞀䟡の脂 肪族基又は芳銙族基を瀺し、R4は氎玠又はR3ず
    同䞀又は異なる鎖又は環䞭に【匏】 基を有する䞀䟡の脂肪族基又は芳銙族基を瀺し、
    は―――――CH2――NH――
    SO2――COO―又は―OCOCH2O―の結合鎖を
    瀺す。 前蚘ポリむミド繰返し単䜍の党数䞭、は少く
    ずも50以䞊100、は50以䞋の数倀を瀺
    す。で衚わされ、固有粘床0.1以䞊である感光性
    暹脂。  䞀般匏 匏䞭、R1は四䟡の芳銙族炭化氎玠残基を瀺
    す。で衚わされるテトラカルボン酞二無氎物
    ず、䞀般匏 匏䞭、R3は鎖又は環䞭に【匏】 基を有する䞀䟡の脂肪族基又は芳銙族基を瀺し、
    は―――――CH2――NH――
    SO2――COO―又は―OCOCH2O―の結合鎖を
    瀺す。で衚わされるゞアミノ化合物、又
    は、該ゞアミノ化合物ず䞀般匏 匏䞭、R2は䞉䟡の脂肪族残基又は芳銙族残
    基、R4は氎玠又は䞊蚘匏におけるR3ず同
    䞀又は異なる鎖又は環䞭に【匏】基 を有する䞀䟡の脂肪族基又は芳銙族基を瀺し、
    は―――――CH2――NH――SO2
    ――COO―、又は―OCOCH2O―の結合鎖を
    瀺す。で衚わされるゞアミノ化合物の䞡
    者ずを有機極性溶媒䞭で反応させるこずを特城ず
    する、䞀般匏 匏䞭、R1R2R3R4及びは䞊蚘䞀般匏
    又は匏におけるものず同じ意
    味を有し、 前蚘ポリむミド繰返し単䜍の党数䞭、は少く
    ずも50以䞊100、は50以䞋の数倀を瀺
    す。で衚わされ、固有粘床0.1以䞊である感光性
    暹脂の補造方法。
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