JPH02305821A

JPH02305821A - 感光性共重合体組成物

Info

Publication number: JPH02305821A
Application number: JP12531889A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Furuya; 浩行古谷; Kosaku Nagano; 広作永野
Original assignee: Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
Current assignee: Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
Priority date: 1989-05-18
Filing date: 1989-05-18
Publication date: 1990-12-19

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、硬化後、優れた耐熱性を有するポリイミド樹
脂に変化させることができ、実用上子力な感度を有しか
つ接着性の改善された感光性共重合体組成物に関する。

［従来の技術及び解決すべき課題］ポリイミド樹脂は、高い耐熱性と優れた電気絶縁性を有
することが知られており、ＩＣ封止材など電気絶縁材料
として広く利用されている。封止材料として用いる場合
、ポリイミド絶縁被膜をバターンニングする必要があり
、従来はアルカリエツチング等の方法により、パターン
ニングするのが一般的であった。然しながら、上述の方
法では、フォトレジスト材を介在させる必要があり、生
産性を阻害する大きな要因となっていた。

これを克服するために、近年ポリイミド皮膜を直接フォ
トエツチングする方法が開発されている。

いわゆる感光性ポリイミドを利用する方法である。

従来、感光性ポリイミドとしては、ポリイミドの前駆体
であるポリアミド酸中間体に重クロム酸塩を約１〜５重
量％添加し、Ｅｋ阪に塗布し、光を照射した後、ヘキサ
メチルホスホルアミドで現像し、２５０℃で硬化するこ
とにより得られる感光性ポリイミドが知られているＣＲ
，Ｅ、Ｋｅｒｗｌｎ、　ｅｔ　ａｌ、。

Ｐｏｌｙｍｅｒ　Ｅｎｇ、　＆　Ｓｃ１．、ｌＩ　（５
）、　４２８Ｊ）ｌ）　［９７１）］。

然しなから、この方法で得られた硬化皮膜は、重クロム
酸塩が硬化皮膜に残るために絶縁性の１３頼性の点で問
題があり、また重クロム酸塩を添加するとポリアミド酸
中間体が保存中にゲル化するなど、系が不安定になり、
取扱いにくいなどの問題点が指摘されている。

また、特開昭６２−１４５２３９号公報に開示されてい
る感光性樹脂を得る方法としては、芳香族テトラカルボ
ン酸ジオルトニトロベンジルエステルジクロライドと芳
香族ジアミンとを重縮合し、感光性を白°するポリアミ
ド酸中間体を得、露光後、熱閉環することで達成してい
る。

然しなから、この方法では、上記の感光性を有する組成
物を基材に塗布したときの接着性が十分ではなく、さら
には、得られた感光性重合体組成物の感度が実用的には
低いという問題点があった。

［課題を解決するための手段］本発明者等は、かかる実情に鑑み、これらの技術的課題
を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、本発明に到達した
ものである。

即ち、本発明は、一般式（Ｉ）及び（ＩＩ）（式中、Ｚ
は感光能をａする置換基、ＸはＣＨ３、Ｃ１１３ＣＨ２
、ＣＨ３０，ＣＩＳＢ　ｒ、ＦＳＣＮ。

ＮＯ２、ＣＦ３　、ＣＦ３　ＣＦ２　、ＣＦ＊　０、Ｈ
から選ばれる置換基でありかつ同一であっても異なって
いてもよい、＋１は０〜４の整数、ｍは１〜６の整数、
Ａ「は４価の有機晶、Ａｒ−は２価の有ｌａＭである）で表わされる溝高を有する重合体よりなる感光性共重合
体組成物を内容とするものである。

本発明の感光性樹脂及びそれを１１１体とする感光性ポ
リイミドはの製造法について述べる。

（Ｉ）　一般式（Ｉｌｌ）で表わされる芳香族ジアミン
化合物［Ｌ、］１１２　Ｎ−Ａ　ｒ　−−ＮＩＩ２　　　　　　　（Ｄ
Ｉ）［ｂｌ（式中、Δ「′は２価の有機基）と一般式（ＩＶ　）で表わされるジメチルシラン基含有
ジアミン［Ｃｌ［ｃｌ（式中、Ｚは感光能を有する置換基、又はＣ１１，、Ｃ
１１）ＣＨ２、ＣＩ（ｉ　０、Ｃｌ５Ｂｒ、Ｆ、ＣＮ。

ＮＯ２、ＣＦ、、ＣＦ３　ＣＦ２　、ＣＦＩ　Ｏ，Ｉ（
から選ばれる置換基でありかつ同一であっても異なって
いてもよい、１１は０〜４の整数、ｒｎは１〜６の整数
である）の混合物と一般式（Ｖ）で表わされる芳香族テトラカル
ボン酸誘導体［ａｌ（式中、Ｚは感光能を有する置換基、Ａｒは４価の有機
基）を化学量論的に約等モルになるように有機極性溶媒中に
添加する共重合方法。この方法ではランダム共重合体が
得られる。

（２）　芳香族テトラカルボン酸誘導体［ａｌと芳香族
ジアミン化合物［ｂｌとを、［ａｌを［ｂｌより過剰モ
ル用い、有機極性溶媒中で反応させ、両末端に酸クロラ
イド基を有するプレポリマーを得、次いでここにジメチ
ルシラン基含有ジアミン化合物［Ｃｌを、全ジアミンｆ
ｆｉ［（ｂ）＋（Ｃ）］が芳香族テトラカルボン酸誘導
体［ａｌと化学量論的に等モルになるように添加する共
重合方法。この方法によりどちらか一方の反復単位が存
在するセグメントの長さが共重合体分子内において一定
である共重合体を得ることができる。

（３）　芳香族ジアミン化合物［ｂｌに対して芳香族テ
トラカルボン酸誘導体［ａｌを、［ｂｌが［ａｌより過
剰になるように反応させ、両末端にアミノ基を有するプ
レポリマーを得、続いてここにジメチルシラン基含有ジ
アミン成分［Ｃｌを追加添加後、全ジアミンｍ　ｒ　（
ｂ）　＋　（ｃ）　］が化学量論的に等モルになるよう
に不足分の芳香族テトラカルボン酸誘導体［ａｌを添加
反応させる共重合方法。この方法によりブロック共重合
体を得ることができる。

ポリアミド酸共重合体を得るにはこれ以外の方法を用い
てもよく、さらには異種のポリアミド酸溶液の混合によ
って得ることも可能である。好ましくは、（２）ないし
く３）、さらに好ましくは（２）の方法を用いると特性
の面で優れたものが得られる。

また、同じく一般式（Ｉ）及び（ＩＩ）のＺは光硬化す
ることによる感光能を有する置換基である。

Ｖりえば、をあげることができるが、本発明に使用できる置換基は
、これらの例示されたものに（ｔｉ１等限定されるもの
ではない。

本発明に用いられる有機テトラカルボン酸二無水物とし
ては、あらゆる１６！造の有機テトラカルボン酸二無水
物が使用可能であるが、一般式（Ｖ）のΔ「基は４価の
有機基であり、芳容族基であることが好ましい。このＡ
ｒ基を具体的に例示すると、次のものをあげることがで
きる。

これらの有機テトラカルボン酸二無水物を単独又は二種
以上を組み合わせて用いてもよい。

より具体的には、緒特性のバランス面からの少なくとら
１　ｔ’！類以上を主成分とすることが好適である。

一般式（Ｉ）及び（Ｉ１）で表わされる反復単位は全反
復単位中５０モル％以上、好ましくは７０モル％以上、
さらに好ましくは９０モル％以上存在することが８髪で
ある。

一般式（Ｉ）及び（Ｉ１）で表わされる反復単位のモル
比（Ｉ）／（ＩＩ）は７０／３０〜３０〜７　Ｕ　（’
）　Ｉａが望ましい。モル比が３０／７０を越えると１
５　ｉｉ性の劣る感光性共重合体組成物しか得ら社ない
。

次の一般式（ＩＩＩ）Ｉｆ２Ｎ−Ａｒ　”　−Ｎ　ＩＩ　２　　　　　　（Ｉ
ＩＩ）［ｂｌ（式中、Ａｒ”は２価の有機基）で表わされるジアミン化合物［ｂｌのＡｒ”は、本質的
には２篩の１￥機基ならＩＩＩ１でも使用可能であるが
、具体的には、Ｕｌ１５　　　　　Ｌ；１ｊ４等をあげることができるが、芳香族基が好ましく、Ｒ（
−ド的には、の少なくとも１種類以上を主成分とすることが好適であ
る。

ポリアミド酸組成物の生成反応に使用される有１！ｌ　
Ｗ性溶媒としては、例えば、ジメチルスルホキシド、ジ
エチルスルホキシド等のスルホキシド系溶媒、Ｎ、Ｎ−
−ジメチルホルムアミド、Ｎ。

Ｎ゛−ジエチルホルムアミド等のホルムアミド系溶媒、
Ｎ、Ｎ−−ジメチルアセトアミド、Ｎ。

Ｎ′−ジエチルアセトアミド等のアセトアミド系溶媒等
あげることができる。これらを単独又は二はあるいは三
種以上の混合溶媒として、また、メタノール、エタノー
ル、イソプロピルアルコール、ベンゼン、トルエン、キ
シレン、メチルセロソルブ等のポリアミド酸の非溶媒と
の混合溶媒として用いることもできる。Ｎ、Ｎ−−ジメ
チルホルムアミドを溶媒とすることが好ましい。より好
ましくは、Ｎ、Ｎ−−ジメチルホルムアミドを溶媒とし
、前述のポリアミド酸組成物が５〜４０重量％、好まし
くは５〜３０重１ｔ　９６溶解されているものが取扱い
の面からも望ましい。

この溶液の粘度は、使用する状況に応じて、溶媒の種類
又は濃度を変えること、によって調整することができる
。この溶液は、浸漬法、スプレー法、ローラーコーター
機又はスピンナー塗布機によって対象物の表面に塗布さ
れ、例えば適当な温度下において乾燥（プリベーク）す
ることによって強靭な皮膜を形成する。

上述の方法によって形成された被膜に、光を照射した部
分を溶出させることによって画像を形成することができ
る。

用い得る光源としては水銀ランプが適している。

即ち、これらの被膜は５５０ロー以下の短い波長に高い
感度を有するので、水銀ランプが発する強い紫外線又は
ｉ＋ｊ視光線を効率良く吸収する。

感光性樹脂彼国を全面硬化させるためには、水銀ランプ
からの光を全面に照射すればよいし、選択的に画像形成
を１テうためには、被覆土にパターンマスクを置き、そ
の上から水銀ランプの光を照射するか、あるいは水銀ラ
ンプ又は５５０　ｎｆｆ１以下の短い波長を有するレー
ザー光（例えば色素レーザー、アルゴンレーザー、窒素
レーザー、ヘリウム−カドミウム−レーザーの基本光又
は高調波光）をビームに絞り、コンピューター制御法に
よって被覆土を直接走査させればよい。このように紫外
線等で露光した後、アルカリ水溶液からなる現像液を用
いて、露光部を選択的に溶出することによって、未露光
部が選択的に硬化した所望のレリーフパターンを形成さ
せることができる。

続いて、リンス液によって洗浄し、不溶の部分又は現像
液を除去する。

得られたパターンは、熱処理により又は化学的処理によ
り、対応するポリイミドに変換することができる。

現像液としては、アルカリ水溶液であれば、どのような
ものでもよく、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニ
ウムヒドロキサイド、エタノールアミン及びＮ、Ｎ−ジ
メチルエタノールアミン等の水溶液を例としてあげるこ
とができる。

リンス液にはポリアミド酸の非溶媒を用いるが、その中
でも、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコー
ル、ベンゼン、トルエン、キシレン、メチルセロソルブ
等が好適な例としてあげられる。

本発明の感光性前駆体には、所望に応じて慣用の助剤、
例えば、光ｍ合間始剤、増感剤、着色剤等を加えること
ができる。例えば、増感剤としては、ベンゾフェノン、
アセトフェノンアントロン、ｐ−ｐ’−テトラメチルジ
アミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、フェナント
レンナフタレン、２−ニトロフルオレン、５−ニトロ−
アセナフテン、Ｎ−アセチル−４−ニトロ−１−ナフチ
ルアミン、２−メチルアントラキノン、２−エチルアン
トラキノン、ベンゾキノン、ジベンザルアセトンベンジ
ル、ｐ。

ｐ゛−ジアミノベンゾフェノン、ｐ、ｐ’−ジメチルア
ミノベンゾフェノン、■、２−ナフトキノン、ベンゾイ
ンメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾ
インイソプロピルエーテル、ｌ、４−ナフトキノン、ア
ントラキノン、ｌ、９−ベンゾアントロン等をｌｉｔ独
又は混合して使用することも可能である。

これらの増感剤は、感光性重合体に対して約０．０１〜
１０重二％添重量、分光増感を行うこともできる。

また、安定剤としては、／Ｘイドロキノン、第３級ブチ
ルカテコール等があげられ、これらを添加することも９
効である。

［実施例コ。

以下、実施例により、本発明を具体的に説明するが、本
発明はこれらの実施例に同等限定されるものではない。

実施例１２　Ｏｆ）　Ｏｍｌの４０フラスコにシーラムキャップ
、温度計、外部攪拌装置、Ｎ、導入管を付した。十分に
Ｎ２置換１７た後、３３．４６ｇの０−二トロベンジル
アルコールと８００　ｍｌの乾燥したトルエンとを加え
、均一に溶解し、この中にピロメリット酸二無水物（以
下ＰＭＤＡという）の２１．８ｇを加えて、°５時間還
流させ、析出した結晶を回収した。３００　ｍｌの４日
フラスコにシーラムキャップ、温度計、外部攪拌装置、
Ｎ、導入管を付した。

十分にＮ２置換した後、得られたカルボン酸１０．２ｇ
を１００ｍ１のチオニルクロライド中で還流させ、酸ク
ロライドとした。反応後、過剰のチオニルクロライドを
減圧下に留去した後、ＩＲ。

Ｉ　Ｈ−ＮＭＲの測定から得られた構造は、次の［１］
であった。

５００　ｍｌの４０フラスコにシーラムキャップ、温度
計、外部攪拌装置、Ｎ２導入管を付した。

十分にＮ２置換した後、乾燥ジエチルエーテル３００　
ｍｌ、リチウム１，４ｇを入れ、−５℃に冷却した。ｐ
−二トロブロムベンゼン４０．４ｇを５０ｍ１の注目、
Ｊ器に取り、発熱の状態に注意しながら、３０分かけて
滴下した。ジクロロテトラメチルジシラン１８．７ｇを
ジエチルエーテル３０ｍ１に溶解し注ＤＪ　器で滴下し
た。滴下後そのまま３時間反応を続けた後、２００　ｍ
ｌの水中に注ぎ、希塩酸で中和し、酢酸エチルで抽出し
た。得られたジニトロ化合物１．５６．、氷酢酸２５　
ｍｌ　ｓ塩化錫１２．５ｇ、濃塩酸５０ｍ１をシーラム
キャップ、温度計、外部攪拌装置、Ｎ２導入管を付した
３　００　ｍｌの４０フラスコに加え、１００℃で４時
間攪ｒＰシた。４０ｆｆ１ｍ％の水酸化すトリウム水溶
１１Ｍ６７．５ｍｌを加え、そのまま３０分間攪拌した
。

２００　ｍｌの水中に注ぎ、酢酸エチルで抽出した。

ＩＲ，Ｉ　Ｈ−ＮＭＲのΔＰ１定から得られた構造は、
次の［２］であった。

〔２〕１０００　ｍｌの４０フラスコにシーラムキャップ、温
度計、外部攪拌装置、Ｎ２導入管を付した。バラフェニ
レンジアミン（以下ｐ−ＰＤＡという）７．２０ｇを採
取し、３２７．０ｇ（７）Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミ
ド（以下Ｄ　Ｍ　Ａ　ｃという）を加え溶解した。他方
、２００ｍ１のナスフラスコに５６．１ｇの［１］を採
取し、前記ｐ−ＰＤＡ溶液中に固体状で添加した。更に
、このナスフラスコ中の壁面に残存付着する［１コを２
０．０ｇのＤＭＡｃで反応系（四つロフラスコ）へ流し
入れ、更に１時間攪拌を続け、酸クロライド基末端アミ
ド酸プレポリマーを得た。一方、２００　ｍｌ三角フラ
スコに９．８７ｇの［２］を採取し、４９．０ｇのＤ　
Ｍ　Ａ　ｃを加え溶解した。この溶液を反応系（四つロ
フラスコ）内に添加し、バルク粘度２５ボイズの感光性
共重合ポリアミド酸溶液を得た。

以上の反応操作において、反応温度は５〜１０”Ｃに、
またｐ−ＰＤＡ、［１］及び［２］の取扱い及び反応系
内は乾燥窒素気流下で行った。

この感光性ポリアミド酸溶液を、ブラシ研磨したアルミ
ＩＮにスピナーを用いて塗布した。乾燥後、この膜にパ
ターンマスクフィルムを密着させた後、５００Ｗの高圧
水銀灯で露光した。そのときの露光量は０　、　２０　
ｎｒ　Ｊ　／　ｄであった。その後、テトラメチルアン
モニウムヒドロオキサイドの５重量％水溶液で現像した
ところ、ポジ型のパターンが得られた。次ぎに、得られ
た厚膜を熱風循環式の乾燥炉巾で３００℃で１．５時間
加熱してポリイミド皮膜を得ｔこ。

このポリイミドの熱雷ｆｆｌ減少開始温度は２９２℃で
あった。

実施例２実施例１のＰＭＤＡ２１．８ｇをベンゾフェノンテトラ
カルボン酸二無水物３２．２ｇに変えて実施例１と同様
な方法に従って、酸クロライド実施例１の方法に従って
、［２］　９．８７ｇ。

ｐ−ＰＤＡ７．２０ｇ及び［３コ５７．７ｇを用いて、
バルク粘度９ボイズの感光性共重合ポリアミド酸溶液を
得た。

この感光性ポリアミド酸溶液を、ブラシ研必したアルミ
板にスピナーを用いて塗布した。乾燥後、この膜にパタ
ーンマスクフィルムを密着させた後、５００Ｗの高圧水
銀灯で露光した。そのときの露光量は０．４５ｍＪ／ｃ
ｄであった。その後、テトラメチルアンモニウムヒドロ
オキサイドの５重量％水溶液で現像したところ、ポジ型
のパターンが得られた。次ぎに、得られた厚膜を熱風循
環式の乾燥炉巾で３００℃で１．５時間加熱してポリイ
ミド皮膜を得た。

このポリアミド酸重 ℃であった。

実施例３実施例１のＰＭＤＡ２１．ｓｇを４．４゛−へキサフル
オロイソプロピリデンビスフタル酸二無水物４４．４ｇ
に変えて実施例１と同様な方法に従って、酸フロラ・ｆ
ド［４］を得た。

〔４〕実施例１の方法に従って、［２３９，８７ｇ。

ｐ−ＰＤＡ７．２０１及び［４］　６９．９ｇを用いて
、バルク粘度２６ボイズの感光性共重合ポリアミド酸溶
液を得た。

この感光性ポリアミド酸溶液を、ブラシ研磨したアルミ
ｌｉにスピナーを用いて塗布した。乾燥後、この膜にパ
ターンマスクフィルムを密着させた後、５００Ｗの高圧
水銀灯で露光した。そのときの露光ｍは０．８６ｍＪ／
ｃｊであった。その後、テトラメチルアンモニウムヒド
ロオキサイドの５ｆｆ１ｍ％水溶液で現１象したところ
、ポジ型のパターンが１１ｔられた。次ぎに、得られた
厚膜を熱風循環式の乾燥炉中で３００℃で１．５時間加
熱してポリイミド皮膜を得た。

このポリイミドの熱雷Ｊｌ！１減少開始温度は３５９℃
であった。

実施例４　。

実施例１の°ＰＭＤＡ２１．８ｇをビフェニルテトラカ
ルボン酸二無水物２９．４ｇに変えて実施ｌｆｌ　１と
同様な方法に従って、酸クロライド［５］を得た。

〔５〕実施例１の方法に従７て、［２］　９．８７．、ｐ−ｒ
’ＤＡ７．２０ｇ及び［５］　５４．９ｇを用いて、バ
ルク粘度２６ボイズの感光性共重合ポリアミド酸溶液を
得た。

この感光性ポリアミド酸溶液を、ブラシ研磨したアル［
にスピナーを用いて塗布した。乾燥後、この膜にパター
ンマスクフィルムを密着させた後、５００Ｗの高圧水銀
灯で露光した。そのときの露光量は０．４６　ｍ　Ｊ　
／ｃｄであった。その後、テトラメチルアンモニウムヒ
ドロオキサイドの５重量％水溶液で現１室したところ、
ポジ型のパターンが得られた。次ぎに、得られた厚膜を
熱風循環式の乾燥炉中で３００℃で１．５時間加熱して
ポリイミド皮膜を得た。

このポリイミドの熱重量減少開始温度は３０４℃であっ
た。

実施例５実施例１のＰＭＤＡ２１．８ｇをベンゾフェノンテトラ
カルボン酸二無水物３２．２ｇに、また、ジクロロテト
ラメチルジシラン１８．７ｇをジクロロジメチルシラン
１２．９ｇに変えて、実施例１と同（・１な方法に従っ
て、酸クロライド［３］、ジアミン［６］をｉすだ。

〔３〕〔６〕実施例１の方法に従って、ｐ−ＰＤＡ７．２０ｇをオキ
シジアニリン１３．３ｇに変え、［６］８．０６ｇ及び
［３］　５７．７ｇを用いて、バルク粘度３３ボイズの
感光性共重合ポリアミド酸溶液を得た。

この感光性ポリアミド酸溶液を、ブラシ研磨したアルミ
仮にスピナーを用いて塗布した。乾燥後、この膜にパタ
ーンマスクフィルムを密着させた後、５００Ｗの高圧水
銀灯で露光した。そのときの露光量は０．　９７ｍ　Ｊ
　／ｃｄであった。その後、テトラメチルアンモニウム
ヒドロオキサイドの５重量％水溶ｉｌｌで現象したとこ
ろ、ポジ型のパターンが１４られた。次ぎに、ｉ′４ら
れた厚膜を熱風循環式の乾燥炉中で３００℃で１．５時
間加熱してポリイミド皮膜をｉ髪Ｉだ。

二のポリイミドの熱重量減少開始温度は２７４℃であっ
た。

［発明の効果］本発明は、上述のように、感光性共重合体組成物を得る
ことに成功し、これにより、実用上十分な感度を６し、
接着性が改良され、さらに現像時に皮膜の膨潤の少ない
ポジ型のポリイミドパターンの形成を行うことができる
ようになったのである。

また、本感光性重合体組成物は、従来のフォトレジスト
使用に付随する工程が短縮されるものである。

これら数多くの特徴を有するところから、本発明の感光
性ポリイミド樹脂は、電子産業界におけるプリント回路
製造用レジスト兼絶縁材料として、あるいは９機絶縁材
料として極めて有用である。

Claims

【特許請求の範囲】１）一般式（ I ）及び（II） ▲数式、化学式、表等があります▼（ I ） ▲数式、化学式、表等があります▼（II）（式中、Ｚは感光能を有する置換基、ＸはＣＨ＿３、Ｃ
Ｈ＿３ＣＨ＿２、ＣＨ＿３Ｏ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｆ、ＣＮ、
ＮＯ＿２、ＣＦ＿３、ＣＦ＿３ＣＦ＿２、ＣＦ＿３Ｏ、
Ｈから選ばれる置換基でありかつ同一であっても異なっ
ていてもよい、ｎは０〜４の整数、ｍは１〜６の整数、
Ａｒは４価の有機基、Ａｒ′は２価の有機基である）で表わされる構造を有する重合体よりなる感光性共重合
体組成物。２）Ｚが ▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、
表等があります▼、▲数式、化学式、表等があります▼
、 ▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、
表等があります▼、▲数式、化学式、表等があります▼ のうちから選ばれた少なくとも１種であることを特徴と
する請求項１に記載の感光性共重合体組成物。３）Ａｒが▲数式、化学式、表等があります▼である請
求項１に記載の感光性共重合体組成物。４）Ａｒが▲数式、化学式、表等があります▼である請
求項１に記載の感光性共重合体組成物。５）Ａｒが▲数式、化学式、表等があります▼である請
求項１に記載の感光性共重合体組成物。６）Ａｒが▲数式、化学式、表等があります▼である請
求項１に記載の感光性共重合体組成物。７）Ａｒ′が▲数式、化学式、表等があります▼である
請求項１に記載の感光性共重合体組成物。８）Ａｒ′が▲数式、化学式、表等があります▼である
請求項１に記載の感光性共重合体組成物。９）Ａｒ′が▲数式、化学式、表等があります▼である
請求項１に記載の感光性共重合体組成物。１０）一般式（ I ）及び（II）で表わされる構成単位
のモル比（ I ）／（II）が７０／３０〜３０／７０で
ある請求項１に記載の感光性共重合体組成物。