JPS617328A - 感光性ポリアミド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔本発明の技術分野〕 この発明は、有機溶媒に対する溶解性が、極めて優れて
いて、しかもポリアミド主鎖中に感光基が直接結合して
いて光硬化性能が優れている新規な感光性ポリアミドに
係るものであり、特に、有機溶媒への溶解性と光硬化性
とが優れていると共に、光硬化した後の光硬化物が、耐
熱性、電気的及び機械的な性質にも優れているので、高
精度のソルダーレジストとして好適に使用でるものであ
り、また、２１コ々体工業における固体素子への絶縁膜
（層）や、パッシベーション膜の形成材料、及び半導体
の望禎回路や多層プリント配線板などの眉間絶縁材料等
に、光の照射によって容易になりうる好適な感光４！Ｊ
：ポリアミドに関する。

〔従来技術〕

半導体工業におりる固体素子への絶縁膜やパン１シベー
シヨン股の形成材料、及び半導体集積回路や多層プリン
ト配線板などの眉間絶縁材料は、耐熱性及び絶縁性に富
むことが求められており、また、高密度化、高集積化の
要求から感光性のある耐熱材料が求められて来た。

従来より、感光性ポリアミドの報告は、多数知られてい
るが、その多くは、感光基を有していないポリアミドと
光重合性不飽和化合物（感光性モノマー）との配合によ
るものであり、感光性が不均−で、充分に高いものでは
なかった（特開昭４８−８９００４号公報、特開昭４９
−７４７３９号公報及び特開昭５６−９３７０４号公報
など参照）。また、感光基を直接ポリマー主鎖に有する
ポリアミドも提案されている（特開昭５０−８６０５号
公報及び特開昭５６−１２２８３３号公報など参照）け
れども、脂肪族ポリアミドに関するものであり、耐熱性
が充分ではかったり、あるいは、感光基の量が不充分で
感光性能が低いものであったりして、実用的に充分に満
足できるものではなかった。

〔本発明の要件と作用効果〕

この発明者らは、上述の状況において、耐熱性、電気的
及び機械的特性が優れているレリーフパターンを容易に
形成しうる、熔解性の優れた感光性樹脂を提供すること
を目的として、種々研究した結果、芳香族ジカルボン酸
類と脂環族または脂肪族ジカルボン酸類との混合物を特
徴とする特定のジカルボン酸成分と、感光基を有する芳
香族ジアミン化合物、または前記の感光基を有する芳香
族ジアミン化合物とその他の芳香族ジアミン化合物との
混合物からなる特定の芳香族ジアミン成分との、共重合
体からなるポリアミドが、有機溶媒に対する優れた熔解
性を有していると共に、優れた感光性を有しており、し
かもその光硬化物が優れた耐熱性などを保持しているこ
とを見いだし、この発明を完成した。

すなわち、この発明は、芳香族ジカルボン酸類と、脂環
族または脂肪族ジカルボン酸類とのモル比が、２：８〜
９：ｌの範囲内であるジカルボン帳類の混合物を、全カ
ルボン酸成分の少なくとも９０モル％以上含有するジカ
ルボン酸成分と、感光基を有する芳香族ジアミン化合物
、または感光基を有する芳香族ジアミンと他の芳香族ジ
アミン化合物とのモル比が、３：７以上である芳香族ジ
アミン化合物の混合物からなる芳香族ジアミン成分との
共重合物からなる有機溶媒可溶性である感光性ポリアミ
ｌ’に関する。

この発明の感光性ポリアミドは、感光基を有する芳香族
ジアミン化合物を含有する芳香族ジアミン成分を特定の
ジカルボン酸成分と重合して得られるものであり、酸成
分との重合反応の際に感光基がポリマー主鎖中に多数導
入されるために、極めて高い感光性をポリマー自体が有
しており、よって光透過性および光硬化性（光架橋性）
に優れているので、従来の非感光性ポリマーのように画
像形成用の別の光硬化性物質（光重合性不飽和化合物）
を特に必須とすることがないと共に、また、有機溶媒に
対する熔解性に優れているために、レリーフパターンの
形成に極めて好適である。

さらに、この発明の感光性ポリアミドは、ジカルボン酸
成分として、芳香族ジカルボン酸類のほかに、脂環族ジ
カルボン酸類または脂肪族ジカルボン酸類を含有してい
るモノマーから重合によって得られ、そのポリマー主鎖
中に前記脂環族または脂肪族ジカルボン酸類によるアミ
ド結合中位を含有するので、光硬化した後の光硬化物（
股）が、柔軟性に冨み、その光硬化膜で被覆された配線
基板などに「そり」とか「ねじれＪなどが生ずるのを防
止する効果がある。

また、この発明の感光性ポリアミドは、芳香族系モノマ
ーを主成分とするモノマーから重合によって得られたポ
リアミドであるので、その光硬化物（膜）の熱的な性質
が実用的な水準を維持しており、溶融半田（約２６０℃
）中に浸漬しても、光硬化膜が縮み上がったり、めくれ
たりすることがなく、しかもそのような高温での熱履歴
の後でも、基板上の被覆面（樹脂面または配線された銅
線など）に対し７て優れた接着性を保持しているのであ
る。

〔本発明の各要イ１１の詳述〕 この発明の感光性ポリアミドを形成するために使用され
るジカルボン酸成分は、芳香族ジカルボン酸類と、脂環
族または脂肪族ジカルボン酸類とのモル比が、２：８〜
９：１の範囲内、好ましくは３ニア〜８：２の範囲内、
さらに好ましくは３ニア〜７：３の範囲内であるジカル
ボン酸類の混合物を、全カルボン酸成分の少なくとも９
０モル％以上、好ましくは９５％以上含有するジカルボ
ン酸成分である。

前記のジカルボン酸成分において、脂環族または脂肪族
ジカルボン酸類の配合割合が、あまりに少なくなり過ぎ
ると、そのようなモノマーから得られたポリアミドを光
硬化した後の光硬化膜の柔軟性が悪化し、光硬化膜がめ
くれたり、または有機溶媒に対する熔解性が悪化したり
することがあるので適当ではなく、また、脂環族または
脂肪族ジカルボン酸類の配合割合が、あまりに多くなり
過ぎると、得られたポリアミドの光硬化膜の熱分解温度
が低下し、耐熱性が失われるので、適当ではない。

前記の芳香族ジカルボン酸類としては、芳香族ジアミン
成分との重合反応によって、ポリアミドを製造すること
ができれば、どのような公知の芳香族ジカルボン酸、ま
たはその酸誘導体であってもよく、特に芳香族ジカルボ
ン酸、あるいはその酸のハロゲン化物などを好適に挙げ
ることができる。

前記の芳香族ジカルボン酸類としては、例えば、テレフ
タル酸、イソフタル酸、４，４゛−ジカルボキシ−ビフ
ェニル、４．４°−ジカルボキシ−ジフェニルメタン、
４，４゛−ジカルボキシ−ジフェニルエーテルなどの芳
香族ジカルボン酸と、それらの酸のハロゲン化物を好適
に挙げることができる。

これらの芳香族ジカルボン酸類の中でも、前記の各芳香
族ジカルボン酸の酸ハロゲン化物、特に酸塩化物が最適
である。

また、前記の脂環族または脂肪族ジカルボン酸類として
は、芳香族ジアミン成分との重合反応によってポリアミ
ドを形成することができれば、どのような公知の脂環族
または脂肪族ジカルボン酸、またはその酸誘導体であっ
てもよく、特に脂環族または脂肪族ジカルボン酸、ある
いはその酸のハロケン化物などを好適に挙げることがで
きる。

前記の脂環族または脂肪族ジカルボン酸類としては、例
えば、Ｌ　４−ジカルボキシ−シクロヘキサン、１．２
−ジカルボキシ−シクロベンクン、１゜５−ジカルボキ
シ−シクロオクタンなどの脂環族ジカルボン酸化合物、
または、 一般式ＨＯＯＣ（ＣＨ２）＝ＣＯＯＨ（ただし、ｎは２
〜８の整数である）で示される脂肪族ジカルボン酸、あ
るいはそれらの酸のハロケン化物（特に塩化物）などを
好適に挙げることができる。

前記の一般式で示される脂肪族ジカルボン酸化合物とし
ては、例えば、コハク酸、プロパンジカルボン酸、アジ
ピン酸、アゼライン酸、セバシン酸などを挙げることが
できる。

この発明の感光性ポリアミドを形成するために使用され
る芳香族ジアミン成分は、感光基を有する芳香族ジアミ
ン化合物、または感光基を有する芳香族ジアミンと他の
芳香族ジアミン化合物とのモル比が、３：７以上、好ま
しくは４：６以上である芳香族ジアミン化合物の混合物
からなる芳香族ジアミン成分である。

前記の芳香族ジアミン成分において、感光基を有する芳
香族ジアミンの含有割合があまりに少なくなり過ぎると
、そのようなモノマーから得られたポリアミドが光硬化
性において充分でなくなるので適当ではない。

また、この発明では、芳香族ジアミン成分として、前記
の感光基を有する芳香族ポリアミド化合物の他に、感光
基を有さない他の芳香族ジアミン化合物が配合されてい
るモノマーから得られるポリアミドは、その光硬化物（
Ｉ！ｉｉりの耐熱性が安定化または向」二するので好ま
しく、さらに、感光基を有さない他の芳香族ジアミン化
合物として、ケトン基を有する芳香族ジアミン化合物が
配合されているモノマーから得られたポリアミドは、光
硬化膜を形成する際の光に対する感度が向上するので好
ましい。

なお、この発明では、芳香族ジアミン化合物以外のジア
ミン化合物、例えば、脂肪族ジアミンなどを使用されて
いると、そのようなモノマー組成から、この発明の目的
に合うポリアミドが得られなかったり、あるいは重合で
ポリマーが得られたとしても、そのポリアミドが有機溶
媒に不溶性でゲル化しやすいので好ましくなく、実質的
に脂肪族ジアミン化合物が、芳香族ジアミン成分中に配
合されていないモノマーから得られたポリアミドである
ことが最適である。

前記の感光基を有する芳香族ジアミン化合物としては、
光などの照射によって架橋することができる感光基、例
えば、エチレン基′、アクリロイル基などの炭素−炭素
不飽和基を有する芳香族ジアミン化合物などであればよ
く、具体的には、３，５−ジアミノ安息香酸エチルアク
リル酸エステル、′２、４−ジアミノ安息香酸エチルア
クリル酸エステル、３，５−ジアミノ安息香酸エチルメ
タクリル酸エステル、２．４−ジアミノ安息香酸エチル
メタクリル酸エステル、３，５−ジアミノ安息香酸グリ
シジルアクリレートエステル、２．４−ジアミノ安息香
酸グリシジルアクリレートエステル、３，５−ジアミノ
安息香酸グリシジルメタアクリレートエステル、２，４
−ジアミノ安息香酸グリシジルメタアクリレートエステ
ル、３，５−ジアミノ安息香酸ケイ皮エステル、２，４
−ジアミノ安息香酸ケイ皮エステルなどの安息香酸エス
テル類、３．５−ジアミノベンジルアクリレート、３，
５−ジアミノベンジルメタクリレ−１・などのベンジル
アクリレート類、４−アクリルアミド−３，４′−ジア
ミノジフェニルエーテル、２−アクリルアミド−３，４
゛−ジアミノジフェニルエーテル、４−シンナムアミド
−３，４°−ジアミノジフェニルエーテル、３．４’−
ジアクリルアミド−３′、４−ジアミノジフェニルエー
テル、３，４゛−シンナムアミド−３”、４−ジアミノ
ジフェニルエーテル、４−メチル−２”−力ルボキシエ
チルメタクリル酸エステル−３，４’　−ジアミノジフ
ェニルエーテル〔「カルボキシエチルメタクリル酸エス
テルｊは、ＣＨ２＝　Ｃ（ＣＨ３）Ｃ００・ＣＨ２ＣＨ
２・０ＯＣ−を示す。〕などのジフェニルエーテル類、
および４．４゛−ジアミノカルコン、３，３゛−ジアミ
ノカルコン、３．４’　−ジアミノカルコン、３゛、４
−ジアミノカルコン、　　゛４゛−メチルー３゛、４−
ジアミノカルコン、４゛−メトキシ−３”、４−ジアミ
ノカルコン、３゛−メチル−３，５−ジアミノカルコン
などのカルコン類を挙げることができる。

また、芳香族ジアミン成分として使用される感光基を有
さない他の芳香族ジアミン化合物としては、例えば、パ
ラフェニレンジアミン、メタフェニレンジアミン、２．
４−ジアミノトルエン、４゜４゛−ジアミノ−ジフェニ
ルエーテル、４，４′−ジアミノシフェ°ニルメタン、
ｏ−トルイジン、１．４−ビス（４−アミノフェノキシ
）ベンゼン、２，２−ビス（４−アミノフェノキシフェ
ニル）プロパン、ｏ　−）ルイジンスルホンなどを挙げ
ることができる。

さらに、芳香族ジアミン成分として使用される感光基を
有さない他の芳香族ジアミン化合物は、前述の他の芳香
族ジアミン化合物に加えて、あるいは代わりに、ケトン
基を有する増感性能を有する芳香族ジアミン化合物が配
合されていてもよく、そのようなケトン基を有する芳香
族ジアミン化合物としては、例えば、９，９−ビス（４
−アミノフェニル）−１Ｏ−アンスロン、１，５−ジア
ミノアントラキノン、１，４−ジアミノアントラキノン
、３，３゛−ジアミノベンゾフェノン、４”−Ｎ、Ｎ−
ジメチルアミノニ３，５−ジアミノヘンシフエノン、１
−ジメチルアミノ−４−（３，５−ジアミノベンゾイル
）ナフタレンなどを挙げることができる。

・なお、前述の感光基を有する芳香族ジアミンにおいて
、ジアミノジフェニルエーテル類、ジアミノ安息香酸エ
ステル類、及びジアミノベンジルアクリレート類は、新
規化合物であり、その合成法としては、例えば、次に示
すような方法を挙げることができる。

（１）　　ジアミノジフェニルエーテル類の合成法（モ
ノ又はジ）アセチルアミド−ジニトロフェニルエーテル
を加水分解して得られる（モノ又はジ）アミノ−ジニト
ロフェニルエーテルと、アクリル酸りｌ」リドなどとを
反応させ、次いで反応物を還元することによって、目的
とする芳香族ジアミン化合物を合成する方法を挙げるこ
とができる。

（２）　　ジアミノ安息香酸エステル類の合成法ジニト
１１安息香酸クロリドと、ヒドロキシエチルメタクリレ
ートなどとを反応させ、次いで反応物を還元することに
よって、目的とする芳香族ジアミン化合物を合成する方
法を挙げることができる。

（３）　　ジアミノベンジルアクリレート類の合成法ジ
ニトロベンジルアルコールと、アクリル酸クロリドなど
とを反応させ、次いで反応物を還元することによって、
目的とする芳香族ジアミン化合物を合成する方法を挙げ
ることができる。

この発明の感光性ポリアミドは、前述のジカルボン酸成
分と、感光基を有する芳香族ジアミン化合物を含有する
゛芳香族ジアミン成分とを、大略等モル使用して、公知
の重合方法と同様の重合条件（例えば、有機極性溶媒中
、約１００℃以下、特に好ましくは０〜８０℃、さらに
好ましくは５〜６０℃５の重合温度、約０．１〜４８時
間の重合時間など）で、共重合して得られる高分子量の
共重合体からなる有機溶媒に対して可溶性である感光性
ポリアミドである。

この発明の感光性ポリアミドは、ポリアミドの濃度が、
０．５　ｇ／　１００ｍ＃　（Ｎ−メチル−２−ピロリ
ドン）である希薄溶液を使用して、３０℃の温度で測定
し、算出された対数粘度が、０．１〜２．０、特に０．
２〜１．５程度の範囲内にあるものが好ましい。

この発明の感光性ポリアミドは、レリーフパターンの形
成材料として使用する場合は、有機溶媒に溶解された溶
液として、使用される。

その有機溶媒としては、この発明の感光性ポリアミドの
製造に使用された重合溶媒と同様の有機極性溶媒を使用
することができ、例えば、Ｎ、　Ｎ−ジメチルアセトア
ミド、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−２
−ピロリドン、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチレン
ホスポルアミド、二′ジグライムなどを挙げることがで
きる。

前記の感光性ポリアミドの溶液としては、好ましいポリ
マー濃度が、約５〜３０重量％、特に８〜２５重量％で
ある。

また、上記の感光性ポリアミドの溶液は、必要に応じて
、増感剤および光重合開始剤、エチレン性不飽和基を有
する光重合（架橋）可能な化合物、無機充填剤（例えば
、雲母、タルク、沈降性硫酸バリウム、アルミナ、シリ
カゲル、炭酸カルシウムなど）、および着色顔料・染料
（フタロシアニングリーン、ブリリアントグリーン、ビ
クトリアブルーなど）を含有していてもよい。

前記の光重合開始剤として、は、例えば、ミヒラーズケ
トン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾ
インエチルエーテル、ヘンジインイソプロピルエーテル
、２−ターシャリ−ブチルアントラキノン、１，２−ベ
ンゾ−９，１０−アントラ革ノン、４，４゛−ビス（ジ
エチルアミノ）ベンゾフェノン、アセトフェノン、ベン
ゾフェノン、チオキサントン、１，５−アセナフテンな
どを挙げることができ、その添加量は、感光性ポリアミ
ド１００重量部に対して、約０．１〜ＩＯ車量部程度で
あることが好ましい。また、前記の増感剤としては、Ｎ
、Ｎ−ジメチルアントラニル酸メチル、オルソ−又はパ
ラーＮ、Ｎ−ジメチル安息香酸エチルなどを挙げること
ができ、その添加量は、感光性ポリアミド１００重量部
に対して、約０．０５〜１０重量部、特に好ましくは０
．１〜５．０重量部程度であることが好ましい。

この発明の感光性ポリアミ［は、上記のように感光性ポ
リアミドの溶液を調製することによって、次のような操
作で、レリーフパターンを形成することができる。

すなわち、まず、前記の感光性ポリアミドの溶液を、例
えば、回転塗布機で、配線基板などの表面に塗布し、溶
液の塗布膜を形成し、その塗布膜を、約１５　（１℃以
下、好ましくは１００℃以下で、常圧または減ＩＦ下に
乾燥して有機溶媒を除去して、感光性ポリアミ１”の被
膜を形成する。

前述の基板１の感光性ポリアミドの被膜に、ネガ型のフ
ォ１−マスクチャートを置き、紫外線、可視光線、電Ｊ
′−線、Ｘ線などの活性光線を照射して、感光性ポリ゛
〕′ミド被膜の一部を光硬化させる。

次いで、未露光で未光硬化部分を現像液で洗い流すこと
によりポリアミドの光硬化膜からなるレリーフパターン
を形成するのである。

前記の現像液としては、前述のポリアミドの重合用、ま
たはポリアミドの溶液用の有機極性溶媒が、そのまま使
用できることは言うまでもないことであり、特に、Ｎ、
Ｎ−ジメチルホルムアミド°、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセト
アミド、Ｎ−メチル−２＝ピロリドン、ジメチルスルホ
キシド、ヘキザメチレンホスホルアミド、ジグライムな
どの溶剤または、該溶剤とメタノール、エタノールとの
混合溶媒を使用することができる。

この発明の感光性ポリアミドは、有機溶媒−・の熔解性
に優れており、しかも感光性も優れているポリアミドで
あり、さらに、この感光性ポリアミドを光硬化した光硬
化膜は、耐熱性、電気的及び機械的特性において優れた
ものであり、それらの性質によって、半導体工業におけ
る固体素子の絶縁体膜や、パッシベーション膜として有
効な光硬化膜を形成することができ、ハイブリット回路
やプリン１−回路などの多層配線構造の絶縁膜や、ソル
ダーレジストとして用いることができる。

また、この発明の感光性ポリアミドは、光透過性および
光硬化性（感光性）に優れているので、厚みのある硬化
層を形成することができ、従って、凸版印刷用のレリー
フパターンの形成用にも使用することができる。

以下に、この発明の感光性ポリアミドの製造に用いられ
るり；−ン族シアミン化合物の合成例、この発明の感光
性ポリアミドの製造を示す実施例、およびこの発明の感
光性ポリアミドの光硬化性などを示す種々の物性試験及
びその結果を示す。

実施例１〜６ 第１表に示すような種類の「芳香族ジカルボン酸類６．
４ｍｍｏｌ　　（ミリモル）および脂環族または脂肪族
ジカルボン酸ｔ’Ｑ　６．４　ｍ　ｍｏｌからなるジカ
ルボン酸成分Ｊが、Ｎ−メチル−２−ピロリドンＩＱｍ
ｎに／８解している溶液を、第１表に示すような種類の
「感光基ををする芳香族ジアミン化合物１２．８ｍｍｏ
＋　　（実施例１〜４および６）」、または「感光基を
ｌｉする芳香族ジアミン化合物１０．２４　ｍｍｏｌ　
とその他の芳香族シアミン化合物２．５６ｍｍｏｌ　　
（実施例５）」からなる「芳香族ジアミン成分Ｊが、Ｎ
−メチル−２−ピロリドン２Ｑ　ｍ　ｌｌに溶解してい
る溶液に、約５℃に冷却した状態で、一度に加えた。そ
の混合の直後に、その混合溶液は、約２７℃まで温度が
上昇したが、その後約５℃に３０分間、次いで２５℃で
１時間維持されて、重合反応が行われた。

前述のように重合反応を１．５時間相続した後、重合反
応液に、Ｎ−メチル−２−ピロリドン３０ｍｔｌを加え
て希釈し、さらに、水１１とメタノール１７！の混合溶
媒中に糸状に流し込み、再沈澱させ、ポリマーを濾過し
て回収した。その後、そのポリマーを、攪拌ミキサー中
に入れて、メタノール２５０ｍ４と水２５０ｍ／との混
合溶媒で、２回洗浄して、再度、濾過して回収し、白色
粉末状のポリマーを得た。

上記の実施例１〜６で得られたポリアミドについて、下
記の（ｉ）〜（ｖｉ　）に示す物性試験を行った。その
結果をそれぞれ第２表に示す。

（ｉ）ポリアミドの対数粘度 ポリアミドの濃度が、０．５　ｇ／　１００ｍ７！（Ｎ
−メチル−２−ピロリドン）である希薄溶液を使用して
、３０℃の温度で測定した。

（ｉｉ）ポリアミドの成膜性 この発明の感光性ポリアミドの溶液をガラス板上に流延
して塗膜を形成し、その塗膜を乾燥して、厚さ約１０μ
のポリアミドフィルムをガラス板上に作成し、このフィ
ルムを水に浸してガラス板から剥離し１．１８０°に折
り曲げても、クラックのない場合を○とし、クラックの
できる場合を△とし、製膜時にクラックを生じてしまう
ものを×とした。

（ｉｉｉ　）ポリアミドの熔解性 この発明の感光性ポリアミドが、常温において、Ｎ−メ
チル−２−ピロリドンに対してどの程度溶解するかとい
う熔解性を測定し、その結果を重量％で示＋、た。

（ｉｖ　）ポリアミ１−の光硬化膜の熱分解温度理学電
気（株社製の差動熱天秤ＴＧ−ＤＳＣにより、この発明
のポリアミドを加熱した際の重量の減量の開始温度を測
定した。

（ｖ）ポリアミドの光硬化性 ポリアミド１００重量部のＮ−メチル−２−ピロリドン
溶液（ポリマー濃度；１５重屋％）にミヒラーズケトン
４重量部を添加した溶液を調製し、ガラスエポキシ銅張
積層板にバーコーターにより塗布し、８０℃で１時間乾
燥し、ポリアミド被膜を形成した。

このポリアミド被膜について、下記の光感度及び解像力
、半田耐熱性の試験を行った。

■　光感度 上記のポリアミド被膜を超高圧水銀灯（オーク社製、ジ
ェットライト　２ｋｗ）を用いて、照度１０．５ｍｗ／
ｃｎｌ　（３５０ｎｍ）で照射し、その被膜を光硬化さ
せ、光硬化によって被膜が固化するまでの光照射量（Ｊ
　／　ｃ、Ｉ　）を測定した。

■　解像力 上記の被膜について、最小線幅が０．０７５鰭のテスト
チャートを用いて、レリーフパターンを形成し、そのパ
ターンの良否を判定した。

（ｖｉ）半田耐熱性 この発明のポリアミドの溶液をガラスエポキシ銅張板に
塗布して乾燥して形成されたポリアミド被膜を、超高圧
水銀灯（オーク社製、ジェットライト　２ｋＷ）を用い
て、３　Ｊ　／　ｃＪの露光をして、光硬化しゾ、・後
、その光硬化膜の形成されたガラスエポキシ銅張板を２
６０℃の溶融半田浴中に３０秒間浸？ｌ　Ｌ、、その後
、その光硬化膜の状況を観察し、さらに、クロスカット
１００Ｘ１００の基盤目による接着性のテストを行って
、その結果を％で示した。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 芳香族ジカルボン酸類と、脂環族または脂肪族ジカルボ
   ン酸類とのモル比が、２：８〜９：１の範囲内であるジ
   カルボン酸類の混合物を、全カルボン酸成分の少なくと
   も９０モル％以上含有するジカルボン酸成分と、感光基
   を有する芳香族ジアミン化合物、または感光基を有する
   芳香族ジアミンと他の芳香族ジアミン化合物とのモル比
   が、３：７以上である芳香族ジアミン化合物の混合物か
   らなる芳香族ジアミン成分との共重合物からなる有機溶
   媒可溶性である感光性ポリアミド。