JPH03170549A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は密着性が良く、弾性率が小さく、高感度で高耐
熱の感光性ポリイミド樹脂組成物に関するものである。

［従来の技術］ 従来、半導体素子の表面保護膜、層間絶縁膜などには、
耐熱性が優れ、また卓越した電気的特性、機械的特性な
どを有するポリイミド樹脂が用いられているが、近年半
導体素子の高集積化、大型化、封止樹脂パッケージの薄
型化、小型化、半田リフローによる表面実装方式などへ
の移行により耐熱サイクル性、耐熱ショック性等の著し
い向上の要求があり、これまでのポリイミド樹脂では、
対応が困難となってきた。

この対策として、例えばポリイミド樹脂にシリコーン成
分を導入して、密着性を上げ弾性率を低くすることが知
られている。（特開昭６１−６４７３０号公報、特開昭
６２−２２３２２８号公報等）一方、ポリイミド樹脂自
身に感光性を付与する技術が最近注目を集めてきた。

これらの感光性を付与したポリイミド樹脂を使用すると
、付与していないポリイミド樹脂に比較してパターン作
成工程の簡素化効果があるだけでなく、毒性の強いエッ
チング液を使用しなくてすむので、安全、公害上も優れ
ており、ポリイミド樹脂の感光性化はボＩ／イミド樹脂
の高密着、低弾性率化とともに今７６−ＪＷ　ｆｆｉ要
な技術となることが期待されている。

感光性ポリイミド樹脂としては、例えば下式（Ｒ７：’
Ｑ　＝　Ｒ８’　−Ｑ−Ｑ−　　）で示されるような構
造のエステル基で感光性基を付与したポリイミド前駆体
組成物（特公昭５５−３０２０７号公報、特公昭５５−
４１４２２号公報）あるいは下式，Ｒ９８草，Ｒ１。．
　一Ｑ−Ｑ−　　）で示されるような構造のポリアミツ
ク酸に化学線により２量化、または重合可能な炭素一炭
素二重結合およびアミノ基または、その四級化塩を含む
化合物を添加した組成物（例えば特開昭５４−１４５７
９４号公報）などが知られている。

これらは、いずれも適当な有機溶剤に溶解し、ワニス状
態で塗布、乾燥した後、フォトマスクを介して紫外線照
射し、現像、リンス処理して所望のパターンを得、さら
に加熱処理することによりポリイミド被膜としている。

しかし、かかる従来の感光化技術をポリイミド樹脂成分
にシリコーン基を導入した高密着、低弾性率のポリイミ
ド樹脂に適用すると、紫外線を照射してもパターニング
することは難しいか、または著しく感度が低く、半導体
工業で通常用いられている露光装置で処理するには不充
分であった。

更には、これらの感光性ポリイミド樹脂の膜厚を厚くし
ていくと光感度が極端に低下してしまい、適正露光時間
が極端に長くなってしまうという欠点があった。

［発明が解決しようとする課題］ 本発明の目的とするところは、ポリアミック酸中にシリ
コーン基を導入して密着性を向上させ、佛性率を低下さ
せたにもかかわらず高感度の光硬化性を有し、さらに硬
化後の被膜の耐熱性に優れた感光性樹脂組成物を提供す
るにある。

［課題を解決するための手段］ 本発明は下記の一般式（Ｉ）で示されるシリコーン系ジ
アミンを０．５〜２５重量％共重合した下記一般式〔Ｉ
１〕で示されるポリアミック酸（Ａ） と増感剤として下記一般式（　ＩＩＩ　）で示されるス
チ リル化合物（Ｂ） と、開始剤として下記一般式（ＩＶ）で示されるグリシ
ン化合物（Ｃ） とを必須成分とし（Ａ　）　１００ｉｌ量部に対し、増
感剤である（Ｂ）１〜ＩＯ重量部および開始剤である（
Ｃ）１〜２０重量部を配してなる感光性樹脂組成物を用
いることにある。

［作用］ 本発明において用いる一般式ＣＩ）で示されるシリコー
ン系ジアミンはポリイミド被膜の密着性を向上させ、弾
性率を低下させる効果を有する。

シリコーン系ジアミンの重合度ｎは１〜５０であること
が必要であり、ｎが１未満であると密着性を向上させ、
弾性率を低下させる効果が得られず、またｎが５０を越
える長鎖シリコーン系ジアミンを使用すると、テトラカ
ルボン酸二無水物との反応が定量的に進行しにくくなり
、未反応物として残イｆし、分子量が大きくならないば
かりか柔軟性を低下させ、クラックを発生し易くなるの
で好ましくない。

またシリコーン系ジアミンの使用量は、ポリアミック酸
成分に対して０．５〜２５重量％が好ましい。

０．５１１％未満では密着性の向上、弾性率の低下の効
果が｛！｝られす、また２５重量％を越えると耐熱性が
著しく低下し、ポリイミド樹脂本来の特徴が得られなく
なるので好ましくない。

本発明において用いる一般式（　ＩＩ　）で示されるポ
リアミック酸のＲ２は、２価の有機基を有する化合物か
らなるもので、上記の式（Ｉ）で示されるシリコーン系
ジアミンの他に各種特性を付与するために以下に挙げる
ような芳香族ジアミンも併用することができる。

例えばｍ−フェニレンージアミン、１−イソブロビル−
２．４−フェニレンージアミン、ｐ−フェニレンージア
ミン、４．４′−ジアミノージフェニルプロパン、３，
３”−ジアミノージフェニルプロパン、４．４′−ジア
ミノージフェニルエタン、３．３′−ジアミノージフェ
ニルエタン、４，４′−ジアミノージフェニルメタン、
３，３′−ジアミノージフエニルメタン、４．４′−ジ
アミノージフェニルスルフィド、３，３′−ジアミノー
ジフェニルスルフィド、４．４′−ジアミノージフェニ
ルスルホン、３．３′−ジアミノージフェニルスルホン
、４，４′−ジアミノージフェニルエーテル、３，３′
−ジアミノージフェニルエーテル、ベンジジン、３，３
′−ジアミノービフェニル、３．３′−ジメチル−４．
４′−ジアミノーピフェニル、３，３′−ジメトキシー
ベンジジン、４．４”−ジアミノーｐ−テルフェニル、
３．３”−ジアミノーｐ−テルフェニル、ビス（ρ−ア
ミノーシク口ヘキシル）メタン、ビス（ｐ−β−アミノ
ーｔ−プチルフェニル）エーテル、ビス（ρ−β−メチ
ルーδ−アミノペンチル）ベンゼン、ｐ−ビス（２−メ
チル−４−アミノーペンチル）ベンゼン、ｐ−ビス（１
．１−ジメチル−５−アミノーベンチル）ベンゼン、１
，５−ジアミノーナフタレン、２．６−ジアミノーナフ
タレン、２．４−ビス（β−アミノ−ｔ−ブチル）トル
エン、２，４−ジアミノートルエン、トキシレンー２．
５−ジアミン、ｐ−キシレン−２，５〜ジアミン、０−
キシリレンージアミン、ｐ−キシワレンージアミン、２
．６−ジアミノービリジン、２．５−ジアミノービリジ
ン、２，５−ジアミノ−１．３．４−オキサジアゾール
、１，４−ジアミノーシクロヘキサン、ビペラジン、メ
チレンージアミン、エチレンージアミン、プロピレンー
ジアミン、２，２−ジメチループロピレンージアミン、
テトラメチレンージアミン、ペンタメチレンージアミン
、ヘキサメチレンージアミン、２，５−ジメチルーへキ
サメチレンージアミン、３−メトキシーへキサメチレン
ージアミン、ヘブタメチレンージアミン、２．５−ジメ
チルーへブタメチレンージアミン、３一メチルーへブタ
メチレンージアミン、４，４−ジメチ／Ｌ−ヘプタメチ
レンージアミン、オクタメチレンージアミン、ノナメチ
レンージアミン、５−メチルーノナメチレンージアミン
、２．５−ジメチルーノナメチレンージアミン、デカメ
チレンージアミン、１，１０−ジアミノ−１，１０−ジ
メチルーデカン、２．１１−ジアミノードデカン、ｌ，
１２−ジアミノーオクタデカン、２，ｌ２−ジアミノー
オクタデカン、２，ｌ７−ジアミノーアイコサンなどが
あげられるが、これらに限定されるものではない。

本発明において用いる一般式（　ＩＩ　）で示されるポ
リアミック酸のＲｚは３価または４価の有機基を有する
化合物からなるもので、各種の酸無水物が用いられる。

例えば、トリメリット酸無水物、ビロメリット酸二無水
物、ベンゼン−１．２，３．４−テトラカルボン酸二無
水物、３．３’　，４．４’−ベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸二無水物、２．２’　，３．３’−ベンゾフェ
ノンテトラカルボン酸二無水物、２，３．３’　，４′
−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ナフタレ
ン−２．３，６．７−テトラカルボン酸二無水物、ナフ
タレン−１．２，５．６−テトラカルボン酸二無水物、
ナフタレン−１．２，４．５−テトラカルボン酸二無水
物、ナフタレン−１．４，５．８−テトラカルボン酸二
無水物、ナフタレン−１．２，６．７−テトラカルボン
酸二無水物、４．８−ジメチル−１．２，３，５，６．
７−へキサヒドロナフタレン−１．２，５．６−テトラ
カルボン酸二無水物、４．８一ジメチル−１．２，３，
５，６．７−ヘキサヒドロナフタレンー２，３，６．７
−テトラカルボン酸二無水物、２．６−ジクロロナフタ
レン−１．４，５．８−テトラカルボン酸二無水物、２
．７−ジクロロナフタレン−１．４，５．８−テトラカ
ルボン酸二無水物、２，３，６．７−テトラクロロナフ
タレン−１．４，５．８−テトラカルボン酸二無水物、
１　，　４　，５．８−テトラク口口ナフタレン−２．
３，６．７−テトラカルボン酸二無水物、３．３’　，
４．４’−ジフェニルテトラカルボン酸二無水物、２．
２’　，３．３′−ジフェニルテトラカルボン酸二無水
物、２，３．３’　，４’−ジフェニルテトラカルボン
酸二無水物、３．３”，４．４”−ｐ−テルフェニルテ
トラカルボン酸二無水物、２．２”　，：］，３”−ｐ
−テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，３，３
”，４”−ｐ−テルフェニルテトラカルボン酸二無水物
、２，２−ビス（２．３−ジカルボキシフェニル）一ブ
ロバンニ無水物、２．２−ビス（３，４−ジカルボキシ
フェニル）一プロパン二無水物、ビス（２．３−ジカル
ボキシフエニル）エーテルニ無水物、ビス（３，４−ジ
カルボキシフェニル）エーテルニ無水物、ビス（２，３
−ジカルボキシフェニル）メタンニ無水物、ビス（３．
４−ジカルボキシフエニル）メタンニ無水物、ビス（２
．３−ジカルボキシフェニル）スルホンニ無水物、ビス
（３．４−ジカルボキシフェニル）スルホンニ無水物、
１．１−ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）エタン
ニ無水物、１．１−ビス（３，４−ジカルボキシフェニ
ル）エタンニ無水物、ペリレン−２．３，８．９−テト
ラカルボン酸二無水物、ベリレン−３．４，９．１０−
テトラカルボン酸二無水物、ペリレン−４．５，１０．
１１−テトラカルボン酸二無水物、ペリレン−５．６，
１１．１２−テトラカルボン酸二無水物、フェナンスレ
ンー１，２，７．８−テトラカルボン酸二無水物、フェ
ナンスレンー！，２，６．７−テトラカルボン酸二無水
物、フェナンスレン−１．２．９，ＩＯ−テトラカルボ
ン酸二無水物、シクロペンタン−１．２，３．４−テト
ラカルボン酸二無水物、ビラジン−２．３，５．６−テ
トラカルボン酸二無水物、ビロリジン−２．３，４．５
−テトラカルボン酸二無水物、チオフェン−２．３，４
．５−テトラカルポン酸二無水物などがあげられるが、
これらに限定されるものではない。

本発明において用いる一般式（　ＩＩ　）で示されるポ
リアミック酸のＲ３は、炭素一炭素二重結合を有する化
合物からなるもので、各種のアルコールが用いられる。

例えば、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒ
ドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシプロビル
メタクリレート、２−ヒドロキシブロビルアクリレート
、アリルアルコール、エチレングリコールモノアリルエ
ーテルなどがあげられるが、これらに限定されるもので
はない。

本発明における（Ａ）成分のポリアミック酸は、下記式
〔Ｉ１〕 ？式中Ｒ■：３価または４価の有機基、Ｒ２：２価の有
機基、 Ｒ３：炭素一炭素二重結合を有する基、ｍａ１〜２　　
　　　　　　　　　　　）で示される重合物で、その合
成方法は、例えば、特公昭５５−３０２０７号の実施例
１に示される方法などがあげられる。即ち、カルボン酸
無水物としてのビロメリット酸二無水物８７．２重量分
と、炭素一炭素二重結合を有するアルコールとしてのア
リルアルコール４００容積分とを０．４重量分のｐ．ｐ
’−ビス（ジメチルアミノ）一ジフェニルメタン存在下
で２６時間室温で撹拌した後、過剰のアリルアルコール
を水流ポンプ真空中で蒸留除去する。これを２００重量
分の塩化チオニルおよび５重量分のジメチルホルムアミ
ドと共に室温で１時間放置した後、３時間還流させなが
ら煮沸する。過剰の塩化チオニルは、水流ポンプ真空中
で蒸留除去する。次に、これを３５０容積分の無水のジ
メチルアセトアミドに溶かし湿気を遮断して撹拌しなが
ら、４００容積分の無水のジメチルアセトアミドに、８
０重量分のｐ．ｐ’−ジアミノジフェニルエーテルを含
むジアミノ化合物を溶かし、０゜Ｃに冷却した溶液に反
応混合物が２０゜Ｃ以上の温度となることがないように
滴下する。これが終ると室温で１時間撹拌した後、この
溶液に５容積分のアニリンを添加し、１５分間撹拌して
濾過する。反応生成物は４リットルの沸騰水中に滴下し
て沈澱させ、 熱湯および１：ｌのアセト ン水溶液で洗い、 真空中８０゜Ｃで乾燥し、 重合物を 得る。

本発明における（Ｂ） 成分の増感剤は下記式 （　ＩＩＩ　） （式中Ｒ４：−Ｈ， −ＣＨ３， −Ｃ　２Ｈ　５Ｉ−Ｃ　ｓＨ　ｓ， で示されるアミノ基を持ったスチリル化合物である。

感光性樹脂組成物に用いられる増感剤としてはペンゾフ
ェノン、アセトフェノン、アントロン、ｐ．ｐ’−テト
ラメチルジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、
フェナントレン、２−ニトロフルオレン、５−ニトロア
セナフテン、ペンゾキノン、Ｎ−アセチルーｐ−ニトロ
アニリン、ｐ−ニトロアニリン、２−エチルアントラキ
ノン、２−ターシャリーブチルアントラキノン、Ｎ−ア
セチルー４−ニトロ−１−ナフチルアミン、ピクラミド
、１．２−ペンズアンスラキノン、３−メチル−１．３
−ジアザー１．９−ペンズアンスロン、ｐ，ｐ’−テト
ラエチルジアミノベンゾフェノン、２−クロロー４−ニ
トロアニリン、ジベンザルアセトン、１．２−ナフトキ
ノン、２．５−ビスー（４′−ジエチルアミノベンザル
）一シクロベンタン、２，６−ビスー（４′−ジエチル
アミノベンザル）一シクロヘキサノン、２．６−ビスー
（４′−ジメチルアミノベンザル）−４−メチルーシク
ロヘキサノン、２．６−ビス−（４′−ジエチルアミノ
ベンザル）−４−メチルーシクロヘキサノン、４．４′
−ビス−（ジメチルアミノ）一カルコン、４．４′−ビ
ス−（ジエチルアミノ）一カルコン、ｐ−ジメチルアミ
ノベンジリデンインダノン、１，３−ビス−（４′−ジ
メチルアミノベンザル）一アセトン、１．３−ビスー（
４′−ジエチルアミノベンザル）一アセトン、Ｎ−フェ
ニ／Ｌ−ジエタノールアミン、Ｎ一ρ一トリルージエチ
ルアミンなどがあげられるが、本発明において見いださ
れたスチリル化合物は、本発明において開始剤として用
いるグリシン化合物との組み合わせで用いることによっ
てのみ、驚くほど優れた増感効果を示す。この驚くべき
相乗効果がいかにして発現されるのか、その理由は今の
ところ明確ではない。

なお、スチリル化合物の配合量はポリアミック酸１００
重量部に対して１重量部以上、１０重量部以下が最も好
ましく、スチリル化合物以外の増感剤もこれに併用して
も差し支えがない。

スチリル化合物の配合量が１重量部未満であると、光エ
ネルギーの吸収量が不足し架橋が不充分となり、また、
゜１０重量部を越えると、光エネルギーの透過量が不足
し、深部の光硬化が迅速に進まず好ましくない。

本発明における（Ｃ）成分の開始剤は下記式（ＩＶ） （式中Ｒｅ：−Ｈ，−ＣＨ３，−Ｃ２Ｈ５．−ＣｅＨ５
，−Ｏ　Ｃ　Ｈ　３，−Ｏ　Ｃ　Ｏ　Ｃ　Ｈ　３，−Ｏ
　Ｃ　２Ｈ　５，−ＯＣＯＣ２Ｈ，−Ｎ（ＣＨ３）２．
−Ｎ（Ｃ２Ｈ５）２，−ＮＨＣＯＯＣＨ３，−ＣＯＣＨ
：ｉ，−ＣＯＣ２Ｈａ，−Ｎ　Ｈ　Ｃ　Ｏ　Ｎ　Ｈ　２
，−Ｃ　Ｈ　２０Ｈ，−ＯＨ，−Ｃ　Ｉ　（Ｃ　Ｈ　３
）２．一〇　（Ｃ　Ｉ　３）３）で示されるフエニル基
を持ったグリシン化合物である。

感光性樹脂組成物に用いられる開始剤としては２，２−
ジメトキシー２−フエニルーアセトフエノン、１−ヒド
ロキシーシクロへキシルーフエニルケトン、２一メチル
ー］４−（メチルチオ）フエニル１−２−モルフオリノ
ー１−プロパン、３．３’　，４．４’−テトラー（ｔ
−プチルパーオキシ力ルボニル）ペンゾフエノン、ベン
ジル、ペンゾインーイソプロビルエーテル、ペンゾイン
ーイソブチルエーテル、４．４′−ジメトキシベンジル
、■，４−ジベンゾイルベンゼン、４−ペンゾイルビフ
エニル、２−ペンゾイルナフタレン、メチル一〇−ペン
ゾイルベンゾエート、２，２′−ビス（Ｏ−クロロフェ
ニル）−４．４’　，５．５’−テトラフェニル−１，
２′−ビイミダゾール、ｌＯ−ブチルー２−クロロアク
リドン、エチ／ｌ−４−ジメチルアミノベンゾエート、
ジベンゾイルメタン、２．４−ジエチルチオキサントン
、３．３−ジメチル−４−メトキシーベンゾフェノン、
２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−
１−オン、１−（４−イソプロビルフェニル）−２−ヒ
ドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、１−（４−
ドデシルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルブロ
バンー１−オン、ｌ−フエニル−１．２−ブタンジ才ン
ー２−（Ｏ−メトキシカルボニル）オキシム、ｌ−フェ
ニループロパンブタンジオンー２−（Ｏ−ベンゾイル）
オキシム、１．２−ジフェニルーエタンジオンー１−（
０−ベンゾイル）オキシム、１，３−ジフエニ／Ｌ−ブ
ロバントリオン−２−（Ｏ−ベンゾイル）オキシム、１
−フェニル−３−エトキシープロパントリオン−２−（
　ｏ−ベゾイル）オキシムなどが使用されているが、本
発明において見いだされたグリシン化合物は、増感剤と
してのスチリル化合物との組み合わせによつて、他の開
始剤にくらべて格段の光反応開始効果を示した。

この驚くべき効果がいかにして発現されるのかその理由
は現在のところ明確ではない。

なお、グリシン化合物の配合量は、ポリアミツク酸１０
０重量部に対して１〜２０重量部を必須とし、グリシン
化合物以外の開始剤もこれと併用しても差し支えない。

開始剤としてのグリシン化合物が１重量部未満であると
光感度が充分でなく、好ましくない。

また、２０重量部を越えると、熱処理硬化後の皮膜特性
が低下する。

以下実施例により本発明を具体的に説明する。

実施例１ ビロメリット酸二無水物６５．５ｇ　（０．３０モル）
と３．３’　，４．４’−ベンゾフエノンテトラカルボ
ン酸二無水物２２５．５ｇ　（０．７０モル）とを、２
−ヒドロキシエチルメタクリレート　２７０．７ｇ　（
２．０８モル）でエステル化したあと、４，４′−ジア
ミノジフエニルエーテル１７０．２ｇ　（０．８５モル
）と下記式で示されるシリコーンジアミン １２８．７ｇ　（０．１０モル、ポリアミック酸中１５
重量％）とでアミド化し、重合物を得た。

次に、重合物１００！１！量部（固形分）に、増感剤と
して２−（ｐ−ジメチルアミノスチリル）ペンゾオキサ
ゾール４重量部と、開始剤としてＮ−フェニルグリシン
８重量部の他、テトラエチレングリコールジアクリレー
ト　１５１ｉ部、ｌ−フェニル−５−メルカプトーｉｌ
ｌ−テトラゾールｌ重量部、３−メタクリロキシプロビ
ルトリメトキシシラン２重量部、ｐ一ターシャワープチ
ルカテコール０．１重量部を添加し、室温でＮ−メチー
ルビロリドンに溶解した。

得られた溶液をアルミ板上にスビンナーで塗布し、乾燥
機により８０゜Ｃでｌ時間乾燥した。

このフイルムにコダック社製フォトグラフィックステッ
プタブレットＮｏ２．　２１ステップ（本グレースケー
ルでは、段数が一段増加するごとに透過光量が前段の１
／Ｊ″２に減少するので現像後の残存段階が大きいもの
ほど感度が良い）を重ね、５００ＩＩｌｊ／ＣＩＩ１２
の紫外線を照射し、Ｎ−メチルビロリドン６０重量％、
キシレン４０重量％の現像液を用いスプレーで現像、さ
らにイソプロビルアルコールでリンスをしたところ１４
段までパターンが残存し、高感度であることが判った。

次に、前述と同様な方法でシリコーンウェハー上に塗布
し全面露光し、現像、リンスの各工程を行い、さらに１
５０、２５０、３５０、４００゜Ｃで各々３０分間窒素
中で加熱硬化した。

密着力試験のため１ｉｌＩＩ１角に１００個カットし、
セロテープで引き剥がそうとしたが、１個も剥がれず、
高密着性であることが判った。

また、別途アルミ板上に塗布し、全面露光、現像、リン
ス、熱硬化したあとアルミ板をエッチングで除去し、フ
イルムを得た。

得られたフイルムの引張弾性率（ＪＩＳ　Ｋ−６７６０
）は１１０Ｋｇ／ｍｍ２と小さく、熱分解開始温度は４
２０゜Ｃと高かった。

この様に高感度であり、かつ高密着、低弾性率、高耐熱
という非常に優れた効果が同時に得られた。

比較例１〜１０ 実施例ｌの方法に従いシリコーンジアミンのシロキサン
結合数と添加量、増感剤、開始剤の種類と添加量をそれ
ぞれかえ、同様の実験を行い第１表の結果を得た。

比較例１は、開始剤の添加量を０．８重量部にしたもの
で、光感度が著しく低くなってしまった。

比較例２は、比較例１とは逆に２８重量部にしたもので
、この場合フイルム中に開始剤が残留し、このため熱分
解開始温度が低くなってしまった。

比較例３は、本発明以外の開始剤を使用したもので、光
感度が低く、実用的ではなかった。

比較例４は、増感剤の添加量を０．４重量部にしたもの
で、この場合光感度が著しく低く、架橋も不充分であっ
た。

比較例５は、増感剤量を２４重量部としたもので、この
場合深部への光透過量が不足し、深部の硬化が不充分で
ボイドを発生し、均一なフイルムにはならなかった。

比較例６は、本発明以外の増感剤を使用した場合で光感
度が低く、実用的ではなかった。

比較例７は、シリコーンジアミンの添加量を０．２重量
％にしたものであり、この場合、弾性率を低下させるこ
とができなかった。

比較例８は、シリコーンジアミンの添加量を３８重量％
にしたもので、この場合フイルムが脆くなってしまった
。

比較例９は、シリコーンジアミンのシロキサン結合数を
ｎ＝ｏとしたもので、この場合柔軟性に欠けるためフィ
ルム化時点でクラックが発生した。

比較例１０は、シロキサンジアミンのシロキサン結合数
をｎ　＝　１００としたもので、この場合反応性が低く
、フィルム化時点で未反応シリコーンが浮き出し、感度
も上がらなかった。

実施例及び比較例において得られた結果の性能を第１表
に示す。

［発明の効果］ ポリイミド樹脂の主鎖構造中にシロキサン結合を導入し
、密着性の向上や、弾性率の低下を図る試みは、これま
でもなされてきた。

しかしながら、従来の感光性化技術では、シリコーン変
性したポリイミド樹脂の光感度を向上させる適当な増感
剤、開始剤がなく、良好なパターンを得ることができな
かった。

しかるに、本発明では、極めて光感度の高い特殊な増感
剤と開始剤との組合せを採用することで、少ない照射量
で良好なパターンを得ることができるようになった。さ
らに、耐熱性が優れ、また、シリコーン変性してあるの
で低弾性率で、しかも高密着性であるという非常に優れ
た効果が同時に得られた。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）下記式〔 I 〕で示されるシリコーン系ジアミン ▲数式、化学式、表等があります▼‥‥〔 I 〕 （式中ｎ：１〜５０） を０．５〜２５重量％共重合した、下記式〔II〕で示さ
   れるポリアミック酸（Ａ） ▲数式、化学式、表等があります▼‥‥〔II〕 （式中Ｒ＿１：３価または４価の有機基、 Ｒ＿２：２価の有機基、 Ｒ＿３：炭素−炭素二重結合を有する基、 ｍ：１〜２） 下記式〔III〕で示されるスチリル化合物（Ｂ）▲数式
   、化学式、表等があります▼……〔III〕 （式中Ｒ＿４：−Ｈ、−ＣＨ＿３、−Ｃ＿２Ｈ＿５、−
   Ｃ＿６Ｈ＿５、Ｒ＿５：▲数式、化学式、表等がありま
   す▼、▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化
   学式、表等があります▼、▲数式、化学式、表等があり
   ます▼、▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、
   化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、表等があ
   ります▼、▲数式、化学式、表等があります▼、 ▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、
   表等があります▼（Ｒ：Ｈ、ＣＨ＿３、Ｃ＿２Ｈ＿５）
   下記式〔IV〕で示されるグリシン化合物（Ｃ）▲数式、
   化学式、表等があります▼……〔IV〕 （式中Ｒ＿６：−Ｈ、−ＣＨ＿３、−Ｃ＿２Ｈ＿５、−
   Ｃ＿６Ｈ＿５、−ＯＣＨ＿３、−ＯＣＯＣＨ＿３、−Ｏ
   Ｃ＿２Ｈ＿５、−ＯＣＯＣ＿２Ｈ＿５、−Ｎ（ＣＨ＿３
   ）＿２、−Ｎ（Ｃ＿２Ｈ＿５）＿２、−ＮＨＣＯＯＣＨ
   ＿３、−ＣＯＣＨ＿３、−ＣＯＣ＿２Ｈ＿５、 −ＮＨＣＯＮＨ＿２、−ＣＨ＿２ＯＨ、−ＯＨ、−ＣＨ
   （ＣＨ＿３）＿２、−Ｃ（ＣＨ＿３）＿３）を必須成分
   とし、（Ａ）１００重量部に対して（Ｂ）１〜１０重量
   部、（Ｃ）１〜２０重量部を配してなる感光性樹脂組成
   物。