JPH03170551A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は密着性が良く、弾性率が小さく、高感度で高耐
熱の感光性ポリイミド樹脂組成物に関するものである。

［従来の技術］ 従来、半導体素子の表面保護膜、層間絶縁膜などには、
耐熱性が優れ、また卓越した電気的特性、機械的特性な
どを有するポリイミド樹脂が用いられているが、近年半
導体素子の高集積化、大型化、封止樹脂パッケージの薄
型化、小型化、半田リフローによる表面実装方式などへ
の移行により耐熱サイクル性、耐熱ショック性等の著し
い向上の要求があり、これまでのポリイミド樹脂では、
対応が困難となってきた。

この対策として、例えばポリイミド樹脂にシリコーン成
分を導入して、密着性を上げ弾性率を低くすることが知
られている。（特開昭６１−６４７３０号公報、特開餡
６２〜２２３２２８号公報等）一方、ポリイミド樹脂自
身に感光性を付与する技術が最近注目を集めてきた。

これらの感光性を付与したポリイミド樹脂を使用すると
、付与していないポリイミド樹脂に比較してパターン作
成工程の簡素化効果があるだけでなく、毒性の強いエッ
チング液を使用しなくてすむので、安全、公害上も優れ
ており、ポリイミド樹脂の感光性化はポリイミド樹脂の
高密着、低弾性率化とともに今後一層重要な技術となる
ことが期待されている。

感光性ポリイミド樹脂としては、例えば下式で示される
ような構造のエステル基で感光性基を付与したポリイミ
ド前駆体組成物（特公昭５５−３０２０７号公報、特公
餡５５−＜ｔ＜ｚ２号公報）あるいは下式で示されるよ
うな構造のポリアミック酸に化学線により２量化、また
は重合可能な炭素一炭素二重結合およびアミノ基または
、その四級化塩を含む化合物を添加した組成物（例えば
特開昭５４−１４５７９４号公報）などが知られている
。

これらは、いずれも適当な有機溶剤に溶解し、ワニス状
態で塗布、乾燥した後、フォトマスクを介して紫外線照
射し、現像、リンス処理して所望のパターンを得、さら
に加熱処理することによりポリイミド被膜としている。

しかし、かかる従来の感光化技術をポリイミド樹脂成分
にシリコーン基を導入した高密着、低弾性率のポリイミ
ド樹脂に適用すると、紫外線を照射してもバターニング
することは難しいか、または著しく感度が低く、半導体
工業で通常用いられている露光装置で処理するには不充
分であった。

更には、これらの感光性ポリイミド樹脂の膜厚を厚くし
ていくと光感度が極端に低下してしまい、適正露光時間
が極端に長くなってしまうという欠点があった。

［発明が解決しようとする課題］ 本発明の目的とするところは、ポリアミック酸中にシリ
コーン基を導入して密着性を向上させ、弾性率を低下さ
せたにもかかわらず高感度の光硬化性を有し、さらに硬
化後の被膜の耐熱性に優れた感光性樹脂組成物を提供す
るにある。

［課題を解決するための手段］ 本発明は下記の一般式ＣＩ）で示されるシリコーン系ジ
アミンを０．５〜２５重量％共重合した下記一般式（　
ＩＩ　）で示されるポリアミック酸（Ａ） と増感剤として下記一般式（ＩＩＩ）で示されるビスク
マリン化合物（Ｂ） と、開始剤として下記一般式（ＩＶ）で示されるグリシ
ン化合物（Ｃ） とを必須成分とし（Ａ）１００重量部に対し、増感剤で
ある（Ｂ）１〜１０重量部および開始剤である（Ｃ）１
〜２０重量部を配してなる感光性樹脂組成物を用いるこ
とにある。

［作用］ 本発明において用いる一般式（Ｉ）で示されるシリコー
ン系ジアミンはポリイミド被膜の密着性を向上させ、弾
性率を低下させる効果を有する。

シリコーン系ジアミンの重合度ｎは１〜５０であること
が必要であり、ｎが１未満であると密着性を向上させ、
弾性率を低下させる効果が得られず、またｎが５０を越
える長鎖シリコーン系ジアミンを使用すると、テトラカ
ルボン酸二無水物との反応が定量的に進行しにくくなり
、未反応物として残存し、分子量が大きくならないばか
りか柔軟性を低下させ、クラックを発生し易くなるので
好ましくない。

またシリコーン系ジアミンの使用量は、ポリアミック酸
成分に対して０．５〜２５重量％が好ましい。

０．５重量％未満では密着性の向上、弾性率の低下の効
果が得られず、また２５重量％を越えると耐熱性が著し
く低下し、ボワイミド樹脂本来の特徴が得られなくなる
ので好ましくない。

本発明において用いる一般式（　ＩＩ　）で示されるポ
リアミック酸のＲ２は、２価の有機基を有する化合物か
らなるもので、上記の式ＣＩ）で示されるシリコーン系
ジアミンの他に各種特性を付与するために以下に挙げる
ような芳香族ジアミンも併用することができる。

例えばｍ−フェニレンージアミン、ｌ−イソブロビル−
２，４−フェニレンージアミン、ｐ−フェニレンージア
ミン、４．４′−ジアミノージフェニルブロバン、３，
３゜−ジアミノージフェニルプロパン、４．４′−ジア
ミノージフェニルエタン、３，３′−ジアミノージフエ
ニルエタン、４，４′−ジアミノージフェニルメタン、
３，３′−ジアミノージフェニルメタン、４，４′−ジ
アミノージフェニルスルフィド、３，３′−ジアミノー
ジフェニルスルフィド、４，４′−ジアミノージフェニ
ルスルホン、３，３′−ジアミノージフェニルスルホン
、４，４′−ジアミノージフェニルエーテル、３，３′
−ジアミノージフェニルエーテル、ベンジジン、３．３
′−ジアミノービフェニル、３．３′−ジメチル−４，
４′−ジアミノービフェニル、３．３′−ジメトキシー
ベンジジン、４．４”−ジアミノーｐ−テルフェニル、
３．３”−ジアミノーｐ−テルフェニル、ビス（ｐ−ア
ミノーシクロヘキシル）メタン、ビス（ｐ−β−アミノ
ーｔ−プチルフェニル）エーテル、ビス（ｐ−β−メチ
ルーδ−アミノペンチル）ベンゼン、ｐ−ビス（２−メ
チル−４−アミノーペンチル）ベンゼン、ｐ−ビス（１
，１−ジメチル−５−アミノーペンチル）ベンゼン、１
，５−ジアミノーナフタレン、２，６−ジアミノーナフ
タレン、２，４−ビス（β−アミノーｔ−ブチル）トル
エン、２，４−ジアミノートルエン、ｍ−キシレン−２
，５−ジアミン、ｐ−キシレン−２，５−ジアミン、ト
キシリレンージアミン、ｐ−キシリレンージアミン、２
，６−ジアミノービリジン、２，５−ジアミノービリジ
ン、２，５−ジアミノー１，３．４−オキサジアゾール
、１，４−ジアミノーシクロヘキサン、ピベラジン、メ
チレンージアミン、エチレンージアミン、プロピレンー
ジアミン、２，２−ジメチループロピレンージアミン、
テトラメチレンージアミン、ペンタメチレンージアミン
、ヘキサメチレンージアミン、２．５−ジメチルーへキ
サメチレンージアミン、３−メトキシーへキサメチレン
ージアミン、ヘブタメチレンージアミン、２．５−ジメ
チルーへブタメチレンージアミン、３ーメチルーへブタ
メチレンージアミン、４．４−ジメチ／ｌｗヘブタメチ
レンージアミン、オクタメチレンージアミン、ノナメチ
レンージアミン、５−メチルーノナメチレンージアミン
、２，５−ジメチルーノナメチレンージアミン、デカメ
チレンージアミン、１，１０−ジアミノ−１，ｌＯ−ジ
メチルーデカン、２．１１−ジアミノードデカン、１．
１２−ジアミノーオクタデカン、２，ｌ２−ジアミノー
オクタデカン、２，ｌ７−ジアミノーアイコサンなどが
あげられるが、これらに限定されるものではない。

本発明において用いる一般式（　ＩＩ　）で示されるボ
リアミック酸のＲ１は３価または４価の有機基を有する
化合物からなるもので、各種の酸無水物が用いられる。

例え．ば、トリメリット酸無水物、ビロメリット酸二無
水物、ベンゼン−１．２，３．４−テトラカルボン酸二
無水物、３．３’　，４．４’−ベンゾフェノンテトラ
カルボン酸二無水物、２．２’　，３．３’−ベンゾフ
ェノンテトラカルボン酸二無水物、２，３．３’　，４
′−ベンゾフェノ゜ンテトラカルボン酸二無水物、ナフ
タレン−２．３，６．７−テトラカルボン酸二無水物、
ナフタレン−１．２，５．６−テトラカルボン酸二無水
物、ナフタレン−１．２，４．５−テトラカルボン酸二
無水物、ナフタレン−１．４，５．８−テトラカルボン
酸二無水物、ナフタレン−１．２，６．７−テトラカル
ボン酸二無水物、４，８−ジメチル−１．２，３，５，
６．７−ヘキサヒドロナフタレン−１．２，５．６−テ
トラカルポン酸二無水物、４．８ージメチル−１．２，
３，５，６．７−へキサヒド口ナフタレン−２．３，６
．７−テトラカルボン酸二無水物、２，６−ジクロロナ
フタレン−１．４，５．８−テトラカルポ、ン酸二無水
物、２．７−ジクロロナフタレン−１．４，５．８−テ
トラカルボン酸二無水物、２，３，６．７−テトラクロ
ロナフタレンー１．４，５．８−テトラカルボン酸二無
水物、１　，　４　，５．８−テトラクロロナフタレン
−２．３，６．７−テトラカルボン酸二無水物、３．３
’　，４．４’−ジフェニルテトラカルボン酸二無水物
、２．２’　，３．３’−ジフェニルテトラカルボン酸
二無水物、２，３．３’　，４’−ジフェニルテトラカ
ルボン酸二無水物、３．３”，４．４”−ｐ−テルフェ
ニルテトラカルボン酸二無水物、２．２”，３．３”−
ｐ−テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，３，
３”，４”−ｐ−テルフェニルテトラカルボン酸二無水
物、２．２−ビス（２．３−ジカルボキシフェニル）一
プロパンニ無水物、２，２−ビス（３，４−ジカルボキ
シフェニル）一プロパンニ無水物、ビス（２，３−ジカ
ルボキシフエニル）エーテルニ無水物、ビス（３，４−
ジカルボキシフェニル）エーテルニ無水物、ビス（２，
３−ジカルポキシフェニル）メタンニ無水物、ビス（３
．４−ジカルボキシフェニル）メタンニ無水物、ビス（
２．３−ジカルボキシフェニル）スルホンニ無水物、ビ
ス（３．４−ジカルボキシフェニル）スルホンニ無水物
、１．１−ビス（２．３−ジカルボキシフェニル）エタ
ンニ無水物、１．１−ビス（３．４−ジカルボキシフェ
ニル）エタンニ無水物、ペリレン−２．３，８．９−テ
トラカルボン酸二無水物、ペリレン−３．４，９．１０
−テトラカルボン酸二無水物、ベリレン−４．５，１０
．１１−テトラカルボン酸二無水物、ベリレン−５．６
，１１．１２−テトラカルボン酸二無水物、フェナンス
レンー１，２，７．８−テトラカルボン酸二無水物、フ
ェナンスレン−１．２，６．７−テトラカルボン酸二無
水物、フェナンスレンーｌ，２，９，１０−テトラカル
ボン酸二無水物，シクロベンタン−１．２，３．４−テ
トラカルボン酸二無水物、ピラジン−２．３，５．６−
テトラカルポン酸二無水物、ビロリジン−２．３，４．
５−テトラカルボン酸二無水物、チオフェン−２．３，
４．５−テトラカルボン酸二無水物などがあげられるが
、これらに限定されるものではない。

本発明において用いる一般式（　ＩＩ　）で示されるポ
リアミヅク酸のＲ３は、炭素一炭素二重結合を有する化
合物からなるもので、各種のアルコールが用いられる。

例えば、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒ
ドロキシェチルアクリレート、２−ヒドロキシブロビル
メタクリレート、２−ヒドロキシブロビルアクリレート
、アリルアルコール、エチレングリコールモノアリルエ
ーテルなどがあげられるが、これらに限定されるもので
はない。

本発明における（Ａ）戒分のポリアミック酸は、下記式
（　ＩＩ　） （式中Ｒ１：３価または４価の有機基、Ｒ２：２価の有
機基、 Ｒ３：炭素一炭素二重結合を有する基、ｍ：１〜２　　
　　　　　　　　　　　）で示される重合物で、その合
成方法は、例えば、特公昭５５−３０２０７号の実施例
１に示される方法などがあげられる。即ち、カルボン酸
無水物としてのビロメリット酸二無水物８７．２重量分
と、炭素一炭素二重結合を有するアルコールとしてのア
リルアルコール４００容積分とを０．４重量分のｐ．ｐ
’−ビス（ジメチルアミノ）一ジフェニルメタン存在下
で２６時間室温で撹拌した後、過剰のアリルアルコール
を水流ポンプ真空中で蒸留除去する。これを２００重量
分の塩化チオニルおよび５重量分のジメチルホルムアミ
ドと共に室温で１時間放置した後、３時間還流させなが
ら煮沸する。過剰の塩化チオニルは、水流ポンプ真空中
で蒸留除去する。次に、これを３５０容積分の無水のジ
メチルアセトアミドに溶かし湿気を遮断して撹拌しなが
ら、４００容積分の無水のジメチルアセトアミドに、８
０重量分のｐ．ｐ’−ジアミノジフェニルエーテルを含
むジアミノ化合物を溶かし、０゜Ｃに冷却した溶液に反
応混合物が２０℃以上の温度となることがないように滴
下する。

これが終ると室温で１時間撹拌した後、この溶液に５容
積分のアニリンを添加し、１５分間撹拌して濾過する。

反応生成物は４リッ１４の沸騰水中に滴下して沈澱させ
、熱湯および１：１のアセトン水溶液で洗い、真空中８
０゜Ｃで乾燥し、重合物を得る。

本発明における（Ｂ）成分の増感剤は下記式〔■Ｉ〕 ｎ （式中Ｒ４，Ｒ５：　　−Ｈ，アルコキシ基，ジアルキ
ルアミノ基） で示される３位にカルボニル置換されたビスクマリン化
合物である。

このビスクマリン化合物としては、例えば、３．３′一
カルポニルービス（７−ジェチルアミノクマリン）、３
．３′一カルボニルービス（５，７−ジメトキシヵルボ
ニルクマリン）などがあげられるが、これに限定される
ものではない。

感光性樹脂組成物に用いられる増感剤としてはペンゾフ
ェノン、アセトフェノン、アントロン、ｐ．ｐ’−テト
ラメチルジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、
フェナントレン、２−ニトロフルオレン、５−ニトロア
セナフテン、ペンゾキノン、Ｎ−アセチルーρ−ニトロ
アニリン、ｐ−ニトロアニリン、２−エチルアントラキ
ノン、２−ターシャリープチルアントラキノン、Ｎ−ア
セチルー４−ニトロ−１−ナフチルアミン、ビクラミド
、１．２−ペンズアンスラキノン、３−メチル−１．３
−ジアザー１，９−ペンズアンスロン、ｐ，ｐ’−テト
ラエチルジアミノベンゾフェノン、２−クロロ−４−ニ
トロアニリン、ジベンザルアセトン、１，２−ナフトキ
ノン、２，５−ビス−（４′−ジェチルアミノベンザル
）一シクロベンタン、２，６−ビス−（４′−ジエチル
アミノベンザル）一シクロヘキサノン、２．６−ビスー
（４′−ジメチルアミノベンザル）−４−メチルーシク
ロヘキサノン、２，６−ビスー（４′−ジエチルアミノ
ベンザル）−４−メチルーシクロへキサノン、４．４′
−ビス−（ジメチルアミノ）一カルコン、４，４′−ビ
スー（ジエチルアミノ）一カルコン、ｐ−ジメチルアミ
ノベンジリデンインダノン、１．３−ビス−（４′−ジ
メチルアミノベンザル）一アセトン、１．３−ビスー（
４′−ジエチルアミノベンザル）一アセトン、Ｎ−フェ
ニ／Ｌ−ジエタノールアミン、Ｎ−ｐ−　｝リルージエ
チルアミンなどがあげられるが、本発明において見いだ
されたビスクマリン化合物は、本発明において開始剤と
して用いるグリシン化合物との組み合わせで用いること
によってのみ、驚くほど優れた増感効果を示す。この驚
くべき相乗効果がいかにして発現されるのか、その理由
は今のところ明確ではない。

なお、ビスクマリン化合物の配合量はポリアミック酸１
００重量部に対して１重量部以上、１０重量部以下が最
も好ましく、ビスクマリン化合物以外の増感剤もこれに
併用しても差し支えがない。

ビスクマリン化合物の配合量が１重量部未満であると、
光エネルギーの吸収量が不足し架橋が不充分となり、ま
た、ｌＯ重量部を越えると、光エネルギーの透過量が不
足し、深部の光硬化が迅速に進まず好ましくない。

本発明における（Ｃ）成分の開始剤は下記式（ＩＶ） （式中Ｒ　ｓ　：　−Ｈ　，−Ｃ　Ｈ　３，−Ｃ　２Ｈ
　Ｉ５，−Ｃ　６Ｈ　ｓ．−Ｏ　Ｃ　Ｈ３．−Ｏ　Ｃ　
Ｏ　Ｃ　Ｈ３，−Ｏ　Ｃ　２Ｈ　５．−Ｏ　ＣＯ　Ｃ　
２Ｈ５，−Ｎ（ＣＨ３）２，−Ｎ（Ｃ２Ｈ５）２，”Ｎ
ＨＣＯＯＣＨ３，−ＣＯＣＨ：＋，−ＣＯＣｚＨｓ，一
ＮＨＣＯＮＨ２，−ＣＨ２０Ｈ，−ＯＨ，−Ｃ　Ｈ（Ｃ
　Ｈ３）２，−Ｃ（Ｃ　Ｈ３）３）で示されるフェニル
基を持ったグリシン化合物である。

感光性樹脂組成物に用いられる開始剤としては２．２−
ジメトキシー２−フエニルーアセトフエノン、１−ヒド
ロキシーシクロへキシルーフエニルケトン、２−メチル
ー１４−（メチルチオ）フエニル１−２−モルフオリノ
ーｌ−プロパン、３．３’　，４．４’−テトラー（ｔ
−プチルバーオキシ力ルボニル）ペンゾフエノン、ベン
ジル、ペンゾインーイソブ口ピルエーテル、ベンゾイ．
ンーイソブチルエーテル、４，４′−ジメトキシベンジ
ル、１．４−ジベンゾイルベンゼン、４−ペンゾイルビ
フェニル、２−ペンゾイルナフタレン、メチル一〇−ペ
ンゾイルベンゾエート、２，２′−ビス（Ｏ−クロロフ
ェニル）−４．４’　，５．５’−テトラフエニルー｛
，２′−ビイミダゾール、１０−ブチルー２−クロロア
クリドン、エチル−４−ジメチルアミノベンゾエート、
ジベンゾイルメタン、２．４−ジエチルチオキサントン
、３，３−ジメチル−４−メトキシーペンゾフエノン、
２−ヒドロキシ−２−メチルーｌ−フエニルプロパン−
１−オン、■−（４−イソプロビルフエニル）−２−ヒ
ドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、１−（４−
ドデシルフエニル）−２一ヒドロキシー２−メチルプロ
パン−１−オン、１−フエニル−１．２−ブタンジオン
ー２−（０−メトキシカルボニル）オキシム、１−フエ
ニループロパンブタンジオンー２−（Ｏ−ベンゾイル）
オキシム、１．２−ジフエニルーエタンジオンー１−（
Ｏ−ベンゾイル）オキシム、１，３−ジフェニループロ
パントリオン−２−（Ｏ−ベンゾイル）オキシム、ｌ−
フェニル−３−エトキシープロパントリオン−２−（Ｏ
−ベゾイル）オキシムなどが使用されてレ）るが、本発
明において見いだされたグリシン化合物は、増感剤とし
てのビスクマリン化合物との組み合わせによって、他の
開始剤にくらべて格段の光反応開始効果を示した。

この驚くべき効果がいかにして発現されるのかその理由
は現在のところ明確ではない。

なお、グリシン化合物の配合量は、ポリアミツク酸１０
０重量部に対して１〜２０重量部を必須とし、グリシン
化合物以外の開始剤もこれと併用しても差し支えない。

開始剤としてのグリシン化合物が１重量部未満であると
光感度が充分でなく、好ましくない。

また、２０重量部を越えると、熱処理硬化後の皮膜特性
が低下する。

以下実施例により本発明を具体的に説明する。

実施例１ ビロメリット酸二無水物６５．５ｇ（０．３０モル）と
３．３’　，４．４’−ベンゾフエノンテトラカルボン
酸二無水物２２５．５ｇ　（０．７０モル）とを、２−
ヒドロキシエチルメタクリレート　２７０．７ｇ　（２
．０８モル）でエステル化したあと、４．４′−ジアミ
ノジフエニルエーテル１７０．２ｇ　（０．８５モル）
と下記式で示されるシリコーンジアミン ＣＨ３　　　ＣＨ３ １２８．７ｇ　（０．１０モル、ポリアミツク酸中１５
重量％）とでアミド化し、重合物を得た。

次に、重合！ｌ！１１００重量部（固形分）に、増感剤
として３，３′一カルポニルービス（７−ジエチルアミ
ノクマリン）４重量部と、開始剤としてＮ−フエニルグ
ワシン８重量部の他、テトラエチレングリコールジアク
リレート　１５重量部、１−フエニル−５−メルカプト
−ＩＩ！−テトラゾール１重量部、３−メタクリロキシ
ブロビルトリメトキシシラン２重量部、ｐ一ターシャリ
ープチル力テコールｏ．ｔ重１部を添加し、室温でＮ−
メチールビロリドンに溶解した。

７１られた溶液をアルミ板上にスピンナーで塗布し、乾
燥機により８０゜Ｃで１時間乾燥した。

このフイルムにコダック社製フォトグラフィックステッ
プタブレットＮｏ２．　２１ステップ（本グレースケー
ルでは、段数が一段増加するごとに透過光量が前段のｌ
／（２に減少するので現像後の残存段階が大きいものほ
ど感度が良い）を重ね、５００ｍｊ／ｃｍ２の紫外線を
照射し、Ｎ−メチルビロリドン６０重量％、キシレン４
０重量％の現像液を用いスプレーで現像、さらにイソプ
ロビルアルコールでリンスをしたところ１２段までパタ
ーンが残存し、高感度であることが判った。

次に、前述と同様な方法でシリコーンウエハー上に塗布
し全面露光し、現像、リンスの各工程を行い、さらに１
５０、２５０、３５０、４００℃で各々３０分間窒素中
で加熱硬化した。

密着力試験のため１ＩＩｌａ１角にｌ００個カットし、
セロテープで引き剥がそうとしたが、１個も剥がれず、
高密着性であることが判った。

また、別途アルミ板上に塗布し、全面露光、現像、リン
ス、熱硬化したあとアルミ板をエッチングで除去し、フ
イルムを得た。

得られたフイルムの引張弾性率（ＪＩＳ　Ｋ−６７６０
）は１１０Ｋｇ／ａ＋ｍ２と小さく、熱分解開始温度は
４２０’Ｃと高かった。

この様に高感度であり、かつ高密着、低弾性率、高耐熱
という非常に優れた効果が同時に得られた。

比較例１〜１０ 実施例ｌの方法に従いシリコーンジアミンのシロキサン
結合数と添加量、増感剤、開始剤の種類と添加量をそれ
ぞれかえ、同様の実験を行い第１表の結果を得た。

比較例１は、開始剤の添加量を０．８重量部にしたもの
で、光感度が著しく低くなってしまった。

比較例２は、比較例１とは逆に２８重量部にしたもので
、この場合フイルム中に開始剤が残留し、このため熱分
解開始温度が低くなってしまった。

比較例３は、本発明以外の開始剤を使用したもので、光
感度が低く、実用的ではなかった。

比較例４は、増感剤の添加量を０．５重量部にしたもの
で、この場合光感度が著しく低く、架橋も不充分であっ
た。

比較例５は、増感剤量を３５重量部としたもので、この
場合深部への光透過量が不足し、深部の硬化が不充分で
ボイドを発生し、均一なフイルムにはならなかった。

比較例６は、本発明以外の増感剤を使用した場合で光感
度が低く、実用的ではなかった。

比較例７は、シリコーンジアミンの添加量を０．２重量
％にしたものであり、この場合、弾性率を低下させるこ
とができなかった。

比較例８は、シリコーンジアミンの添加量を３８重量％
にしたもので、この場合フイルムが脆くなってしまった
。

比較例９は、シリコーンジアミンのシロキサン結合数を
ｎ＝ｏとしたもので、この場合柔軟性に欠けるためフイ
ルム化時点でクラツクが発生した。

比較例ｌＯは、シロキサンジアミンのシロキサン結合数
をｎ　＝　１００としたもので、この場合反応性が低く
、フィルム化時点で未反応シリコーンが浮き出し、感度
も上がらなかった。

実施例及び比較例において得られた結果の性能を第１表
に示す。

［発明の効果］ ポリイミド樹脂の主鎖構造中にシロキサン結合を導入し
、密着性の向上や、弾性率の低下を図る試みは、これま
でもなされてきた。

しかしながら、従来の感光性化技術では、シリコーン変
性したポリイミド樹脂の光感度を向上させる適当な増感
剤、開始剤がなく、良好なパターンを得ることができな
かった。

しかるに、本発明では、極めて光感度の高い特殊な増感
剤と開始剤との組合せを採用することで、少ない照射量
で良好なパターンを得ることができるようになった。さ
らに、耐熱性が優れ、また、シリコーン変性してあるの
で低弾性率で、しかも高密着性であるという非常に優れ
た効果が同時に得られた。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）下記式〔 I 〕で示されるシリコーン系ジアミン ▲数式、化学式、表等があります▼‥‥〔 I 〕 （式中ｎ：１〜５０） を０．５〜２５重量％共重合した、下記式〔II〕で示さ
   れるポリアミック酸（Ａ） ▲数式、化学式、表等があります▼‥‥〔II〕 （式中Ｒ＿１：３価または４価の有機基、 Ｒ＿２：２価の有機基、 Ｒ＿３：炭素−炭素二重結合を有する基、 ｍ：１〜２） 下記式〔III〕で示される３位にカルボニル置換された
   ビスクマリン化合物（Ｂ） ▲数式、化学式、表等があります▼……〔III〕 （式中Ｒ＿４、Ｒ＿５：−Ｈ＿、アルコキシ基、ジアル
   キルアミノ基） 下記式〔IV〕で示されるグリシン化合物（Ｃ＿）▲数式
   、化学式、表等があります▼…‥〔IV〕 （式中Ｒ＿６：−Ｈ、−ＣＨ＿３、−Ｃ＿２Ｈ＿５、−
   Ｃ＿６Ｈ＿５、−ＯＣＨ＿３、−ＯＣＯＣＨ＿３、−Ｏ
   Ｃ＿２Ｈ＿５、−ＯＣＯＣ＿２Ｈ＿５、−Ｎ（ＣＨ＿３
   ）＿２、−Ｎ（Ｃ＿２Ｈ＿５）＿２、−ＮＨＣＯＯＣＨ
   ＿３、−ＣＯＣＨ＿３、−ＣＯＣ＿２Ｈ＿５、 −ＮＨＣＯＮＨ＿２、−ＣＨ＿２ＯＨ＿、−ＯＨ、−Ｃ
   Ｈ（ＣＨ＿３）＿２、−Ｃ（ＣＨ＿３）＿３）を必須成
   分とし、（Ａ）１００重量部に対して（Ｂ）１〜１０重
   量部、（Ｃ）１〜２０重量部を配してなる感光性樹脂組
   成物。