JPH03170553A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は密着性が良く、弾性率が小さく、高感度で高耐
熱の感光性ポリイミド樹脂組成物に関するものである。

［従来の技術］ 従来、半導体素子の表面保護膜、層間絶縁膜などには、
耐熱性が優れ、また卓越した電気的特性、機械的特性な
どを有するポリイミド樹脂が用いられているが、近年半
導体素子の高集積化、大型化、封止樹脂パッケージの薄
型化、小型化、半田リフローによる表面実装方式などへ
の移行により耐熱サイクル性、耐熱ショック性等の著し
い向上の要求があり、これまでのポリイミド樹脂では、
対応が困難となってきた。

この対策として、例えばポリイミド樹脂にシリコーン成
分を導入して、密着性を上げ弾性率を低くすることが知
られている。（特開昭６１−６４７３０号公報、特開昭
６２−２２３２２８号公報等）一方、ポリイミド樹脂自
身に感光性を付与する技術が最近注目を集めてきた。

これらの感光性を付与したポリイミド樹脂を使用すると
、付与していないポリイミド樹脂に比較してパターン作
成工程の簡素化効果があるだけでなく、毒性の強いエッ
チング液を使用しなくてすむので、安全、公害上も憬れ
ており、ポリイミド樹脂の感光性化はポリイミド樹脂の
高密着、低弾性率化とともに今後一層重要な技術となる
ことが期待されている。

感光性ボリイミ ド樹脂としては、 例えば下式 で示されるような構造のエステル基で感光性基を付与し
たポリイミド前駆体組成物 （特公昭５５−３０２ ０７号公報、 特公昭５５−４１４２２号公報） あるいは下式 で示されるような構造のポリアミック酸に化学線により
２ｉ化、または重合可能な炭素一炭素二重結合およびア
ミノ基または、その四級化塩を含む化合物を添加した組
成物（例えば特公昭５９−５２８２２号公報）などが知
られている。

これらは、いずれも適当な有機溶剤に溶解し、ワニス状
態で塗布、乾燥した後、フォトマスクを介して紫外線照
射し、現像、リンス処理して所望のパターンを得、さら
に加熱処理することによりポリイミド被膜としている。

しかし、かかる従来の感光゛化技術をポリイミド樹脂成
分にシリコーン基を導入した高密着、低弾性率のポリイ
ミド樹脂に適用すると、紫外線を照射してもバターニン
グすることは難しいか、または著しく感度が低く、半導
体工業で通常用いられている露光装置で処理するには不
充分であった。

更には、これらの感光性ポリイミド樹脂の膜厚を厚くし
ていくと光感度が極端に低下してしまい、適正露光時間
が極端に長くなってしまうという欠点があった。

［発明が解決しようとする課題］ 本発明の目的とするところは、ポリアミツク酸中にシリ
コーン基を導入して密着性を向上させ、弾性率を低下さ
せたにもかかわらず高感度の光硬化性をイイし、さらに
硬化後の被膜の耐熱性に優れた感光性樹脂組成物を提供
するにある。

［課題を解決するための手段］ 本発明はｆ記の一般式ＣＩ）で示されるシリコーン系ジ
アミンを１〜５０重量％含有するポリアミック酸（Ａ）
と、感光剤として下記の一般式（　ＩＩ　）で示される
、アクリルアミド類（Ｂ）（式中Ｒエ：　−Ｈ　，−Ｃ
　Ｉ｛　３，−Ｃ　２Ｈ　５，Ｒ２，Ｒ３：−Ｈ，−Ｃ
Ｈ３　　−Ｃ２Ｈ５．プ −Ｃ　Ｈ　２０　Ｈ　　　−Ｃ　８Ｈ　５） と増感剤として下記一般式（　ＩＩＩ　）で示されるス
チリル化合物（Ｃ） と、開始剤として下記一般式（ＩＶ）で示されるグリシ
ン化合物（Ｄ） とを必須成分とし（Ａ）１００重量部に対し、感光剤（
Ｂ）２０〜２００重量部、増感剤（Ｃ）１〜ｌＯ重量部
および開始剤（Ｄ）１〜２０重量部を配してなる感光性
樹脂組成物を用いることにある。

［作用］ 本発明において用いる一般式ＣＩ）で示されるシリコー
ン系ジアミンはポリイミド被膜の密着性を向上させ、弾
性率を低下させる効果を有する。

シリコーン系ジアミンの重合度ｎは１〜５０であること
が必要であり、ｎが１未満であると密着性を向上させ、
弾性率を低下させる効果が得られず、またｎが５０を越
える長鎖シリコーン系ジアミンを使用すると、テトラカ
ルボン酸二無水物との反応が定量的に進行しにくくなり
、未反応物として残イｆし、分子紙が大きくならないば
かりか柔軟性を低下させ、クラックを発生し易くなるの
で好ましくない。

またシリコーン系ジアミンの使用量は、ポリアミック酸
成分に対して１〜５０重量％が好ましい。

１重量％未満では密着性の向上、弾性率の低下の効果が
得られず、また５０重量％を越えると耐熱性が著しく低
下し、ポリイミド樹脂本来の特徴が得られなくなるので
好ましくない。

本発明において用いるジアミン成分としては上記のシリ
コーン系ジアミンの他に各種特性を付与するために下記
に挙げるような芳香族ジアミンも勿論使用することがで
きる。

例えばｍ−フェニレンージアミン、１−イソブロビル−
２，４−フェニレンージアミン、ｐ−フェニレンージア
ミン、４，４′−ジアミノージフェニルプロパン、３．
３′−ジアミノ−ジフェニルプロパン、４，４′−ジア
ミノージフェニルエタン、３，３′−ジアミノージフェ
ニルエタン、４．４′−ジアミノージフェニルメタン、
３，３′−ジアミノージフェニルメタン、４，４′−ジ
アミノージフェニルスルフィド、３，３′−ジアミノー
ジフェニルスルフィド、４．４′−ジアミノージフェニ
ルスルホン、３．３′−ジアミノージフェニルスルホン
、４，４′−ジアミノージフェニルエーテル、３，３′
−ジアミノージフェニルエーテル、ベンジジン、３，３
′−ジアミノービフェニル、３，３′−ジメチル−４，
４′−ジアミノービフェニル、３，３′−ジメトキシー
ベンジジン、４．４”−ジアミノーｐ−テルフェニル、
３．３”−ジアミノーｐ−テルフェニル、ビス（ｐ−ア
ミノーシクロヘキシル）メタン、ビス（ｐ−β−アミノ
ーｔ−プチルフェニル）エーテル、ビス（ｐ−β−メチ
ルーδ−アミノベンチル）ベンゼン、ｐ−ビス（２−メ
チル−４−アミノーペンチル）ベンゼン、ｐ−ビス（１
．１−ジメチル−５−アミノ−ベンチル）ベンゼン、１
．５−ジアミノーナフタレン、２，６−ジアミノーナフ
タレン、２．４−ビス（β−アミノーｔ−ブチル）トル
エン、２，４−ジアミノートルエン、ｍ−キシレン−２
，５−ジアミン、ｐ−キシレン−２．５−ジアミン、ｍ
−キシリレンージアミン、ｐ−キシリレンージアミン、
２，６−ジアミノーピＩノジン、２，５−ジアミノーピ
リジン、２．５−ジアミノ−１．３．４−オキサジアゾ
ール、１．４−ジアミノーシクロヘキサン、ピペラジン
、メチレンージアミン、エチレンージアミン、プロピレ
ンージアミン、２，２−ジメチループロピレンージアミ
ン、テトラメチレンージアミン、ペンタメチレンージア
ミン、ヘキサメチレンージアミン、２，５−ジメチルー
へキサメチレンージアミン、３−メトキシーへキサメチ
レンージアミン、ヘプタメチレンージアミン、２．５−
ジメチルーへブタメチレンージアミン、３ーメチルーへ
ブタメチレンージアミン、４，４−ジメチ／ｌ，−ヘプ
タメチレンージアミン、オクタメチレンージアミン、ノ
ナメチレンージアミン、５−メチルーノナメチレンージ
アミン、２，５−ジメチルーノナメチレンージアミン、
デカメチレンージアミン、ｌ，１０−ジアミノーｌ，１
０−ジメチルーデカン、２，１１−ジアミノードデカン
、１，１２−ジアミノーオクタデカン、２，１２−ジア
ミノーオクタデカン、２，ｌ７−ジアミノーアイコサン
などがあげられるが、これらに限定されるものではない
。

ジアミン成分と反応させるテトラカルボン酸二無水物成
分はｉ種類でも、２種類以上の混合物でもかまわないが
、用いられるテトラカルボン酸二無水物としては、ビロ
メリット酸二無水物、ベンゼン−１．２，３．４−テト
ラカルボン酸二無水物、３．３’，４，４′−ベンゾフ
ェノンテトラカルボン酸二無水物、２．２’　，３．３
’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，３
．３’　，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無
水物、ナフタレン−２．３，６．７−テトラカルボン酸
二無水物、ナフタレン−１．２，５．６−テトラカルボ
ン酸二無水物、ナフタレン−１．２，４．５−テトラカ
ルボン酸二無水物、ナフタレン−１．４，５．８−テト
ラカルボン酸二無水物、ナフタレン−１．２，６．７−
テトラカルボン酸二無水物、４．８−ジメチル−１．２
，３，５，６．７−ヘキサヒドロナフタレン−１．２，
５．６−テトラカルボン酸二無水物、４，８−ジメチル
−１．２，３，５，６．７−ヘキサヒドロナフタレン−
２．３，６．７−テトラカルボン酸二無水物、２．６−
ジクロロナフタレン−１．４，５．８−テトラカルボン
酸二無水物、２，７−ジクロロナフタレン−１．４，５
．８−テトラカルボン酸二無水物、２　，　３　，６．
７−テトラクロロナフタレン−１．４，５．８−テトラ
カルボン酸二無水物、１，４，５．８−テトラクロロナ
フタレン−２．３，６．７−テトラカルボン酸二無水物
、３．３′，４．４′−ジフェニルテトラカルボン酸二
無水物、２．２’，３．３′−ジフェニルテトラカルボ
ン酸二無水物、２，３，３’　，４’−ジフェニルテト
ラカルボン酸二無水物、３，３″’，４．４”−ｐ−テ
ルフェニルテトラヵルボン酸二無水物、２．２”，３．
３”−ｐ−テルフェニルテトラヵルボン酸二無水物、２
，３．３″，４″−ｐ−テルフェニルテトラカルボン酸
二無水物、２，２−ビス（２，３−ジカルボキシフェニ
ル）一プロパンニ無水物、２，２−ビス（３．４−ジカ
ルボキシフェニル）一プロパンニ無水物、ビス（２，３
−ジカルボキシフェニル）エーテルニ無水物、ビス（３
，４−ジカルボキシフェニル）エーテルニ無水物、ビス
（２，３−ジカルボキシフェニル）メタンニ無水物、ビ
ス（３，４−ジカルボキシフエニル）メタンニ無水物、
ビス（２，３−ジカルボキシフエニル）スルホンニ無水
物、ビス（３，４−ジカルボキシフエニル）スルホンニ
無水物、１．１−ビス（２，３−ジカルボキシフェニル
）エタンニ無水物、１．１−ビス（３，４−ジカルボキ
シフェニル）エタンニ無水物、ペリレン−２．３，８．
９−テトラカルボン酸二無水物、ベリレン−３．４，９
．１０−テトラカルボン酸二無水物、ペリレン−４．５
，１０，ｌ１−テトラカルボン酸二無水物、ぺｌ）レン
−５．６，１１．１２−テトラカルボン酸二無水物、フ
エナンスレンー１，２，７．８−テトラカルボン酸二無
水物、フエナンスレン−１．２，６．７−テトラカルボ
ン酸二無水物、フエナンスレンー１，２，９．１０−テ
トラカルボン酸二無水物、シクロペンタン−１．２，３
．４−テトラカルボン酸二無水物、ビラジン−２．３，
５．６−テトラカルボン酸二無水物、ビロリジン−２．
３，４．５−テトラカルボン酸二無水物、チオフェン−
２．３，４．５−テトラカルボン酸二無水物などがあげ
られるが、これらに限定されるものではない。

本発明における（Ｂ）成分のアクリルアミド類は、感光
性樹脂組成物としてパターニング化する際の最終硬化工
程での飛散性が良い為、高温に長時問さらす必要がなく
、この為樹脂の劣化がないことを特徴とする。従来より
使用されているアクリル酸エステル類は、例えば、特公
昭５９−５２８２２号公報のような混合型でも３５０゜
Ｃで３０分は必要であり、特公昭５５−３０２０７号、
４１４２２号公報のような反応型では４００゜Ｃでｔ時
間は必要で、この為最終硬化物は黒色化が進み、最悪の
場合ボロボロとなり強靭なフィルムを得ることができな
い。これに比較し、本発明のアクリルアミド類は３００
゜Ｃで充分に飛敗し、良好なフィルムを得ることができ
る。

もしも特公昭５９−５２８２２号公報や特公昭５５−３
０２０７号、４１４２２号公報の組成物を３００゜Ｃで
最終硬化すると、アクリル酸エステル類が硬化物中に残
存し、ポリイミド樹脂としての耐熱性や諸特性を発揮す
ることができない。アクリルアミド類の配合量は、ポリ
アミック酸の固形分１００重量部に対して２０〜２００
重量部であることが好ましい。配合量が２０重量部未満
であると充分な光架橋物が得られず、現像時にすべて溶
解してしまうので、好ましくない。また配合量が２００
重量部を越えると、添加量が多いため有効に光架橋した
場合でも熱処理をした際に飛散収縮が大きく、クラック
が生じやすくなるので好ましくない。

本発明における（Ｃ）成分の増感剤は下記式（　ＩＩＩ
　） （式中Ｒ４：−Ｈ， −ＣＩ｛３， ′″Ｃ２Ｈ５Ｉ −ＣｓＨ５ で示されるアミノ基を持ったスチリル化合物である。

感光性樹脂組成物に用いられる増感剤としてはペンゾフ
ェノン、アセトフェノン、アントロン、Ｐ，ｐ′−テト
ラメチルジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケＩ・ン）
、フェナントレン、２−ニトロフルオレン、５−ニトロ
アセナフテン、ペンゾキノン、Ｎ−アセチルーｐ−ニト
ロアニリン、ｐ−ニトロアニリン、２−エチルアントラ
キノン、２−ターシャリーブチルアントラキノン、Ｎ−
アセチルー４−ニトロー１−ナフチルアミン、ビクラミ
ド、１．２−ペンズアンスラキノン、３−メチル−１．
３−ジアザー１，９−ペンズアンスロン、ｐ．ｐ’−テ
トラエチルジアミノベンゾフェノン、２−クロロ−４−
ニトロアニリン、ジベンザルアセトン、１，２−ナフト
キノン、２，５−ビス−（４′−ジエチルアミノベンザ
ル）一シクロベンタン、２，６−ビス−（４′−ジエチ
ルアミノベンザル）一シクロヘキサノン、２．６−ビス
−（４′−ジメチルアミノベンザル）−４−メチルーシ
クロへキサノン、２．６−ビス−（４′−ジエチルアミ
ノベンザル）−４−メチルーシクロヘキサノン、４，４
′−ビスー（ジメチルアミノ）一カルコン、４，４′−
ビス−（ジエチルアミノ）一カルコン、ｐ−ジメチルア
ミノベンジワデンインダノン、１，３−ビス−（４′−
ジメチルアミノベンザル）一アセトン、１．３−ビス−
（４′ージエチルアミノベンザル）一アセトン、Ｎ−フ
ェニ／ｌ，−ジエタノールアミン、Ｎ−ｐ−　トリルー
ジエチルアミンなどがあげられるが、本発明において見
いだされたスチリル化合物は、本発明において開始剤と
して用いるグリシン化合物との組み合わせで用いること
によってのみ、驚くほど優れた増感効果を示す。この驚
くべき相乗効果がいかにして発現されるのか、その理由
は今のところ明確ではない。

なお、スチリル化合物の配合量はボ『ノアミック酸１０
０重量部に対してｌ＠量部以上、ｌＯ重量部以下が最も
好ましく、スチリル化合物以外の増感剤もこれに併用し
ても差し支えがない。

スチリル化合物の配合量が１重量部未満であると、光エ
ネルギーの吸収量が不足し架橋が不充分となり、また、
１０重量部を越えると、光エネルギーの透過量が不足し
、深部の光硬化が迅速に進まず好ましくない。

本発明における（Ｄ）成分の開始剤は下記式（ＩＶ） （式中ｎ　ｅ　：　−Ｈ　，−Ｃ　Ｉ！　３，−Ｃ　２
Ｈ　５，−Ｃ　６Ｉ｛　５，Ｏ　Ｃ　Ｈ　＝，−Ｏ　Ｃ
　Ｏ　Ｃ　Ｈａ．−Ｏ　Ｃ　２Ｈ　５，一〇Ｃ　Ｏ　Ｃ
　２Ｈ５，−Ｎ（Ｃ　Ｈ：３）２，−Ｎ（Ｃ２Ｈ５）２
．−Ｎ　Ｈ　Ｃ　０　０　Ｃ　Ｈ３，−Ｃ　Ｏ　Ｃ　Ｈ
３，−Ｃ　Ｏ　Ｃ　２Ｈ５，−ＮＨＣＯＮＨ２，−ＣＨ
２０Ｈ，−ＯＨ，一Ｃ　Ｈ　（Ｃ　Ｈ３）２．−Ｃ　（
Ｃ　Ｈ３）３）で示されるフェニル基を持ったグリシン
化合物である。

感光性樹脂組成物に用いられる開始剤としては２，２−
ジメトキシー２−フェニルーアセトフェノン、ｌーヒド
ロキシーシクロへキシルーフェニルケトン、２一メチル
−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフオリノ
ー１−プロパン、３．３’　，４．４’−テトラー（ｔ
−プチルパーオキシカルボニル）ペンゾフエノン、ベン
ジル、ペンゾインーイソプロビルエーテル、ペンゾイン
ーイソブチルエーテル、４，４′−ジメトキシベンジル
、１．４−ジベンゾイルベンゼン、４−ペンゾイルピフ
エニル、２−ペンゾイルナフタレン、メチル一〇−ペン
ゾイルベンゾエート、２，２′−ビス（Ｏ−クロロフェ
ニル）−４．４’　，５．５’−テトラフェニル−１，
２′−ビイミダゾール、１０−ブチルー２−クロロアク
リドン、エチ／ｌ−４−ジメチルアミノベンゾエート、
ジベンゾイルメタン、２．４−ジエチルチオキサントン
、３，３−ジメチル−４−メトキシーペンゾフエノン、
２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−
１−オン、１−（４−イソプロビルフェニル）−２−ヒ
ドロキシ−２−メチルブロバンー１−オン、ｌ−（４−
ドデシルフエニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロ
パンーｌ一オン、ｌ−フエニル−１，２−ブタンジオン
ー２−（Ｏ−メトキシ力ルボニル）オキシム、ｌ−フェ
ニループロパンブタンジオンー２−（Ｏ−ベンゾイル）
オキシム、１．２−ジフエニルーエタンジオンー１−（
Ｏ−ベンゾイル）オキシム、１．３−ジフエニ／Ｌ−プ
ロパントリオン−２−（Ｑ−ベンゾイル）オキシム、１
−フェニル−３−エトキシープロパントリオン−２−（
〇一ベゾイル）オキシムなどが使用されているが、本発
明において見いだされたグリシン化合物は、増感剤とし
てのスチリル化合物との組み合わせによって、他の開始
剤にくらべて格段の光反応開始効果を示した。

この驚くべき効果がいかにして発現されるのかその理由
は現在のところ明確ではない。

なお、グリシン化合物の配合量は、ポリアミツク酸１０
０重量部に対して１〜２０重量部を必須とし、グリシン
化合物以外の開始剤もこれと併用しても差し支えない。

開始剤としてのグリシン化合物が１重量部未満であると
光感度が充分でなく、好ましくない。

また、２０重量部を越えると、熱処理硬化後の皮膜特性
が低下する。

以下実施例により本発明を具体的に説明する。

実施例ｌ シリコーンジアミンして、シロキサン結合が５（ｎ＝５
） の下記式で示されるもの１０ｇ ８Ｈ３Ｃｔｂ （ポリアミック酸中１０屯量％）と３．３’　，４．４
’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物５７ｇと
４．４′−ジアミノジフェニルエーテル３３ｇをＮ−メ
チルビロリドン溶媒中で反応させ、得られたポリアミッ
ク酸溶液（固形分で１００重量部）にＮ−メチロールア
クリルアミド６０ｇ（６０重量部）と２−（ｐ−ジメチ
ルアミノスチリル）ペンゾオキサゾール４ｇ（４重量部
）とＮ−フェニルグリシン８ｇ（８重量部）を添加し、
室温で混合溶解した。

得られた溶液をアルミ板上にスピンナーで塗布し、乾燥
機により６５゜Ｃで１時間乾燥した。

このフイルムにコダック社製フォトグラフィックステッ
プタブレットＮｏ２．　２１ステップ（本グレースケー
ルでは、段数が一段増加するごとに透過光量が前段の１
／ｆ２に減少するので現像後の残存段階が大きいものほ
ど感度が良い）を重ね、５００＋ｎｊ／ｃｍ２の紫外線
を照射し、Ｎ−メチルピロリドン６０重量％、メタノー
ル４０重量％の現像液を用い現｛１、さらにイソプロビ
ルアルコールでリンスをしたところ１２段までパターン
が残存し、高感度であることが判った。

次に、前述と同様な方法でシリコーンウェハー上に塗布
し全面露光し、現像、リンスの各工程を行い、さらに１
５０、２５０、３００℃で各々３０分間窒素中で加熱硬
化した。

密着力試験のため１ｍｍ角に１００個カットし、セロテ
ープで引き剥がそうとしたが、１個も剥がれず、高密着
性であることが判った。

また、別途アルミ板上に塗布し、全面露光、現像、リン
ス、熱硬化したあとアルミ板をエッチングで除去し、フ
イルムを得た。

得られたフイルムの引張弾性率（ＪＩＳ　Ｋ−６７６０
）は１８０Ｋｇ／Ｉｎｎ２と小さく、熱分解開始温度は
４００゜Ｃと高かった。

この様に高感度であり、かつ高密着、低弾性率、高耐熱
という非常に優れた効果が同時に得られた。

比較例１〜１３ 実施例１の方法に従いシリコーンジアミンのシロキサン
結合数と添加量、増感剤、開始剤の種類と添加量をそれ
ぞれかえ、同様の実験を行い第１表の結果を得た。

比較例１は、開始剤の添加量を０．８重量部にしたもの
で、光感度が著しく低くなってしまった。

比較例２は、比較例ｌとは逆に２８重量部にしたもので
、この場合フイルム中に開始剤が残留し、このため熱分
解開始温度が低くなってしまった。

比較例３は、本発明以外の開始剤を使用したもので、光
感度が低く、実用的ではなかった。

比較例４は、増感剤の添加量を０．４重量部にしたもの
で、この場合光感度が著しく低く、架橋も不充分であっ
た。

比較例５は、増感剤量を２４重量部としたもので、この
場合深部への光透過量が不足し、深部の硬化が不充分で
ボイドを発生し、均一なフイルムにはならなかった。

比較例６は、本発明以外の増感剤を使用した場合で光感
度が低く、実用的ではなかった。

比較例７は、感光剤の添加量を１５重量部にしたもので
、この場合、光感度が低いだけでなく、架橋が不充分な
ため、膜減りも大きかった。

比較例８は、感光剤の添加量を２５０重量部にしたもの
で、この場合、高温硬化時の飛散量が多く、クラックが
発生、均一なフィルムが得られながった。

比較例９は、本発明以外の感光剤を使用したもので、最
終硬化温度が低いために、最終硬化物中に感光剤が残存
し、熱分解開始温度が低くなり、その他の物性も不充分
であった。

比較例１０は、シリコーンジアミンの添加量を０．５１
１％にしたものであり、この場合、弾性率を低下させる
ことができなかった。

比較例１１は、シリコーンジアミンの添加量を７５重量
％にしたもので、この場合フィルムが脆くなってしまっ
た。

比較例ｌ２は、シリコーンジアミンのシロキサン結合数
をｎ＝０としたもので、この場合柔軟性に欠けるためフ
ィルム化時点でクラックが発生した。

比較例１３は、シロキサンジアミンのシロキサン結合数
をｎ　＝　１００としたもので、この場合反応性が低く
、フィルム化時点で未反応シリコーンが浮き出し、感度
も上がらなかった。

実施例及び比較例において得られた結果の性能を第１表
に示す。

［発明の効果］ ポリイミド樹脂の主鎖横造中にシロキサン結合を導入し
、密着性の向上や、弾性率の低下を図る試みは、これま
でもなされてきた。

しかしながら、従来の感光性化技術では、シリコーン変
性したポリイミド樹脂の光感度を向上させる適当な増感
剤、開始剤がなく、良好なパターンを｛ｉ｝ることがで
きなかった。

しかるに、本発明では、極めて光感度の高い特殊な増感
剤と開始剤との組合せを採用することで、少ない照射量
で良好なパターンを得ることができるようになった。さ
らに、熱硬化後のポリイミド樹脂は光硬化したアクリル
アミド類がすべて飛散するので耐熱性が優れ、また、シ
リコーン変性してあるので低弾性率で、しかも高密着性
であるという非常に優れた効果が同時に得られた。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）下記式〔 I 〕で示されるシリコーン系ジアミン
   を１〜５０重量％含有するポリアミック酸（Ａ） ▲数式、化学式、表等があります▼‥‥〔 I 〕 （式中ｎ：１〜５０） 下記式〔II〕で示されるアクリルアミド類（Ｂ）▲数式
   、化学式、表等があります▼‥‥〔II〕 （式中Ｒ＿１：−Ｈ、−ＣＨ＿３、−Ｃ＿２Ｈ＿５Ｒ＿
   ２、Ｒ＿３：−Ｈ、−ＣＨ＿３、−Ｃ＿２Ｈ＿５、−Ｃ
   Ｈ＿２ＯＨ、−Ｃ＿６Ｈ＿５） 下記式〔III〕で示されるスチリル化合物（Ｃ）▲数式
   、化学式、表等があります▼‥…〔III〕 （式中Ｒ＿４：−Ｈ、−ＣＨ＿３、−Ｃ＿２Ｈ＿５、−
   Ｃ＿６Ｈ＿５、Ｒ＿５： ▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、
   表等があります▼、▲数式、化学式、表等があります▼
   、▲数式、化学式、表等があります▼ ▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、
   表等があります▼、▲数式、化学式、表等があります▼
   、▲数式、化学式、表等があります▼ ▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、
   表等があります▼（Ｒ：Ｈ、ＣＨ＿３、Ｃ＿２Ｈ＿５）
   下記式〔IV〕で示されるグリシン化合物（Ｄ）▲数式、
   化学式、表等があります▼‥…〔IV〕 （式中Ｒ＿６：−Ｈ、−ＣＨ＿３、−Ｃ＿２Ｈ＿５、−
   Ｃ＿６Ｈ＿５、−ＯＣＨ＿３、−ＯＣＯＣＨ＿３、−Ｏ
   Ｃ＿２Ｈ＿５、−ＯＣＯＣ＿２Ｈ＿５、−Ｎ（ＣＨ＿３
   ）＿２、−Ｎ（Ｃ＿２Ｈ＿５）＿２、−ＮＨＣＯＯＣＨ
   ＿３、−ＣＯＣＨ＿３、−ＣＯＣ＿２Ｈ＿５、 −ＮＨＣＯＮＨ＿２、−ＣＨ＿２ＯＨ、−ＯＨ、−ＣＨ
   （ＣＨ＿３）＿２、−Ｃ（ＣＨ＿３）＿３）を必須成分
   とし、（Ａ）１００重量部に対して（Ｂ）２０〜２００
   重量部、（Ｃ）１〜１０重量部及び（Ｄ）１〜２０重量
   部を配してなる感光性樹脂組成物。