JP2752725B2 - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は密着性が良く、弾性率が小さく、高感度で高
耐熱の感光性ポリイミド樹脂組成物に関するものであ
る。

（従来の技術） 従来、半導体素子の表面保護膜、層間絶縁膜などに
は、耐熱性が優れ、また卓越した電気的特性、機械的特
性などを有するポリイミド樹脂が用いられているが、近
年半導体素子の高集積化、大型化、封止樹脂パッケージ
の薄型化、小型化、半田リフローによる表面実装方式な
どへの移行により耐熱サイクル性、耐熱ショック性等の
著しい向上の要求があり、これまでのポリイミド樹脂で
は、対応が困難となつてきた。

この対策として、例えばポリイミド樹脂にシリコーン
成分を導入して、密着性を上げ弾性率を低くすることが
知られている。（特開昭61−64730号公報、特開昭62−2
23228号公報等） 一方、ポリイミド樹脂自身に感光性を付与する技術が
最近注目を集めてきた。

これらの感光性を付与したポリイミド樹脂を使用する
と、付与していないポリイミド樹脂に比較してパターン
作成工程の簡素化効果があるだけでなく、毒性の強いエ
ッチング液を使用しなくてすむので、安全、公害上も優
れており、ポリイミド樹脂の感光性化はポリイミド樹脂
の高密着、低弾性率化とともに今後一層重要な技術とな
ることが期待されている。

感光性ポリイミド樹脂としては、例えば下式 で示されるような構造のエステル基で感光性基を付与し
たポリイミド前駆体組成物（特公昭55−41422号公報）
あるいは下式 で示されるような構造のポリアミック酸に化学線により
２量化、または重合可能な炭素−炭素二重結合およびア
ミノ基または、その四級化塩を含む化合物を添加した組
成物（例えば特開昭54−145794号公報）などが知られて
いる。

これらは、いずれも適当な有機溶剤に溶解し、ワニス
状態で塗布、乾燥した後、フォトマスクを介して紫外線
照射し、現像、リンス処理して所望のパターンを得、さ
らに加熱処理することによりポリイミド被膜としてい
る。

しかし、かかる従来の感光化技術をポリイミド樹脂成
分にシリコーン基を導入した高密着、低弾性率のポリイ
ミド樹脂に適用すると、紫外線を照射してもパターニン
グすることは難しいか、または著しく感度が低く、半導
体工業で通常用いられている露光装置で処理するには不
十分であった。

更には、これらの感光性ポリイミド樹脂の膜厚を厚く
していくと光感度が極端に低下してしまい、適正露光時
間が極端に長くなってしまうという欠点があった。

（発明が解決しょうとする課題） 本発明の目的とするところは、ポリアミック酸中にシ
リコーン基を導入して密着性を向上させ、弾性率を低下
させたにもかかわらず高感度の光硬化性を有し、さらに
硬化後の被膜の耐熱性に優れた感光性樹脂組成物を提供
するにある。

（課題を解決するための手段） 本発明は下記の一般式〔Ｉ〕で示される シリコーン系ジアミンを１〜50重量％共重合したポリア
ミック酸（Ａ）と、感光剤として下記の一般式〔II〕で
示される、１分子中にアクリルまたはメタクリル基を２
〜３基有する多官能アミノアクリレート（Ｂ） と増感剤として下記一般式〔III〕で示されるビスクマ
リン化合物（Ｃ） と開始剤として下記一般式〔IV〕で示されるグリシン化
合物（Ｄ） とを必須成分とし（Ａ）100重量部に対し、感光剤
（Ｂ）20〜200重量部、増感剤（Ｃ）１〜10重量部およ
び開始剤（Ｄ）１〜20重量部を配してなる感光性樹脂組
成物を用いることにある。

（作用） 本発明において用いる一般式〔Ｉ〕で示されるシリコ
ーン系ジアミンはポリイミド被膜の密着性を向上させ、
弾性率を低下させる効果を有する。

シリコーン系ジアミンの重合度ｎは１〜50であること
が必要であり、ｎが１未満であると密着性を向上させ、
弾性率を低下させる効果が得られず、またｎが50を越え
る長鎖シリコーン系ジアミンを使用すると、テトラカル
ボン酸二無水物との反応が定量的に進行しにくくなり、
未反応物として残存し、分子量が大きくならないばかり
か柔軟性を低下させ、クラックを発生し易くなるので好
ましくない。

またシリコーン系ジアミンの使用量は、ポリアミック
酸成分に対して１〜50重量％が好ましい。１重量％未満
では密着性の向上、弾性率の低下の効果が得られず、ま
た50重量％を越えると耐熱性が著しく低下し、ポリイミ
ド樹脂本来の特徴が得られなくなるので好ましくない。

本発明で使用するジアミン成分としては上記のシリコ
ーン系ジアミンの他に各種特性を付与するために以下に
挙げるような芳香族ジアミンも勿論使用することができ
る。

例えばｍ−フェニレン−ジアミン、１−イソプロピル
−2,4−フェニレン−ジアミン、ｐ−フェニレン−ジア
ミン、4,4′−ジアミノ−ジフェニルプロパン、3,3′−
ジアミノ−ジフェニルプロパン、4,4′−ジアミノ−ジ
フェニルエタン、3,3′−ジアミノ−ジフェニルエタ
ン、4,4′−ジアミノ−ジフェニルメタン、3,3′−ジア
ミノ−ジフェニルメタン、4,4′−ジアミノ−ジフェニ
ルスルフィド、3,3′−ジアミノ−ジフェニルスルフィ
ド、4,4′−ジアミノ−ジフェニルスルホン、3,3′−ジ
アミノ−ジフェニルスルホン、4,4′−ジアミノ−ジフ
ェニルエーテル、3,3′−ジアミノ−ジフェニルエーテ
ル、ベンジジン、3,3′−ジアミノ−ビフェニル、3,3′
−ジメチル−4,4′−ジアミノ−ビフェニル、3,3′−ジ
メトキシ−ベンジジン、4,4″−ジアミノ−ｐ−テルフ
ェニル、3,3″−ジアミノ−ｐ−テルフェニル、ビス
（ｐ−アミノ−シクロヘキシル）メタン、ビス（ｐ−β
−アミノ−ｔ−ブチルフェニル）エーテル、ビス（ｐ−
β−メチル−δ−アミノペンチル）ベンゼン、ｐ−ビス
（２−メチル−４−アミノ−ペンチル）ベンゼン、ｐ−
ビス（1,1−ジメチル−５−アミノ−ペンチル）ベンゼ
ン、1,5−ジアミノ−ナフタレン、2,6−ジアミノ−ナフ
タレン、2,4−ビス（β−アミノ−ｔ−ブチル）トルエ
ン、2,4−ジアミノ−トルエン、ｍ−キシレン−2,5−ジ
アミン、ｐ−キシレン−2,5−ジアミン、ｍ−キシリレ
ン−ジアミン、ｐ−キシリレン−ジアミン、2,6−ジア
ミノ−ピリジン、2,5−ジアミノ−ピリジン、2,5−ジア
ミノ−1,3,4−オキサジアゾール、1,4−ジアミノ−シク
ロヘキサン、ピペラジン、メチレン−ジアミン、エチレ
ン−ジアミン、プロピレン−ジアミン、2,2−ジメチル
−プロピレン−ジアミン、テトラメチレン−ジアミン、
ペンタメチレン−ジアミン、ヘキサメチレン−ジアミ
ン、2,5−ジメチル−ヘキサメチレン−ジアミン、３−
メトキシ−ヘキサメチレン−ジアミン、ヘプタメチレン
−ジアミン、2,5−ジメチル−ヘプタメチレン−ジアミ
ン、３−メチル−ヘプタメチレン−ジアミン、4,4−ジ
メチル−ヘプタメチレン−ジアミン、オクタメチレン−
ジアミン、ノナメチレン−ジアミン、５−メチル−ノナ
メチレン−ジアミン、2,5−ジメチル−ノナメチレン−
ジアミン、デカメチレン−ジアミン、1,10−ジアミノ−
1,10−ジメチル−デカン、2,11−ジアミノ−ドデカン、
1,12−ジアミノ−オクタデカン、2,12−ジアミノ−オク
タデカン、2,17−ジアミノ−アイコサンなどがあげられ
るが、これらに限定されるものではない。

ジアミン成分と反応させるテトラカルボン酸二無水物
成分は１種類でも、２種類以上の混合物でもかまわない
が、用いられるテトラカルボン酸二無水物としては、例
えばピロメリット酸二無水物、ベンゼン−1,2,3,4,−テ
トラカルボン酸二無水物、3,3′,4,4′−ベンゾフェノ
ンテトラカルボン酸二無水物、2,2′,3,3′−ベンゾフ
ェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3,3′,4′−ベン
ゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−2,
3,6,7−テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−1,2,
5,6−テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−1,2,4,5
−テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−1,4,5,8−
テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−1,2,6,7−テ
トラカルボン酸二無水物、4,8−ジメチル−1,2,3,5,6,7
−ヘキサヒドロナフタレン−1,2,5,6−テトラカルボン
酸二無水物、4,8,−ジメチル−1,2,3,5,6,7−ヘキサヒ
ドロナフタレン−2,3,6,7−テトラカルボン酸二無水
物、2,6−ジクロロナフタレン−1,4,5,8−テトラカルボ
ン酸二無水物、2,7−ジクロロナフタレン−1,4,5,8−テ
トラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−テトラクロロナフ
タレン−1,4,5,8−テトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8
−テトラクロロナフタレン−2,3,6,7−テトラカルボン
酸二無水物、3,3′,4,4′−ジフェニルテトラカルボン
酸二無水物、2,2′,3,3′−ジフェニルテトラカルボン
酸二無水物、2,3,3′,4′−ジフェニルテトラカルボン
酸二無水物、3,3″,4,4″−ｐ−テルフェニルテトラカ
ルボン酸二無水物、2,2″,3,3″−ｐ−テルフェニルテ
トラカルボン酸二無水物、2,3,3″,4″−ｐ−テルフェ
ニルテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス（2,3−ジカ
ルボキシフェニル）−プロパン二無水物、2,2−ビス
（3,4,−ジカルボキシフェニル）−プロパン二無水物、
ビス（2,3−ジカルボキシフェニル）エーテル二無水
物、ビス（3,4−ジカルボキシフェニル）エーテル二無
水物、ビス（2,3−ジカルボキシフェニル）メタン二無
水物、ビス（3,4−ジカルボキシフェニル）メタン二無
水物、ビス（2,3−ジカルボキシフェニル）スルホン二
無水物、ビス（3,4−ジカルボキシフェニル）スルホン
二無水物、1,1−ビス（2,3−ジカルボキシフェニル）エ
タン二無水物、1,1−ビス（3,4−ジカルボキシフェニ
ル）エタン二無水物、ペリレン−2,3,8,9−テトラカル
ボン酸二無水物、ペリレン−3,4,9,10−テトラカルボン
酸二無水物、ペリレン−4,5,10,11−テトラカルボン酸
二無水物、ペリレン−5,6,11,12−テトラカルボン酸二
無水物、フェナンスレン−1,2,7,8−テトラカルボン酸
二無水物、フェナンスレン−1,2,6,7−テトラカルボン
酸二無水物、フェナンスレン−1,2,9,10−テトラカルボ
ン酸二無水物、シクロペンタン−1,2,3,4−テトラカル
ボン酸二無水物、ピラジン−2,3,5,6−テトラカルボン
酸二無水物、ピロリジン−2,3,4,5−テトラカルボン酸
二無水物、チオフェン−2,3,4,5−テトラカルボン酸二
無水物などがあげられるが、これらに限定するものでは
ない。

本発明における（Ｂ）成分の多官能アミノアクリレー
トは１分子中に２個または３個のアクリル基またはメタ
クリル基を有する３級アミノアクリル化合物である。

１分子中にアクリル基またはメタクリル基が１個であ
る単官能アミノアクリレートでは、光照射しても架橋構
造が得られないので、感度が低く、また現像時にパター
ンにクラックが発生したり、多くの膜減りが生じるため
好ましくない。

多官能アミノアクリレート（Ｂ）としては、Ｎ−メチ
ルジエタノールアミンジメタクリレート、Ｎ−エチルジ
エタノールアミンジメタクリレート、Ｎ−メチルジエタ
ノールアミンジアクリレート、Ｎ−エチルジエタノール
アミンジアクリレート、Ｎ−ｎ−プロピルジエタノール
アミンジメタクリレート、Ｎ−ｎ−プロピルジエタノー
ルアミンジアクリレート、Ｎ−メチルジプロパノールジ
メタクリレート、Ｎ−エチルジプロパノールジメタクリ
レート、トリエタノールアミントリメタクリレート、ト
リエタノールアミントリアクリレートなどであるが、こ
れらに限定されない。

また、本発明で使用するアミノアクリレート成分とし
て、上記の多官能アミノアクリレートの他に各種特性を
付与するために単官能アミノアクリレートやアミノ基を
有さない多官能アクリレートももちろん併用することが
できる。

また、多官能アクリレートの配合量はポリアミック酸
の固形分100重量部に対して、20〜200重量部であること
が好ましい。

配合量が20重量部未満であると充分な光架橋物が得ら
れず、現像時にすべて溶解してしまうので好ましくな
い。

また配合量が200重量部を越えると、添加量が多いた
め有効に光架橋した場合でも熱処理をした際に飛散収縮
が大きく、クラックが生じやすくなるので好ましくな
い。

本発明における（Ｃ）成分の増感剤は下記式〔III〕 （式中R₄，R₅：−H,アルコキシ基， ジアルキルアミノ基） で示される３位にカルボニル置換されたビスクマリン化
合物である。

このビスクマリン化合物としては、例えば3,3′−カ
ルボニル−ビス（７−ジエチルアミノクマリン）、3,
3′−カルボニル−ビス（5,7−ジメトキシカルボニルク
マリン）などがあげられるが、これに限定されるもので
はない。

感光性樹脂組成物に用いられる増感剤としてはベンゾ
フェノン、アセトフェノン、アントロン、p,p′−テト
ラメチルジアミノベンゾフェノン（ミヒラ−ケトン）、
フェナントレン、２−ニトロフルオレン、５−ニトロア
セナフテン、ベンゾキノン、Ｎ−アセチル−ｐ−ニトロ
アニリン、ｐ−ニトロアニリン、２−エチルアントラキ
ノン、２−ターシャリーブチルアントラキノン、Ｎ−ア
セチル−４−ニトロ−１−ナフチルアミン、ピクラミ
ド、1,2−ベンズアンスラキノン、３−メチル−1,3−ジ
アザ−1,9−ベンズアンスロン、p,p′−テトラエチルジ
アミノベンゾフェノン、２−クロロ−４−ニトロアニリ
ン、ジベンザルアセトン、1,2−ナフトキノン、2,5−ビ
ス−（４′−ジエチルアミノベンザル）−シクロペンタ
ン、2,6−ビス−（４′−ジエチルアミノベンザル）−
シクロヘキサノン、2,6−ビス−（４′−ジメチルアミ
ノベンザル）−４−メチル−シクロヘキサノン、2,6−
ビス−（４′−ジエチルアミノベンザル）−４−メチル
−シクロヘキサノン、4,4′−ビス−（ジメチルアミ
ノ）−カルコン、4,4′−ビス−（ジエチルアミノ）−
カルコン、ｐ−ジメチルアミノベンジリデンインダノ
ン、1,3−ビス−（４′−ジメチルアミノベンザル）−
アセトン、1,3−ビス−（４′−ジエチルアミノベンザ
ル）−アセトン、Ｎ−フェニル−ジエタノールアミン、
Ｎ−ｐ−トリル−ジエチルアミンなどがあげられるが、
本発明に於いて見いだされたビスクマリン化合物は、本
発明において開始剤として用いるグリシン化合物との組
み合わせで用いることによってのみ、驚くほど優れた増
感効果を示す。この驚くべき相乗効果がいかにして発現
されるのか、その理由は今のところ明確ではない。

なお、ビスクマリン化合物の配合量はポリアミック酸
100重量部に対して１重量部以上、10重量部以下が最も
好ましく、ビスクマリン化合物以外の増感剤もこれに併
用しても差し支えがない。ビスクマリン化合物の配合量
が１重量部未満であると、光エネルギーの吸収量が不足
し架橋が不十分となり、また、10重量部を越えると、光
エネルギーの透過量が不足し、深部の光硬化が迅速に進
まず好ましくない。

本発明における（Ｄ）成分の開始剤は下記式〔IV〕 （式中R₆：−H,-CH₃，-C₂H₅，-C₆H₅， -OCH₃，-OOCCH₃，-OC₂H₅， -OOCC₂H₅，-N(CH₃)₂，-N(C₂H₅)₂， -NHCOOCH₃，-COCH₃， -COC₂H₅，-NHCONH₂，-CH₂OH， −OH,-CH(CH₃)₂，-C(CH₃)₃） で示されるフェニル基を持ったグリシン化合物である。

感光性樹脂組成物に用いられる開始剤としては2,2−
ジメトキシ−２−フェニル−アセトフェノン、１−ヒド
ロキシ−シクロヘキシル−フェニルケトン、２−メチル
−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ
−１−プロパン、3,3′4,4′−テトラ−（ｔ−ブチルパ
ーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、ベンジル、ベン
ゾイン−イソプロピルエーテル、ベンゾイン−イソブチ
ルエーテル、4,4′−ジメトキシベンジル、1,4−ジベン
ゾイルベンゼン、４−ベンゾイルビフェニル、２−ベン
ゾイルナフタレン、メチル−ｏ−ベンゾイルベンゾエー
ト、2,2′−ビス（ｏ−クロロフェニル）−4,4′5,5′
−テトラフェニル−1,2′−ビイミダゾール、10−ブチ
ル−２−クロロアクリドン、エチル−４−ジメチルアミ
ノベンゾエート、ジベンゾイルメタン、2,4−ジエチル
チオキサントン、3,3−ジメチル−４−メトキシ−ベン
ゾフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニ
ルプロパン−１−オン、１−（４−イソプロピルフェニ
ル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オ
ン、１−（４−ドデシルフェニル）−２−ヒドロキシ−
２−メチルプロパン−１−オン、１−フェニル−1,2−
ブタンジオン−２−（ｏ−メトキシカルボニル）オキシ
ム、１−フェニル−プロパンブタンジオン−２−（ｏ−
ベンゾイル）オキシム、1,2−ジフェニル−エタンジオ
ン−１−（ｏ−ベンゾイル）オキシム、1,3−ジフェニ
ル−プロパントリオン−２−（ｏ−ベンゾイル）オキシ
ム、１−フェニル−３−エトキシ−プロパントリオン−
２−（ｏ−ベンゾイル）オキシムなどが使用されている
が、本発明に於いて見いだされたグリシン化合物は、増
感剤としてのビスクマリン化合物との組み合わせによっ
て、他の開始剤にくらべて格段の光反応開始効果を示し
た。

この驚くべき効果がいかにして発現されるのかその理
由は現在のところ明確ではない。

なお、グリシン化合物の配合量は、ポリアミック酸10
0重量部に対して１〜20重量部を必須とし、グリシン化
合物以外の開始剤もこれと併用しても差し支えない。

開始剤としてのグリシン化合物が１重量部未満である
と光感度が十分でなく、好ましくない。

また、20重量部を越えると、熱処理硬化後の皮膜特性
が低下する。

以下実施例により本発明を具体的に説明する。

実施例１ シリコーンジアミンとしてシロキサン結合が15（ｎ＝
15）の下記式で示されるもの35g （ポリアミック酸中35重量％）と3,3′,4,4′−ベンゾ
フェノンテトラカルボン酸二無水物45gと4,4′−ジアミ
ノジフェニルエーテル20gをＮ−メチルピロリドン溶媒
中で反応させ、得られたポリアミック酸溶液（固形分で
100重量部）にＮ−メチルジエタノールアミンジメタク
リレート60g（60重量部）と3,3′−カルボニル−ビス
（７−ジエチルアミノクマリン）4g（４重量部）とＮ−
フェニルグリシン8g（８重量部）を添加し、室温で混合
溶解した。

得られた溶液をアルミ板上にスピンナーで塗布し、乾
燥機により80℃で１時間乾燥した。

このフイルムにコダック社製フォトグラフィックステ
ップタブレットNo2,21ステップ（本グレースケールで
は、段数が一段増加するごとに透過光量が前段の に減少するので現像後の残存段階が大きいものほど感度
が良い）を重ね、500mj/cm²の紫外線を照射し、Ｎ−メ
チルピロリドン60重量％、メタノール40重量％の現像液
を用い現像、さらにイソプロピルアルコールでリンスを
したところ12段までパターンが残存し、高感度であるこ
とが判った。

次に、前述と同様な方法でシリコンウェハー上に塗布
し全面露光し、現像、リンスの各工程を行い、さらに15
0,250,350℃で各々30分熱硬化した。

密着力試験のため1mm角に100ケカツトし、セロテープ
で引き剥がそうとしたが、１ケも剥がれず、高密着性で
あることが判った。

また、別途アルミ板上に塗布し、全面露光、現像、リ
ンス、熱硬化したあとアルミ板をエッチングで除去し、
フイルムを得た。

得られたフイルムの引張弾性率（JIS K−6760）は110
kg/mm²と小さく、熱分解開始温度は420℃と高かった。

この様に高感度であり、かつ高密着、低弾性率、高耐
熱という非常に優れた効果が同時に得られた。

比較例１〜13 実施例１の方法に従いシリコーンジアミンのシロキサ
ン結合数と添加量、感光剤、増感剤、開始剤の種類と添
加量をそれぞれかえ、同様の実験を行い第１表の結果を
得た。

比較例１は開始剤の添加量を0.8重量部にしたもの
で、光感度が著しく低くなってしまった。

比較例２は比較例１とは逆に28重量部にしたもので、
この場合フイルム中に開始剤が残留し、このため熱分解
開始温度が低くなってしまった。

比較例３は本発明以外の開始剤を使用したもので、光
感度が低く、実用的ではなかつた。

比較例４は増感剤の添加量を0.5重量部にしたもの
で、この場合光感度が著しく低く、架橋も不十分であっ
た。

比較例５は増感剤量を35重量部としたもので、この場
合深部への光透過量が不足し、深部の硬化が不十分でボ
イドを発生し、均一なフイルムにはならなかった。

比較例６は本発明以外の増感剤を使用した場合で光感
度が低く、実用的ではなかった。

比較例７は感光剤の添加量を15重量部にしたもので、
この場合、光感度が低いだけでなく、架橋が不十分なた
め膜減りも大きかった。

比較例８は感光剤の添加量を260重量部にしたもの
で、この場合、高温硬化時の飛散量が多く、クラックが
発生、均一なフイルム得られなかつた。

比較例９は本発明以外の感光剤を使用したもので、単
官能アクリレートであるため露光しても３次元化せず現
像時にすべて流れてしまった。

比較例10はシリコーンジアミンの添加量を0.5重量％
にしたものであり、この場合弾性率を低下させることが
出来なかった。

比較例11はシリコーンジアミンの添加量を75重量％に
したもので、この場合フイルムがモロクなってしまっ
た。

比較例12はシリコーンジアミンのシロキサン結合数を
ｎ＝０としたもので、この場合柔軟性に欠けるためフイ
ルム化時点でクラックが発生した。

比較例13はシロキサンジアミンのシロキサン結合数を
ｎ＝100としたもので、この場合反応性が低く、フイル
ム化時点で未反応シリコーンが浮き出し、感度も上がら
なかった。

（発明の効果） ポリイミド樹脂の主鎖構造中にシロキサン結合を導入
し、密着性の向上や、弾性率の低下を図る試みは、これ
までもなされてきた。

しかしながら、従来の感光性化技術では、シリコーン
変性したポリイミド樹脂の光感度を向上させる適当な増
感剤、開始剤がなく、良好なパターンを得ることが出来
なかった。

しかるに、本発明では、極めて光感度の高い特殊な増
感剤と開始剤との組み合わせを採用することで、少ない
光照射量で良好なパターンを得ることができるようにな
つた。さらに、熱硬化後のポリイミド樹脂は光硬化した
アクリレート類がすべて飛散するので耐熱性が優れ、ま
た、シリコーン変性してあるので低弾性率で、しかも高
密着性であるという非常に優れた効果が同時にえられ
た。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−221110（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−48059（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−123450（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−37653（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−11933（ＪＰ，Ａ) 米国特許4278751（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G03F 7/031 G03F 7/027 G03F 7/075 G03F 7/038 C08G 73/10

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】（Ａ）下記式〔Ｉ〕で示されるシリコーン
   系ジアミンを１〜50重量％共重合したポリアミック酸 （式中ｎは１〜50） （Ｂ）下記式〔II〕で示される、１分子中にアクリルま
   たはメタクリル基を２〜３基有する多官能アミノアクリ
   レート （式中R₁：−Ｈ、-CH₃ R₂：-C₂H₄-、-C₃H₆-、 -CH₂CHOHCH₂- R₃：-CH₃、-C₂H₅、-C₃H₇、-C₆H₅ l:2〜３、m:0〜１、ｌ＋ｍ＝３） （Ｃ）下記式〔III〕で示される３位にカルボニル置換
   されたビスクマリン化合物 （式中R₄、R₅：−Ｈ、アルコキシ基、ジアルキルアミノ
   基） （Ｄ）下記式〔IV〕で示されるグリシン化合物 （式中R₆：−H,-CH₃，-C₂H₅，-C₆H₅， -OCH₃，-OOCCH₃，-OC₂H₅， -OOCC₂H₅，-N(CH₃)₂，-N(C₂H₅)₂， -NHCOOCH₃，-COCH₃， -COC₂H₅，-NHCONH₂，-CH₂OH， −OH,-CH(CH₃)₂，-C(CH₃)₃) を必須成分とし（Ａ）100重量部に対して（Ｂ）20〜200
   重量部、（Ｃ）１〜10重量部及び（Ｄ）１〜20重量部を
   配してなる感光性樹脂組成物。