JPH0389352A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は密着性が良く、弾性率が小さく、高感度で高耐
熱の感光性ポリイミド樹脂組成物に関するものである。

（従来の技術） 従来、半導体素子の表面保護膜、層間絶縁膜などには、
耐熱性が優れ、また卓越した電気的特性、機械的特性な
どを有するポリイミド樹脂が用いられているが、近午半
導体素子の高集積化、大型化、封止樹脂パッケージの薄
型化、小型化、半田り７０−による表面実装方式などへ
の移行により耐熱サイクル性、耐熱ショック性等の著し
い向上の要求があり、これまでのポリイミド樹脂では、
対応が困難となってきた。

この対策として、例えばポリイミド樹脂にシリコーン成
分を導入して、密着性を上げ弾性率を低くすることが知
られている。（特開昭６１−６４７３０号公報、特開昭
６２−２２３２２８号公報等）一方、ポリイミド樹脂自
身に感光性を付与する技術が最近注目を集めてきた。

これらの感光性を付与したポリイミド樹脂を使用すると
、付与していないポリイミド樹脂に比較してパターン作
成工程の簡素化効果があるだけでなく、毒性の強いエツ
チング液を使用しなくてすむので、安全、公害上も優れ
ており、ポリイミド樹脂の感光性化はポリイミド樹脂の
高密着、低弾性率化とともに今後−層重要な技術となる
ことが期待されている。

感光性ポリイミド樹脂としては、例えば下式で示される
ような構造のエステル基で感光性基を付与したポリイミ
ド前躯体Ｉｌ戒物（特公昭５５−３０２０７号公報、特
公昭５５−４１４２２号公報）あるいは下式で示される
ような構造のポリアミック酸に化学線により２量化、ま
たは重合可能な炭素−炭素二重結合およびアミ７基また
は、その四級化塩を含む化合物を添加した組成物（例え
ば特開昭５４−１４５７９４号公報）などが知られてい
る。

これらは、いずれも適当な有機溶剤に溶解し、ワニス状
態で塗布、乾燥した後、７オトマスクを介して紫外線照
射し、現像、リンス処理して所望のパターンを得、さら
に加熱処理することによりポリイミド被膜としている。

しかし、かかる従来の感光化技術をポリイミド樹脂成分
にシリコーン基を導入した高密着、低弾性率のポリイミ
ド樹脂に適用すると、紫外線を照射してもパターニング
することは１ｌｌＬ；いか、または著しく感度が低く、
半導体工業で通常用いられている露光装置で処理するに
は不十分であった。

更には、これらの感光性ポリイミド樹脂の膜厚を厚くし
ていくと光感度が極端に低下してしまい、適正露光時間
が極端に長くなってしまうという欠点があった。

（発明が解決しようとする課題） にシリコーン基を導入して密着性を向上させ、弾性率を
低下させたにもかかわらず高感度の光硬化性を有し、さ
らに硬化後の被膜の耐熱性に優れた感光性樹脂組成物を
提供するにある。

（課題を解決するための手段） 本発明は下記の一般式（１）で示されるシリコーン系ジ
アミンをｔ〜５０重量％含有するポリアミック酸（Ａ）
と、感光剤とし、て下記の一般式（Ｉｔ）で示される、
１分子中にアクリルまたはメタクリル基を２〜３基有す
る多官能アミノアリル化合物（Ｃ） と開始剤として下記一般式（ＩＶ）で示されるオキサシ
ロン化合物（Ｄ） とを必須成分としくＡ）１００重量部に対し、感光剤（
Ｂ）２０〜２００重量部、増感剤（ｃ）１〜１０重量部
および開始剤（Ｄ）１〜２０重量部を配してなる感光性
樹脂ＩＩ戊物を用いることにある。

（作用） 本発明において用いる一般式〔Ｉ〕で示されるシリコー
ン系ジアミンはポリイミド被膜の密着性を向上させ、弾
性率を低下させる効果を有する。

シリコーン系ジアミンの重合度ｎは１〜５０であること
が必要であり、ｎが１未満であると密着性を向上させ、
弾性率を低下させる効果が得られず、またｎが５０を越
える長鎖シリコーン系ジアミンを使用すると、テトラカ
ルボン酸二無水物との反応が定量的に進行しにくくなり
、未反応物として残存し、分子量が大きくならないばか
りか柔軟性を低下させ、クラックを発生し易くなるので
好ましくない。

またシリコーン系ジアミンの使用量は、ポリアミック酸
成分に対して１〜５０重量％が好ましい。

１重量％未満では密着性の向上、弾性率の低下の効果が
得られず、また５０重量％を越えると耐熱性が著しく低
下し、ポリイミド樹脂本来の特徴が得られなくなるので
好ましくない。

本発明で使用するジアミン成分としては上記のシリコー
ン系ジアミンの他に各種特性を付与するために以下に挙
げるような芳香族ジアミンも勿論使用することができる
。

例えばｍ−フェニレン−ジアミン、ｌ−インプロピル−
２，４−７エニレンージアミン、ｐ−フェニレン−ジア
ミン、４．ｔ’−ジアミノ−ジフェニルプロパン、３．
３’−ジアミノ−ジフェニルプロパン、４．４’−ジア
ミノ−ジフェニルエタン、３．３’−ジアミノ−ジフェ
ニルエタン、４．４’−ジアミノ−ジフェニルメタン、
３．３’−ジアミノ−ジフェニルメタン、４．４’−ジ
アミノ−ジフェニルスルフィト、３，３′−ジアミノ−
ジフェニルスルフィド、４．４’−ジアミノ−ジフェニ
ルスルホン、３．３′−ジアミノ−ジフェニルスルホン
、４．４’−ジアミノ−ジフェニルエーテル、３．３’
−ジアミノ−ジフェニルエーテル、ベンジジン、３１３
’−ジアミノ−ビフェニル、３．３″−ジメチル−４，
４′−ジアミノ−ビフェニル、３．３′−ジメトキシ−
ベンジジン、４．４”−ジアミノ−ｐ−テルフェニル　
３．３１１−ジアミノ−ｐ−テルフェニル、ビス（ｐ−
アミノ−シクロヘキシル）メタン、ビス（ｐ−β−アミ
ノ−１〜ブチルフエニル）エーテル、ビス（ｐ−β−メ
チル−ドアミノペンチル）ベンゼン、ｐ−ビス（２−メ
チル−４−アミノ−ペンチル）ベンゼン、ｐ−ビス（１
，１−ジメチル−５−アミノ−ペンチル）ベンゼン、ｌ
、５−ジアミノ−ナフタレン、２．６−シアミツーナフ
タレン、２．４−ビス（β−アミノ−ｔ−ブチル）トル
エン、２．４−ジアミノ−トルエン、ｍ−キシレン−２
，５−ジアミン、ｐ−キシレン−２，５−ジアミン、ｍ
−キシリレン−ジアミン、ｐ−キシリレン−ジアミン、
２．６−シアミツービリジン、２．５−ジアミノ−ピリ
ジン、２．５−ジアミノ−１，３，４−オキサジアゾー
ル、ｌ、４−ジアミノシクロヘキサン、ピペラジン、メ
チレン−ジアミン、エチレン−ジアミン、フロピレン−
ジアミン、２．２−ジメチル−プロピレン−ジアミン、
テトラメチレンージアミン、ペンタメチレン−ジアミン
、ヘキサメチレン−ジアミン、２．５−ジメチル−へキ
サメチレン−ジアミン、３−メトキシ−へキサメチレン
−ジアミン、ヘプタメチレン−ジアミン、２，５−ジメ
チル−へブタメチレン−ジアミン、３−メチル−ヘプタ
メチレン−ジアミン、４．４−ジメチル−へブタメチレ
ン−ジアミン、オクタメチレン−ジアミン、ノナメチレ
ン−ジアミン、５−メチル−ノナメチレン−ジアミン、
２，５−ジメチル−ノナメチレン−ジアミン、デカメチ
レン−ジアミン、１．１０−ジアミノ−１，１０−ジメ
チル−デカン、２．１１−ジアミノ−ドデカン、１．１
２−ジアミノ−オクタデカン、　２．１２−ジアミノ−
オクタデカン、２．１７−シアミツーアイコサンなどが
あげられるが、これらに限定されるものではない。

ジアミン成分と反応させるテトラカルボン酸二無水物成
分は１１１類でも、２種類以上の混合物でもかまわない
が、用いられるテトラカルボン酸二無水物としては、例
えばピロメリット酸二無水物、ベンゼン−１，２，３，
４，−テトラカルボン酸二無水物、３．３　’、４．４
　’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２．
２　’、３．３　’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸
二無水物、２，３．３　’、４　’−ベンゾフェノンテ
トラカルポン酸二無水物、ナフタレン−２，３，６，７
−テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−１，２，５
，６−テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−１，２
，４，５−テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−１
，４，５，８−テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン
−１，２，６，７−テトラカルボン酸二無水物、４，８
−ジメチル−１，２゜３．５．６．７−ヘキサヒトロナ
フタレンー１．２，５．６−テトラカルボン酸二無水物
、４，８．−ジメチル−１，２，３，５゜６．７−へキ
サヒドロナフタレン−２，３，６，７−テトラカルボン
酸二無水物、２．６−シクロロナフタレンー１，４゜５
．８−テトラカルボン酸二無水物、２．７−シクロロナ
７タレンー１．４．５．８−テトラカルボン酸二無水物
、２゜３．６．７−チトラクロロナフタレンー１．４．
５．８−テトラカルボン酸二無水物、１．４，５．８−
テトラクロロナフタレン−２，３，６，７−テトラカル
ボン酸二無水物、３，３’、４．４’−ジフェニルテト
ラカルボン酸二無水物、２゜２　’、３．３　’−ジフ
ェニルテトラカルボン酸二無水物、２．３．３　’、４
　’−ジフェニルテトラカルボン酸二無水物、３．３　
”　、４．４″′−ｐ−テルフェニルテトラカルボン酸
二無水物、２．２　”　、３．３　”−ｐ−テルフェニ
ルテトラカルボン酸二無水物、２，３．３　”　、４　
”−ｐ−テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、２．
２−ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）−プロパン
二無水物、２．２−ビス（３゜４、−ジカルボキシフェ
ニル）−プロパン二無水物、ビス（２，３−ジカルボキ
シフェニル）エーテルニ無水物、ビス（３，４−ジカル
ボキシフェニル）エーテルニ無水物、ビス（２，３−ジ
カルボキシフェニル）メタン二無水物、ビス（３，４−
ジカルボキシフェニル）メタン二無水物、ビス（２，３
−ジカルボキシフェニル）スルホンニ無水物、ビス（３
，４−ジカルボキシフェニル）スルホンニ無水物、１．
１−ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）メタン二無
水物、１．１−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）
メタン二無水物、ペリレン−２゜３．８．９−テトラカ
ルボン酸二無水物、ペリレン−３，４゜９、ｌＯ−テト
ラカルボン酸二無水物、ペリレン−４，５゜１０．１１
−テトラカルボン酸二無水物、ペリレン−５，６゜１１
．１２−テトラカルボン酸二無水物、フェナンスレン−
１，２，７，８−テトラカルボン酸二無水物、７エナン
スレンー１．２，６．７−テトラカルボン酸二無水物、
７エナンスレンー１．２．９．１０−テトラカルボン酸
二無水物、シクロペンタン−１，２，３，４−テトラカ
ルボン酸二無水物、ピラジン−２，３，５，６−テトラ
カルボン酸二無水物、ピロリジン−２，３，４，５−テ
トラカルボン酸二無水物、チオフェン−２，３，４，５
−テトラカルボン酸二無水物などがあげられるが、これ
らに限定するものではない。

本発明における（Ｂ）　成分の多官能アミノアクリレー
トは１分子中に２個または３個のアクリル基またはメタ
クリル基を有する３級アミノアクリル化合物である。

１分子中にアクリル基またはメタクリル基が１個である
単官能アミノアクリレートでは、光照射しても架橋構造
が得られないので、感度が低く、また現像時にパターン
にクラックが発生したり、多くの膜減りが生じるため好
ましくない。

多官能アミノアクリレート（Ｂ）としては、Ｎ−メチル
ジェタノールアミンジメタクリレート、Ｎ−エチルジェ
タノールアミンジメタクリレート、Ｎ−メチルジェタノ
ールアミンジアクリレート、Ｎ−エチルジェタノールア
ミンジアクリレート、Ｎ−ｎ−プロピルジェタノールア
ミンジメタクリレート、Ｎ−ｎ−プロピルジェタノール
アミンジアクリレート、Ｎ−メチルジブロバノールジメ
タクリレート、Ｎ−メチルジブロバノールジメタクリレ
ート、トリエタノールアミントリメタクリレート、トリ
エタノールアミントリアクリレートなどであるが、これ
らに限定されない。

また、本発明で使用するアミノアクリレート成分として
、上記の多官能アミノアクリレートの他に各種特性を付
与するために単官能アミノアクリレートやアミノ基を有
さない多官能アクリレートももちろん併用することがで
きる。

まＩ；、多官能アミノアクリレートの配合量はポリアミ
ック酸の固形分１００重量部に対して、２０〜２００重
量部であることが好ましい。

配合量が２０重量部未満であると充分な光架橋物が得ら
れず、現像時にすべて溶解してしまうので好ましくない
。

また配合量が２００重量部を越えると、添加量が多いた
め有効に光架橋した場合でも熱処理をした際に飛散収縮
が大きく、クラックが生じやすくなるので好ましくない
。

本発明における（Ｃ）成分の増感剤は下記式（Ｉ［Ｉ）
（式中Ｒ４ニーＨ，−ＣＨ３，−Ｃ＊Ｈ１−ＣｓＨｓる
。

感光性樹脂組成物に用いられる増感剤としてはベンゾフ
ェノン、アセトフェノン、アントロン、ｐ。

ｐ′−テトラメチルジアミノベンゾフェノン（ミヒラー
ケトン）、７エナントレン、２−ニトロフルオレン、５
−ニトロアセナフテン、ベンゾキノン、Ｎ−アセチル−
ｐ−ニトロアニリン、ｐ−ニトロアニリン、２−二チル
アントラキノン、２−ターシャリ−ブチルアントラキノ
ン、Ｎ−アセチル−４−ニトロ−ｌ−す７チルアミン、
ピクラミド、１．２−ベンズアンスラキノン、３−メチ
ル−１，３−ジアザ−１，９−ベンズアンスロン、ｐ、
ｐ　’−テトラエチルジアミノベンゾフェノン、２−ク
ロロ−４−ニトロアニリン、ジベンザルアセトン、１．
２−ナフトキノン、２．５−ビス−（４′−ジエチルア
ミノベンザル）−シクロペンタン、２．＆−ビスー（４
′−ジエチルアミノへブチル）−シクロヘキサノン、２
．６−ビス−（４′−ジメチルアミノベンザル）−４−
メチル−シクロへキサノン、２，６−ビス−（４′−ジ
エチルアミノベンザル）−４−メチル−シクロヘキサノ
ン、４．４’−ビス−（ジメチルアミノ）−カルコン、
４．４’−ビス−（ジエチルアミノ）−カルコン、ｐ−
ジメチルアミノベンジリデンインダノン、ｌ、３−ビス
−（４′−ジメチルアミノベンサル）−アセトン、１．
３−ビス−（４−ジエチルアミノベンザル）−アセトン
、Ｎ−フェニル−ジェタノールアミン、Ｎ−ｐ−１”リ
ルージエチルアミンなどがあげられるが、本発明に於い
て見いだされたスチリル化合物は、本発明において開始
剤として用いるオキサシロン化合物との組み合わせで用
いることによってのみ、驚くほど優れた増感効果を示す
。この驚くべき相乗効果がいかにして発現されるのか、
その理由は今のところ明確ではない。

なお、スチリル化合物の配合量はポリアミック酸１００
重量部に対して１重量部以上、１０重量部以下が最も好
ましく、スチリル化合物以外の増感剤もこれに併用して
も差し支えがない。

スチリル化合物の配合量が１重量部未満であると、光エ
ネルギーの吸収量が不足し架橋が不十分となり、また、
１０重量部を越えると、光エネルギーの透過量が不足し
、深部の光硬化が迅速に進まず好ましくない。

本発明における（Ｄ）　ｌｆｆ１分の開始剤は下記式（
ＩＶ）Ｒｙ　ニーＨ，−ＣＨ５，−Ｃ＊Ｈｓ−−ＣｓＨ
ｔ、−ＣａＨｓ−−ＣａＨｓ、−ＯＨ，−０ＣＨｓ、−
０ＣｚＨｓ＋−０ＣｓＨｔ、−０Ｃ４ＨＩ、−０ＣｓＨ
ｓ−−ＣＨｚＣａＨｓ、−ＣＨｚＣＨ＊Ｃ５Ｈｓ。

ｃＨ，ＯＨ，−ＣＨｘＣＨｚＯＨ。

−ＣＨＩＣＨ３，−ＣＨ（ＣＨ＄）！。

−Ｃ（ＣＨｓ）ｓ、−ＣＯＣＨａ、−ＣＯＣ＊Ｈｓ−−
ＯＯＣＣＨ３，−００ＣＣｚＨｓ− −ＣＨｚＮＨ＊、−ＣＨｚＣＨ！ＮＨ□−ＣＯＮ　Ｈｚ
　、　−ＣＯＮ　ＨＣＨｓ　。

−ＣＯＮ（ＣＨｓ）＊、−ＣＯＮＨＣＩＨｉ。

Ｃ０Ｎ（ＣｚＨｓ）ｚ、−ＮＨＣＨｓ。

−Ｎ（ＣＨｘ）ｚ＋−Ｎ（ＣｚＨｓ）ｚ、）で示される
芳香族基を持ったオキサシロン化合物である。

感光性樹脂組成物に用いられる開始剤としては２゜２−
ジメトキシ−２−７エニルーアセトフエノン、ｌ−ヒド
ロキシ−シクロへキシル−フェニルケトン、２−メチル
−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ
１−プロパン、　３．３　’４．４　’−テトラー（ｔ
−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、ベン
ジル、ベンゾインーイングロビルエーテル、ベンゾイン
−イソブチルエーテル、４．４’−ジメトキシベンジル
、１．４−ジベンゾイルベンゼン、４−ベンゾイルビフ
ェニル、２−ペンソイルナフタレン、メチル−〇−ペン
ソイルヘンシェード、２．２’−ビス（ｏ−り０Ｃ１７
エ二ル）−４，４’５．５　’−テトラフェニルー１，
２′−ビイミダゾール、ｌＯ−ブチル−２−クロロアク
リドン、エチル−４−ジメチルアミノベンゾエート、ジ
ベンゾイルメタン、２．４−ジエチルチオキサントン、
３，３−ジメチル−４−メトキシ−ベンゾフェノン、２
−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１
−オン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒド
ロキシ−２−メチルプロパン−１−ｒ　ン、１−（４−
１’テシルフエニル）−２−ヒＦロキシー２−メチルプ
ロパン−１−オン、ｌ−７エニルーｌ。

２−ブタンジオン−２−（ｏ−メトキシカルボニル）オ
キシム、ｌ−７二二ループロパンブタンジオンー２−（
ｏ−ベンゾイル）オキシム、１．２−ジフェニル−エタ
ンジオン−１−（、−ベンゾイル）オキシム、ｌ、３−
ジフェニル−プロパントリオン−２−（ｏ−ベンゾイル
）オキシム、ｌ−フェニル−３−エトキシ−プロパント
リオン−２−（０−ベンゾイル）オキシムなどが使用さ
れているが、本発明に於いて見いだされたオキサシロン
化合物は、増感剤としてのスチリル化合物との組み合わ
せによって、他の開始剤にくらべて格段の光反応開始効
果を示した。

この驚くべき効果がいかにして発現されるのかその理由
は現在のところ明確ではない。

なお、オキサシロン化合物の配合量は、ポリアミック酸
１００重量部に対してｌ〜２０重量部を必須とし、オキ
サシロン化合物以外の開始剤もこれと併用しても差し支
えない。

開始剤としてのオキサシロン化合物が１重量部未満であ
ると光感度が十分でなく、好ましくない。

また、２０重量部を越えると、熱処理硬化後の皮膜特性
が低下する。

以下実施例により本発明を具体的に説明する。

実施例１ シリコーンジアミンとしてシロキサン結合が１５（ｎ−
１５）の下記式で示されるもの３５ｇ（ポリアミック酸
中３５重量％）と３．３　’、４．４　’−ベンゾフェ
ノンテトラカルポン酸二無水物４５ｇと４．４′−ジア
ミノジフェニルエーテル２０ｇをＮ−メチルピロリドン
溶媒中で反応させ、得られたポリアミック酸溶液（固形
分で１００重量部）にＮ−メチルジェタノールアミンジ
メタクリレート６０ｇ（６０重量部）と２−（ｐ−ジメ
チルアミノスチリル）ベンゾオキサゾール３ｇ（３重量
部）と３−７エニルー５−イソオキサシロン６ｇ（６重
量Ｓ）を添加し、室温で混合溶解した。

得られた溶液をアルミ板上にスピンナーで塗布し、乾燥
機により８０℃で１時間乾燥した。

このフィルムにコダック社製フォトグラフィックステッ
プタブレットＮＯ２，２１ステツプ（本グレースケール
では、段数が一段増加するごとに透過光量が前段の１／
１２に減少するので現像後の残存段階が大きいものほど
感度が良い）を重ね、５００　ｍｊ／ａｍ”の紫外線を
照射し、Ｎ−メチルピロリドン６０１ｒ［量％、メタノ
ール４０重量％の現像液を用い現像、さらにイソプロピ
ルアルコールでリンスをしたところ１４段までパターン
が残存し、高感度であることが判つＩ；。

次に、前述と同様な方法でシリコーンウェハー上に塗布
し全面露光し、現像、リンスの各工程を行い、さらに１
５０，２５０．３５０℃で各々３０分熱硬化した。

密着力試験のため１ｍ１１１角に１００ケカツトし、セ
ロテープで引き剥がそうとしたが、１ケも剥がれず、高
密着性であることが判った。

また、別途アルミ板上に塗布し、全面露光、現像、リン
ス、熱硬化したあとアルミ板をエツチングで除去し、フ
ィルムを得た。

得られたフィルムの引張弾性率（ＪＩＳ　Ｋ−６７６０
）は１１０Ｋｇ／ｍｍ”と小さく、熱分解開始温度は４
４０℃と高かった。

この様に高感度であり、かつ高密着、低弾性率、高耐熱
という非常に優れた効果が同時に得られた。

比較例１〜１３ 実施例１の方法に従いシリコーンジアミンのシロキサン
結合数と添加量、感光剤、増感剤、開始剤の種類と添加
量をそれぞれかえ、同様の実験を行い第１表の結果を得
た。

比較例１は開始剤の添加量を０．６重量部にしたもので
、光感度が著しく低くなってしまった。

比較例２は比較例１とは逆に３６重量部にしたもので、
この場合フィルム中に開始剤が残留し、このため熱分解
開始温度が低くなってしまった。

比較例３は本発明以外の開始剤を使用したもので、光感
度が低く、実用的ではなかった。

比較例４は増感剤の添加量を０．３重量部にしたもので
、この場合光感度が著しく低く、架橋も不十分であった
。

比較例５は増感剤量を３３重量部としたもので、この場
合深部への光透過量が不足し、深部の硬化が不十分でボ
イドを発生し、均一なフィルムにはならなかった。

比較例６は本発明以外の増感剤を使用した場合で光感度
が低く、実用的ではなかった。

比較例７は感光剤の添加量を１５重量部にしたもので、
この場合、光感度が低いだけでなく、架橋が不十分なた
め膜減りも大きかった。

比較例８は感光剤の添加量を３００重量部にしたもので
、この場合、高温硬化時の飛散量が多く、クラックが発
生、均一なフィルムが得られなかった。

比較例９は本発明以外の感光剤を使用したもので、単官
能アクリレートであるため露光しても３次元化せず現像
時にすべて流れてしまった。

比較例１０はシリコーンジアミンの添加量を０．５重量
％にしたものであり、この場合５１性率を低下させるこ
とが出来なかった。

比較例１１はシリコーンジアミンの添加量を７５重量％
にしたもので、この場合フィルムがモロクなってしまっ
た。

比較例１２はシリコーンジアミンのシロキサン結合数を
ｎ＝０としたもので、この場合柔軟性に欠けるためフィ
ルム化時点でクラックが発生した。

比較例１３はシロキサンジアミンのシロキサン結合数を
ｎ＝１ｏＯとしたもので、この場合反応性が低く、フィ
ルム化時点で未反応シリコーンが浮き出し、感度も上が
らなかった。

（発明の効果） ポリイミド樹脂の主鎖構造中にシロキサン結合を導入し
、密着性の向上や、弾性率の低下を図る試みは、これま
でもなされてきた。

しかしながら、従来の感光性化技術では、シリコーン変
性したポリイミド樹脂の光感度を向上させる適当な増感
剤、開始剤がなく、良好なパターンを得ることが出来な
かった。

しかるに、本発明では、極めて光感度の高い特殊な増感
剤と開始剤との組み合わせを採用することで、少ない光
照射量で良好なパターンを得ることができるようになっ
た。さらに、熱硬化後のポリイミド樹脂は光硬化したア
クリレート類がすべて飛散するので耐熱性が優れ、また
、シリコーン変性しであるので低弾性率で、しかも高密
着性であるという非常に優れた効果が同時にえられた。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）（Ａ）下記式〔 I 〕で示されるシリコーン系ジ
   アミンを１〜５０重量％含有するポリアミック酸▲数式
   、化学式、表等があります▼ （式中ｎは１〜５０） （Ｂ）下記式〔II〕で示される、１分子中にアクリルま
   たはメタクリル基を２〜３基有する多官能アミノアクリ
   レート ▲数式、化学式、表等があります▼。 （式中Ｒ＿１：−Ｈ、−ＣＨ＿３ Ｒ＿２：−Ｃ＿２Ｈ＿４−、−Ｃ＿３Ｈ＿６−、−ＣＨ
   ＿２ＣＨＯＨＣＨ＿２− Ｒ＿３：−ＣＨ＿３、−Ｃ＿２Ｈ＿５、−Ｃ＿３Ｈ＿７
   、▲数式、化学式、表等があります▼ｌ：２〜３、ｍ：
   ０〜１、ｌ＋ｍ＝３） （Ｃ）下記式〔III〕で示されるスチリル化合物▲数式
   、化学式、表等があります▼ （式中Ｒ＿４：−Ｈ、−ＣＨ＿３、−Ｃ＿２Ｈ＿５、−
   Ｃ＿６Ｈ＿５▲数式、化学式、表等があります▼ （Ｄ）下記式〔IV〕で示されるオキサゾロン化合物 ▲数式、化学式、表等があります▼ （式中Ｒ＿６：▲数式、化学式、表等があります▼ Ｒ＿７：−Ｈ、−ＣＨ＿３、−Ｃ＿２Ｈ＿５、−Ｃ＿３
   Ｈ＿７、−Ｃ＿４Ｈ＿９、−Ｃ＿６Ｈ＿５、−ＯＨ、−
   ＯＣＨ＿３、−ＯＣ＿２Ｈ＿５、−ＯＣ＿３Ｈ＿７、−
   ＯＣ＿４Ｈ＿９、−ＯＣ＿６Ｈ＿５、−ＣＨ＿２Ｃ＿６
   Ｈ＿５、−ＣＨ＿２ＣＨ＿２Ｃ＿６Ｈ＿５、−ＣＨ＿２
   ＯＨ、−ＣＨ＿２ＣＨ＿２ＯＨ、−ＣＨ＿２ＣＨ＿３、
   −ＣＨ（ＣＨ＿３）＿２、−Ｃ（ＣＨ＿３）＿３、−Ｃ
   ＯＣＨ＿３、−ＣＯＣ＿２Ｈ＿５、−ＯＯＣＣＨ＿３、
   −ＯＯＣＣ＿２Ｈ＿５、−ＣＨ＿２ＮＨ＿２、−ＣＨ＿
   ２ＣＨ＿２ＮＨ＿２、−ＣＯＮＨ＿２、−ＣＯＮＨＣＨ
   ＿３、 −ＣＯＮ（ＣＨ＿３）＿２、−ＣＯＮＨＣ＿２Ｈ＿５、
   −ＣＯＮ（Ｃ＿２Ｈ＿５）＿２、−ＮＨＣＨ＿３、−Ｎ
   （ＣＨ＿３−Ｎ（Ｃ＿２Ｈ＿５）＿２、） を必須成分とし（Ａ）１００重量部に対して（）２０〜
   ２００重量部、（Ｃ）１〜１０重量部び（Ｄ）１〜２０
   重量部を配してなる感光性樹組成物。