JPH03206453A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は密着性が良く、弾性率が小さく、高感度で高耐
熱の感光性ポリイミド樹脂組戊物に関するものである。

（従来の技術） 従来、半導体素子の表面保護膜、層間絶縁膜などには、
耐熱性が優れ、また卓越した電気的特性、機械的特性な
どを有するポリイミド樹脂が用いられているが、近午半
導体素子の高集積化、大型化、封止樹脂パッケージの薄
型化、小型化、半田リフローによる表面実装方式などへ
の移行により耐熱サイクル性、耐熱ショック性等の著し
い向上の要求かあり、これまでのポリイミド樹脂では、
対応が困難となってきた。

この対策として、例えばポリイミド樹脂にシリコーン戒
分を導入して、密着性を上げ弾性率を低くすることが知
られている。（特開昭６１−６４７３０号公報、特開昭
６２−２２３２２８号公報等）方、ポリイミド樹脂自身
に感光性を付与する技術か最近注目を集めてきた。

これらの感光性を付与したポリイミド樹脂を使用すると
、付与していないポリイミド樹脂に比較してパターン作
戊工程の簡素化効果があるだけでなく、毒性の強いエッ
チング液を使用しなくてすむので、安全、公害上も優れ
ており、ポリイミド樹脂の感光性化はポリイミド樹脂の
高密着、低弾性率化とともに今後一層重要な技術となる
ことが期待されている。

感光性ポリイミド樹脂としては、例えば下式で示される
ような構造のエステル基で感光性基を付与したポリイミ
ド前駆体組戊物（特公昭５５−３０２０７号公報、 特公昭５５−４１４２２号公報）あるいは下式（Ｒ′゛
京・Ｒ・゛◇０◇） で小されるような構造のポリアミンク厳に化学線により
２量化、または重合可能な炭素一炭素二重結合およびア
ミ７基または、その四級化塩を含む化合物を添加した組
戒物（例えば特開昭５４−１４５７９４号公報）などが
知られている。

これらは、いずれも適当な有機溶剤に溶解し、ワニス状
態で塗布、乾燥した後、７ォ１・マスクを介して紫外線
照射し、現像、リンス処理して所望のパターンを得、さ
らに加熱処理することによりポリイミド被膜としている
。

しかし、かかる従来の感光化技術をポリイミド樹脂戊分
にシリコーン基を導入した高密着、低弾性率のポリイミ
ド樹脂に適用すると、紫外線を照射してもパターニング
することは難しいか、または著しく感度が低く、半導体
工業で通常用いられている露光装置で処理するには不十
分であった。

更には、これらの感光性ポリイミド樹脂の膜厚を厚くし
ていくと光感度が極端に低下してしまい、適正露光時間
が極端に長くなってしまうという欠点があった。

（発明が解決しようとする課題） 本発明の目的とするところは、ポリアミック酸中にシリ
コーン基を導入して密着性を向上させ、弾性率を低下さ
せたにもかかわらず高感度の光硬化性を有し、さらに硬
化後の被膜の耐熱性に優れた感光性樹脂組戒物を提供す
るにある。

（課題を解決するための手段） 本発明は下記の一般式〔Ｉ〕で示されるシリコーン系ジ
アミンを１〜５０重量％含有するポリアミック酸（Ａ）
と、感光剤として１分子中にアクリルまたはメタクリル
基を２基以上有し、分子量が５００以下の多官能アクリ
レート（Ｂ）と増感剤として下記一般式（Ｉ［）で示さ
れるビスクマリン化合物（Ｃ） ｎ と開始剤として下記一般式〔■〕で示されるオキサゾロ
ン化合物（Ｄ） とを必須戊分とし（Ａ）１００重量部に対し、感光剤（
Ｂ）２０〜２００重量部、増感剤（Ｃ）　１〜１０重量
部および開始剤（Ｄ）１〜２０重量部を配してなる感光
性樹脂組成物を用いることにある。

（作用） 本発明において用いる一般式（１）で示されるシリコー
ン系ジアミンはポリイミド被膜の密着性を向上させ、弾
性率を低下させる効果を有する。

シリコーン系ジアミンの重合度ｎは１〜５０であること
が必要であり、ｎが１未満であると密着性を向上させ、
弾性率を低下させる効果が得られず、またｎが５０を越
える長鎖シリコーン系ジアミンを使用すると、テトラカ
ルポン酸二無水物との反応が定量的に進行しにくくなり
、未反応物として残存し、分子量が大きくならないばか
りか柔軟性を低下させ、クラックを発生し易くなるので
好ましくない。

またシリコーン系ジアミンの使用量は、ポリアミンク酸
戊分に対して１〜５０重量％が好ましい。

ト重量％未満では密着性の向上、弾性率の低下の効果が
得られず、また５０重量％を越えると耐熱性が著しく低
下し、ポリイミド樹脂本来の特徴が得られなくなるので
好ましくない。

本発明で使用するジアミン戊分としては上記のシリコー
ン系ジアミンの他に各種特性を付与するために以下に挙
げるような芳香族ジアミンも勿論使用することができる
。

例えばｍ−７エニレンージアミン、ｌ−イソプロビル２
．４−７エニレンージアミン、ｐ−７エニレンージアミ
ン、４．４’−ジアミノージフエニルプロパン、３．３
’−ジアミノージフエニルプロパン、４．４’−ジアミ
ノージ７エニルエタン、３．３’−シアミノージ７エニ
ルエタン、４．４′−ジアミノ＝ジフェニルメタン、３
．３’−ジアミノージフェニルメタン、４．４’−ジア
ミノージフェニルスルフィド、３．３’−ジアミノージ
フェニルスルフィＦ、．　４．４　’−’；アミノージ
７エニルスルホン、３．３　’−ジアミノージフェニル
スルホン、４．４’−ジアミノージフェニルエーテル、
３．３’−，’アミノージフ工二ルエーテル、ベンジジ
ン、３．３’−シアミノービ７エニル、３．３′−ジメ
チル−４．４′−ジアミノービフェニル、３，３′−ジ
メトキンーベンジジン、４．４”−ジアミノーｐ−テル
フエニル、３．３”−シアミノーｐ−テルフェニル、ビ
ス（ｐ−アミノーンクロヘキンル）メタン、ビス（ｐ一
β−アミノーし−プチルフェニル）エーテル、ビス（ｐ
一β−メチルートアミノペンチル）ベンゼン、ｐ−ビス
（２−メチル−４−アミノーペンチル）ベンゼン、ｐ−
ビス（１．１−ジメチル−５−アミノーペンチル）ベン
ゼン、１．５−ジアミノーナフタレン、２．６−ジアミ
ノーナフタレン、２．４−ヒス（β−アミノーｔ−ブチ
ル）トルエン、２．４−ジアミノ−トルエン、ｍ−キン
レン−２．５−ジアミン、ｐ−キシレン−２．５−ジア
ミン、ｍ−キシリレンージアミン、ｐ−キシリレンージ
アミン、２６−ジアミノーピリジン、２．５−ジアミノ
ーピリジン、２．５−ジアミノー１，３．４−オキサジ
アゾール、１．４−ジアミノシクロヘキサン、ピベラジ
ン、メチレンージアミン、エチレンージアミン、プロピ
レンージアミン、２，２−ジメチループロピレンージア
ミン、テトラメチレンージアミン、ペンタメチレンージ
アミン、ヘキサメチレンージアミン、２．５−ジメチル
ーへキサメチレンージアミン、３−ノトキンーヘキサメ
チレンージアミン、ヘプタメチレンージアミン、２．５
−ジメチルーへブタメチレンージアミン、３−メチルー
へブタメチレンージアミン、４．４−ジメチルーへブタ
メチレンージアミン、オクタメチレンージアミン、ノナ
メチレンージアミン、５−メチル−７ナメチレンージア
ミン、２．５−ジメチルーノナメチレンージアミン、デ
カメチレンージアミン、ｌ，１０−ジアミノ−１，１０
−ジメチルーデカン、２．１１−ジアミノードデカン、
１．１２−ジアミノーオクタデカン、２．１２−ジアミ
ノーオクタデカン、２．１７−ジアミノーアイコサンな
どがあげられるが、これらに限定されるものではない。

ジアミン戊分と反応させるテトラカルポン酸二無水物戒
分は１種類でも、２種類以上の混合物でもかまわないが
、用いられるテトラカルポン酸二無水物としては、例え
ばピロメリット酸二無水物、ベンゼン−１．２，３，４
，−テトラカルポン酸二無水物、３．３　’，４．４　
’−ペンゾフエノンテトラヵルポン酸二無水物、２．２
　’．３．３　’−ベンゾフエノンテトラカルポン酸二
無水物，　２，３．３　’，４　’−ベンゾフエノンテ
トラカルボン酸二無水物、ナフタレン−２．３．６．７
−テトラカルポン酸二無水物、ナフタレン−１．２，５
．６−テトラカルボン酸二無水物、ナ７タレン−１．２
，４．５−テトラカルポン酸二無水物、ナフタレン−１
．４，５，８テ１・ラカルポン酸二無水物、ナフタレン
−１．２，６．７テトラカルボン酸二無水物、４．８−
ジメチルーｌ．２，３．５．６．７−ヘキサヒド口ナフ
タレン−１．２．５．６−テトラカルポン酸二無水物、
４，８，−ジメチル−１．２．３．５，６．７−へキサ
ヒド口ナフタレン−２．３．６．７−テトラヵルポン酸
二無水物、２．６−ジクロ口ナフタレン−１．４，５．
８−テトラカルポン酸二無水物、２，７−ジクロロナフ
タレン−１．４，５．８−テトラカルポン酸二無水物、
２．３，６．７−テトラクロ口ナフタレン−１．４，５
．８−テトラカルポン酸二無水物、１，４，５．８−テ
トラクロ口ナ７タレン−２．３．６．７−テトラカルポ
ン酸二無水物、３．３’，４．４　’−ジフェニルテト
ラカルポン酸二無水物、２，２　’．３．３　’−ジフ
ェニルテトラカルボン酸二無水物、２，３．３　’，４
　’−ジフエニルテトラカルポン酸二無水物、３．３　
”　．４．４　”−ｐ−テルフェニルテトラカルポン酸
二無水物、２．２　”　．３．３　”−ｐ−テルフェニ
ルテトラカルポン酸二無水物、２，３．３　”　，４　
”−ｐ−テル７エニルテ１−ラカルボン酸二無水物、２
，２−ビス（２．３−ジカルポキシフェニル）一プロパ
ンニ無水物、２．２−ビス（３，４．−ジカルポキシフ
ェニル）〜プロパンニ無水物、ビス（２．３−ジカルポ
キシフェニル）エーテルニ無水物、ビス（３．４−ジカ
ルボキンフェニル）エーテルニ無水物、ビス（２．３−
ジカルポキシフエニル）メタン二無水物、ビス（３．４
−ジカルポキシフェニル）メタンニ無水物、ビス（２．
３−ジカルボキシ７エニル）スルホンニ無水物、ビス（
３．４−ジカルポキシフエニル）スルホンニ無水物、１
．１−ビス（２．３−ジカルポキ７フェニル）エタンニ
無水物、ｘ．ｔ−ヒス（３．４−シカルポキシフエニル
）エタンニ無水物、ペリレン−２，３，８．９−テトラ
カルポン酸二無水物、ペリレン−３．４，９．１０−テ
トラカルポン酸二無水物、ペリレン−４．５．１０．１
１−テトラカルボン酸二無水物、ペリレン−５，６，１
１．１２−テトラカルポン酸二無水物、フェナンスレン
−１．２，７．８−テトラカルポン酸二無水物、フェナ
ンスレン−１．２，６．７−テトラカルポン酸二無水物
、フェナンスレン−１．２，９．１０−テトラカルポン
酸二無水物、シクロペンタン−１．２，３．４−テ１・
ラカルポン酸二無水物、ピラジン−２．３．５．６−テ
トラカルポン酸二無水物、ビロリジン−２．３，４．５
−テトラカルポン酸二無水物、チオフェン−２．３，４
．５−テトラカルポン酸二無水物などがあげられるが、
これらに限定するものではない。

本発明における（Ｂ）戊分の多官能アクリレートは１分
子中に２個以上のアクリル基またはメタクリル基を有す
る分子量が５００以下のアクリル化金物である。

１分子中にアクリル基が１個である単官能アクリレート
では、光照射しても架橋構造が得られないので、光パタ
ーニングできず、好ましくない。

また、分子量が５００以上であると、均一に溶解させる
ことが困難であるばかりでなく、熱壇化のための加熱処
理でも熱飛散せずポリイミド被膜中に残存し、耐熱性が
著しく低下するので好ましくない。

多官能アクリレート（Ｂ）としては、エチレングリコー
ノレジアクリレート、エチレングリコーノレジメタクリ
レート、ｌ，４−ブタンジオールジアクリレート、ジエ
チレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコー
ルジメタクリレート、１．４−ブタンジオールジメタク
リレ−１・、１．６−ヘキサンジオールジアクリレート
、１．６−ヘキサンジオールジメタクリレート、不才ペ
ンチルグリコールジアクリレ−１・、ネオペンチルグリ
コールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリア
クリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート
、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、トリメ
チロール７ロパントリアクリレート、トリメチロールプ
ロパントリメタクリレート、ビスフェノールＡジメタク
リレートなどであるが、これらに限定されない。

また、多官能アクリレートの配合量はポリアミド酸の固
形分１００重量部に対して、２０〜２００重ｆｆｉ部で
あることが好ましい。

配合量が２０１ｉ量部未満であると充分な光架橋物が得
られず、現像時にすべて溶解してしまうので好ましくな
い。

また配合量が２００重量部を越えると、添加量が多いた
め有効に光架橋した場合でも熱処理をした際に飛散収縮
が大きく、クラ／クが生じやすくなるので好ましくない
。

本発明における（Ｃ）成分の増感剤は下記式（ＩＩ）ｎ （式中Ｒ，，Ｒ．：一Ｈ，アルコキシ基，ジアルキルア
ミノ基） で示される３位にカルポニル置換されたビスクマリン化
合物である。

このビスタマリン化合物としては、例えば３．３’−カ
ルポニルービス（７−ジエチルアミノクマリン）、３．
３′一カルポニルービス（５．７−ジメトキシ力ルポニ
ルクマリン）などがあげられるが、これに限定されるも
のではない。

感光性樹脂組戊物に用いられる増感剤としてはペンゾフ
エノン、アセトフエノン、アントロン、ｐ，ｐ′−テト
ラメチルジアミノペンゾ７エノン（ミヒラーケトン）、
フェナントレン、２−ニトロ７ルオレン、５−ニトロア
セナフテン、ペンゾキノン、Ｎアセチルーｐ−ニトロア
ニリン、ｐ−ニトロアニリン、２−エチルアントラキノ
ン、２−ターシャリーブチルアントラキノン、Ｎ−アセ
チルー４−ニトロ−ｌ−ナフチルアミン、ピクラミド、
ｌ２−ペンズアンスラキノン、３−メチノレ−１．３−
ジアザー１．９−ペンズアンスロン、ｐ．ｐ　’−テト
ラエチルジアミノベンゾ７エノン、２一クロロー４−二
１・ロアニリン、ジベンザルアセトン、１．２−ナフト
キノン、２．５−ビス−（４′−ジエチルアミノベンザ
ル）一シクロベンタン、２．６−ビスー（４’−ジエチ
ルアミノベンザル）一シクロヘキサノン、２．６ビスー
（４′−ジメチルアミノペンザル）−４−メチルーシク
ロヘキサノン、２．６−ビス−（４′−ジエチルアミノ
ベンザル）−４−メチルーシクロへキサノン，４．４’
−ビス−（ジメチルアミノ）一カルコン、４．４’−ビ
スー（ジエチルアミノ）一カルコン、ｐ−ジメチルアミ
ノペンジリデンインダノン、ｌ，３−ビス−（４′−ジ
メチルアミノベンザル）一アセトン、ｌ，３−ビス−（
４′−ジエチルアミノベンザル）一アセトン、Ｎ−７エ
ニルージエタノールアミン、Ｎ−ｐ一トリルージエチル
アミンなどがあげられるが、本発明に於いて見いだされ
たビスタマリン化合物は、本発明において開始剤として
用いるオキサゾロン化合物との組み合わせで用いること
によってのみ、驚くほど優れた増感効果を示す。この驚
くべき相乗効果がいかにして発現されるのか、その理由
は今のところ明確ではない。

なお、ビスタマリン化合物の配合量はポリアミック酷１
００重量部に対して１重量部以上、ｌＯ重量部以下が最
も好ましく、ビスクマリン化合物以外の増感剤もこれに
併用しても差し支えがない。

ビスタマリン化合物の配合量が１重量部未満であると、
光エネルギーの吸収量が不足し架橋が不十分となり、ま
た、１０重量部を越えると、光エネルギーの透過量が不
足し、深部の光硬化が迅速に進まず好ましくない。

本発明における（Ｄ）戊分の開始剤は下記式（Ｉ［ｌ］
？４　：−Ｈ，−ＣＨｓ．−ＣｔＨｓ．−ＣｓＨｒ．−
Ｃ４Ｈｓ，−Ｃ，Ｈ，，一〇Ｈ，−ＯＣＲ，，−○Ｃ，
Ｈ５，−○Ｃ，Ｈ，，　　一〇Ｃ＋Ｈ＊．−ＯＣｉＨｓ
，一ＣＨ，Ｃ，Ｈ５，　　一ＣＨ．ＣＨ■Ｃ．Ｈ，，Ｃ
Ｈ．ＯＨ，−ＣＨ２ＣＨ２０Ｈ， ＣＨ，ＣＨ３．−ＣＨ（ＣＨｓ）：． Ｃ（ＣＨｘ）＞，−ＣＯＣＨ３．−ＣＯＣ２ＨＳ，−Ｏ
ＯＣＣＨｓ，−００ＣＣ２Ｈｓ　，−ＣＨ，ＮＨ２，−
ＣＨ２ＣＨ２ＮＨ２，−ＣＯＮＨ２．　一ＣＯＮＨＣＨ
ｓ， Ｃ　Ｏ　Ｎ　（　Ｃ　Ｈ　３　）　ｚ　，　−　Ｃ　Ｏ
　Ｎ　Ｈ　Ｃ　ｔ　Ｈ　ｓ　，−ＣＯＮ（Ｃ．ＨＳ）２
，−Ｎ｝｛Ｃ｝ｌ，，Ｎ（ＣＨ３）２，−Ｎ（Ｃ２Ｈ，
）２，）で示される芳香族基を持ったオキサゾロン化合
物である。

感光性樹脂組戊物に用いられる開始剤としては２，２−
ジメトキシー２−７ェニノレーアセト７エノン、ｌ−ヒ
ドロキシーシク口へキシルーフェニルケトン、２−メチ
ル−［４−（メチルチオ）フェニル］−２一モル７オリ
ノｌ−プロパン、　３．３　’４．４　’−テトラー（
Ｌ−プチルバーオキン力ルポニル）ペンゾフエノン、ベ
ンジル、ペンゾインーイソプ口ピルエーテル、ペンゾイ
ンイソブチルエーテル、４４′−ジメトキンベンジル、
＋，＋−シヘンゾイルベンゼン、４−ペンゾイルビフエ
ニル、２−ペンゾイルナフタレン、メチル一〇−ペンゾ
イルベンゾエート、２．２’−ビス（ｏ−クロロフエニ
ル）−４．４　’５．５　’−テｉ−ラフエニルー１．
２′−ビイミダゾール、ｌＯ−ブチルー２−クロロアク
リドン、エチル４−ジメチルアミノベンゾエ−１・、ジ
ベンゾイルメタン、２，４−ジエチルチオキサントン、
３．３−ジメチル−４−メトキン−ペンゾフェノン、２
−ヒドロキシ２−メチルーｌ−フエニルプロパンーｌ一
オン、ｌ−（４−インプロビルフェニル）−２−ヒドロ
キシ−２−メチルプロパン−１−オン、ｌ−（４−ドデ
シルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン
−１−オン、ｌ−７ｚニルーＬ２−ブタンジオンー２−
（ｏ−メトキシカルポニル）オキシム、１−７エニルー
プロパンブタンジオンー２−（　ｏ　−ベンゾイル）オ
キシム、ｌ，２−ジフェニルーエタンジオンーＬ（ｏ−
ベンゾイル）オキシム、１．３−ジフエニループロパン
ｌ・リオンー２−（　ｏ−ベンゾイル）オキシム、ｌ−
フェニルー３−エトキシープロパントリオン−２（０−
ベンゾイル）オキシムなどが使用されているが、本発明
に於いて見いだされたオキサゾロン化合物は、増感剤と
してのビスタマリン化合物との組み合わせによって、他
の開始剤にくらべて格段の光反応開始効果を示した。

この驚くへき効来がいかにして発現されるのかその理由
は現在のところ明確ではない。

むお、オキサゾロン化合物の配合量は、ポリアミック酸
１００重量部に対してｌ〜２０重量部を必須とし、オキ
サゾロン化合物以外の開始剤もこれと併用しても差し支
えない。

開始剤としてのオキサゾロン化合物が１重量部未満であ
ると光感度が十分でなく、好ましくない。

まＩ；、２０重量部を越えると、熱処理硬化後の皮膜特
性が低下する。

以下実施例により本発明を具体的に説明する。

実施例ｌ ンリコーンジアミンとしてシロキサン結合が１５（ｎ　
＝　１　５）の下記式で示されるもの３５ｇ（ポリアミ
ック酸中３５重量％）と３．３　’，４．４　’−ベン
ゾフェノンテトラカルポン酸二無水物４５ｇと４．４′
−ジアミノジフェニルエーテル２０ｇをＮ−メチルピロ
リドン溶媒中で反応させ、得られたポリアミ／ク酸溶液
（固形分で１００重量部）に１．４ブタンジオールジメ
タクリレート６０ｇ（６０重量部）と３．３′一カルポ
ニルービス（７−ジエチルアミノクマリン）３ｇ（３重
量部）と３−７ェニルー５−インオキサゾロン６ｇ（６
重量部）を添加し、室温で混合溶解した。

得られた溶液をアルミ板上にスピンナーで塗布し、乾燥
機により８０゜Ｃで１時間乾燥した。

このフイルムにコダック社製フォトグラフィックステッ
プタブレットＮｏ２．２１ステップ（本グレースケール
では、段数が一段増加するごとに透過光量が前段のＬ／
Ｊ２に減少するので現像後の残存段階が大きいものほど
感度が良い）を重ね、５０　０ｍｊ／ｃｍ２の紫外線を
照射し、Ｎ−メチルピロリドン６０重量％、メタノール
４０重量％の現像液を用い現像、さらにイソプロビルア
ルコールでリンスをしたところ１４段までパターンが残
存し、高感度であることが判った。

次に、前述と同様な方法でシリコーンウエノ＼一上に塗
布し全面露光し、現像、リンスの各工程を行い、さらに
１５０，２５０，３５０℃で各々３０分熱硬化した。

密着力試験のためｌ　ｍｍ角に１００ケカットし、セロ
テーブで引き剥がそうとしたが、１ヶも剥がれず、高密
着性であることが判った。

また、別途アルミ板上に塗布し、全面露光、現像、リン
ス、熱硬化したあとアルミ板をエッチングで除去し、フ
イルムを得た。

得られたフイルムの引張弾性率（ＪＩＳ　Ｋ−６７６０
）は１　０　０　Ｋｇ／ｍｍ２と小さく、熱分解開始温
度は４４０℃と高かった。

この様に高感度であり、かつ高密着、低弾性率、高耐熱
という非常に優れた効果が同時に得られた。

比較例１〜１３ 実施例ｌの方法に従いシリコーンジアミンのシロキサン
結合数と添加量、感光剤、増感剤、開始剤の種類と添加
量をそれぞれかえ、同様の実験を行いｗｃｌ表の結果を
得た。

比較例１は開始剤の添加量を０．６ｆｔｆｔ部にしたも
ので、光感度が著しく低くなってしまった。

比較例２は比較例ｉとは逆に３０重量部にしたもので、
この場合フイルム中に開始剤が残留し、このため熱分解
開始温度が低くなってしまった。

比較例３は本発明以外の開始剤を使用したもので、光感
度が低く、実用的ではなかった。

比較例４は増感剤の添加量を０．３重量部にしたもので
、この場合光感度が著しく低く、架橋も不十分であった
。

比較例５は増感剤量を２５重量部としたもので、この場
合深部への光透過量が不足し、深部の硬化が不十分でポ
イドを発生し、均一なフイルムにはならなかった。

比較例６は本発明以外の増感剤を使用した場合で光感度
が低く、実用的ではなかった。

比較例７は感光剤の添加量を１５重量部にしたもので、
この場合、光感度が低いプごけでなく、架橋が不十分な
ため膜減りも大きかった。

比較例８は感光剤の添加量を３００重量部にしたもので
、この場合、高温硬化時の飛散量が多く、クラックが発
生、均一なフイルムが得られなかつｌ二。

比較例９は本発明以外の感光剤を使用したもので、単官
能アクリレートであるため露光しても３次元化せず現像
時にすべて流れてしまった。

比較例１０はシリコーンジアミンの添加量を０．５重量
％にしたものであり、この場合弾性率を低下させること
が出来なかった。

比較例１１はシリコーンジアミンの添加量を７５重量％
にしたもので、この場合フイルムがモロクなってしまっ
た。

比較例ｌ２はシリコーンジアミンのシロキサン結合数を
ｎ＝ｏとしたもので、この場合柔軟性に欠けるためフイ
ルム化時点でクラックが発生した。

比較例ｌ３はシロキサンジアミンのシロキサン結合数を
ｎ＝ｌｏＯとしたもので、この場合反応性が低く、フイ
ルム化時点で未反応シリコーンが浮き出し、感度も上が
らなかった。

（発明の効果） ポリイミド樹脂の主鎖構造中にンロキサン結合を導入し
、密着性の向上や、弾性率の低下を図る試みは、これま
でもなされてきた。

しかしながら、従来の感光性化技術では、シリコーン変
性したポリイミド樹脂の光感度を向上させる適当な増感
剤、開始剤がなく、良好なパターンを得ることが出来な
かった。

しかるに、本発明では、極めて光感度の高い特殊な増感
剤と開始剤との組み合わせを採用することで、少ない光
照射量で良好なパターンを得ることができるようになっ
た。さらに、熱硬化後のポリイミド樹脂は光硬化したア
クリレート類がすべて飛散するので耐熱性が優れ、また
、シリコーン変性してあるので低弾性率で、しかも高密
着性であるという非常に優れた効果が同時にえられた。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）（Ａ）下記式〔 I 〕で示されるシリコーン系ジ
   アミンを１〜５０重量％含有するポリアミック酸▲数式
   、化学式、表等があります▼−−−−−〔 I 〕 （式中ｎは１〜５０） （Ｂ）１分子中にアクリルまたはメタクリル基を２基以
   上有し、分子量が５００以下の多官能アクリレート （Ｃ）下記式〔II〕で示される３位にカルボニル置換さ
   れたビスクマリン化合物 ▲数式、化学式、表等があります▼−−−−−−−〔I
   I〕 （式中Ｒ＿１、Ｒ＿２：−Ｈ、アルコキシ基、ジアルキ
   ルアミノ基） （Ｄ）下記式〔III〕で示されるオキサゾロン化合物 ▲数式、化学式、表等があります▼−−−−−〔III〕 （式中Ｒ＿３：▲数式、化学式、表等があります▼、▲
   数式、化学式、表等があります▼、 Ｒ＿４：−Ｈ、−ＣＨ＿３、−Ｃ＿２Ｈ＿５、−Ｃ＿３
   Ｈ＿７、−Ｃ＿４Ｈ＿９、−Ｃ＿６Ｈ＿５、−ＯＨ、−
   ＯＣＨ＿３、−ＯＣ＿２Ｈ＿５、−ＯＣ＿３Ｈ＿７、−
   ＯＣ＿４Ｈ＿９、−ＯＣ＿６Ｈ＿５、−ＣＨ＿２Ｃ＿６
   Ｈ＿５、−ＣＨ＿２ＣＨ＿２Ｃ＿６Ｈ＿５、−ＣＨ＿２
   ＯＨ、−ＣＨ＿２ＣＨ＿２ＯＨ、−ＣＨ＿２ＣＨ＿３、
   −ＣＨ（ＣＨ＿３）＿２、−Ｃ（ＣＨ＿３）＿３、−Ｃ
   ＯＣＨ＿３、−ＣＯＣ＿２Ｈ＿５、−ＯＯＣＣＨ＿３、
   −ＯＯＣＣ＿２Ｈ＿５、−ＣＨ＿２ＮＨ＿２、−ＣＨ＿
   ２ＣＨ＿２ＮＨ＿２、−ＣＯＮＨ＿２、−ＣＯＮＨＣＨ
   ＿３、 −ＣＯＮ（ＣＨ＿３）＿２、−ＣＯＮＨＣ＿２Ｈ＿５、
   −ＣＯＮ（Ｃ＿２Ｈ＿５）＿２、−ＮＨＣＨ＿３、−Ｎ
   （ＣＨ＿３）＿２、−Ｎ（Ｃ＿２Ｈ＿５）＿２、） を必須成分とし（Ａ）１００重量部に対して（Ｂ）２０
   〜２００重量部、（Ｃ）１〜１０重量部及び（Ｄ）１〜
   ２０重量部を配してなる感光性樹脂組成物。