JPH0389351A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は密着性が良く、弾性率が小さく、高感度で高耐
熱の感光性ポリイミド樹脂組成物に関するものである。

（従来の技術） 従来、半導体素子の表面保護膜、眉間絶縁膜などには、
耐熱性が優れ、また卓越した電気的特性、機械的特性な
どを有するポリイミド樹脂が用いられているが、近年半
導体素子の高集積化、大型化、封止樹脂パッケージの薄
型化、小型化、半田リフローによる表面実装方式などへ
の移行により耐熱サイクル性、耐熱ショック性等の著し
い向上の要求があり、これまでのポリイミド樹脂では、
対応が困難となってきた。

この対策として、例えばポリイミド樹脂にシリコーン成
分を導入して、密着性を上げ弾性率を低くすることが知
られている。（特開昭６１−６４７３０号公報、特開昭
６２−２２３２２８号公報等）一方、ポリイミド樹脂自
身に感光性を付与する技術が最近注目を集めてきた。

これらの感光性を付与したポリイミド樹脂を使用すると
、付与していないポリイミド樹脂に比較してパターン作
成工程の簡素化効果があるだけでなく、毒性の強いエツ
チング液を使用しなくてすむので、安全、公害上も優れ
ており、ポリイミド樹脂の感光性化はポリイミド樹脂の
高密着、低弾性率化とともに今後−層重要な技術となる
ことが期待されている。

感光性ポリイミド樹脂としては、例えば下式で示される
ような構造のエステル基で感光性基を付与したポリイミ
ド前駆体組放物（特公昭５５−３０２０７号公報、特公
昭５５−４１４２２号公報）あるいは下式で示されるよ
うな構造のポリアミック酸に化学線により２量化、また
は重合可能な炭素−炭素二重結合およびアミノ基または
、その四級化塩を含む化合物を添加した組成物（例えば
特開昭５４−１４５７９４号公報）などが知られている
。

これらは、いずれも適当な有機溶剤に溶解し、ワニス状
態で塗布、乾燥した後、フォトマスクを介して紫外線照
射し、現像、リンス処理して所賃のパターンを得、さら
に加熱処理することによりポリイミド被膜としている。

しかし、かかる従来の感光化技術をポリイミド樹脂成分
にシリコーン基を導入した高密着、低弾性率のポリイミ
ド樹脂に適用すると、紫外線を照射してもパターニング
することは離しいか、または著しく感度が低く、半導体
工業で通常用いられている露光装置で処理するには不十
分であった。

更には、これらの感光性ポリイミド樹脂の膜厚を厚くし
ていくと光感度が極端に低下してしまい、適正露光時間
が極端に長くなってしまうという欠点があった。

（発明が解決しようとする課題） 本発明の目的とするところは、ポリアミック酸中にシリ
コーン基を導入して密着性を向上させ、弾性率を低下さ
せたにもかかわらず高感度の光硬化性を有し、さらに硬
化後の被膜の耐熱性に優れた感光性樹脂組成物を提供す
るにある。

（課題を解決するための手段） 本発明は下記の一般式ＣＩ）で示されるシリコーン系ジ
アミンを１〜５０重量％含有するポリアミック酸（Ａ）
と、感光剤として下記の一般式（ｎ）で示される、１分
子中にアクリルまたはメタクリル基を２〜３基有する多
官能アミノアリル化合物（Ｃ） と開始剤として下記一般式〔■〕で示されるグリシン化
合物（Ｄ） とを必須成分としくＡ）１００重量部に対し、感光剤（
Ｂ）２０〜２００重量部、増感剤（Ｃ）　１〜１０重量
部および開始剤（Ｄ）１〜２０重量部を配してなる感光
性樹脂ｍ酸物を用いることにある。

（作用） 本発明において用いる一般式（１）で示されるシリコー
ン系ジアミンはポリイミド被膜の密着性を向上させ、弾
性率を低下させる効果を有する。

シリコーン系ジアミンの重合度ｎは１〜５０であること
が必要であり、ｎが１未満であると密着性を向上させ、
弾性率を低下させる効果が得られず、またｎが５０を越
える長鎖シリコーン系ジアミンを使用すると、テトラカ
ルボン酸二無水物との反応が定量的に進行しにくくなり
、未反応物として残存し、分子量が大きくならないばか
りか柔軟性を低下させ、クラックを発生し易くなるので
好ましくない。

またシリコーン系ジアミンの使用量は、ポリアミック酸
成分に対して１〜５０重量％が好ましい。

１重量％未満では密着性の向上、弾性率の低下の効果が
得られず、また５０重量％を越えると耐熱性が著しく低
下し、ポリイミド樹脂本来の特徴が得られなくなるので
好ましくない。

本発明で使用するジアミン成分としては上記のシリコー
ン系ジアミンの他に各種特性を付与するために以下に挙
げるような芳香族ジアミンも勿論使用することができる
。

例えばｒフェニレン−ジアミン、１−インフロピル−２
，４−７エニレンージアミン、ｐ−７エニレンージアミ
ン、４．４’−ジアミノ−ジフェニルプロパン、３．３
’−ジアミノージフェニルプロパン、４．４’−ジアミ
ノ−ジフェニルエタン、３．３’−ジアミノ−ジフェニ
ルエタン、４．４’−ジアミノ−ジフェニルメタン、３
．３’−ジアミノ−ジフェニルメタン、４．４’−ジア
ミノ−ジフェニルスルフィト、３　＊　３　’−ジアミ
ノ−ジフェニルスルフィド、４．４’−ジアミノ−ジフ
ェニルスルホン、３．３’−’；アミノージフェニルス
ルホンミノ−ジフェニルエーテル、３．３’−ジアミノ
−ジフェニルエーテル、ベンジジン、３１３’−ジアミ
ノ−ビフェニル、３．３′−ジメチル−４．４′−ジア
ミノ−ビフェニル、３．３′−ジメトキシ−ベンジジン
、４．４”−ジアミノ−ｐ−テルフェニル、３．３”−
ジアミノ−ｐ−テルフェニル、ビス（ｐ−アミノ−シク
ロヘキシル）メタン、ビス（ｐ−β−アミノ−ｔ−プチ
ルフェニノリエーテル、ビス（ｐ−β−メチル−ドアミ
ノペンチＪし）ベンゼン、ｐ−ビス（２−メチル−４−
アミノ−ペンチル）ベンゼン、ｐ−ビス（１．１−ジメ
チル−５−アミノ−ペンチル）ベンゼン、ｌ，５−ジア
ミノ−ナフタレン、２．６−シアミツーナフタレン、２
．４−ビス（β−アミノ−１−メチル）トルエン、２．
４−ジアミノ−トルエン、−キシレン−２，５−ジアミ
ン、ｐ−キシレン−２．５−ジアミン、ｍ−キシリレン
−ジアミン、ｐ−キシリレン−ジアミン、２．６−シア
ミツーピリジン、２．５−ジアミノ−ピリジン、２．５
−ジアミノ−１．３．４−オキサジアゾール、１．４−
ジアミノ−シクロヘキサン、ピペラジン、メチレン−ジ
アミン、エチレン−ジアミン、フロピレン−ジアミン、
２、２−ジメチル−プロピレン−ジアミン、ヲ　ンメチ
レンージアミン、ペンタメチレンージアミ，、ヘキサメ
チレン−ジアミン、２．５−ジメチル−、ヘキサメチレ
ン−ジアミン、３−メトキシ−ヘキサメチレン−ジアミ
ン、ヘプタメチレンージアミン、２．５−ジメチル−へ
ブタメチレン−ジアミン、３−メチル−ヘプタメチレン
−ジアミン、４．４−ジメチル−へブタメチレン−ジア
ミン、オクタメチレン−シア　／、ノナメチレン−ジア
ミン、５−メチル−ノナ７　　ンージアミン、２．５−
ジメチル−ノナメチレン−ν　ミノ、デカメチレン−ジ
アミン、ｔ．ｉｏ−ジアミノ−１．１０−ジメチル−デ
カン、２．１１−ジアミノ−ドデカン、１．１２−ジア
ミノ−オクタデカン、２．１２−ジアミノ−オクタデカ
ン、２．１７−シアミツーアイコサンなどがあげられる
が、これらに限定されるものではない。

ジアミン成分と反応させるテトラカルボン酸二無水物成
分は１種類でも、２種類以上の混合物でもかまわないが
、用いられるテトラカルボン酸二無水物としては、例え
ばピロメリット酸二無水物、ベンゼン−１，２，３，４
，−テトラカルボン酸二無水物、３．３　’、４．４　
’−ベンゾフェノンテトラカルポン酸二無、ｌ、２．２
　’、３．３　’−ヘンシフエノンテトラカルボン酸二
無水物、２．３．３　’、４　’−ベンゾフェノンテト
ラカルポン酸二無水物、ナフタレン−２，３，６，７−
テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−１，２，５，
６−テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−１，２，
４，５−テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−１，
４，５，８−テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−
１，２，６，７−テトラカルボン酸二無水物、４．８−
ジメチル−１，２゜３．５．６．７−へキサヒドロナフ
タレン−１，２，５，６−テトラカルボン酸二無水物、
４，８．−ジメチル−１，２，３，５゜６．７−へキサ
ヒドロナフタレン−２，３，６，７−テトラカルボン酸
二無水物、２，６−シクロペンタンーｌ、４゜５．８−
テトラカルボン酸二無水物、２．７−シクロロナフタレ
ンー１．４．５．８−テトラカルボン酸二無水物、２゜
３．６．７−チトラクロロナ７タレンー１．４．５．８
−テトラカルボン酸二無水物、　１，４．５．８−テト
ラクロロナフタレン−２，３，６，７−テトラカルボン
酸二無水物、３．３’、４．４　’−ジフェニルテトラ
カルボン酸二無水物、２゜２　’、３．３　’−ジフェ
ニルテトラカルボン酸二無氷物、２．３．３　’、４　
’−ジフェニルテトラカルボン酸二無水物、３．３　”
　、４．４　”−ｐ−テルフェニルテトラカルボン酸二
無水物、２．２”、３．３”−ｐ−テルフェニルテトラ
カルボン酸二無水物、２．３．３”、４”−ｐ−テルフ
ェニルテトラカルボン酸二無水物、２．２−ビス（２，
３−ジカルボキシフェニル）−プロパンニ無水物、２，
２−ビス（３゜４、−ジカルボキシフェニル）−プロパ
ンニ無水物、ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）エ
ーテルニ無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル
）エーテルニ無水物、ビス（２，３−ジカルボキシフェ
ニル）メタン二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフ
ェニル）メタン二無水物、ビス（２，３−ジカルボキシ
フェニル）スルホンニ無水物、ビス（３，４−ジカルボ
キシ７エ二ル）スルホンニ無水物、１．ｌ−ビス（２，
３−ジカルボキシフェニル）メタン二無水物、１．１−
ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）メタン二無水物
、ペリレン−２゜３．８．９−テトラカルボン酸二無水
物、ペリレン−３，４゜９、ＩＯ−テトラカルボン酸二
無水物、ペリレン−４，５゜１０．１１−テトラカルボ
ン酸二無水物、ペリレン−５，６゜１１．１２−テトラ
カルボン酸二無水物、７エナンスレンー１．２．７．８
−テトラカルボン酸二無水物、フェナンスレン−１，２
，６，７−テトラカルボン酸二無水物、フェナンスレン
−１，２，９，１０−テトラカルボン酸二無水物、シク
ロペンタン−１，２，３，４−テトラカルボン酸二無水
物、ピラジン−２，３，５，６−テトラカルボン酸二無
水物、ピロリジン−２，３，４，５−テトラカルボン酸
二無水物、チオフェン−２，３，４，５−テトラカルボ
ン酸二無水物などがあげられるが、これらに限定するも
のではない。

本発明における（Ｂ）成分の多官能アミノアクリレート
は１分子中に２個または３個のアクリル基またはメタク
リル基を有する３級アミノアクリル化合物である。

１分子中にアクリル基またはメタクリル基が１個である
単官能アミノアクリレートでは、光照射しても架橋構造
が得られないので、感度が低く、また現像時にパターン
にクラックが発生したり、多くの膜減りが生じるため好
ましくない。

多官能アミノアクリレート（Ｂ）としては、エチルジェ
タノールアミンジアクリレート、　Ｎ−ｎ−プロピルジ
ェタノールアミンジメタクリレート、Ｎ−ｎ−プロピル
ジェタノールアミンジアクリレート、Ｎ−メチルジブロ
バノールジメタクリレート、Ｎ−エチルジブロバノール
ジメタクリレート、トリエタノールアミントリメタクリ
レート、トリエタノールアミントリアクリレートなどで
あるが、これらに限定されない。

また、本発明で使用するアミノアクリレート成分として
、上記の多官能アミノアクリレートの他に各種特性を付
与するＩ；めに単官能アミノアクリレ−トやアミノ基を
有さない多官能アクリレートももちろん併用することが
できる。

また、多官能アミノアクリレートの配合量はポリアミッ
ク酸の固形分１００重量部に対して、２０〜２００重量
部であることが好ましい。

配合量が２０重量部未満であると充分な光架橋物が得ら
れず、現像時にすべて溶解してしまうので好ましくない
。

また配合量が２００重量部を越えると、添加量が多いた
め有効に光架橋した場合でも熱熱理をした際に飛散収縮
が大きく、クラックが生じやすくなるので好ましくない
。

本発明における（Ｃ）成分の増感剤は下記式（Ｉ［［）
（式中Ｒ＝ニーＨ，−ＣＨｘ、−ＣｚＨｓ、−ＣｓＨｓ
る。

感光性樹脂組成物に用いられる増感剤としてはベンゾフ
ェノン、アセトフェノン、アントロン、ｐ１ｐ′−テト
ラメチルジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、
フェナントレン、２−ニトロフルオレン、５−ニトロア
セナフテン、ベンゾキノン、Ｎ−アセチル−ｐ−ニトロ
アニリン、ｐ−ニトロアニリン、２−エチルアントラキ
ノン、２−ターシャリ−ブチルアントラキノン、Ｎ−ア
セチル−４−二トロー１−ナフチルアミン、ピクラミド
、ｌ、２−ベンズアンスラキノン、３−メチル−１，３
−ジアザ−１，９−ベンズアンスロン、ｐ、ｐ’−テト
ラエチルジアミノベンゾフェノン、２−クロロ−４−ニ
トロアニリン、ジペンザルアセトン、１．２−す７トキ
ノン、２，５−ビス−（４′−ジエチルアミノベンザル
）−シクロペンクン、２．６−ビス−（４′−ジエチル
アミノベンザル）−シクロヘキサノン、２．６−ビス−
（４′〜ジメチルアミノベンザル）−４−メチル−シク
ロヘキサノン、２．６−ビス−（４′−ジエチルアミノ
ベンザル）−４−メチル−シクロヘキサノン、４．４′
−ヒス−（ジエチルアミノ）−カルコン、４，４°−ビ
ス−（ジエチルアミノ）−カルコン、ｐ−ジメチルアミ
ノベンジリデンインダノン、■、３−ビス−（４′−ジ
メチルアミノベンザル）−アセトン、ｌ、３−ヒス−（
４’−ジエチルアミノベンザル）−アセトン、Ｎ−フェ
ニル−ジェタノールアミン、Ｎ−ｐ−）リルージエチル
アミンなどがあげられるが、本発明に於いて見いだされ
たスチリル化合物は、本発明において開始剤として用い
るグリシン化合物との組み合わせで用いることによって
のみ、驚くほど優れた増感効果を示す。

この驚くべき相乗効果がいかにして発現されるのか、そ
の理由は今のところ明確ではない。なお、スチリル化合
物の配合量はポリアミック酸１００重量部に対して１重
量部以上、１０重量部以下が最も好ましく、スチリル化
合物以外の増感剤もこれに併用しても差し支えがない。

スチリル化合物の配合量が１重量部未満であると、光エ
ネルギーの吸収量が不足し架橋が不十分となり、また、
１０重量部を越えると、光エネルギーの透過量が不足し
、深部の光硬化が迅速に進まず好ましくない。

本発明における（Ｄ）　１１ｔ分の開始剤は下記式（Ｉ
Ｖ）（式中Ｒ＠ニーＨ，−ＣＨ，，−Ｃ，Ｈｓ、−Ｃｓ
Ｈ％。

−０ＣＨｘ、−００ＣＣ）ｉｓ、−０ＣｚＨｓ。

−ＯＯＣＣｚＨｓ、−Ｎ（ＣＨ３）！、−Ｎ（Ｃ！Ｈｓ
）ｔ。

−ＮＨＣｏｏＣ）（ｓ、−ＣＯＣＨｓ　。

−ＣＯＣｔＨ１−ＮＨＣＯＮＨｚ、−ＣＨｇｏＨ−ＯＨ
，−ＣＨ（ＣＨｓ）＊、−Ｃ（ＣＨｓ）ｓ）で示される
フェニル基を持ったグリシン化合物である。

感光性樹脂組成物に用いられる開始剤としては２゜２−
ジメトキシ−２−フェニル−アセトフェノン、ｌ−ヒド
ロキシ−シクロへキシル−フェニルケトン、２−メチル
−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モル７オリノ
ーｌ−プロパン、　３．３　’４．４　’−テトラー（
ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、ベ
ンジル、ベンゾインーイングロビルエーテル、ベンゾイ
ン−イソブチルエーテル、４．４’−ジメトキシベンジ
ル、ｌ、４−ジベンゾイルベンゼン、４−ペンシイルビ
７エ二ル、２−ベンゾイルナフタレン、メチル−□−ベ
ンゾイルベンゾエー）、２．２’−ビス（ｏ−クロロフ
ェニル）−４，４’５．５　’−テトラフェニルー１．
２′−ビイミダゾール、　１０−ブチル−２−クロロア
クリドン、エチル−４−ジメチルアミノベンゾエート、
ジベンゾイルメタン、２，４−ジエチルチオキサントン
、３．３−ジメチル−４−メトキシ−ベンゾフェノン、
２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−
１−オン、１−（４−イングロビルフェニル）−２−ヒ
ドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、１−（４−
ドデシルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロ
パン−１−オン、１−７ｚニル−１゜２−ブタンジオン
−２−（ｏ−メトキシカルボニルシム、ｌ−フェニル−
プロパンブタンジオン−２−（　ｏ　−ベンゾイル）オ
キシム、１．２−ジフェニル−エタンジオン−１−（ｏ
−ベンゾイル）オキシム、１．３−ジ７工二ループロパ
ントリオン−２−（ｏ−ベンゾイル）オキシム、ｌ−７
エニルー３−エトキシ−プロパントリオン−２−（ｏ−
ベンゾイル）オキシムなどが使用されているが、本発明
に於いて見いだされたグリシン化合物は、増感剤として
のスチリル化合物との組み合わせによって、他の開始剤
にくらべて格段の光反応開始効果を示した。

この驚くべき効果がいかにして発現されるのかその理由
は現在のところ明確ではない。

なお、グリシン化合物の配合量は、ポリアミック酸１０
０重量部に対して１〜２０重量部を必須とし、グリシン
化合物以外の開始剤もこれと併用しても差し支えない。

開始剤としてのグリシン化合物が１重量部未満であると
光感度が十分でなく、好ましくない。

また、２０重量部を越えると、熱処理硬化後の皮膜特性
が低下する。

以下実施例により本発明を具体的に説明する。

実施例１ シリコーンジアミンとしてシロキサン結合がｉ５（ｎ　
＝　１　５）の下記式で示されるもの３５ｇＬＨ，　　
　　ＣＭ。

（ポリアミック酸中３５重量％）と３．３　’．４．４
　’ーベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物４５ｇ
と４、４’−ジアミノジフェニルエーテル２０ｇをＮ−
メチルピロリドン溶媒中で反応させ、得られたポリアミ
ック酸溶液（固形分で１００重量部）にＮ−メチルジェ
タノールアミンジメタクリレート６０ｇ（６０重量部）
と２−（ｐ−ジメチルアミノスチリル）ベンゾオキサゾ
ール４ｇ（４重量部）と３−７二二ルー５−イソオキサ
シロン８ｇ（８重量部）を添加し、室温で混合溶解した
。

得られた溶液をアルミ板上にスピンナーで塗布し、乾燥
機により８０℃で１時間乾燥した。

このフィルムにコダック社製フォトグラフィックステッ
プタブレットＮｏ２．２１ステツプ（本グレースケール
では、段数が一段増加するごとに透過光量が前段のｌ／
ｖ’″２に減少するので現像後の残存段階が大きいもの
ほど感度が良い）を重ね、５００ｍｊ／ｃ−の紫外線を
照射し、Ｎ−メチルピロリドン６０重量％、メタノール
４０重量％の現像液を用い現像、さらにイソプロピルア
ルコールでリンスをしたところ１４段までパターンが残
存し、高感度であることが判った。

次に、前述と同様な方法でシリコーンウェハー上に塗布
し全面露光し、現像、リンスの各工程を行い、さらに１
５０，２５０．３５０℃で各々３０分熱硬化した。

密着力試験のため１ｍｍ角に１００ケカツトし、セロテ
ープで引き剥がそうとしたが、１ケも剥がれず、高密着
性であることが判った。

また、別途アルミ板上に塗布し、全面露光、現像、リン
ス、熱硬化したあとアルミ板をエツチングで除去し、フ
ィルムを得た。

得られたフィルムの引張弾性率（ＪＩＳ　Ｋ−６７６０
）は１　１　０　Ｋｇ／ｍｅ”と小さく、熱分解開始温
度は４２０６Ｃと高かった。

この様に高感度であり、かつ高密着、低弾性率、高耐熱
という非常に優れた効果が同時に得られた。

比較例１〜１３ 実施例１の方法に従いシリコーンジアミンのシロキサン
結合数と添加量、感光剤、増感剤、開始剤の種類と添加
量をそれぞれかえ、同様の実験を行い第１表の結果を得
た。

比較例１は開始剤の添加量を０．８重量部にしたもので
、光感度が著しく低くなってしまった。

比較例２は比較例工とは逆に２８重量部にしたもので、
この場合フィルム中に開始剤が残留し、このため熱分解
開始温度が低くなってしまった。

比較例３は本発明以外の開始剤を使用したもので、光感
度が低く、実用的ではなかった。

比較例４は増感剤の添加量を０．４重量部にしたもので
、この場合光感度が著しく低く、架橋も不十分であった
。

比較例５は増感剤量を２４重量部としたもので、この場
合深部への光透過量が不足し、深部の硬化が不十分でボ
イドを発生し、均一なフィルムにはならなかった。

比較例６は本発明以外の増感剤を使用した場合で光感度
が低く、実用的ではなかった。

比較例７は感光剤の添加量を１５重量部にしたもので、
この場合、光感度が低いだけでなく、架橋が不十分なた
め膜減りも大きかった。

比較例８は感光剤の添加量を２５０重量部にしたもので
、この場合、高温硬化時の飛散量が多く、クラックが発
生、均一なフィルムが得られなかった。

比較例９は本発明以外の感光剤を使用したもので、単官
能アクリレートであるため露光しても３次元化せず現像
時にすべて流れてしまった。

比較例１Ｏはシリコーンジアミンの添加量を０．５重量
％にしたものであり、この場合弾性率を低下させること
が出来なかった。

比較例１１はシリコーンジアミンの添加量を７５重量％
にしたもので、この場合フィルムがモロクなってしまっ
た。

比較例１２はシリコーンジアミンのシロキサン結合数を
ｎｍＱとしたもので、この場合柔軟性に欠けるためフィ
ルム化時点でクラックが発生した。

比較例１３はシロキサンジアミンのシロキサン結合数を
ｎ−１００としたもので、この場合反応性が低く、 フィルム化時点で未反応シリコーンが浮き出し、感度も
上がらなかった。

（発明の効果） ポリイミド樹脂の主鎖構造中にシロキサン結合を導入し
、密着性の向上や、弾性率の低下を図る試みは、これま
でもなされてきた。

しかしながら、従来の感光性化技術では、シリコーン変
性したポリイミド樹脂の光感度を向上させる適当な増感
剤、開始剤がなく、良好なパターンを得ることが出来な
かった。

しかるに、本発明では、極めて光感度の高い特殊な増感
剤と開始剤との組み合わせを採用することで、少ない光
照射量で良好なパターンを得ることができるようになっ
た。さらに、熱硬化後のポリイミド樹脂は光硬化したア
クリレート類がすべて飛散するので耐熱性が優れ、また
、シリコーン変性しであるので低弾性率で、しかも高密
着性であるという非常に優れた効果が同時にえられた。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）（Ａ）下記式〔 I 〕で示されるシリコーン系ジ
   アミンを１〜５０重量％含有するポリアミック酸▲数式
   、化学式、表等があります▼ （式中ｎは１〜５０） （Ｂ）下記式〔II〕で示される、１分子中にアクリルま
   たはメタクリル基を２〜３基有する多官能アミノアクリ
   レート ▲数式、化学式、表等があります▼ （式中Ｒ＿１：−Ｈ、−ＣＨ＿３ Ｒ＿２：−Ｃ＿２Ｈ＿４−、−Ｃ＿３Ｈ＿６−、−ＣＨ
   ＿２ＣＨＯＨＣＨ＿２− Ｒ３：−ＣＨ＿３、−Ｃ＿２Ｈ＿５、−Ｃ＿３Ｈ＿７、
   ▲数式、化学式、表等があります▼ｌ：２〜３、ｍ：０
   〜１、ｌ＋ｍ＝３） （Ｃ）下記式〔III〕で示されるスチリル化合物▲数式
   、化学式、表等があります▼ （式中Ｒ４＿：−Ｈ、−ＣＨ＿３、−Ｃ＿２Ｈ＿５、−
   Ｃ＿６Ｈ＿５▲数式、化学式、表等があります▼ （Ｄ）下記式〔IV〕で示されるグリシン化合物▲数式、
   化学式、表等があります▼ （式中Ｒ＿６：−Ｈ、−ＣＨ＿３、−Ｃ＿２Ｈ＿５、−
   Ｃ＿６Ｈ＿５、−ＯＣＨ＿３、−ＯＯＣＣＨ＿３、−Ｏ
   Ｃ＿２Ｈ＿５、−ＯＯＣＣ＿２Ｈ＿５、−Ｎ（ＣＨ＿３
   ）＿２−Ｎ（Ｃ＿２Ｈ＿５）＿２、−ＮＨＣＯＯＣＨ＿
   ３、−ＣＯＣＨ＿３、 −ＣＯＣ＿２Ｈ＿５、−ＮＨＣＯＮＨ＿２、−ＣＨ＿２
   ＯＨ−ＯＨ、−ＣＨ（ＣＨ＿３）＿２−Ｃ（ＣＨ＿３）
   ＿３）を必須成分とし（Ａ）１００重量部に対して（Ｂ
   ）２０〜２００重量部、（Ｃ）１〜１０重量部及び（Ｄ
   ）１〜２０重量部を配してなる感光性樹脂組成物。