JPH01317250A - 磁気光学記録担体を光学的に走査する装置 - Google Patents

磁気光学記録担体を光学的に走査する装置

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JPH01317250A
JPH01317250A JP1101821A JP10182189A JPH01317250A JP H01317250 A JPH01317250 A JP H01317250A JP 1101821 A JP1101821 A JP 1101821A JP 10182189 A JP10182189 A JP 10182189A JP H01317250 A JPH01317250 A JP H01317250A
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JP
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radiation
beams
sub
scanning
reflected
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JP1101821A
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English (en)
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Peter F Greve
ペテル・フェルディナンド・フレフェ
Albert Smid
アルベルト・スミド
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Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Gloeilampenfabrieken NV
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) 本発明は磁気光学記録担体(magneto−opti
calrecord carrire)の放射−反射情
報面(rad iat ion−reflecting
 information plane)を光学的に走
査する装置であって、上記の装置が、 線形に偏光された走査ビームを供給する放射線源、 走査ビームを情報面の走査スポットに集束する対物系、 放射線源ユニットと、放射線源ユニットから発生する走
査ビームと情報面から反射された放射ビームとを分離す
る走査スポットとの間の放射径路(racliatio
n path)に配設されたビーム分離素子、反射され
た放射ビームを2つのサブビームに分割する手段、およ
び サブビームを電気信号に変換する放射感応検出系(ra
diation−sensitive cletect
ion seystem)、を具えるものに関連してい
る。
(背景技術) このタイプの装置は欧州特許出願第BP−AO,244
,827号に記載されている。この特許出願から知られ
ている装置は走査ビームの放射径路に配設されている回
折格子の形をしたビーム分離素子を具えている。この格
子は投射された走査ビームと情報面で反射されたビーム
の双方を多数の回折次数(diffraction o
rder)に分割する。零次の回折された走査ビームの
みが走査スポットに使用され、そして反射された放射の
検出に2つの一次ビームが使用される。反射されたビー
ムのこれらの一次ビームは2つの多重ホトダイオード(
multiplephotodiode)に入射され、
このホトダイオードはいわゆるサーボ情報である情報面
内での走査スポットの位置を決定し、かつ走査スポット
の区域(area)における磁気光学記録担体の磁化を
検出する電気信号を供給する。磁化の状態は左あるいは
右にせいぜい0.35°の偏光回転によって認識できる
。偏光の方向で 0,7° (ピーク対ピーク)と言う
この小さい差が検出できるために、回折格子とホトダイ
オードとの間の2つのサブビームの放射径路の各々に偏
光フィルタが配設されている。
2つのフィルタの偏光の方向はお互いに対して垂直にな
っており、かつ情報面内で反射されたビームの平均偏光
方向に対して角度45°で延在している。情報面内で反
射されたビームの偏光方向は2つのサブビームの強度の
差として検出される。
既知の装置は、回折格子と偏光フヘルクがお互いに対し
て、および走査ビームに対して正確に整列しなければな
らぬと言う欠点を有している。確かに、湾曲した格子ラ
インおよび/または放射ビームを補正する可変格子周期
を回折格子が有する場合には、極めて正確な整列が要求
される。さらに、既知の装置は製造の間に組み立てるべ
き大多数の構成要素を具えている。なかんずく、レンズ
は2つの放射感応検出器の間で最小の断面積を持つ走査
ビームを結像することを要求している。他の欠点は偏光
フィルタで放射のかなりの損失が起こることである。最
後に、走査装置の有効期間を通して構成要素の相互位置
を固定することは一つの問題である。
(発明の開示) 本発明の目的は、組み立てるべき少ない数の個別構成要
素を具える磁気光学記録担体を走査する装置を与え、同
時に構成要素の相互位置が数年間にわたって一定のまま
であり、かつこの装置が低価格で大量に生産できること
である。
このために、本発明による装置は、 ビーム分離素子が、 お互いにほぼ平行であり、かつその法線が入射放射ビー
ムの主射線(chief ray)に対して鋭角で延在
する第1および第2面を有する透明支持体、走査ビーム
と反射された放射ビームを分離するために第1面上に配
設される半透明ミラー、を具え、 上記のビーム分離素子が反射ビームを2つの直交的に偏
光されたサブビームに分割するようさらに適応されてい
ること、 を特徴としている。このようにサブビームを偏光する手
段はビーム分離素子に結合され、従って装置の組み立て
の間に1つの構成要素のみが配設されることを必要とし
ている。さらに、半透明ミラーはその中で層が−様な構
成を有するようなある表面区域をカバーし、従って正確
な集中(centralisation)は要求されず
、一方、整列公差(alignmenttoler、a
nce)は既知の装置よりも厳密さがずっと小さいであ
ろう。
そのような複合ビーム分離素子は、支持体材料の大きな
平板から出発して、この平板上に小片の反射材料を備え
ることにより、そして引き続いて各々がビーム分離素子
を構成する部分に平板を切断することにより相対的に低
価格で大量生産できる。
ビーム分離素子は例えばガラスのような平面平行平板(
plane−parallel plate)を具える
が、しかしそれはまた2つの表面がお互いに鋭角で延在
するクサビを具えることもできる。後者の場合、ある程
度の非点収差が走査ビームあるいは反射ビームに導入さ
れるか修正を受ける。
それ自身欧州特許出願第BP−へ〇、 241.372
号かq− ら知られていることであるが、走査ビームと情報面内で
反射されたビームの分離および2つの線形に偏光された
サビビームへの反射ビームの分離が単一素子に結合され
ている光学的に読み取り可能なディスクを走査する装置
にビーム分離素子を製造することに注意すべきである。
しかし、既知の装置は磁気光学記録担体の読み取りに適
合していない。2つのサブビームは同方向に偏光されて
いるから、従って情報面内の磁気配向による偏光回転は
2つの検出器上の放射強度の差として検出可能ではない
本発明による一実施例は、偏光方向に敏感な(sens
itive)反射層が反射ビームを2つの直交的に偏光
されたサブビームに分割するためにビーム分離素子の1
つの面上に備えられていることを特徴としている。偏光
感応反射層は第1面上あるいは第2面上に備えることが
できる。そのような層の使用は付加偏光フィルタによる
光の損失の無いと言う利点を有している。層が延在して
いる面が放射ビームの直径より大きく、かつ層が至ると
ころで−様な組成を有しているから、偏光感応反射層の
整列公差は非常に広いであろう。そのような層は例えば
平板を個別のビーム分離素子に切断する前に大きな平板
上の小片に備えることができる。
本発明によるこの実施例は、放射感応検出系が2つの直
交的に偏光されたサブビームを検出する2つのサブ系(
sub−syste+r+)を具えること、および2つ
のサブ系が支持体の同じ側に配設されていること、 をさらに特徴としている。
偏光感応反射層の反対側に位置している1つのサブビー
ムの表面で反射した後、2つのサブビームはお互いにほ
ぼ平行にビーム分離素子から発出し、従って2つのサブ
ビームの放射感応検出器はお互いの近傍に配設できる。
本発明による別の実施例は、支持体が複屈折材料を具え
ることを特徴としている。例えばその光軸が適当に配向
している石英のような複屈折材料をビーム分離素子に組
み込むことにより、反射されたビームは別の偏光感応ビ
ーム分割層を備える必要無しに2つの直交的に偏光され
たサブビームに分割できる。さらに、この実施例はサブ
ビームの強度、あるいはそれから導かれた電気信号の強
度が、素子の表面に垂直な軸の周りにビーム分離素子を
回転することにより簡単なやり方で調整できるという利
点を有している。
本発明による装置は、少なくとも1つのプリズムが透明
支持体の表面に配設されていることを特徴としている。
偏光方向に敏感な反射層は、もし層が透明材料の2つの
平板の間に囲まれているならさらに容易に実現できる。
このように反射層はプリズムと支持体の間に備えられよ
う。さらに、放射ビームの放射径路の支持体の表面に配
設されたプリズムはその表面上で屈折と反射を低減して
いる。もしプリズムの出面(exit face)が放
射ビームの主射線に垂直に配設されていないならビーム
方向の補正を得ることができる。
放射感応検出系が多重ホトダイオードを具える本発明に
よる装置の好ましい実施例は2つのサブー冊− ビームが多重ホトダイオードの異なる区域に入射される
ことを特徴としている。従って装置の組み立て中に、多
重であるにもかかわらず1つのホトダイオードのみを配
設しかつ接続することで十分である。
放射線源ユニットと放射感応検出系に対してビーム分離
素子がかなり広い公差をもって配設できるから、これら
3つの構成要素は強固かつ頑丈な組立体に固定的に接続
できる。光学的光径路の必要な整列は例えば平面平行平
板あるいは走査ビームとか反射ビーム中のクサビのよう
な整列素子によって実現できる。従って本発明による装
置の好ましい一実施例は、 放射線源ユニットと放射感応検出系が支持体に固定的に
接続され、かつ 走査ビームを整列する光学素子が放射線源とビーム分離
素子との間の放射径路に配設されていること、 を特徴としている。
しかし、本発明による他の実施例は、 −13= 放射線源ユニットと放射感応検出系が支持体に固定的に
接続されており、かつ サブビームを整列する光学素子がビーム分離素子と放射
感応検出系との間のサブビームの放射径路に配設されて
いること、 を特徴としている。
本発明の実施例を添付の図面を参照し、実例によって説
明する。
(実施例) 第1図は本発明による走査装置の第1の形態を線図的に
示している。この図および第2. 3. 4図において
構成要素の相互位置は線図的にのみ示されているから、
ビーム分離素子における屈折は示されていない。第1図
において、参照記号10は磁気光学記録担体を示し、そ
の上に磁化可能層11が備えられている。隣接区域を層
の平面に垂直な2つの反対方向に偏光することにより層
11に情報が書き込まれる。この区域はトラックの形に
配設されている。ディスク形状記録担体の場合には、こ
のトラックは螺旋形であるか、あいはそれは多数の同心
円サブトラックからなっている。情報は反対磁化の区域
の長さの差の形でトラックに蓄積されている。
情報は線形的に偏光された放射ビームにより磁化区域を
走査することにより読まれる。反射された放射の偏光方
向は入射ビームの偏光方向に対して小さい角度で回転し
ている。回転の方向は走査された区域の磁化の方向によ
り決定される。現在利用可能な磁気光学記録担体では、
異なる方向に磁化された2つの区域で反射された放射の
偏光方向の差は約0.7°である。走査装置では、反射
されたビームの偏光方向はこのビームを2つのサブビー
ムに分割し、引き続いて各サブビームにおいて反射ビー
ムの平均偏光方向に45°の角度で延在する偏光方向の
成分の強度を測定することにより測られ、そしてここで
測定された成分は2つのサブビームの各々で相互に垂直
になっている。検出された2つの信号の強度の差は記録
担体の磁化された層の磁化方向、従って読むべき情報を
表示している。
第1図に線図的に示された装置は例えば線形的に偏光さ
れた放射ビーム21を発生するレーザーダイオードのよ
うな放射線源ユニット20を具えている。ビーム21は
半透明ミラー22によって記録担体10の方向に反射さ
れ、かつ磁気光学記録担体10の磁気層11の走査スポ
ット24にビームを集束する対物系23を横切る。ミラ
ー22は通常の半透明ミラーであってよいが、しかし代
案としてミラー22は特定の1つの偏光方向に増大した
反射係数を有してもよい。
半透明ミラー22は透明支持体30の表面31上に配設
され、この表面は記録担体10に対面している。
表面31は入射ビーム21の主射線と対物系23の光軸
に対して約45°の角度で延在している。
放射スポット24から反射したビームの部分25は半透
明ミラー22を通過し、かつ情報担体から遠い側の支持
体30の表面32上に備えられている偏光感応ビーム分
割層(polarization−sensitive
 beamsplitting 1ayer) 26に
入射する。ビーム分割器(beam 5plitter
) 26は入射ビーム25を相互に垂直な偏光方向を有
する2つのサブビーム27と28に分割する。図面にお
いて、これは記号上と〃によって表示されている。2つ
のサブビームの偏光方向は走査スポット24から入来す
るビーム25の上記の偏光方向に対して45°の角度で
延在している。
2つのサブビーム27と28はそれぞれ2つの放射感応
検出系41と42に入射される。検出系は光学的信号を
電気信号に変換し、この電気信号は差動増幅器43の人
力に印加される。差動増幅器43の出力信号は情報信号
S1であり、かつ記録担体の磁化可能層11の磁化され
た区域の磁化に対応している。
第2図は異なる形態と放射径路の実例を示している。同
様な構成要素は第1図と同じ参照記号によって示され、
それについてはこれ以上説明しない。第2図において、
偏光方向に敏感であるビーム分割層26が半透明ミラー
22として支持体30の同じ表面上31に備えられてい
る。走査スポットから入来する放射ビーム25はそれが
半透明ミラー22を横切った後で支持体30の表面32
で反射される。ビーム分割器26はビーム25を相互に
垂直な偏光方向を有する2つのサブビーム27と28に
再び分割する。
ビーム27は放射感応検出器41に直接入射される。
ビーム28は表面32で反射され、かつ支持体30に対
して放射線源ユニット20と第1検出器41と同じ側に
配設されている放射感応検出器42に入射される。
検出器41と42の出力信号は差動増幅器43でお互い
に減算され、差動増幅器43の出力は情報信号Siを供
給する。
第3図と第4図は本発明による装置の形態と放射径路の
別の2つの実例を示している。これらの2つの図におい
て、同様な素子は前の2つの図と同じ参照記号によって
表示されている。2つの図において、放射線源ユニット
20は記録担体10とは反対の透明支持体30の側に配
設されている。半透明ミラー22は記録担体から遠い側
の支持体30の表面32上に配設されている。第3図に
おいて、偏光感応ビーム分割層26は記録担体10に対
面する透明支持体30の表面31に備えられている。第
4図において、偏光感応ビーム分割層は記録担体から遠
い側の表面32上に備えられている。さらに、第3図の
実例の検出器41と42は支持体30のいずれかの側に
配設され、そして第4図の実例では双方の検出器は放射
線源ユニット20と同じ側に配設されている。第3図お
よび第4図の形態の走査ビーム21が半透明ミラー22
を通して透過されるから、この形態は第1図と第2図に
よる実例よりもミラー22の表面エラーに余り敏感では
ない。
第5図は本発明による走査装置の別の形態を示している
。この図でもまた同様な素子は以前の図と同じ参照記号
によって示されている。
この形態において、透明支持体33は例えば石英のよう
な複屈折材料からなっている。この材料の複屈折性のた
めに走査スポット24から入来するビームは相互に垂直
な偏光方向を有する2つのサブビーム27と28に分割
される。図面では矢印34によって示されている材料の
光軸の方向は、支持体内から見て、走査スポットから入
来するビームの平均偏光方向に45°の角度で延在する
平面内になければならない。支持体33の所与の厚さに
おける2つのサブビーム27と28の最大空間分離に対
して、光軸はこのビームの主射線に約45°の角度で延
在しなければならない。使用された検出器の特性に依存
して、最大空間分離より少なくても十分であろう。さも
なければ、この形態は前の形態と比較でき、従ってこれ
以上説明されない。
第6図は本発明による走査装置の第1の実施例を示して
いる。この実施例の放射径路は第2図に示された放射径
路と比較できる。ハウジング120は線形に偏光された
走査ビーム21を供給するレーザーダイオード20を収
容している。ビーム21は示されていない記録担体の方
向に半透明ミラー22によって反射される。半透明ミラ
ー22と(示されていない)集束対物系との間にコリメ
ータレンズ123が配設されている。半透明ミラー22
は透明支持体30の表面31の上に配設されている。も
しプリズム122と一緒に支持体上に置かれるなら、こ
のミラー22はもっと簡単かつ定性的に良好なやり方で
配設されよう。さらに、着脱プリズム(couplin
g−in and coupling−out pri
sm) 122は表面31における放射ビームの所望し
ない反射や、屈折や、歪みを減少あるいは軽減する。プ
リズムの入り面(entrance face) 12
2’出面(exit face) 122’は入射ビー
ム21と出射ビーム23の主射線に垂直である。これら
の面は反射防止コーティングを備えることが好ましい。
記録担体からのビーム25は半透明ミラー22を通過し
、そして偏光方向に敏感なビーム分割層26の方向に支
持体30の裏面32によって反射される。この層は支持
体30の表面310半透明ミラー22の次に備えられて
いる。層26はビーム25を2つのサブビーム27と2
8に分割する。サブビーム27は直接支持体30から外
に出、そしてサブビーム28は裏面32で反射した後で
外に出る。プリズム126は偏光感応ビーム分割層26
の上にまたがって配設されている。
サブビーム28はプリズム129を介して外に出る。
プリズムの出面126′と129′は反射防止コーティ
ングを備えることが好ましい。
ビーム25と28は全内部反射によって、あるいは、も
しも支持体30が作成されている材料が低い屈折率を有
するならばミラーコーティングが裏面に備えられている
と言う理由から裏面32で反射される。
2つのサブビーム27と28は複合ホトダイオード44
に入射される。プリズム126と129は2つのサブビ
ームが多重ホトダイオードの異なる部分に入射されるよ
うなやり方で形成されている。出面126′ と129
′はサブビームの主射線に垂直でないから、従ってビー
ムはそれらが出面を通過する場合に屈折される。
ホトダイオード44はサブビーム27がホトダイオード
の表面上に集束スポット127を集束するようなやり方
で配設されている。円筒レンズ151は記録担体から入
来する放射ビームの放射径路に配設されている。従って
、記録担体上の磁化区域のトラックに対する走査スポッ
トの位置は形状および/または寸法と集束スポットの位
置から導くことができる。次にホトダイオードはセクタ
に分割されなければならない。このいわゆる集束の非点
収差法(astigmatic method of 
focusing) は特に米国特許出第US−A 4
.023.033号に記載されている。
この方法において、焦点外しくdefocusing)
の場合には丸いスポットは楕円スポットに変化し、同時
に楕円の主軸の方向は集束エラーの符号(sign)を
表示する。
異なる集束方法において、クサビが要素151の場所に
配設され、そのクサビによってホトダイオード44上の
集束スポット127の形状の変化は記録担体の情報面上
の走査スポットの集束に依存して生成される。円筒レン
ズあるいはクサビが代案として支持体30上のプリズム
126と一体にできる。
レーザーダイオード20のハウジング120とホトダイ
オード44は共通支持体152上に固着され、かつお互
いに対してそこに固定的に接続できる。光学素子とホト
ダイオード44に対して走査ビーム21を整列するため
に、例えば平面平行平板のような別の整列素子153が
備えられ、それはダイオードレーザ−20と支持体30
の間で走査ビーム21の放射径路に配設されている。光
学系はこの素子153を移動することにより調整される
代案として放射径路はサブビーム27の放射径路の素子
151に光パワーを与え、かつビームの方向にそれを横
断方向に移動することにより整列することができる。
第7図は本発明による走査装置の第2の実施例を示して
いる。この実施例の放射径路は第1図を参照して説明さ
れた放射径路と比較できる。多数の素子は第6図に示さ
れた素子に対応している。
従ってすべての素子の詳細な説明を与える必要は無い。
透明支持体30は、お互いに垂直に接続され、かつ支持
体30と同じ材料あるいはそれと同じ機械的特性を有す
る材料からなる2つの平板133と135の間に固着さ
れている。ビーム21(投射されたビーム)とビーム2
5(反射されたビーム)は平板133の開口134を通
過する。記録担体から入来するビーム25は偏光方向に
敏感であるビーム分割層26の2つの直交的に偏光され
たサブビーム27と28に分割される。サブビーム27
は支持体141に配設されているホトダイオード41に
よって検出される。
サブビーム28は多重ホトダイオード45に集束される
。素子151とプリズム129は走査スポットの集東エ
ラーに依存して集束スポット128の歪みを生起するよ
うサブビーム28の放射径路に配設されている。ホトダ
イオード45はこのように情報信号の獲得に寄与するの
みならず、また磁化区域が記録担体上に配設されている
トラック上の走査スポットを集束するサーボ信号を供給
している。
この走査装置の構造は大量生産に非常に適している。平
板30.133および135の大部分は一緒に接着する
ことができる。平板30には半透明ミラーコーティング
22、偏光感応層26およびプリズム122、126.
129が既に備えられている。接着剤が硬化した後、多
数の構造はそれがレーザーとホトダイオードとレンズを
備えることだけに必要な大きな部分から切断することが
できる。
そのような支持構造は磁気光学記録担体を走査する装置
に限定されない。偏光感応ビーム分割層が無い場合に全
反射は面32で起こり、従って走査装置は「コンパクト
ディスク」および「レーザービジョン」と言う名称の下
で知られているいるような他の光学情報蓄積システムで
の使用に適合しでいる。
(要約) 本装置は半透明ミラー(22)と偏光感応ビーム分割層
(26)の双方が備えられている支持体(30)を具え
る集積ビーム分離素子から形成されている。層(26)
は磁気光学記録担体から入来するビーム(25)を直交
的に偏光されている2つのサブビーム(27と28)に
分割する。2つのサブビーム(27と28)は単一の多
重ホトダイオード(44)上に入射される。
支持体は複屈折材料からなり、かつその場合にビーム分
割層は無しで済ますことができる。
【図面の簡単な説明】
第1. 2. 3. 4図は放射線源、検出器等の種々
の構成要素の4つの形態の例を線図的に示し、第5図は
反射ビームを2つの直交的に偏光されたビームに分割す
る走査装置の別の形態を線図的に示し、 第6図は本発明による第1の実際の実施例を示し、 第7図は本発明による装置の第2の実施例を示している
。 10・・・磁気光学記録担体 11・・・磁化可能層あるいは磁気層 20・・・放射線源ユニットあるいはレーザーダイオー
ド 21・・・線形偏光放射線ビームあるいは入射ビームあ
るいは走査ビーム 22・・・半透明ミラー 23・・・対物系 24・・・走査スポット 25・・・反射ビーム 26・・・偏光感応ビーム分割層あるいはビーム分割器
27、28・・・サブビーム 30・・・透明支持体あるいは平板 31、 32・・・(表)面 33・・・透明支持体 34・・・矢印 4L 42・・・放射感応検出(器)系あるいはホトダ
イオード 43・・・差動増幅器 44、45・・・(多重)ホトダイオード120・・・
ハウジング 122・・・着脱プリズム 122′・・・入り面 122’・・・出面 123・・・コリメータレンズ 126、 129・・・プリズム 126’ 、  129’・・・出面 127、128・・・集束スポット 133、135・・・平板 134・・・開口 141・・・支持体 151・・・円筒レンズ素子 152・・・共通支持体 153・・・整列素子 特許出願人  エヌ・ベー・フィリップス・フルーイラ
ンペンファブリケン 代理人弁理士 杉  村  暁  秀 同   弁理士   杉    村    興    
作D3        134 1う3く 120151/ 45     〜 7Ωtiハ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、磁気光学記録担体の放射−反射情報面を光学的に走
    査する装置であって、上記の装置が、線形に偏光された
    走査ビームを供給する放射線源、 走査ビームを情報面の走査スポットに集束する対物系、 放射線源ユニットと、放射線源ユニットから発生する走
    査ビームと情報面から反射された放射ビームとを分離す
    る走査スポットとの間の放射径路に配設されたビーム分
    離素子、反射された放射ビームを2つのサブビームに分
    割する手段、および サブビームを電気信号に変換する放射感応検出系、 を具えるものにおいて、 ビーム分離素子が、 お互いにほぼ平行であり、かつその法線が入射放射ビー
    ムの主射線に対して鋭角で延在する第1および第2面を
    有する透明支持体、走査ビームと反射された放射ビーム
    を分離 するために第1面上に配設される半透明ミラー、 を具え、 上記のビーム分離素子が反射ビームを2つの直交的に偏
    光されたサブビームに分割するようさらに適応されてい
    ること、 を特徴とする装置。 2、偏光方向に敏感な反射層が情報面で反射されたビー
    ムを2つの直交的に偏光されたサブビームに分割するた
    めに第1面上に備えられていることを特徴とする請求項
    1記載の装置。 3、偏光方向に敏感な反射層が情報面で反射されたビー
    ムを2つの直交的に偏光されたサブビームに分割するた
    めに支持体の第2面上に備えられていることを特徴とす
    る請求項1記載の装置。 4、放射感応検出性が2つの直交的に偏光されたサブビ
    ームを検出する2つのサブ系を具えること、および 2つのサブ系が支持体の同じ側に配設されていること、 を特徴とする請求項2あるいは3記載の装置。 5、支持体が複屈折材料を具えることを特徴とする請求
    項1記載の装置。 6、少なくとも1つのプリズムが透明支持体の表面に配
    設されていることを特徴とする請求項1から5のいずれ
    か1つに記載の装置。 7、放射感応検出系が多重ホトダイオードを具える請求
    項4あるいは5記載の装置において、2つのサブビーム
    が多重ホトダイオードの異なる区域に入射されることを
    特徴とする装置。 8、放射線源ユニットと放射感応検出系が一緒に固定的
    に接続されている請求項1から7のいずれか1つに記載
    の装置において、 放射線源ユニットと放射感応検出系が支持体に固定的に
    接続され、かつ 走査ビームを整列する光学素子が放射線源とビーム分離
    素子との間の放射径路に配設されていること、 を特徴とする装置。 9、放射線源ユニットと放射感応検出系が固定的にお互
    いに接続されている請求項1から7のいずれか1つに記
    載の装置において、 放射線源ユニットと放射感応検出系が支持体に固定的に
    接続されており、かつ サブビームを整列する光学素子がビーム分離素子と放射
    感応検出系との間のサブビームの放射径路に配設されて
    いること、 を特徴とする装置。
JP1101821A 1988-04-26 1989-04-24 磁気光学記録担体を光学的に走査する装置 Pending JPH01317250A (ja)

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