JPH01312831A - 遠心乾燥装置 - Google Patents
遠心乾燥装置Info
- Publication number
- JPH01312831A JPH01312831A JP14301888A JP14301888A JPH01312831A JP H01312831 A JPH01312831 A JP H01312831A JP 14301888 A JP14301888 A JP 14301888A JP 14301888 A JP14301888 A JP 14301888A JP H01312831 A JPH01312831 A JP H01312831A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- duct
- air
- centrifugal dryer
- circulates
- centrifugal
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
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Landscapes
- Centrifugal Separators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置製造工程において、ウェット処理を
行った後のウェハーの乾燥を行う遠心乾燥装置に関する
ものである。
行った後のウェハーの乾燥を行う遠心乾燥装置に関する
ものである。
従来、この種の遠心乾燥装置はローターの回転により装
置上部の開口部からクリーンルームのダウンフロー流の
エアーをすいこみ、ローターが設けられているポールの
下部からほぼ同量のエアーを装置外に排気するというエ
アーの流れがとられていた。
置上部の開口部からクリーンルームのダウンフロー流の
エアーをすいこみ、ローターが設けられているポールの
下部からほぼ同量のエアーを装置外に排気するというエ
アーの流れがとられていた。
上述した従来の遠心乾燥装置は、このため排気されたエ
アーが装置周辺のダウンフローの気流を乱し塵埃をまき
あげたり、上部が開口されているため回転による騒音が
大きいという欠点がある。
アーが装置周辺のダウンフローの気流を乱し塵埃をまき
あげたり、上部が開口されているため回転による騒音が
大きいという欠点がある。
本発明の遠心乾燥装置は、半導体基板を遠心力を利用し
、て乾燥させる遠心乾燥装置において、排気を室外へ出
さず装置内を循環させるダクトを持つことを特徴とする
。
、て乾燥させる遠心乾燥装置において、排気を室外へ出
さず装置内を循環させるダクトを持つことを特徴とする
。
し実施例〕
次に、本発明について図面を参照（−２で説明する。
第１図は本発明の一実施例の概略図である。遠心乾燥機
１のローター２が回転することにより、−ヒ蓋３の開口
部４よりすいこまれたエアーがポール５に取付けられた
排気口６よりダクト７を通り再びポール内へ戻る。
１のローター２が回転することにより、−ヒ蓋３の開口
部４よりすいこまれたエアーがポール５に取付けられた
排気口６よりダクト７を通り再びポール内へ戻る。
以上説明したように本発明は、排気を装置内で循環する
ことにより、遠心乾燥装置周辺での気流を乱すことがな
くなり、装置内で発生する騒音の外部への漏えいを防ぐ
ことができる。
ことにより、遠心乾燥装置周辺での気流を乱すことがな
くなり、装置内で発生する騒音の外部への漏えいを防ぐ
ことができる。
第１図は本発明の一実施例の概略図である。
ｌ・・・・・・乾燥機、２・・・・・・ローター、３・
・・・・・上蓋、４・・・・・・開口部、５・・・・・
・ボール、６・・・・・・排気口、７・・・・・・ダク
ト。 代理人 弁理士 内 原 晋 茅 Ｉ′ＣＩ
・・・・・上蓋、４・・・・・・開口部、５・・・・・
・ボール、６・・・・・・排気口、７・・・・・・ダク
ト。 代理人 弁理士 内 原 晋 茅 Ｉ′ＣＩ
Claims (1)
- 半導体基板（以下ウェハーと称する）を遠心力を利用
して乾燥させる遠心乾燥装置において、排気を室外へ出
さず装置内を循環させるダクトを持つことを特徴する遠
心乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14301888A JPH01312831A (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | 遠心乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14301888A JPH01312831A (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | 遠心乾燥装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01312831A true JPH01312831A (ja) | 1989-12-18 |
Family
ID=15329018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14301888A Pending JPH01312831A (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 | 遠心乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01312831A (ja) |
-
1988
- 1988-06-09 JP JP14301888A patent/JPH01312831A/ja active Pending
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