JPS62189735A - スピンドライヤ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、牛導体ワエハ（以後単にウェハという）の
乾燥に使用するスピンドライヤーに関するものである。

〔従来の技術〕

従来この柚のスピンドライヤーとして第２図に示すもの
があった。第２図において、（１）はウェハ、（２）ハ
このウェハを収納するカセツ）　、１３）はカセットを
収納するクレードル、（４）はターンテーブル、（５目
まターンテーブル固定用キャップ、（６）は駆動軸、（
７）はボール、（８）は蓋、（９Ｉは空気吸込口、σＱ
は空気の流れを示す。

次に動作について説明する。従来のウェハの乾燥方法は
、ウェハ［１１を収納したカセット（２１をさらにクレ
ードル＋３１に入れた状態で回転させ、上方の空気吸込
口＋９１より空気を吸込み、ウェハ表面の風速及び遠心
力によってウェハを乾燥させる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところが以上のようなドライヤーでは、ターンテーブル
固定用キャップ（５）がカセット内に収納された一番下
のウェハより高くなっているため、乱流が発生し、この
ためウェハが撮動して乾燥が不十分であるなどの欠点が
あった。

この発明は上記のような従来のものの欠点を除去するた
めになされたもので、ウェハ乾燥時、ウェハのｋｌｊｔ
をなくすることにより乾燥不足のないスピンドライヤー
？提供することご目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明では、ターンテーブル固定用キャップの高さを
カセット内の一番下のウェハより低くシ、気流を層流に
したものである。

〔作用〕

この発明では、ウェハ乾燥時に気流が層流となってウェ
ハが振動しなくなるので、乾燥不足がなくなる。

〔実施例〕

以下この発明σ〕一実施例を第１図について説明Ｔる。

第１図において、四はターンテーブル固定用キャップで
、このキャップはカセット（２）内に収納サレタウエへ
（１）の−香下のウェハ（１ａ）よりも低く設定されて
いる。なお、その他の構成は第２図の従来例と同様であ
るので説明を省略する０次に動作について説明Ｔる。ウ
ェハ１１１を収納したカセット（２）をクレードル１３
）に入れて同転させ、空気吸込口（９）より空気を吸込
み、９エバ表面の風速及び遠心力によってウェハを乾燥
させるのは従来と同じであるが、この時、カセット（２
）内に収納さｎた９エバ（１）の−香下のウェハ（ＩＩ
Ｌ）の表口は、構造上、つまりキャップαυの上位にあ
る関係上層流になるため、ウェハは）の振動がな（なり
、完全な乾燥が可能になる。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、ターンテーブル固定用
キャップの高さをカセット内のウェハより低くしたため
、空気の流れが層流になり、ウェハが撮動しなくなって
乾燥不足がなくなるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す断面図、第２肉は従
来のスピンドライヤーを示す断面面であるＯ 図中、（１）はウェハ、（２）はカセット、（４）はタ
ーンテーブル、東はターンテーブル固定用キャップであ
る。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　半導体ウェハを乾燥させるのに用いるスピンドライヤ
   ーにおいて、ターンテーブル固定用キャップの高さをカ
   セット内に収納した一番下のウェハの位置より低く設定
   し、ウェハ表面を流れる空気の流れを層流にしてウェハ
   の乾燥不足をなくすようにしたことを特徴とするスピン
   ドライヤー。