JPH01279113A - 真空装置用の軸受装置 - Google Patents
真空装置用の軸受装置Info
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- JPH01279113A JPH01279113A JP63108178A JP10817888A JPH01279113A JP H01279113 A JPH01279113 A JP H01279113A JP 63108178 A JP63108178 A JP 63108178A JP 10817888 A JP10817888 A JP 10817888A JP H01279113 A JPH01279113 A JP H01279113A
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- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 claims abstract description 25
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 7
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 7
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 7
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 6
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 241001494479 Pecora Species 0.000 description 1
- 239000011554 ferrofluid Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
- F16J15/40—Sealings between relatively-moving surfaces by means of fluid
- F16J15/43—Sealings between relatively-moving surfaces by means of fluid kept in sealing position by magnetic force
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
- F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
- F16C33/06—Sliding surface mainly made of metal
- F16C33/10—Construction relative to lubrication
- F16C33/1025—Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant
- F16C33/103—Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant retained in or near the bearing
- F16C33/1035—Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant retained in or near the bearing by a magnetic field acting on a magnetic liquid
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野） ゛この発明は
真空装置用の軸受装置に関するものである。
真空装置用の軸受装置に関するものである。
（従来の技術及びその問題点）
シャフトに球状頭部を設ける一方、軸受部材側に上記球
状頭部の嵌入し得る球状凹部を設け、上記球状頭部と球
状凹部との間に磁性流体を介設すると共に、この磁性流
体を磁気保持する構造の軸受装置は、例えば特開昭６１
−１１９８１３号公報にも記載されているよう−に公知
である。
状頭部の嵌入し得る球状凹部を設け、上記球状頭部と球
状凹部との間に磁性流体を介設すると共に、この磁性流
体を磁気保持する構造の軸受装置は、例えば特開昭６１
−１１９８１３号公報にも記載されているよう−に公知
である。
この軸受装置は、構成が節素であり、部品点数も少なく
てよいという利点があり、種々の分野への適用が検討さ
れている。
てよいという利点があり、種々の分野への適用が検討さ
れている。
とどろで本発萌者は、上記軸受装置を、シャフトが高速
回転駆動されｇ真空装置に適用することを試゛みだが、
その結果、次のような不具合の生ずること力゛（明らか
になった。それは、真空装置において上記軸受装置を低
圧雰囲気下で使用した場合、磁性流体の発熱に対して充
分′な冷却効果が得られず、羊のため磁性流体の消火速
度が速く、充分な寿命°が得゛られ“ないということで
ある。
回転駆動されｇ真空装置に適用することを試゛みだが、
その結果、次のような不具合の生ずること力゛（明らか
になった。それは、真空装置において上記軸受装置を低
圧雰囲気下で使用した場合、磁性流体の発熱に対して充
分′な冷却効果が得られず、羊のため磁性流体の消火速
度が速く、充分な寿命°が得゛られ“ないということで
ある。
この発明は上記した従来の欠点を解決するためになされ
たものであって、その目的は、充分な使用寿命を確保す
ることの可能な真空装置用の軸受装置を提供することに
ある。
たものであって、その目的は、充分な使用寿命を確保す
ることの可能な真空装置用の軸受装置を提供することに
ある。
（問題点を解決するための手段）
そこでこの発明の真空装置用の軸受装置では、低圧雰囲
気から大気側へと導出される回転シャフトの一端側にお
いて、上記シャフトの周囲には、両端面が異極に構成さ
れた環状磁石を配置し、この環状磁石の一端面には、シ
ャフト挿通孔を備えた環状ポールピースを取付けると共
に、このシャフト挿通孔の内周部とシャフト外周部との
間に磁性流体を介設することによって低圧雰囲気と大気
側とのシールを行う一方、上記シャフトの端部には球状
頭部を形成し、上記環状磁石の他端面に取付けられた磁
性体製の軸受部材には、上記球状頭部の嵌入する球状凹
部を形成し、上記球状頭部と球状凹部との間には磁性流
体を介設することによって軸受部を構成し、さらに上記
軸受部材には内外を貫通する貫通孔を設け、この貫通孔
を大気開放しである。
気から大気側へと導出される回転シャフトの一端側にお
いて、上記シャフトの周囲には、両端面が異極に構成さ
れた環状磁石を配置し、この環状磁石の一端面には、シ
ャフト挿通孔を備えた環状ポールピースを取付けると共
に、このシャフト挿通孔の内周部とシャフト外周部との
間に磁性流体を介設することによって低圧雰囲気と大気
側とのシールを行う一方、上記シャフトの端部には球状
頭部を形成し、上記環状磁石の他端面に取付けられた磁
性体製の軸受部材には、上記球状頭部の嵌入する球状凹
部を形成し、上記球状頭部と球状凹部との間には磁性流
体を介設することによって軸受部を構成し、さらに上記
軸受部材には内外を貫通する貫通孔を設け、この貫通孔
を大気開放しである。
（作用）
上記軸受部は大気圧に保持されることになるので、磁性
流体に対しては大気による充分な冷却効果が与えられ、
そのため軸受寿命を向上することが可能となる。
流体に対しては大気による充分な冷却効果が与えられ、
そのため軸受寿命を向上することが可能となる。
（実施例）
次にこの発明の真空装置用の軸受装置の具体的な実施例
について、図面を参照しつつ詳細に説明する。 、 第１図において、１は回転駆動されるシャフトを示して
いるが、このシャフトｌは一端側において、低圧雰囲気
Ａから大気側Ｂへと導出されており、径大部２、径小部
３、球状頭部４を備えている。上記径小部３の外周部に
は、環状磁石５が配置されており、この環状磁石５の上
端面に環状ポールピース６が、またその下端面に軸受部
材７がそれぞれ取付けられている。上記環状ポールピー
ス６は、その中心部に、上記シャフト１の径大部２の挿
通するシャフト挿通孔８を有している。そしてこのシャ
フト挿通孔８の内周部には、複数条の溝９・・を周設す
ることによって複数のステージ部１０・・が形成される
と共に、各ステージ部１０・・とシャフト１の径大部２
との間に磁性流体１１が介設され、これにより多段シー
ル機能を有するシール部１２が構成されている。
について、図面を参照しつつ詳細に説明する。 、 第１図において、１は回転駆動されるシャフトを示して
いるが、このシャフトｌは一端側において、低圧雰囲気
Ａから大気側Ｂへと導出されており、径大部２、径小部
３、球状頭部４を備えている。上記径小部３の外周部に
は、環状磁石５が配置されており、この環状磁石５の上
端面に環状ポールピース６が、またその下端面に軸受部
材７がそれぞれ取付けられている。上記環状ポールピー
ス６は、その中心部に、上記シャフト１の径大部２の挿
通するシャフト挿通孔８を有している。そしてこのシャ
フト挿通孔８の内周部には、複数条の溝９・・を周設す
ることによって複数のステージ部１０・・が形成される
と共に、各ステージ部１０・・とシャフト１の径大部２
との間に磁性流体１１が介設され、これにより多段シー
ル機能を有するシール部１２が構成されている。
一方、上記軸受部材７の内側中央部の位置には、上記シ
ャフトｌの球状頭部４の嵌入する球状凹部１３が形成さ
れると共に、球状頭部４と球状凹部１３との間に磁性流
体１４が介設され、これにより軸受部１５が構成されて
いる。また上記軸受部材７には、その内外を貫通する貫
通孔１６が形成されているが、この貫通孔１６は、上記
軸受部１５を大気開放するためのものである。
ャフトｌの球状頭部４の嵌入する球状凹部１３が形成さ
れると共に、球状頭部４と球状凹部１３との間に磁性流
体１４が介設され、これにより軸受部１５が構成されて
いる。また上記軸受部材７には、その内外を貫通する貫
通孔１６が形成されているが、この貫通孔１６は、上記
軸受部１５を大気開放するためのものである。
上記各磁性流体１１．１４は、環状磁石５によって磁気
保持される訳であるが、上記環状磁石５は、その上端面
と下端面とが異極になされたもので、環状磁石５の上端
面から環状ポールピース６、シャツ）１の径大部２、径
小部３、球状頭部４、軸受部材７をそれぞれ経由して上
記環状磁石５の下端面へと至る磁気回路を構成し、この
回路内に磁性流体１１．１４を保持しているのである。
保持される訳であるが、上記環状磁石５は、その上端面
と下端面とが異極になされたもので、環状磁石５の上端
面から環状ポールピース６、シャツ）１の径大部２、径
小部３、球状頭部４、軸受部材７をそれぞれ経由して上
記環状磁石５の下端面へと至る磁気回路を構成し、この
回路内に磁性流体１１．１４を保持しているのである。
なお上記環状ポールピース６、シャフトｌ及び軸受部材
７が磁性体によって構成されるのは、もちろんである。
７が磁性体によって構成されるのは、もちろんである。
上記した真空装置用の軸受装置においては、次のような
利点が生ずる。
利点が生ずる。
まず第１には、軸受部１５を大気開放しであることから
、磁性流体１４の冷却効果が充分に得られ、そのなめ軸
受寿命を向上し得るということである。
、磁性流体１４の冷却効果が充分に得られ、そのなめ軸
受寿命を向上し得るということである。
また第２には、上記各磁性流体１１．１４が磁気保持さ
れているので、取付姿勢に制限を受けず、自由な取付姿
勢を選択し得るということである。
れているので、取付姿勢に制限を受けず、自由な取付姿
勢を選択し得るということである。
また第３には、単一の環状磁石５でもってシール用と軸
受用との２個所の磁性流体１１．１４を保持するように
しているので、その構成が簡素になるということである
。
受用との２個所の磁性流体１１．１４を保持するように
しているので、その構成が簡素になるということである
。
（発明の効果）
この発明の真空装置用の軸受装置では、軸受部を大気開
放しであることから、磁性流体の冷却効果が充分に得ら
れ、そのため軸受寿命を向上し得ることになる。また各
磁性流体が磁気保持されているので、取付姿勢に制限を
受けず、自由な取付姿勢を選択し得るという利点が生ず
る。さらに単一の環状磁石でもって、シール用と軸受用
との２個所の磁性流体を保持するようにしているので、
その構成が簡素になるという効果もある。
放しであることから、磁性流体の冷却効果が充分に得ら
れ、そのため軸受寿命を向上し得ることになる。また各
磁性流体が磁気保持されているので、取付姿勢に制限を
受けず、自由な取付姿勢を選択し得るという利点が生ず
る。さらに単一の環状磁石でもって、シール用と軸受用
との２個所の磁性流体を保持するようにしているので、
その構成が簡素になるという効果もある。
第１図はこの発明の真空装置用の軸受装置の一実施例の
中央縦断面図である。 ｌ・・・シャフト、４・・・球状頭部、５・・・環状磁
石、６・・・環状ポールピース、７・・・軸受部材、８
・・・シャフト挿通孔、１１・・・磁性流体、１２・・
・シール部、１３・・・球状凹部、１４・・・磁性流体
、１５・・・軸受部、１６・・・貫通孔。 特許出願人 日本フェロ−フルイデイクス株式会
社 第１図
中央縦断面図である。 ｌ・・・シャフト、４・・・球状頭部、５・・・環状磁
石、６・・・環状ポールピース、７・・・軸受部材、８
・・・シャフト挿通孔、１１・・・磁性流体、１２・・
・シール部、１３・・・球状凹部、１４・・・磁性流体
、１５・・・軸受部、１６・・・貫通孔。 特許出願人 日本フェロ−フルイデイクス株式会
社 第１図
Claims (1)
- １、低圧雰囲気から大気側へと導出される回転シャフト
の一端側において、上記シャフトの周囲には、両端面が
異極に構成された環状磁石を配置し、この環状磁石の一
端面には、シャフト挿通孔を備えた環状ポールピースを
取付けると共に、このシャフト挿通孔の内周部とシャフ
ト外周部との間に磁性流体を介設することによって低圧
雰囲気と大気側とのシールを行う一方、上記シャフトの
端部には球状頭部を形成し、上記環状磁石の他端面に取
付けられた磁性体製の軸受部材には、上記球状頭部の嵌
入する球状凹部を形成し、上記球状頭部と球状凹部との
間には磁性流体を介設することによって軸受部を構成し
、さらに上記軸受部材には内外を貫通する貫通孔を設け
、この貫通孔を大気開放して成る真空装置用の軸受装置
。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63108178A JPH01279113A (ja) | 1988-04-30 | 1988-04-30 | 真空装置用の軸受装置 |
| US07/344,651 US4955731A (en) | 1988-04-30 | 1989-04-27 | Bearing equipment for vacuum devices |
| DE89107807T DE68908596T2 (de) | 1988-04-30 | 1989-04-28 | Lagerausrüstung für Vakuumvorrichtung. |
| EP89107807A EP0340684B1 (en) | 1988-04-30 | 1989-04-28 | Bearing equipment for vacuum device |
| KR1019890005844A KR900016631A (ko) | 1988-04-30 | 1989-04-29 | 진공장치용의 베어링 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63108178A JPH01279113A (ja) | 1988-04-30 | 1988-04-30 | 真空装置用の軸受装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01279113A true JPH01279113A (ja) | 1989-11-09 |
Family
ID=14477971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63108178A Pending JPH01279113A (ja) | 1988-04-30 | 1988-04-30 | 真空装置用の軸受装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4955731A (ja) |
| EP (1) | EP0340684B1 (ja) |
| JP (1) | JPH01279113A (ja) |
| KR (1) | KR900016631A (ja) |
| DE (1) | DE68908596T2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5660397A (en) * | 1994-09-23 | 1997-08-26 | Holtkamp; William H. | Devices employing a liquid-free medium |
| US6592263B2 (en) * | 2001-12-10 | 2003-07-15 | Wen-Hao Chuang | Efficient bearing |
| CN114635925B (zh) * | 2022-02-23 | 2024-02-13 | 清华大学 | 基于表面织构的磁性液体密封装置 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2316920A (en) * | 1938-10-28 | 1943-04-20 | Landis & Gyr Ag | Electricity meter |
| US4043612A (en) * | 1975-06-06 | 1977-08-23 | Ampex Corporation | Bearing structure |
| FR2504620B1 (fr) * | 1981-04-27 | 1986-05-16 | Nippon Seiko Kk | Palier a fluide du type a pression dynamique |
| DE3140218A1 (de) * | 1981-10-09 | 1983-04-28 | Marker Patentverwertungsgesellschaft mbH, 6340 Baar | Kraftmesssystem fuer sicherheits-skibindungen. |
| US4842426A (en) * | 1985-09-09 | 1989-06-27 | Nippon Seiko Kabushiki Kaisha | Bearing assembly |
| US4671679A (en) * | 1986-05-05 | 1987-06-09 | Mechanical Technology Incorporated | Magnetic fluid devices such as magnetic fluid bearings, seals, and the like and an automatic magnetic fluid supply control system therefor |
| US4717266A (en) * | 1986-06-12 | 1988-01-05 | Spectra-Physics, Inc. | Low friction ferrofluid bearing arrangement |
| DE8705884U1 (ja) * | 1987-04-23 | 1987-06-19 | Diesing, Iris, 7140 Ludwigsburg, De |
-
1988
- 1988-04-30 JP JP63108178A patent/JPH01279113A/ja active Pending
-
1989
- 1989-04-27 US US07/344,651 patent/US4955731A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-04-28 EP EP89107807A patent/EP0340684B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-04-28 DE DE89107807T patent/DE68908596T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-04-29 KR KR1019890005844A patent/KR900016631A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR900016631A (ko) | 1990-11-14 |
| DE68908596D1 (de) | 1993-09-30 |
| US4955731A (en) | 1990-09-11 |
| EP0340684A2 (en) | 1989-11-08 |
| EP0340684A3 (en) | 1990-09-26 |
| DE68908596T2 (de) | 1993-12-23 |
| EP0340684B1 (en) | 1993-08-25 |
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