JPH07174239A - シール機構 - Google Patents
シール機構Info
- Publication number
- JPH07174239A JPH07174239A JP5321536A JP32153693A JPH07174239A JP H07174239 A JPH07174239 A JP H07174239A JP 5321536 A JP5321536 A JP 5321536A JP 32153693 A JP32153693 A JP 32153693A JP H07174239 A JPH07174239 A JP H07174239A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- pole piece
- magnetic fluid
- seal
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気漏れや製品精度の低下及びメンテナンス
性の低下を伴うことなく、極めて高い圧力差を可能とさ
せるシール機構を提供する。 【構成】 ハウジング６２には、ポールピース６４と、
永久磁石６６、及びポールピース６４と回転軸６８との
微少な隙間に充填された磁性流体７２とから構成される
磁性流体シールユニット７４が収容されている。磁性流
体シールユニット７４には、プレート８２がネジ８０に
よってハウジング６２に固定されることで、ベアリング
７０を介して軸方向の押圧力が加えられている。この押
圧力によって金属シール７８は、ハウジング６２の係止
部６２３と、上側ポールピース６４１に形成された溝７
６との間に狭圧保持されている。ハウジング６２と磁性
流体シールユニット７４との間のシールは、この金属シ
ール７８によって行われる。
性の低下を伴うことなく、極めて高い圧力差を可能とさ
せるシール機構を提供する。 【構成】 ハウジング６２には、ポールピース６４と、
永久磁石６６、及びポールピース６４と回転軸６８との
微少な隙間に充填された磁性流体７２とから構成される
磁性流体シールユニット７４が収容されている。磁性流
体シールユニット７４には、プレート８２がネジ８０に
よってハウジング６２に固定されることで、ベアリング
７０を介して軸方向の押圧力が加えられている。この押
圧力によって金属シール７８は、ハウジング６２の係止
部６２３と、上側ポールピース６４１に形成された溝７
６との間に狭圧保持されている。ハウジング６２と磁性
流体シールユニット７４との間のシールは、この金属シ
ール７８によって行われる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シール機構に係り、詳
細には、磁性流体シールを用いたシール機構に関する。
細には、磁性流体シールを用いたシール機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、真空容器内に配置された搬送装
置を容器外に配設されたモータで回転させる場合等、回
転軸を大気側から真空側へと導入する場合には、その導
入部分におけるシール機構として磁性流体シールが多く
用いられている。
置を容器外に配設されたモータで回転させる場合等、回
転軸を大気側から真空側へと導入する場合には、その導
入部分におけるシール機構として磁性流体シールが多く
用いられている。
【０００３】磁性流体シールは、永久磁石によって磁化
された固定側と磁性材料からなる回転軸側との間に微少
な隙間を設け、この隙間にシール材として磁性流体を充
填させることで軸封止をするものである。図４は、磁性
流体シールを用いた従来のシール機構を表したものであ
る。
された固定側と磁性材料からなる回転軸側との間に微少
な隙間を設け、この隙間にシール材として磁性流体を充
填させることで軸封止をするものである。図４は、磁性
流体シールを用いた従来のシール機構を表したものであ
る。
【０００４】このシール機構１０では、磁性材料からな
る回転軸１２を包囲するドーナツ型の永久磁石１４とポ
ールピース１６とが軸方向に交互に並べられ、ポールピ
ース１６と回転軸１２との間には、微少な隙間が設けら
れている。磁性流体１８は、この隙間に充填されてい
る。永久磁石１４による磁束は、図４に矢印ａで示すよ
うな磁気回路を形成する。
る回転軸１２を包囲するドーナツ型の永久磁石１４とポ
ールピース１６とが軸方向に交互に並べられ、ポールピ
ース１６と回転軸１２との間には、微少な隙間が設けら
れている。磁性流体１８は、この隙間に充填されてい
る。永久磁石１４による磁束は、図４に矢印ａで示すよ
うな磁気回路を形成する。
【０００５】回転軸１２が回転したり、あるいは上下動
しても、磁性流体１８は、永久磁石１４による磁界でポ
ールピース１６と回転軸１２との隙間に保持されるの
で、図において上を真空側、下を大気側とすると真空−
大気間の気体の流通が阻止される。
しても、磁性流体１８は、永久磁石１４による磁界でポ
ールピース１６と回転軸１２との隙間に保持されるの
で、図において上を真空側、下を大気側とすると真空−
大気間の気体の流通が阻止される。
【０００６】なお、ハウジング側のシール、すなわち、
ハウジング２０と、ポールピース１６及び永久磁石１４
との間のシールは、ポールピース１６の外周面に形成さ
れた溝に嵌め込まれたゴム材からなるＯリング２２、２
３で行われる。図５〜７は、磁性流体を用いた従来の他
のシール機構を表したものである。
ハウジング２０と、ポールピース１６及び永久磁石１４
との間のシールは、ポールピース１６の外周面に形成さ
れた溝に嵌め込まれたゴム材からなるＯリング２２、２
３で行われる。図５〜７は、磁性流体を用いた従来の他
のシール機構を表したものである。
【０００７】図５に示したシール機構２４では、回転軸
２６側のみならず、ハウジング２８側も磁性流体３０に
よってシールされている。すなわち、永久磁石３１から
の磁束が磁性流体３０を介してハウジング２８側へと貫
通している。ただし、磁気漏れを防ぐためハウジング２
８は非磁性材料で作られているので、ハウジング２８
の、ポールピース３２と対向する面に、磁性材料からな
る円筒部材３４が嵌め込まれ、これが磁気回路の一部を
成すようになっている。
２６側のみならず、ハウジング２８側も磁性流体３０に
よってシールされている。すなわち、永久磁石３１から
の磁束が磁性流体３０を介してハウジング２８側へと貫
通している。ただし、磁気漏れを防ぐためハウジング２
８は非磁性材料で作られているので、ハウジング２８
の、ポールピース３２と対向する面に、磁性材料からな
る円筒部材３４が嵌め込まれ、これが磁気回路の一部を
成すようになっている。
【０００８】図６に示したシール機構３６では、永久磁
石３８及びポールピース４０が回転軸４２に固定され、
磁性流体４４は、磁性材料からなるハウジング４６とポ
ールピース４０との間に設けられた微少な隙間に充填さ
れている。従って、磁気回路は、図６に矢印ｂで示すよ
うに形成され、磁性流体によるシールは、このハウジン
グ４６とポールピース４０の間で行われる。
石３８及びポールピース４０が回転軸４２に固定され、
磁性流体４４は、磁性材料からなるハウジング４６とポ
ールピース４０との間に設けられた微少な隙間に充填さ
れている。従って、磁気回路は、図６に矢印ｂで示すよ
うに形成され、磁性流体によるシールは、このハウジン
グ４６とポールピース４０の間で行われる。
【０００９】図７に示したシール機構４８は、図５に示
したシール機構１０と同様に、ポールピース５０と回転
軸５２との隙間に磁性流体５４を介在させ、永久磁石５
６による磁気回路を、図７に矢印ｃで示すように形成す
ることでシールを行う。ハウジング５８側のシールは、
ポールピース５０がフランジ部５１でハウジング５８に
溶接されることで、行われるようになっている。
したシール機構１０と同様に、ポールピース５０と回転
軸５２との隙間に磁性流体５４を介在させ、永久磁石５
６による磁気回路を、図７に矢印ｃで示すように形成す
ることでシールを行う。ハウジング５８側のシールは、
ポールピース５０がフランジ部５１でハウジング５８に
溶接されることで、行われるようになっている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】図４に示したシール機
構１０では、ハウジング２０側のシールがゴム材からな
るＯリング２２、２３によって行われるので、真空側で
極めて高い真空度を達成しようとすると、気体が大気側
から真空側へとＯリング２２、２３を透過してしまう。
また、Ｏリング２２、２３自体からのガス放出も起こ
る。
構１０では、ハウジング２０側のシールがゴム材からな
るＯリング２２、２３によって行われるので、真空側で
極めて高い真空度を達成しようとすると、気体が大気側
から真空側へとＯリング２２、２３を透過してしまう。
また、Ｏリング２２、２３自体からのガス放出も起こ
る。
【００１１】磁性流体シール単体でのシール、すなわ
ち、磁性流体によるシールでは、１０ -11 ｔｏｒｒの真
空度を達成させることができるが、前述したＯリング２
２、２３の気体透過及びガス放出により、実際には、１
０-8ｔｏｒｒまでしか到達させることができない。
ち、磁性流体によるシールでは、１０ -11 ｔｏｒｒの真
空度を達成させることができるが、前述したＯリング２
２、２３の気体透過及びガス放出により、実際には、１
０-8ｔｏｒｒまでしか到達させることができない。
【００１２】図５に示したシール機構２４では、ハウジ
ング２８が非磁性材料、例えば、ＳＵＳ３０３からな
り、磁気回路の一部となる円筒部材３４は、磁性材料、
例えば、ＳＵＳ６３０からなるので、両者を溶接するの
は難しく、実際には、ハウジング２８と円筒部材３４の
間にゴム材のＯリングを介在させる必要がある。従っ
て、図４のシール機構１０と同様にＯリングによる気体
透過やガス放出で、到達真空度が悪いという問題があ
る。
ング２８が非磁性材料、例えば、ＳＵＳ３０３からな
り、磁気回路の一部となる円筒部材３４は、磁性材料、
例えば、ＳＵＳ６３０からなるので、両者を溶接するの
は難しく、実際には、ハウジング２８と円筒部材３４の
間にゴム材のＯリングを介在させる必要がある。従っ
て、図４のシール機構１０と同様にＯリングによる気体
透過やガス放出で、到達真空度が悪いという問題があ
る。
【００１３】また、図６に示したシール機構３６では、
回転軸４２とポールピース４０とを一体構造とするか、
あるいは回転軸４２とポールピース４０の間にシール材
を設けなければならない。但し、回転軸４２は、磁気漏
れ防止のため非磁性材料にした方がよく、非磁性材料に
した場合は、磁性材料であるポールピース４０等との一
体構造は不可能である。また、この場合、図５のシール
機構２４と同様に溶接も困難であるので、回転軸４２と
ポールピース４０の間のシールにゴム材のＯリングを用
いることとなる。
回転軸４２とポールピース４０とを一体構造とするか、
あるいは回転軸４２とポールピース４０の間にシール材
を設けなければならない。但し、回転軸４２は、磁気漏
れ防止のため非磁性材料にした方がよく、非磁性材料に
した場合は、磁性材料であるポールピース４０等との一
体構造は不可能である。また、この場合、図５のシール
機構２４と同様に溶接も困難であるので、回転軸４２と
ポールピース４０の間のシールにゴム材のＯリングを用
いることとなる。
【００１４】更に、図７に示したシール機構４８では、
溶接時の熱でポールピース５０等が変形し、製品精度が
悪くなる虞れがある。また、磁性流体は、高温下で使用
されると蒸発したり変質したりするので、磁性流体の補
充、交換等のメンテナンスを定期的に行う必要がある
が、シール機構４８では、ポールピース５０とハウジン
グ５８とが溶接されているので、分解することができず
メンテナンス性が悪い。
溶接時の熱でポールピース５０等が変形し、製品精度が
悪くなる虞れがある。また、磁性流体は、高温下で使用
されると蒸発したり変質したりするので、磁性流体の補
充、交換等のメンテナンスを定期的に行う必要がある
が、シール機構４８では、ポールピース５０とハウジン
グ５８とが溶接されているので、分解することができず
メンテナンス性が悪い。
【００１５】そこで、本発明は、磁気漏れや製品精度の
低下及びメンテナンス性の低下を伴うことなく、極めて
高い圧力差、例えば、極めて高い到達真空度を可能とさ
せるシール機構を提供することにある。
低下及びメンテナンス性の低下を伴うことなく、極めて
高い圧力差、例えば、極めて高い到達真空度を可能とさ
せるシール機構を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明では、磁性材から
なる回転軸に対して微少な隙間をもって包囲すると共に
磁気を作用させる磁気発生部材と、前記間隙に充填され
た磁性流体と、前記磁気発生部材の一端部を全周にわた
り軸方向に係止する係止部が形成され前記磁気発生部材
を包囲するハウジングと、このハウジングの係止部と前
記磁気発生部材との間に配設された環状の金属製のシー
ル部材と、前記磁気発生部材の他端側を押圧する押圧手
段とをシール機構に具備させたことで前記目的を達成す
る。
なる回転軸に対して微少な隙間をもって包囲すると共に
磁気を作用させる磁気発生部材と、前記間隙に充填され
た磁性流体と、前記磁気発生部材の一端部を全周にわた
り軸方向に係止する係止部が形成され前記磁気発生部材
を包囲するハウジングと、このハウジングの係止部と前
記磁気発生部材との間に配設された環状の金属製のシー
ル部材と、前記磁気発生部材の他端側を押圧する押圧手
段とをシール機構に具備させたことで前記目的を達成す
る。
【００１７】
【作用】本発明のシール機構では、磁気発生部材の磁気
で磁性流体が回転軸との隙間に保持されるので、この磁
性流体により回転軸と磁気発生部材との間の気密が保た
れる。また、押圧手段によって磁気発生部材の他端側が
押圧され、金属製のシール部材が狭圧状態となること
で、係止部において磁気発生部材とハウジングとの間の
気密が保たれる。
で磁性流体が回転軸との隙間に保持されるので、この磁
性流体により回転軸と磁気発生部材との間の気密が保た
れる。また、押圧手段によって磁気発生部材の他端側が
押圧され、金属製のシール部材が狭圧状態となること
で、係止部において磁気発生部材とハウジングとの間の
気密が保たれる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明のシール機構における実施例を
図１ないし図３を参照して詳細に説明する。図１は、第
１の実施例によるシール機構６０を表したものである。
図１ないし図３を参照して詳細に説明する。図１は、第
１の実施例によるシール機構６０を表したものである。
【００１９】シール機構６０は、上下にそれぞれ上側開
口６１１と下側開口６１２を有する円筒形状のハウジン
グ６２を備えている。このハウジング６２は、非磁性材
料からなり、その内部には、それぞれ中心部に丸穴が設
けられた円板状のポールピース６４と永久磁石６６とが
交互に並べられて収容されている。ポールピース６４と
永久磁石６６とは、外径が同じであるが、内径は、ポー
ルピース６４の方が小さい。回転軸６８は、ハウジング
６２の下側部分に収容されたベアリング７０で支持され
ると共に、ポールピース６４と永久磁石６６の中心穴に
挿通されており、回転軸６８とポールピース６４との間
には、微少な隙間が設けられるようになっている。この
微少な隙間には、磁性流体７２が充填され、この磁性流
体７２、永久磁石６６及びポールピース６４から、回転
軸６８の上側と下側をシールする磁性流体シールユニッ
ト７４が構成されている。
口６１１と下側開口６１２を有する円筒形状のハウジン
グ６２を備えている。このハウジング６２は、非磁性材
料からなり、その内部には、それぞれ中心部に丸穴が設
けられた円板状のポールピース６４と永久磁石６６とが
交互に並べられて収容されている。ポールピース６４と
永久磁石６６とは、外径が同じであるが、内径は、ポー
ルピース６４の方が小さい。回転軸６８は、ハウジング
６２の下側部分に収容されたベアリング７０で支持され
ると共に、ポールピース６４と永久磁石６６の中心穴に
挿通されており、回転軸６８とポールピース６４との間
には、微少な隙間が設けられるようになっている。この
微少な隙間には、磁性流体７２が充填され、この磁性流
体７２、永久磁石６６及びポールピース６４から、回転
軸６８の上側と下側をシールする磁性流体シールユニッ
ト７４が構成されている。
【００２０】本実施例では、ハウジング６２の上側フラ
ンジ部６２１に、例えば真空容器が取り付けられ、図に
おいて上側が真空側となり、下側が大気側となる。図１
に示すように、磁性流体シールユニット７４の最上端に
位置するポールピース６４（以下、これを「上側ポール
ピース６４１」とする）の、ハウジング６２の係止部６
２３と当接している上端部６４１ａには、環状の溝７６
が形成されている。この溝７６には、金属シール７８が
狭圧保持されている。
ンジ部６２１に、例えば真空容器が取り付けられ、図に
おいて上側が真空側となり、下側が大気側となる。図１
に示すように、磁性流体シールユニット７４の最上端に
位置するポールピース６４（以下、これを「上側ポール
ピース６４１」とする）の、ハウジング６２の係止部６
２３と当接している上端部６４１ａには、環状の溝７６
が形成されている。この溝７６には、金属シール７８が
狭圧保持されている。
【００２１】図１に示すようにハウジング６２に収容さ
れた状態において、ベアリング７０の上端は、磁性流体
シールユニット７４の最下端に位置するポールピース６
４（以下、これを「下側ポールピース６４２」とする）
と当接しており、ベアリング７０の下端は、ハウジング
６２の下側開口６１２より若干下方に突出している。
れた状態において、ベアリング７０の上端は、磁性流体
シールユニット７４の最下端に位置するポールピース６
４（以下、これを「下側ポールピース６４２」とする）
と当接しており、ベアリング７０の下端は、ハウジング
６２の下側開口６１２より若干下方に突出している。
【００２２】この突出したベアリング７０の下端面に
は、複数のネジ８０を下側フランジ部６２２に形成され
たネジ穴８１に螺合させることによってハウジング６２
に固定された円形のプレート８２が当接している。この
プレート８２によってハウジング６２の下側開口６１２
が閉塞されると共に、ベアリング７０を介して磁性流体
シールユニット７４が上方へと押圧されている。なお、
プレート８２と下側フランジ部６２２との間には、若干
の隙間が開いており、ネジ８０の締め具合で磁性流体シ
ールユニット７４への押圧力を調整できるようになって
いる。
は、複数のネジ８０を下側フランジ部６２２に形成され
たネジ穴８１に螺合させることによってハウジング６２
に固定された円形のプレート８２が当接している。この
プレート８２によってハウジング６２の下側開口６１２
が閉塞されると共に、ベアリング７０を介して磁性流体
シールユニット７４が上方へと押圧されている。なお、
プレート８２と下側フランジ部６２２との間には、若干
の隙間が開いており、ネジ８０の締め具合で磁性流体シ
ールユニット７４への押圧力を調整できるようになって
いる。
【００２３】図２は、金属シール７８の形状を表したも
のである。金属シール７８は、狭圧されていない状態で
は、図２に示すような中空の円形断面を有しており、本
実施例では、メタル中空Ｏ−リングを用いる。この金属
シール７８の直径は、上側ポールピース６４１の溝７６
の深さより大きく、図１に示すように狭圧保持されてい
る状態では、図２において矢印で示すように上下方向か
ら押圧力が加わっているので、弾性変形して長円形状と
なる。なお、金属シール７８として、コイルスプリング
等の弾性コアを内蔵して復元力を高めたメタルＣ−リン
グを用いてもよい。
のである。金属シール７８は、狭圧されていない状態で
は、図２に示すような中空の円形断面を有しており、本
実施例では、メタル中空Ｏ−リングを用いる。この金属
シール７８の直径は、上側ポールピース６４１の溝７６
の深さより大きく、図１に示すように狭圧保持されてい
る状態では、図２において矢印で示すように上下方向か
ら押圧力が加わっているので、弾性変形して長円形状と
なる。なお、金属シール７８として、コイルスプリング
等の弾性コアを内蔵して復元力を高めたメタルＣ−リン
グを用いてもよい。
【００２４】組み立て時においては、先ず、溝７６から
突出した金属シール７８が係止部６２３に当接するま
で、磁性流体シールユニット７４をハウジング６２に挿
入する。そして、その後ろからベアリング７０を挿入す
ると共に、ネジ８０をネジ穴８１に螺合させることでプ
レート８２を下側フランジ部６２２に取付ける。この時
のネジ８０の螺合で、磁性流体シールユニット７４は、
溝７６内の金属シール７８が弾性変形させながら上方へ
と移動し、上側ポールピース６４１の上端部６４１ａと
ハウジング６２の係止部６２３とが当接することで、金
属シール７８は、溝７６内に狭圧保持される。
突出した金属シール７８が係止部６２３に当接するま
で、磁性流体シールユニット７４をハウジング６２に挿
入する。そして、その後ろからベアリング７０を挿入す
ると共に、ネジ８０をネジ穴８１に螺合させることでプ
レート８２を下側フランジ部６２２に取付ける。この時
のネジ８０の螺合で、磁性流体シールユニット７４は、
溝７６内の金属シール７８が弾性変形させながら上方へ
と移動し、上側ポールピース６４１の上端部６４１ａと
ハウジング６２の係止部６２３とが当接することで、金
属シール７８は、溝７６内に狭圧保持される。
【００２５】このように組み立てられたシール機構６０
では、以下のようにシールが行われる。すなわち、回転
軸６８とポールピース６４との間においては、図４に示
したシール機構１０と同様に、磁性流体７２を磁気回路
の一部とした磁界が形成されることで、真空側と大気側
との間のシールが行われる。一方、ハウジング６２側、
すなわち、磁性流体シールユニット７４とハウジング６
２の間のシールは、上側ポールピース６４１の溝７６に
狭圧保持される金属シール７８によって行われる。
では、以下のようにシールが行われる。すなわち、回転
軸６８とポールピース６４との間においては、図４に示
したシール機構１０と同様に、磁性流体７２を磁気回路
の一部とした磁界が形成されることで、真空側と大気側
との間のシールが行われる。一方、ハウジング６２側、
すなわち、磁性流体シールユニット７４とハウジング６
２の間のシールは、上側ポールピース６４１の溝７６に
狭圧保持される金属シール７８によって行われる。
【００２６】図３は、第２の実施例によるシール機構９
０において磁性流体シールユニットとハウジングとの当
接部分を拡大して表したものである。本実施例では、ハ
ウジングと磁性流体シールユニットの最上端に位置する
上側ポールピースの形状、及び金属シールの種類が第１
の実施例と異なる。
０において磁性流体シールユニットとハウジングとの当
接部分を拡大して表したものである。本実施例では、ハ
ウジングと磁性流体シールユニットの最上端に位置する
上側ポールピースの形状、及び金属シールの種類が第１
の実施例と異なる。
【００２７】すなわち、非磁性材料からなるハウジング
９２の係止部９４には、図３に示すように、下側に鋭角
的に突出した環状のハウジング側突起９６が形成されて
いる。そして、このハウジング側突起９６に対向する上
側ポールピース１００の上端部１０２には、鋭角的に上
方に突出した環状のポールピース側突起１０４が形成さ
れている。
９２の係止部９４には、図３に示すように、下側に鋭角
的に突出した環状のハウジング側突起９６が形成されて
いる。そして、このハウジング側突起９６に対向する上
側ポールピース１００の上端部１０２には、鋭角的に上
方に突出した環状のポールピース側突起１０４が形成さ
れている。
【００２８】このハウジング９２の係止部９４と上側ポ
ールピース１００の上端部１０２の間には、ハウジング
９２側をシールするための金属シール１０６が配設され
ている。本実施例では、この金属シール１０６として長
方形断面を有する環状のシールを使用する。金属シール
１０６には、ハウジング側突起９６とポールピース側突
起１０４が食い込んでおり、これにより金属シールは、
シール可能な狭圧状態となっている。他の構成は、第１
の実施例と同様である。
ールピース１００の上端部１０２の間には、ハウジング
９２側をシールするための金属シール１０６が配設され
ている。本実施例では、この金属シール１０６として長
方形断面を有する環状のシールを使用する。金属シール
１０６には、ハウジング側突起９６とポールピース側突
起１０４が食い込んでおり、これにより金属シールは、
シール可能な狭圧状態となっている。他の構成は、第１
の実施例と同様である。
【００２９】以上説明した各実施例によるシール機構６
０、９０では、シール性が良く放出ガスが極めて少ない
金属シール７８、１０６を、ネジ８０によるネジ止めで
軸方向に押圧する構造としたので、金属シール７８、１
０６を、高いシール性が得られる狭圧状態にすることが
できる。従って、真空容器内において極めて良い真空度
を達成させることができる。すなわち、磁性流体シール
単体での到達真空度である１０-11 ｔｏｒｒを達成する
ことができる。
０、９０では、シール性が良く放出ガスが極めて少ない
金属シール７８、１０６を、ネジ８０によるネジ止めで
軸方向に押圧する構造としたので、金属シール７８、１
０６を、高いシール性が得られる狭圧状態にすることが
できる。従って、真空容器内において極めて良い真空度
を達成させることができる。すなわち、磁性流体シール
単体での到達真空度である１０-11 ｔｏｒｒを達成する
ことができる。
【００３０】また、ハウジングを非磁性材料としたの
で、磁気漏れがなく、ハウジングと磁性流体シールユニ
ットとを溶接する必要もないので、溶接による製品精度
の低下が防止できる。更に、プレート８２をネジ８０に
よって着脱自在としたことで、メンテナンス性にも優れ
ている。
で、磁気漏れがなく、ハウジングと磁性流体シールユニ
ットとを溶接する必要もないので、溶接による製品精度
の低下が防止できる。更に、プレート８２をネジ８０に
よって着脱自在としたことで、メンテナンス性にも優れ
ている。
【００３１】以上の各実施例では、真空排気系に対して
使用されるシール機構について説明したが、例えば、高
圧容器の密封のために使用されるシール機構においても
本発明は適用できる。また、以上の実施例では、ネジ８
０、ネジ穴８１及びプレート８２によって、金属シール
７８、１０６を狭圧するための押圧手段を構成したが、
他の部材によって押圧手段を構成してもよく、例えば、
バネ材を用いて押圧するようにしてもよい。
使用されるシール機構について説明したが、例えば、高
圧容器の密封のために使用されるシール機構においても
本発明は適用できる。また、以上の実施例では、ネジ８
０、ネジ穴８１及びプレート８２によって、金属シール
７８、１０６を狭圧するための押圧手段を構成したが、
他の部材によって押圧手段を構成してもよく、例えば、
バネ材を用いて押圧するようにしてもよい。
【００３２】
【発明の効果】本発明のシール機構によれば、金属製の
シール部材がハウジングの係止部において押圧手段によ
る軸方向の押圧力で狭圧状態となる構造としたので、磁
気漏れや製品精度の低下及びメンテナンス性の低下を伴
うことなく、極めて高いシール力を得ることができる。
シール部材がハウジングの係止部において押圧手段によ
る軸方向の押圧力で狭圧状態となる構造としたので、磁
気漏れや製品精度の低下及びメンテナンス性の低下を伴
うことなく、極めて高いシール力を得ることができる。
【図１】本発明の第１の実施例によるシール機構を示し
た断面図である。
た断面図である。
【図２】同シール機構において用いられる金属シールの
形状を示した断面図である。
形状を示した断面図である。
【図３】本発明の第２の実施例によるシール機構の一部
を示した拡大断面図である。
を示した拡大断面図である。
【図４】従来のシール機構を示した図である。
【図５】従来の他のシール機構を示した図である。
【図６】従来の他のシール機構を示した図である。
【図７】従来の他のシール機構を示した図である。
６０、９０ シール機構 ６２、９２ ハウジング ６４ ポールピース ６６ 永久磁石 ６８ 回転軸 ７０ ベアリング ７２ 磁性流体 ７４ 磁性流体シールユニット ７６ 溝 ７８、１０６ 金属シール ８０ ネジ ８１ ネジ穴 ８２ プレート ９４、６２３ 係止部 ９６ ハウジング側突起 １００、６４１ 上側ポールピース １０４ ポールピース側突起 ６１１ 上側開口 ６１２ 下側開口 ６２１ 上側フランジ部 ６２２ 下側フランジ部 ６４１ 上側ポールピース ６４１ａ 上端部 ６４２ 下側ポールピース
Claims (1)
- 【請求項１】 磁性材からなる回転軸に対して微少な隙
間をもって包囲すると共に、磁気を作用させる磁気発生
部材と、 前記間隙に充填された磁性流体と、 前記磁気発生部材の一端部を全周にわたり軸方向に係止
する係止部が形成され、前記磁気発生部材を包囲するハ
ウジングと、 このハウジングの係止部と前記磁気発生部材との間に配
設された環状の金属製のシール部材と、 前記磁気発生部材の他端側を押圧する押圧手段とを具備
したことを特徴とするシール機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5321536A JPH07174239A (ja) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | シール機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5321536A JPH07174239A (ja) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | シール機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07174239A true JPH07174239A (ja) | 1995-07-11 |
Family
ID=18133662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5321536A Pending JPH07174239A (ja) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | シール機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07174239A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1316160C (zh) * | 2004-11-16 | 2007-05-16 | 吴雳鸣 | 双磁极双随动动静间隙处密封装置 |
| CN103133698A (zh) * | 2013-02-07 | 2013-06-05 | 北京交通大学 | 一种改变分瓣式磁性液体密封间隙的方法 |
| CN103133699A (zh) * | 2013-02-07 | 2013-06-05 | 北京交通大学 | 一种提高大间隙分瓣式磁性液体密封耐压能力的方法 |
| KR20160102158A (ko) * | 2013-12-24 | 2016-08-29 | 가부시키가이샤 리가쿠 | 자성유체 실링장치 |
| CN106015586A (zh) * | 2016-07-29 | 2016-10-12 | 广西科技大学 | 一种阶梯型端面式磁性流体密封装置 |
| CN106195026A (zh) * | 2016-09-09 | 2016-12-07 | 广西科技大学 | 一种轴承盖磁流体密封装置 |
| CN111648666A (zh) * | 2020-07-17 | 2020-09-11 | 方丹丹 | 一种具有警示功能的智能防盗锁 |
| CN112283325A (zh) * | 2020-09-29 | 2021-01-29 | 清华大学 | 磁性液体密封润滑传动装置 |
-
1993
- 1993-12-21 JP JP5321536A patent/JPH07174239A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1316160C (zh) * | 2004-11-16 | 2007-05-16 | 吴雳鸣 | 双磁极双随动动静间隙处密封装置 |
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| KR20160102158A (ko) * | 2013-12-24 | 2016-08-29 | 가부시키가이샤 리가쿠 | 자성유체 실링장치 |
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| CN112283325A (zh) * | 2020-09-29 | 2021-01-29 | 清华大学 | 磁性液体密封润滑传动装置 |
| CN112283325B (zh) * | 2020-09-29 | 2021-09-14 | 清华大学 | 磁性液体密封润滑传动装置 |
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