JPH01230109A - サーボ位置決め装置 - Google Patents

サーボ位置決め装置

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JPH01230109A
JPH01230109A JP63056979A JP5697988A JPH01230109A JP H01230109 A JPH01230109 A JP H01230109A JP 63056979 A JP63056979 A JP 63056979A JP 5697988 A JP5697988 A JP 5697988A JP H01230109 A JPH01230109 A JP H01230109A
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notch frequency
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔目次〕 概要 産業上の利用分野 従来の技術（第７図、第８図） 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段（第１図） 作用 実施例 （ａ）第１の実施例の説明（第２図、第３図）（ｂ）第
２の実施例の説明（第４図） （Ｃ）第３の実施例の説明（第５図、第６図）（ｄ）他
の実施例の説明 発明の効果 〔概要〕 サーボ機構部を位置決め制御する位置決めループ内のノ
ツチフィルタのノツチ周波数の変更を容易にしたサーボ
位置決め装置に関し、 ノツチ周波数の変更を容易にすることを目的とし、 サーボａ構部と、少なくともノツチフィルタと位相補償
回路を備え、該サーボ機構部の位置信号から位置決め信
号を出力する位置決め制御部とを有し、該位置決め信号
で該サーボ機構部を位置決め制御するサーボ位置決め装
置において、該ノツチフィルタとして、橋絡ブリッジ型
ノンチフィルタを用い、又はノツチフィルタの周波数調
整用素子をサーボ機構部に設ける。
（産業上の利用分野〕 本発明は、サーボ機構部を位置決め制御する位置決めル
ープ内のノツチフィルタのノツチ周波数の変更を容易に
したサーボ位置決め装置に関する。
高精度の位置決め制御のため、サーボ制御系が広く用い
られている。
例えば、磁気ディスク装置や光デイスク装置のヘッド位
置決め制御にサーボ制御が用いられている。
このようなサーボ制御系では、ヘッド位置決め機構等の
サーボ機構系に共振点（共振周波数）を持つことから、
位置決め制御ループ内に共振周波数成分を除去するため
のノツチフィルタを設け、共振を防止した位置決めを可
能としている。
このサーボ機構部の共振周波数は、一定でないため、ノ
ツチフィルタのノツチ周波数をサーボ機構部に対し最適
に設定するための技術が求められている。
〔従来の技術〕
第７図は従来技術の説明図であり、磁気ディスク装置の
磁気ヘッド位置決め制御装置を示している。
第７図（Ａ）において、■は磁気ディスクユニットであ
り、情報記憶媒体としての磁気ディスクＩＯがスピンド
ルモータ１２によって回転軸１１を中心に回転され、磁
気へラド１３がボイスコイルモータ部１４のアクセッサ
１４０に取付けられ、コイル１４１と磁石１４２とによ
って、磁気ディスク１０の半径方向（シータ方向という
）に移動されるものであり、これらがディスクエンクロ
ージャ１６に収容されている。
２は速度制御部であり、磁気へラド１３からのサーボ信
号による位置信号ＰＳを元に速度誤差信号△■を発生す
るもの、３は位置決め制御部であり、位置信号ＰＳをＰ
−１−Ｄ（比例、積分、微分）処理した位相補償信号か
ら位置決め信号△Ｐを発生するものである。
４は制御部であり、外部からの移動指示に応じて速度制
御部２を制御して、速度誤差信号Δ■を発生させ、ボイ
スコイルモータ１４を速度制御せしめるとともに目標位
置近傍においてコアー入／ファイン切換信号ＭＳを発し
、後述する切換スイッチを動作させるもの、５は切換ス
イッチであり、コアー入／ファイン切換信号ＭＳに応じ
て、切換えを行うものであり、コアース指示では、速度
誤差信号Δ■をボイスコイルモータ１４へ与え、ファイ
ン指示では、位置決め信号ΔＰをボイスコイルモータ１
４に与えるものである。
面、制御部４、位置決め制御部３、速度制御部２及び切
換スイッチ５によってサーボ制御卸部ＣＴを構成する。
６はパワーアンプ（電力増幅器）であり、駆動部を構成
し、切換スイッチ５の出力をパワー増幅して、ボイスコ
イルモータＩ４を電流駆動するものである。
制御部４は、外部から移動指示が与えられると、目標位
置への移動量を算出し、速度制御部２に与える。速度制
御部２は移動量から台形カーブ等の速度関数に従って左
半速度Ｖｃを発生し、磁気ヘッド１３からの位置信号り
　Ｓより得た実速度Ｖｒと比較し、速度誤差信号Δ■を
発生ずる。
制御部４はコアースモードを指示しているので切換スイ
ッチ５はａ側に接続されており、速度誤差信号へ■に比
例する電流がパワーアンプ６よりボイスコイルモータ１
４に与えられ、これによってボイスコイルモータ１４、
磁気ヘッド１３は台形速度カーブに従って目標位置（目
標シリンダ）に向かって速度制御によって移動する。
第７図（Ｂ）に示すように、制御部４は位置信号１）　
Ｓによって目標位置近傍に達したことを検出すると、コ
アース／ファイン切換信号ＭＳによってファインモード
を指示し、切換スイッチ５をｂ側に接続する。
位置決め制御部３は位置信号ＰＳから位置決め信号ΔＰ
を発生し、位置決め信号ΔＰに比例する電’／Ｑ　ｌ　
ｍがパワーアンプ６からボイスコイルモータ１４に与え
られ、位置決め及び位置保持制御が行われる。
このようなサーボ制御系において、第８図の従来技術の
説明図に示すような位置決め制御部及びノツチフィルタ
が用いられていた。
第８図（Ａ）において、３０はファインポジションアン
プであり、位置信号ＰＳからオントラックでＯ■を示す
信号に変換するもの、３１はクランプ回路であり、位置
信号ＰＳの上限と下限をクランプし、クランプした位置
信号ＣＬ　Ｐ　ＯＳを作成するものである。
３２はノツチフィルタであり、第８図（Ｃ）に示すよう
な周波数−ゲイン特性によって共振周波数「ｏ成分をカ
ットするもの、３３は２次フィルタであり、高域部のル
ープゲインをおとすためのもの、３４は位相補償回路で
あり、３４ａはその積分回路であり、２次フィルタ３３
からの位置信号ＰＳを積分するもの、３／ｌｂはそのア
ンプであり、２次フィルタ３３からの位置信号を比例増
幅するもの、３４ｃはその微分回路であり、２次フィル
タ３３からの位置信号ＰＳを微分するもの、３４ｄはそ
の和回路であり、積分回路３４ａの出力とアンプ３４ｂ
の出力と、微分回路３４ｃの出力との和をとり位置決め
信号△Ｐを発生し、切換スイッチ５に出力するものであ
る。
従来のノツチフィルタ３２は、第８図（Ｂ）に示すよう
にツインＴ型ノツチフィルタが用いられていた。
即ち、直列抵抗ｒ１、「２の中点にコンデンサＣ１、Ｃ
２をＴ型に、コンデンサＣ３、Ｃ４の中点に抵抗ｒ３、
「４をＴ型に接続したものを並列接続し、アンプＡＭＰ
２を各コンデンサＣ１、Ｃ２、抵抗ｒ３、「４に接続し
、アンプＡＭＰＩを出力側に設け、アンプＡＭＰ２と抵
抗ｒ５、「６とで接続したものである。
この・ツイン′「型ノツチフィルタ３２では、一方のＴ
型接続された抵抗ｒ１、「２及びコンデンサＣＩ、Ｃ２
で、アンプＡＭＰ２から高域フィードバックにより高域
を打消し、ローパス動作し、他方のＴ型接続されたコン
デンサＣ３、Ｃ４と抵抗「３、ｒ４で、アンプＡＭＰ２
からの低域フィードバックにより低域を打消し、バイパ
ス動作することにより、所望の周波数Ｔｏを抑圧（ノツ
チ）するものである。
このノツチフィルタ３２のノツチ周波数「０の調整変更
は次のようにして可能である。
抵抗ｒ１〜「４の抵抗値をＲ１各コンデンサＣ１−Ｃ４
の容量をＣとすると、ノツチ周波数「０は次式で示され
る。゛ 従って、抵抗値Ｒ又は容量Ｃを変更すれば、ノツチ周波
数「０を変更できる。
又、このノツチ周波数の調整要素「１〜ｒ４、Ｃｔ＝Ｃ
４は全てプリント板（サーボ制御系を搭載したもの）に
設けられていた。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、従来技術では、ノツチ周波数の変更が容
易でなく、サーボ機構部１の特性に合わせた最適なノツ
チ周波数を設定するのが困難である問題があった。
即ち、第１に、ノツチフィルタ３２が全てサーボ制御系
プリント板自体設けられているので、磁気ディスクユニ
ット（サーボ機構部）ｌのみを、障害改善や性能向上の
ために変換したいとの要求があるが、交換すべきユニッ
トｌの共振周波数が変化すると、プリント板自体を交換
しなければならないという問題がある。
第２に各サーボ機構部の特性のバラツキや性能変更によ
って、ノツチ周波数を変更するには、第（１）式から４
つの抵抗ｒ１〜ｒ４又は４つのコンデンサ０１〜Ｃ４を
取り替えなくてはならず、変更の部品点数が多く、手間
がかかるという問題がある。
本発明は、ノツチ周波数の変更を容易とし、フィールド
でのサーボ機構部の交換を可能とするサーボ位置決め装
置を提供することを目的とする。
又、本発明は、ノツチ周波数の変更を容易とし、サーボ
機構部の特性に最適なノツチ周波数を容易に設定できる
サーボ位置決め装置を提供することを目的とする。
更に、本発明は、ノツチ周波数の変更を容易とし、フィ
ールドでのサーボ機構部の交換を容易に最適なノツチ周
波数で行うことのできるサーボ位置決め装置を提供する
ことを目的とする。
〔課題を解決するだめの手段〕
第１図は本発明の原理図である。
図中、第７図及び第８図で示したものと同一のものは同
一の記号で示しである。
本発明は、第１図（Ａ）に示すように、サーボ機構部１
と、少なくともノツチフィルタ３２と位相補償回路３４
とを有する位置決め制御部３とを備えるサーボ位置決め
装置において、ノツチフィルタ３２のノツチ周波数調整
素子Ｒ８をサーボ機構部ｌに設けたものである。
又、本発明は、第１図（Ｂ）に示すように、サーボ機構
部ｌと、少なくともノツチフィルタ３２と位相補償回路
３４とを有する位置決め制御部３とを備えるサーボ位置
決め装置において、ノツチフィルタ３２に橋絡ブリッジ
型ノツチフィルタ３２′を用いたものである。
更に、本発明は、サーボ機構部１と、少なくともノツチ
フィルタ３２と位相補償回路３４とを有する位置決め制
御部３とを備えるサーボ位；〃決め装置において、ノツ
チフィルタ３２に橋絡ブリッジ型ノツチフィルタ３２′
を用いるとともに、橋絡ブリッジ型ノツチフィルタ３２
′のノツチ周波数調整素子Ｒ８をサーボ機構部１に設け
たものである。
〔作用〕
本発明では、サーボ機構部１にノツチ周波数調整素子Ｒ
８を設けているので、サーボ制御系のプリント板と独立
にノツチ周波数の変更ができる。
従って、サーボ機構部の性能向上により機構部の共振点
が変わっても、サーボ機構部製造工場出荷段階で、ノツ
チ周波数を調整設定すればサーボ機構部Ｉが装置組立工
場でサーボ制御系のプリント板と一体となった時に、最
適のノツチ周波数が得られ、サーボプリント板での調整
が必要ないため、ノツチ周波数の調整変更が容易である
。
又、本発明では、ノツチフィルタ３２に橋絡ブリッジ型
ノツチフィルタ３２′を用いているので、ノツチ周波数
の変更を２素子の変更で済み、変更が容易となる。
史に、本発明では、ノツチフィルタ３２に橋絡ブリッジ
型ノツチフィルタ３２′を用い、且つノツチ周波数調整
素子Ｒ８をサーボ機構部ｌに設けているので、サーボ機
構部１でノツチ周波数を調整設定できるとともに、変更
点数が少なくて済み、変更調整が極めて容易となり、サ
ーボ機構部１のみの交換も可能となる。
〔実施例〕
（ａ）　　第１の実施例の説明 第２図は本発明の第１の実施例構成図であり、磁気ディ
スク装置のヘッド位置ｆｌＩ？７１機構を示している。
図中、第１図、第７図及び第８図で示したものと同一の
ものは同一の記号で示してあり、２０は基部速度発生回
路であり、制御部４からの移動量に応じて台形速度カー
ブに従って基準速度Ｖｃを発生するもの、２１は速度信
号作成回路であり、位置信号ＰＳとパワーアンプ６の検
出電流ｉとから実速度Ｖｒを発生するもの、２２は誤差
信号発生回路であり、基準速度Ｖｃと実速度Ｖｒとの差
をとり速度誤差信号Δ■を発生し、切換スイッチ５に与
えるものである。
７は位置信号発生部であり、磁気ディスク１０のサーボ
面（例えば、図の２枚目の磁気ディスクＩＯの下面）に
記録されたサーボ信号を磁気ヘッド１３が読取って得た
正弦波のサーボ信号ＳＶＳから位置信号ＰＳを発生ずる
ものであり、サーボ信号ＳＶＳのＡＧＣ制御を行うＡＧ
Ｃ（自動利得制御）アンプ７０と、ＡＧＣ制御されたサ
ーボ信号を正弦波の位置信号ＰＳと出力する位置信号検
出回路７１とを有するものである。
制御部４は、マイクロプロセッサで構成され、上位から
のシーク命令及び目標シリンダを受け、シーク制御する
ものであり、位置信号検出回路７１の位置信号ＰＳ及び
速度信号作成回路２１の実速度Ｖ「が人力され、目標シ
リンダへの移動量を算出して基準速度発生回路２ｏに出
力し、コアー入／ファイン切換信号ＭＳを切換スイッチ
５及びＡ級／Ｂ級切換信号ＡＳをパワーアンプ６に出力
するものであり、シーク完了により上位にシークエンド
信号を発するものである。
第３図は第２図構成のノツチフィルタの説明図である。
第３図（Ａ）に示すように橋絡ブリッジ型ノツチフィル
タ３２′は、３つの直列接続されたコンデンサＣ１、Ｃ
２、Ｃ３と、コンデンサ０１〜Ｃ３の各中点に接続され
た抵抗Ｒ１、Ｒ２と、コンデンサＣ１〜Ｃ３と並列接続
された抵抗Ｒ３と、アンプＡＭＰＩと、アンプＡＭＰＩ
と各抵抗Ｒ１、Ｒ２に接続されたアンプＡＭＰ２と、ｉ
抗Ｒ４、Ｒ５とを備えている。
ここで、コンデンサＣ１，Ｃ２、Ｃ３の容量と抵抗Ｒ３
の抵抗値を次のように定めると、ノツチ周波数［は以下
の式で表わされる。
従って、第３図（Ｂ）のようにノツチ周波数ｆを「０、
「ｏ′と変更するには、（３）式より抵抗Ｒ１、Ｒ２の
抵抗値を変えればよい。
このことは、サーボ機構部ｌの特性に合わせたノツチ周
波数を得るのに、２つの抵抗の変更でよいことになる。
これによって、ノツチ周波数の変更が、２つの抵抗の変
更で済み、サーボ機構部ｌの特性に最適なノツチ周波数
を容易に設定できる。
尚、第２図及び第３図の動作を説明すると、次のように
なる。
上位より制御部（以下ＭＰＵという）４がシーク命令と
目標シリンダを受けると、ＭＰＵ４は現在位置と目標シ
リンダの位置との移動量を算出し、速度制御部２の基準
速度発生回路２ｏに移動量及び起動指令を与える。
基準速度発生回路２０は、移動量に応じて台形速度カー
ブに従って基準速度Ｖｃを発生し、速度信号発生回路２
１の実速度■「との差が誤差信号発生回路２２でとられ
、速度誤差信号Δ■が発生される。
切換スイッチ５には、シーク命令受信とともに、ＭＰＵ
４からコアー入／ファイン切換信号Ｍｓによってコアー
ス指示がなされており、切換スイッチ５の接点はａ側に
接続されているので、速度誤差信号Δ■は切換スイッチ
５を介しパワーアンプ６に与えられる。
即ち、基準速度発生回路２０は台形速度カーブに従った
切換速度Ｖｃを発生し、速度信号発生回路２１の実速度
Ｖｒとの速度誤差信号Δ■が誤差信号発生回路２２によ
りパワーアンプ６に与えられるので、ボイスコイルモー
タ１４は目標位置に向かって台形速度カーブに追従し、
加速、定速、減速制御される。
このようにして、コアースモード制御が実行され、ボイ
スコイルモータ１４に駆動される磁気へラド１３は、磁
気ディスク１０の目標シリンダに近付いていく。
ＭＰＵ４は、位置信号ＰＳによって位置を監視し、検出
位置によって目標シリンダ近傍に達したことを検知し、
ディファレンス（誤差）零を認識する。
ＭＰＵ４は、速度信号作成回路２１の実速度Ｖｒがほと
んど零になったことを検出すると、第７図ＣＢ）の如（
、コアー入／ファイン切換信号ＭＳをハイ（“ｌ”）に
セットし、ファイン指示する。
これによって、切換スイッチ５はｂ＠に切換わる。
従って、位置信号ＰＳのローパスフィルタ３０を通過し
た信号は、クランプ回路３１でクランプされ、ノツチフ
ィルタ３２でノツチ周波数成分子Ｏがカットされる。
この時、ノツチ周波数「０は、磁気ディスクユニットの
特性に合わせて設定されているので、共振動作を防止で
きる。
ノツチフィルタ３２を通過した信号は、２次フィルタ３
３でノイズ除去され、位相補償回路３４に入力される。
位相補償回路３４では、入力された信号が積分回路３４
ａで積分され、アンプ３４ｂで増幅され、微分回路３４
ｃで微分され、これらの和である位置決め信号へＰが和
回路３４ｄを介し切換スイッチ５に入力し、更にパワー
アンプ６へ制御人力ＣＩＮとして入力する。
これによって、位置決め及び位置保持が行われる。
このように、メカ部である磁気ディスクユニット１の剛
性や性能を変更して、共振周波数が変化しても、ノツチ
フィルタ３２′の２つの抵抗を変更するだけで、最適ノ
ツチ周波数に設定できる。
ら）　第２の実施例の説明 第４図は本発明の第２の実施例構成図である。
図中、第２図及び第３図で示したものと同一のものは同
一の記号で示してあり、Ｒ６、Ｒ７は抵抗であり、抵抗
Ｒ１、Ｒ２間に設けられるもの、ＳＷは選択スイッチで
あり、アンプＡＭＰ２をＡ点（抵抗Ｒ１、Ｒ６の接続点
）、Ｂ点（抵抗Ｒ８、Ｒｖの接続点）、０点（抵抗Ｒ７
、Ｒ２の接続点）に選択接続するためのものである。
この実施例では、第３図のものに比し、抵抗を可変３点
タップで構成し、抵抗値を可変できるようにしたもので
ある。
選択スイッチＳＷをＡ点に接続すると、（ただし、Ｒｚ
’　−Ｒ＋’　＋Ｒ６’　＋ｌ’Ｌｔ’のとき）Ｒｑ−
１？　２’　　＋Ｒ６’　　±Ｒ？’となり、゛ノツチ
周波数ｒｏは高くなる。
又、選択スイッチＳＷをＢ点に接続すると、Ｒ２＝Ｒｚ
’　＋Ｒ７’ となり、ノツチ周波数「０は中間となる。
更に、選択スイッチＳＷを０点に接続すると、Ｒ１＝Ｒ
ｔ’＋Ｒｓ’　モＲＴ’ ）−・（６） Ｒ２＝Ｒ２’ となり、ノツチ周波数ｆｏを低くできる。
従って、この例では、磁気ディスクユニット１の特性に
合わせて３段階のノツチ周波数調整ができる。
即ち、２つの抵抗の調整で、ノツチ周波数を変更できる
から、タップ数を２とすれば２段階、４とすれば４段階
の調整ができる。
同様に、抵抗Ｒ１、Ｒ２を可変抵抗器とすれば、調整を
更に細かにできる。
（Ｃ）　　第３の実施例の説明 第５図及び第６図は本発明の第３の実施例構成図である
。
図中、第２図、第３図で示したものと同一のものは同一
の記号で示してあり、１７は素子搭載部であり、磁気ヘ
ッド１３の電気的接続のための素子の他に、ノツチフィ
ルタ３２′のノツチ周波数調整素子Ｒ８が搭載されるも
のである。
ノツチ周波数調整素子Ｒ８は、第６図に示す様に、可変
抵抗器で構成され、両端子ｎ、ｍが各々抵抗Ｒ１、Ｒ２
にコネクタ接続され、可変タップ端子ｌがアンプＡＭＰ
２にコネクタ接続されている。
従って、第４図の場合と同様に、抵抗値の変化でノツチ
周波数を変化できる。
この例では、調整素子Ｒ８が、磁気ディスクユニット１
に設けられているので、サーボ機構部製造工場段階でノ
ツチ周波数の調整を素子Ｒ８によって行うことにより、
装置組立て工場で調整済の磁気ディスクユニット１のみ
を交換しても適切なノツチ周波数かえられる。
これによって、ノツチ周波数の設定が、種々の試験器の
ある工場ででき、きわめて容易に実現できる。
又、その調整も橋絡ブリッジ型ノツチフィルタ３２′を
用いることで容易で、接続線が３本で済む。
（ｄ）　　他の実施例の説明 上述の実施例では、磁気ディスクユニットを例に説明し
たが、光デイスクユニット等の他の記憶デバイス等のサ
ーボ機構を用いたサーボ機構部に適用することができる
。
又、第３の実施例において、調整素子Ｒ８を固定抵抗と
してもよ（、第４図のように固定タップ型抵抗とスイッ
チであってもよく、ノツチフィルタ３２として橋絡ブリ
ッジ型ノツチフィルタを用いているが、他のノツチフィ
ルタであってもよい。
更に、位置決め制御部も他の構成であってもよく、位相
補償回路３４も種々のものを用いることができる。
以上本発明を実ｈ’＝例により説明したが、本発明は本
発明の主旨に従い種々の変形が可能であり、本発明から
これらを排除するものではない。
〔発明の効果〕
以上説明した様に、本発明によれば、サーボ機構部に調
整素子を設けることによって、サーボ機構部の特性に応
じて最適なノツチ周波数を独立に変更でき、サーボ機構
部のみの交換に対して、ノツチ周波数の変更が容易とな
るという効果を奏し、機能向上のためのサーボ機構部の
みの交換を、最適ノツチ周波数をもって実現できる。
又、ノツチフィルタに橋絡ブリフジ型ノツチフィルタを
用いることによって、サーボ機構部の特性に応じたノツ
チ周波数の変更を容易に行うことができるという効果を
奏し、サーボ機構部の特性バラツキや特性の相違に対し
、容易に最適ノツチ周波数を設定できる。
更に、ノツチフィルタに橋絡ブリフジ型ノツチフィルタ
を用い、サーボ機構部に調整素子を設けることによって
、サーボ機構部の特性に応じた最適なノツチ周波数を独
立に且つ一層容易に変更設定できるという効果を奏する
。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の原理図、 第２図は本発明の第１の実施例構成図、第３図は第２図
構成のノツチフィルタの説明図、第４図は本発明の第２
の実施例構成図、第５図及び第６図は本発明の第３の実
施例構成図、 第７図はサーボ制御の説明図、 第８図は従来技術の説明図である。 図中、１−磁気ディスクユニット（サーボ機構部）、 ３−位置決め制御部、 ３２−　ノツチフィルタ、 ３２　’　−橋絡ブリッジ型ノツチフィルタ、３４−・
・位相補償回路、 Ｒ８−ノツチ周波数調整素子。 （Ａ） 〆ｌ −裏−１ｆ！例積太薯 獲２の炙垢例構成：閏 第４図 第３の奥′ｊ＃ｙｌ′Ｉ構戊区 第５図 ＄３め麦垢１１ｊ講成図 （Ａ） サーホ′制卸の言え日月図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）サーボ機構部（１）と、 少なくともノッチフィルタ（３２）と位相補償回路（３
    ４）を備え、該サーボ機構部（１）の位置信号から位置
    決め信号を出力する位置決め制御部（３）とを有し、 該位置決め信号で該サーボ機構部（１）を位置決め制御
    するサーボ位置決め装置において、該ノッチフィルタ（
    ３２）のノッチ周波数調整素子（Ｒ８）を該サーボ機構
    部（１）に設けたことを 特徴とするサーボ位置決め装置。
  2. （２）サーボ機構部（１）と、 少なくともノッチフィルタ（３２）と位相補償回路（３
    ４）を備え、該サーボ機構部（１）の位置信号から位置
    決め信号を出力する位置決め制御部（３）とを有し、 該位置決め信号で該サーボ機構部（１）を位置決め制御
    するサーボ位置決め装置において、該ノッチフィルタ（
    ３２）として、橋絡ブリッジ型ノッチフィルタ（３２′
    ）を用いたことを特徴とするサーボ位置決め装置。
  3. （３）サーボ機構部（１）と、 少なくともノッチフィルタ（３２）と位相補償回路（３
    ４）を備え、該サーボ機構部（１）の位置信号から位置
    決め信号を出力する位置決め制御部（３）とを有し、 該位置決め信号で該サーボ機構部（１）を位置決め制御
    するサーボ位置決め装置において、該ノッチフィルタ（
    ３２）として、橋絡ブリッジ型ノッチフィルタ（３２′
    ）を用い、該橋絡ブリッジ型ノッチフィルタ（３２′）
    のノッチ周波数調整素子（Ｒ８）を該サーボ機構部（１
    ）に設けたことを 特徴とするサーボ位置決め装置。
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