JPH01217958A - 寄生電流誤動作防止回路 - Google Patents

寄生電流誤動作防止回路

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JPH01217958A
JPH01217958A JP63042177A JP4217788A JPH01217958A JP H01217958 A JPH01217958 A JP H01217958A JP 63042177 A JP63042177 A JP 63042177A JP 4217788 A JP4217788 A JP 4217788A JP H01217958 A JPH01217958 A JP H01217958A
Authority
JP
Japan
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circuit
transistor
transistors
npn
parasitic
Prior art date
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Pending
Application number
JP63042177A
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English (en)
Inventor
Tadahisa Fujinaga
藤永 周久
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は集積回路において1発生する寄生電流による誤
動作防止に関するもので、特に集積回路を造込む半導体
基板に形成するいわゆる島領域間に発生する寄生トラン
ジスタによる誤動作を抑制するのに好適する。
(従来の技術) 大電流駆動用として第6図乃至第7図に示す回路が適用
されており、そのIC化に際しては、第8図に示すよう
な回路が数多く同一チップ上に形成される。
第5図乃至第8図により従来使用されている大電流駆動
用回路を説明するが、第5図には問題が発生する寄生回
路を適用した集積回路の要部を示す断面図を、第6図に
はこの集積回路図を、第7図は大電流駆動用回路図を、
第8図は問題が発生する回路を示す。
第7図は第6図に示す集積回路をモータに接続した大電
流駆動用集積回路が明らかにされており、先ずその回路
構成の概略から説明する。第7図に示すようにこの集積
回路は対称的な回路で構成され、そのVCCは共通とし
、更にコンモン端子には例えば100v程度の高電圧を
印加して使用する。この回路としてモータに接続した大
電流駆動用集積回路を示す第7図にも明らかなように入
力端子IN−Aにはインバータ接続がダイオードQ51
とPNPラテラルTrQ52ならびに2個の抵抗A、C
で構成し、その最終段に位置するPNPラテラルTrQ
52のコレクを抵抗Eを介して多段のダーリントン接続
を形成する。このダーリントン接続には夫々エミッタ接
地したNPN トランジスタQ53. Q54で形成し
、 このNPN hランジスタQ54のコレクタ端子を
出力端子0UT−Aとしてモータのコイルφ、に接続す
ると共に逆起電力吸収ダイオードQAに連結する。
この回路接続をAとし、対称的な回路構成を持つnを接
続する。即ち入力In−BにはダイオードQ55とPN
PラテラルTrQ56ならびに抵抗口、Dでインバータ
接続を形成し、 PNPラテラルTrQ56のコレクタ
出力を抵抗Fを介して多段のダーリントン接続を形成す
る。このダーリントン接続には夫々エミッタ接地したN
PN トラジスタQ57. Q58で形成し、このNP
N トランジスタ058のコレクタ端子を出力端子0U
T−8としてモータのコイルφ2に接続すると共に逆起
電力吸収ダイオードQBに連結する。
この両逆起電力吸収ダイオードQA、 QBを接続して
共通端子(Common)とし、ここはツェナダイオー
ドDzとモータのコイルφ8.φ2の接続部分にも連結
してVDD端子として使用する。
なお前述のPNPラテラルTrQ52. ’056のベ
ース入力前に接続する抵抗A、Bと、PNPラテラルT
rQ52゜Q56のエミッタ及びグーリン1〜ン接続用
NPN+うランジスタQ53+ 057のコレクタを接
続してVCC端子とする。
このように構成する大電流駆動用集積回路の特徴は入力
IN−A、 lN−8に印加する電力Highもしくは
Loりがそのまま出力0utA、 r3から出力され、
かつ同時に出力されない点にある。
第5図にはこれらの回路接続を半導体基板に形成した状
態の概略として第6図及び第7図の一部を示した。半導
体基板70としてはSiからなりP導電型を示すものを
利用し、この表面に常法通り被覆した熱酸化膜(図示せ
ず)を選択的に除去して得る窓から不純物を拡散導入し
て反対導電型領域を形成するか、あるいはイオン注入法
により反対導電型領域を形成する。
更にこの不純物領域はいわゆる分離領域により隔離して
島領域として機能させるが、この分離領域としてはディ
ープ(Deep)N+領領域トレンチアイソレイション
(Trench l5oration)が適用可能であ
る。
図示するようにこの不純物領域によって構成する一方の
島領域ではこの不純物領域をコレクタとするトランジス
タ等しこよる機能素子71を、他方の島領域には反対導
電型の不純物を導入して機能素子・72を形成して集積
回路を形成する。この半導体基板70と各不純物領域間
にはQLNAを入力どする寄生素子(接地されている)
が形成されるのは不可避である。
(発明が解決しようとする課題) 前述の大電流駆動用集積回路は阿結合を起こすモータに
接続すると、その0n−Offに伴ってコイルに逆起電
力電流が流れるので、出力トランジスタは瞬間的に逆方
向に流れ、Sub電位が浮き、寄生トランジスタがOn
する状況が発生して、スイッチング時に異常動作を起こ
す。
第7図によりこの異常動作を説明する。
(D 集積回路パターンにおいて互いに隣接して配置す
る回路A、Bでは、その構造上クランプダイオードとS
ub基板の間には寄生Sub I’NPTrが形成され
、又出力NPN TrQ58のコレクタ層(N導電型)
、Sub基板(P導電型)ならびにインバータ用PNP
丁rQ52のベース層(N導電型ン間に寄生ラテラルN
PN Trが形成され、図ではQLNAとして表示した
更に出力NPN TrQ54のコレクタ層(N導電型)
、Sub基板(P導電型)ならびにインバータ用PNP
TrQ 56のベース層(N導電型)間に寄生ラテラル
NPN Trが同様に形成され、図ではQ+−Nnとし
て表示した。
■ このような回路の入力IN−^にH(旧gh)→1
゜(Lota) 、 TN−BにLi2(の信号を入力
して、 IN−Aが“11″になると、Q52. Q5
3. Q54がOff して0ut−Aが“11″にな
る。このためにコイルφに逆起電力が生じ、クランプダ
イオードOAに寄生Sub PNP Trを通して丁5
11Bが流れ、Sub電位を浮かせる。
■ Sub電位の浮上により隣接して設置する0ut−
13(逆相でII 3 IIになっている)の出力Tr
058のコレクタに接続する寄生ラテラルNPN Tr
QLN^を動作させる。この時QLNAがOnするとラ
テラルPNP TrQ52のベース電位が下がり、IN
−Aが“H”にも拘らずQ52. Q53. Q54が
OnL、0ut−Aはit L IFに落ちる。
■ 0ut−Aが“L”になるとコイルφ□に電流が流
れて逆起電力が無くなり、Subに流れる電流l3UB
も無くなってSub電位が下がるので、寄生ラテラルN
PN QLNAはOff してQ51のベース電位もH
”に戻る。
0Q51がOffすると、0ut−Aは再び″)1”と
なり■〜0)の動作を繰返す。
0 この帰還ループはコイルに蓄積された逆起電力エネ
ルギーが消滅するまで繰返され発振現象を引起こす。
この例とは逆に入力IN−Bに)I(High)→L(
LOIil) 。
IN−AにL→Hの信号を入力した場合には全く逆の現
象が発生するので説明を省略する。
本発明は上記難点を除去する新規な寄生電流誤動作防止
回路に関し、特に集積回路の構造上即ち分離領域から半
導体基板であるSub基板との間に発生する寄生効果に
基づく誤動作を防止すること□を目的とするものである
〔発明の構成〕
(6111題を解決するための手段) ある極性のトランジスタのエミッタに接続するベースオ
ープンで同一極性のトランジスタのコレクタにエミッタ
接地した反対極性のトランジスタのベースを接続し、こ
のトランジスタのコレクタを前記ある極性のトランジス
タのコレクタに接続する手法を採用する。
(作 用) 本発明では寄生素子が発生する素子の隣に同等の素子を
設置して、寄生効果を検出し、この検出信号(電流)に
より誤動作を防止するものであり、第1図にそのメカニ
ズムを示した。即ちIN−Aに“H” 、 lN−8に
“L”を入力すると、Q4がOff、 Q8がOnして
モータコイルφ1に逆起電力が生じOAを通ってSub
基板に抜ける。
次にこのSub基板に抜けた電流で寄生ラテラルNPN
 トランジスタQLN^がOnシ、Q2をもOnする。
しかし、この時QIOもOnするためにQllがOnL
、Q2に流れる電流がQllに全部抜けてしまい、Q3
. Q4はOff状態となって誤動作が防止できる。
(実施例) 第1図乃至第4図により本発明を詳述するが、従来技術
と重複する記載が都合によりでてくるものの、新しい番
号を付けて説明する。
第1図には本発明をモータに適用した回路図を、第2図
はこの回路を適用した集積回路の一部を示す断面図を、
第3図は本発明に係る回路図を、第4図はこの集積回路
に適用する回路を夫々示している。
本発明に係る回路を適用した大電流駆動用集積回路は従
来例に示したそれと同様にA、Bの対称的な回路構成を
持つ集積回路であり、その回路構成を第1図により説明
する。即ちこの集積回路は前述のようにモータに接続し
て大電流駆動用集積回路を構成しているので、その回路
接続を示す第1図を代表として詳述する。 この回路は
入力IN−A 。
lN−8を持つ対称的なA、Bで構成し、出力0ut−
A 。
0ut−Bには夫々ダイオードを接続しその連結部をコ
ンモン端子として例えば100V程度の電圧を印加する
が、この出力0ut−A、 0ut−Bはモータφ8.
φ2に接続し、コンモン端子は両モータの接続中間部に
ツェナダイオードDzを介して連結してVOOとして利
用する。
この入力IN−AとIN−Bはインバータ回路と多段ダ
ーリントン回路を連結し、この多段ダーリントン回路に
本発明の特徴とする誤動作防止回路を設置する。
このインバータ回路は入力IN−AとlN−8に接続す
るダイオードQl、Q5とには抵抗り、Dを接続し、そ
の出力はVCCに接続する抵抗E、Hに連結し、この出
力をPNP トランジスタQ2. Q6のベースに接続
する。
一方多段ダーリントン回路を形成するが、本発明の注目
点である誤動作防止回路をこのインバータ回路に接続す
る。即ちVCCに接続され、ダーリントン回路の一部を
構成するこのPNP トランジスタQ2. Q6に隣接
し・て同様な特性を持つPNPトランジスタQIO,Q
12を設置し、そのコレクタ端子は、PNPI・ランジ
スタQ2.Q6とPNP トランジスタQIO。
Q12に隣接し工設置するエミッタ接地型NPN トラ
ンジスタQll、 Q13のベースに入力する。一方P
NPトランジスタQ2. Q6のコレクタはNPN ト
ランジスタQll、 Q13のコレクタに結線する。
更に多段ダーリントン回路用エミッタ接地型NPNトラ
ンジスタQ3. Q4. Q7. Q8を接続するが、
PNPNトランジスタQ2Q6どNPN トランジスタ
Q3.Q”/の中間点に抵抗9,9を接続しその出力を
NPN トランジスタQ3. Q7へ、更にNPN ト
ランジスタQ4..QBのベースには他の抵抗13.1
3を介して接続するのは図示の通りである。
NPNトランジスタQ3. Q7のコレクタ端子もvc
e端子に接続して多段のダーリントン回路を構成すると
共にNPN トランジスタQ4.Q8のコレクタ端子は
出力端7−Out−Aと0ut−8とし、これをモータ
コイIしφ1、φ2は連結し、更にダイオードOA、Q
Bを経てコンモン端子を形成後、 ツェナダイオ−・ド
DZの出力をモータコイルφ1.φ2を結ぶ接続点を通
るVOO端子として利用するのは前述の通りである。
このような回路接続を施した大電流駆動用集積回路は出
力端子0ut−Aと0ut−Bに同時に出力されず、か
つ入力IN−A、 fN−8に印加する電力“tl” 
(High)もしくは“L” (Loν)がそのまま出
力される。
第2図にはこの集積回路を形成したP導電型の半導体基
板15の概略と、この基板に発生する寄生効果と集積回
路の結線状況を示している。と言うのは、 この集積回
路では公知のトレンチ分離(Trench l5ola
tjon)Qもしくはディープ(Deep)N”分離法
等により島領域を形成し、その各々に例えばバイポーラ
NPN l−ランジスタ】6と抵抗領域17゜17を設
置して前述の大電流駆動用集積回路を形成するが、この
各局は二〇P導電型の半導体基板I5に形成さ才するR
 −S u bの出力Q +−N Aと接続する形状と
なる。
第3図には前述の誤動作防止回路だけを取出して示して
あり、第4図では前述のように集積回路だ(プを示して
おり、第2図の集積回路でばP導電型の半導体基板15
に複数のN導電型領域を形成して必要な抵抗17.17
とバイポーラN1)Nトランジスタ等の機能素子16を
設置する例を明らかにした。
〔発明の効果〕
ところで寄生効果が発生する集積回路素子等ではその寄
生発生素子から他の素子までの距離を取ったり、影響を
受は易い素子の周りにはガードリングを形成する等の手
段を施してこの寄生効果による誤動作を回避していた。
しかしこの距離の増大による配線の問題や面積が大きく
なる等によってコストUpをもたらしていた。
しかし、本発明によれば前述のように大電流駆動用集積
回路に第3図及び第1図に示す誤動作防止回路を適用し
たので寄生効果による誤動作が防止できる。
【図面の簡単な説明】
第12図は本発明に係わる大電流駆動用集積回路の回路
図、第2図はこの大電流駆動用集積回路素子の一部を示
す断面図、第3図は寄生効果により6牛する誤動作防止
用回路図、第・1図はこの誤動作防止用回路を備えた集
積回路の回路図、第5図は従来のある集積回路素子に利
用する回路図、第6図は第5図の集積回路をモータに適
用する大電流駆動用集積回路の回路図、第7図は大電流
駆動用集積回路の一部を示す断面図、第8図はこれら従
来回路に発生する寄生回路図である6代理人 弁理士 
 井 」二 −男 A              73 44   図 @6図 ÷ 第  7  図 727/ 第  5  図 第  8  図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  ある極性のトランジスタのエミッタに接続したベース
    オープンの同一極性のトランジスタのコレクタにエミッ
    タ接地された反対極性のトランジスタのベースを接続し
    、このトランジスタのコレクタをある極性のトランジス
    タのコレクタに接続することを特徴とする寄生電流誤動
    作防止回路。
JP63042177A 1988-02-26 1988-02-26 寄生電流誤動作防止回路 Pending JPH01217958A (ja)

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JPH01217958A true JPH01217958A (ja) 1989-08-31

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6821825B2 (en) 2001-02-12 2004-11-23 Asm America, Inc. Process for deposition of semiconductor films

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6821825B2 (en) 2001-02-12 2004-11-23 Asm America, Inc. Process for deposition of semiconductor films

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