JPH01207721A - マトリックス型液晶表示パネル - Google Patents

マトリックス型液晶表示パネル

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JPH01207721A
JPH01207721A JP63033691A JP3369188A JPH01207721A JP H01207721 A JPH01207721 A JP H01207721A JP 63033691 A JP63033691 A JP 63033691A JP 3369188 A JP3369188 A JP 3369188A JP H01207721 A JPH01207721 A JP H01207721A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、薄膜トランジスタをアドレス表示素子として
用いたマトリックス型液晶表示パネルの改良に関し、特
に薄膜トランジスタの電極に接続される配線パターン部
分を改良したものに関する。
（従来の技術） 逆スタガー型の薄膜トランジスタをアドレス表示素子と
して用いた従来のマトリックス型液晶表示パネルの一例
を第３図および第４図に示す。なお、第４図（ａ）およ
び（ロ）は、それぞれ、第３図の線０−Ｐおよび線Ｑ−
Ｒに沿う断面図である。
この液晶表示パネルでは、絶縁性基板１上に基板保護膜
・２が形成されている。そして、基板保護膜２上に、ゲ
ート電極３．ゲート絶縁膜４．アモルファスシリコン膜
（ａ−Ｓｉ膜）５．保護絶縁膜６、ｎ”ａ−３ｉ膜７並
びにソース電極およびドレイン電極８が順に形成されて
逆スタガー型の薄膜トランジスタが構成されている。表
示用絵素電極９はソースまたはドレイン電極８に電気的
に接続されている。なお、第４図（ａ）において、　１
０は保護膜を示している。
上記のマトリックス型液晶表示パネルでは、各薄膜トラ
ンジスタのゲート電極３に接続される配線パターン３ａ
を第３図の横方向に接続している複数の信号線に垂直走
査信号が入力される。他方。
各薄膜トランジスタのソース電極に接続されているソー
ス配線パターン８ａを配線パターン８ｂで垂直方向に接
続している複数の信号線に画像体号が入力されて、各薄
膜トランジスタの表示用絵素電極９に順次通電して液晶
が駆動されるものである。
（発明が解決しようとする課題） このような従来のマトリックス型液晶表示パネルでは、
薄膜トランジスタの各電極３，８に接続される配線パタ
ーン３ａ、８ａ、８ｂが、製造に際してのエツチング工
程でオーバーエッチされることがある。そのような場合
には、該配線パターン３ａ、８ａ、８ｂの幅が狭くなり
、はなはだしき場合には断線に至ることもある。その結
果、配線抵抗が高くなって信号が減衰したり、断線が発
生した場合にはライン欠陥が発生し、実用に耐え得ない
表示となることがある。そのためマトリックス型液晶表
示パネルの製造歩留まりを大きく低下させていた。
本発明の目的は、薄膜トランジスタの各電極に接続され
る配線に於ける欠陥が生じ難く、安定な表示品位のマト
リックス型液晶表示パネルを提供することにある。
（課題を解決するための手段） 本発明゛のマトリックス型液晶表示パネルは、薄膜トラ
ンジスタをアドレス表示素子として用いたマトリックス
型液晶表示パネルであって、該薄膜トランジスタの電極
に接続される少なくとも１の配線パターン上に形成され
、該配線パターンよりも幅の広い導電膜を備えており、
そのことにより上記目的が達成される。
（発明の作用） 本発明によれば、配線パターン上に該配線パターンより
も幅の広い導電膜を形成することにより。
オーバーエッチに起因する配線パターンの欠陥を該導電
膜により補償することができる。従って。
製造されたマトリックス型液晶表示パネルに於いて、配
線パターンの幅の減少や断線等が発生していたとしても
、その部分における通電は該導電膜により果たされる。
それ故、配線パターンの電気抵抗が上昇することがなり
、減衰のない信号が入力され２表示画面にライン欠陥が
発生しない。
（実施例） 以下に本発明の実施例について説明する。
第１図は１本発明の一実施例の部分平面図であり、第２
図（ａ）および（ハ）は、それぞれ、第１図の線Ａ−Ｂ
および線Ｃ＝Ｄに沿う断面図である。なお。
第１図では、後述する最上層の保護膜１０を省略して図
示しである。
□この実施例の構造を、その製造工程を説明することに
より明らかにする。ガラスからなる絶縁性基板１上に、
スパッタリングにより五酸化タンタルからなる基板保護
膜２を３０００人の厚さに形成する。次に、スパッタリ
ングにより、タンタルを３０００人の厚さに形成し、さ
らにフォトエツチングによりゲート電極３を形成する。
次に、プラズマＣＶＤ法により、　３０００人の厚さの
ＳｉＮ、からなるゲート絶縁膜４と、２００人の厚さの
ａ−３ｔ膜５と、　２０００人の厚さのＳｉＮ、からな
る絶縁層６とを連続的に堆積する。
さらに、上記ａ−３ｉ膜５および絶縁層６をフォトエツ
チングによりパターン化した後、これらの上に４００人
の厚さのｎ”ａ−Ｓｉ膜７を形成し、同様にフォトエツ
チングによりパターン化する。
次に、ソース・ドレイン金属膜を３０００人の厚さに形
成し、フォトエツチングによりパターン化してソースお
よびドレイン電極８．ならびにソースパスラインとして
配線パターン８ａ、８ｂを同時に形成する。
次に、　ＩＴＯのような透明導電材料よりなる透明導電
膜を１０００人の厚さに形成し、フォトエツチングによ
りパターン化して、絵素電極９およびソースパスライン
断線補償用導電膜１１を形成する。さらに、　５０００
人の厚さの保護膜１０を最上層にコーティングする。第
１図及び第２図に示すように、断線補償用導電膜１１の
幅は配線パターン８ａ、８ｂの幅よりも大きい。
上記の製造工程の説明から明らかなように、この実施例
では、配線パターン８ａ、８ｂよりも幅の広い断線補償
用導電膜１１が、配線パターン８ａ。
８ｂの上に形成されている。従って、第５図に示すよう
に、配線パターン８ｂのエツチングによるパターン化に
際し、オーバーエッチにより幅の狭い部分８ｃが生じた
としても、該断線補償用導電膜１１により配線の抵抗の
上昇が防止される。
また、第６図（ａ）および（ロ）に示すように配線パタ
ーン８ｂに断線が生じた場合、従来の構成では配線パタ
ーン８ｂ直上の導電膜１１が該配線パターン８ｂの断差
部を覆いきれないことがある。従って断線補償用導電膜
１１の幅が配線パターン８ｂの幅以下の場合は、第６図
（Ｃ）に示すように、導電膜１１が断線し、断線の補償
を行えないことがあり得る。
ところが１本発明によれば、第６図（ａ）に示すように
、導電膜１１の幅が配線パターン８ｂの幅よりも広く形
成されるので、たとえ配線パターン８ｂ直上の導電膜１
１が該配線８ｂの断差部を覆いきれない場合であっても
、導電膜１１は断線することなく。
それにより導通が保たれる。従って、ライン欠陥に基づ
く表示品位の低下のおそれのない液晶表示パネルを構成
し得ることがわかる。
なお、上記した実施例では、ソースパスラインを構成す
る配線パターンに対して断線補償用導電膜１１を形成し
たが、同様の断線補償用導電膜をゲートバスバーに対し
て形成することも可能である。
要するに、薄膜トランジスタのゲート、ソースおよびド
レイン電極に接続される任意の配線パターンに対して断
線補償用導電膜を形成すれば９本発明の効果を得ること
ができる。
（発明の効果） 以上のように１本発明によれば、薄膜トランジスタをア
ドレス表示素子として用いるマトリックス型液晶表示パ
ネルにおいて、薄膜トランジスタの各電極に接続される
配線パターン上に、該配線パターンよりも広い幅の導電
膜が形成されているので、製造時のオーバーエッチ等に
基づく配線パターンの細りゃ断線に起因するライン欠陥
を補償することができる。よって、高品位の表示が安定
に得られるマトリックス型の液晶表示パネルを実現する
ことができ、その製造歩留まりを大幅に向上することが
可能となる。
４　　゛の　　　な看 第１図は本発明の一実施例の部分平面図、第２図（ａ）
および（ｂ）はそれぞれ第１図の線Ａ−Ｂおよび線Ｃ−
Ｄに沿う断面図、第３図は従来例の部分平面図、第４図
（ａ）および（ｂ）はそれぞれ第３図の線０−Ｐおよび
線Ｑ−Ｒに沿う断面図、第５図は配線パターンの細りが
生じた場合の導電膜の機能を説明するための平面図、第
６図（ａ）および（Ｃ）は配線パターンに断線が生じた
場合の導電膜の機能を説明するための平面図、第６図（
ｂ）は第６図（ａ）および（Ｃ）の線Ｅ−Ｆに沿う断面
図である。
３・・・ゲート電極、５・・・ａ−３ｉ膜、７・・・ｎ
′″ａ−５ｉ膜、８・・・ソース・ドレイン電極、８ａ
、８ｂ・・・配線パターン、１１・・・導電膜。
以上

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、薄膜トランジスタをアドレス表示素子として用いた
    マトリックス型液晶表示パネルであって、該薄膜トラン
    ジスタの電極に接続される少なくとも１の配線パターン
    上に形成され、該配線パターンよりも幅の広い導電膜を
    備えたマトリックス型液晶表示パネル。
JP3369188A 1988-02-16 1988-02-16 マトリックス型液晶表示パネル Expired - Lifetime JPH0814668B2 (ja)

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DE3850092T DE3850092T2 (de) 1988-02-16 1988-09-30 Flüssigkristallmatrixanzeigetafel.
US07/251,562 US5103330A (en) 1988-02-16 1988-09-30 Matrix-type liquid-crystal display panel having redundant conductor structures

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