JPH01204407A - プレーナキャパシタのトリミング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野］ この発明はプレーナキャパシタのトリミング方法に関す
るものである。

［従来の技術］ 米国特許３，５９７．５７９号明細書にはキャパシタの
トリミング方法が記載されており、その方法においては
キャパシタ電極の区域が放射エネルギの使用によって変
化され、短絡の発生を避けるために電圧がキャパシタ電
極間に印加される。

通常の技術の欠点は、上記の方法は限定された選択範囲
の材料にしか適用できないことである。

トリミング動作はキャパシタの上部電極について行われ
、したがってトリミングされた電極は汚染にさらされ、
特に湿度センサ用においては劣化される。

［発明の解決すべき課題］ この発明の目的は、上記のような従来の技術の欠点を克
服し、プレーナキャパシタのトリミングのための完全な
すぐれた方法を提供することてある。

［課題解決のための手段］ この発明は、例えばレーザを使用して基体を通して下部
電極を加熱することによって下部電極を酸化することに
よりキャパシタのトリミングを行うものである。

さらに説明すれば、この発明による方法は、レーザ放射
が下部電極上の加熱効果を得るために基体を通って下部
電極に局部的に焦点を結ばれ、それによって電極材料が
酸化されて、下部電極が局部的に非導電状態に変換され
、一方基体および絶縁層によって保護されることを特徴
とする。

このような方法によって、この発明は顕著な効果を奏す
る。

キャパシタは正確に所望なキャパシタンス値にトリミン
グすることができ、この値は安定に保持される。それは
下部電極は絶縁層の下で保護されているからである。

［実施例］ 以下添附図面を参照に実施例によって説明する。

第１図において、キャパシタは一般にガラスからなる基
体１を具備している。その代わりにレーザ放射に対して
透明な他の基体材料も使用することができる。基体ｌ上
に例えばアルミニウムからなる下部電極２が形成される
。次に下部電極２は絶縁層３によって覆われ、この絶縁
層３は例えば湿度センサでは吸水性ポリマーから形成さ
れる。

絶縁層３］二に上部電極４が付着される。これは湿度セ
ンサでは湿気透過性材料で形成される。キャパシタのト
リミングは基体ｉを通して下部電極２′」二にレーザ５
のビームＢの焦点を結ばせ、それによってビームＢによ
り下部電極２を局部的に加熱し非導電状態に下部電極２
を酸化させることによって行われる。このようにして、
キャパシタの活性面積は減少され、キャパシタンスは所
望の値に減少される。レーザ５は例えばＱスイッチＮｄ
：ＹＡＧレーザでよく、適当な駆動電流は例えば２０Ａ
である。

その代わりに下部電極２はタンタルで構成されていても
よい。

第２図によるキャパシタはガラス基体７上に蒸若された
、絶縁層（図示せず）によって覆われた下部電極８を有
する。絶縁層上には表面電極９が付着されている。第１
図に関連して上記した酸化処理が第２図で表面電極９の
下にある下部電極８の局部的区域に対して行われる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の方法によって処理される典型的なキ
ャパシタの断面図であり、第２図は別のキャパシタ構造
の平面図である。 １・・・基体、２・・・下部電極、３・・・絶縁層、４
・・・上部電極、５・・・レーザ、Ｂ・・・ビーム。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）レーザ放射に対して透明であり、電極のパッシベ
   イション効果を得るために上部電極と絶縁層と下部電極
   とを具備している基体上に形成されたキャパシタの電極
   にレーザ放射が焦点を結ばれるプレーナキャパシタのト
   リミング方法において、レーザ放射は下部電極上の加熱
   効果を得るために基体を通って下部電極に局部的に焦点
   を結ばれ、それによつて電極材料が酸化されて、下部電
   極が局部的に非導電状態に変換され、一方基体および絶
   縁層によつて保護されることを特徴とするプレーナキャ
   パシタのトリミング方法。
2. （２）酸化可能な下部電極材料がアルミニウムである請
   求項１記載の方法。
3. （３）酸化可能な下部電極材料がタンタルである請求項
   １記載の方法。