DE3843980A1 - Verfahren zum feinabgleich eines planarkondensators - Google Patents

Verfahren zum feinabgleich eines planarkondensators

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DE3843980A1
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capacitor
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Lars Stormbom
Jouko Jalava
Heikki Mesiae
Ari Lehto
Pekka Belt
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    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002—Details
    • H01G4/255—Means for correcting the capacitance value
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/351—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring for trimming or tuning of electrical components

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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 zum Feinabgleich eines Planarkondensators.
Aus der US-PS 35 97 579 ist ein Feinabgleichverfahren für Kondensatoren bekannt, in welchem die Fläche der Kondensatorelektrode durch Verwendung einer Strahlungs­ energie verändert wird und im Interesse der Verhinde­ rung des Auftretens von Kurzschlüssen wird eine Spannung zwischen den Kondensatorelektroden angelegt.
Ein Nachteil der herkömmlichen Technologie ist, daß das oben beschriebene Verfahren nur bei einer beschränkten Auswahl von Materialien anwendbar ist. Der Feinabstim­ mungsvorgang wird an der oberen Kondensatorelektrode ausgeführt, wobei die fein abgestimmte Fläche, insbeson­ dere bei der Verwendung in Feuchtigkeitssensoren, einer Verunreinigung und Verschlechterung ausgesetzt ist.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, die Nachteile der vorgenannten Technologie des Standes der Technik zu überwinden und ein vollkommen neues Verfahren zum Fein­ abstimmen eines Planarkondensators zu schaffen.
Die Erfindung basiert auf einer Feinabstimmung des Kon­ densators durch Oxidieren der unteren Elektrode durch Erhitzen der Elektrode durch das Substrat bei Verwen­ dung, z. B. eines Lasers.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Die Erfindung stellt wesentliche Vorteile zur Verfügung.
Der Kondensator kann genau auf einen gewünschten Kapa­ zitätswert feinabgestimmt werden, wobei dieser Wert sta­ bil sein wird, da die untere Elektrode geschützt unter der Isolationsschicht verbleibt.
Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der vorlie­ genden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Be­ schreibung unter Bezugnahme auf die Zeichnung.
Es zeigt:
Fig. 1 eine longitudinal geschnittene Seitenansicht einer typischen Kondensatorkonstruktion, welche unter Verwendung des Verfahrens gemäß der vorlie­ genden Erfindung bearbeitet wird; und
Fig. 2 eine Grundansicht einer anderen typischen Kon­ densatorkonstruktion, welche kompatibel mit der Verwendung des Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung ist.
Gemäß Fig. 1 weist der Kondensator ein Substrat 1 auf, welches im allgemeinen aus Glas ist. Alternativ können andere Substratmaterialien verwendet werden, welche transparent für eine Laseremission sind. Auf dem Sub­ strat 1 ist eine untere Elektrode 2 angebracht, deren Material z. B. aus Aluminium sein kann. Die untere Elek­ trode ist direkt bedeckt durch eine Isolationsschicht 3, welche z. B. in einer Feuchtigkeitssensoranordnung aus einem geeigneten wasserabsorbierenden Polymer gemacht ist. Auf der Isolationsschicht 3 ist eine obere Elektro­ de 4 angeordnet, welche in einer Feuchtigkeitssensor­ anordnung aus einem feuchtigkeits-permeablen Material hergestellt ist. Eine Kondensatorfeinabstimmung wird erreicht durch Fokussieren eines Bündels 6 eines Lasers 5 durch das Substrat 1 auf die untere Elektrode 2, wobei die untere Elektrode durch das Bündel 6 örtlich erhitzt wird, welches zu einer Oxidation der unteren Elektrode 2 in einen elektrisch nichtleitenden Zustand führt. Mit diesem Verfahren wird die aktive Fläche des Kondensators verringert und die Kapazität auf einen gewünschten Wert verringert. Der Laser 5 kann z. B. ein Q-geschalteter Nd:YAG-Laser sein, wobei ein geeigneter Treiberstrom z. B. 20 A ist.
Alternativ kann die untere Elektrode 2 aus Tantal her­ gestellt sein.
Ein Kondensator gemäß der Fig. 2 hat Unterelektroden 8, welche durch eine (nicht gezeigte) Isolationsschicht bedeckt sind, auf dem Glassubstrat 7 dampf-abgeschieden. Auf der Isolationsschicht ist desweiteren eine Oberflä­ chenelektrode 9 plattiert. Der Oxidationsprozeß, wie er oben im Zusammenhang mit Fig. 1 beschrieben wurde, wird über die untere Elektrodenfläche ausgeführt, welche ge­ mäß der Fig. 2 unterhalb der Oberflächenelektrode 9 verbleibt.

Claims (4)

1. Verfahren zum Feinabstimmen eines Planarkondensa­ tors, in welchem
  • - eine Laseremission fokussiert ist auf eine Elektrode (2) eines Kondensators, welcher auf einem Substrat (1) ausgebildet ist, welches transparent für die Laseremission ist, und welcher eine obere Elektrode (4), eine Iso­ lationsschicht (3) und eine untere Elektrode (2) aufweist, um einen Passivationseffekt auf der Elektrode zu erreichen,
dadurch gekennzeichnet, daß
  • - die Laseremission fokussiert ist, örtlich auf die untere Elektrode (2) durch das Substrat (1), um einen Erhitzungseffekt auf der unte­ ren Elektrode (2) zu erreichen, wodurch das Elektrodenmaterial oxidiert, so daß die un­ tere Elektrode (2) örtlich in einen elek­ trisch nicht leitenden Zustand konvertiert, während sie durch das Substrat (1) und die Isolationsschicht (3) geschützt ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das oxidierbare Material der unteren Elektrode Aluminium ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das oxidierbare Material der unteren Elektrode Tantal ist.
DE3843980A 1987-12-30 1988-12-27 Verfahren zum feinabgleich eines planarkondensators Ceased DE3843980A1 (de)

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