JPH01143375A - パルスガスレーザ装置 - Google Patents
パルスガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH01143375A JPH01143375A JP30210487A JP30210487A JPH01143375A JP H01143375 A JPH01143375 A JP H01143375A JP 30210487 A JP30210487 A JP 30210487A JP 30210487 A JP30210487 A JP 30210487A JP H01143375 A JPH01143375 A JP H01143375A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitor
- main discharge
- discharge electrode
- electrode pair
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 38
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 7
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 3
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 abstract description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はパルス幅の長いレーザ光が得られるパルスガス
レーザ、特にエキシマレーザに関する。
レーザ、特にエキシマレーザに関する。
（従来の技術）
パルス幅の長いレーザ光か得られる従来のパルスガスレ
ーザの一例を第２図に示す。このパルスカスレーザにつ
いては、文献〔アプライド・フィジックス・レター（Ａ
ｐｐｌ、Ｐｈｙｓ、Ｌｅｔｔ） ：］ １１９８５年４
４７巻２２号８１から８３頁に詳細に記載されている。
ーザの一例を第２図に示す。このパルスカスレーザにつ
いては、文献〔アプライド・フィジックス・レター（Ａ
ｐｐｌ、Ｐｈｙｓ、Ｌｅｔｔ） ：］ １１９８５年４
４７巻２２号８１から８３頁に詳細に記載されている。
このパルスガスレーザにおいては、第１の高圧電源１１
、第１のコンデンサ１３、パルストランス６、及びスパ
ークギャップ１２よりなる高電圧発生回路によって第１
の電極７と第２の電′＃１８からなる主放電電極対に急
峻な高電圧を印加し、主放電電極対間のレーザカスをブ
レークタウンさせる。レーザガスのブレークタウンと同
時に、第２の高電圧電源１５、第２のコンデンサ１４か
らなるエネルギー充電回路によって、パルス幅の長いパ
ルス電流を主放電電極対間に流してレーザ励起を行い、
パルス幅の長いレーザ光を得ている。
、第１のコンデンサ１３、パルストランス６、及びスパ
ークギャップ１２よりなる高電圧発生回路によって第１
の電極７と第２の電′＃１８からなる主放電電極対に急
峻な高電圧を印加し、主放電電極対間のレーザカスをブ
レークタウンさせる。レーザガスのブレークタウンと同
時に、第２の高電圧電源１５、第２のコンデンサ１４か
らなるエネルギー充電回路によって、パルス幅の長いパ
ルス電流を主放電電極対間に流してレーザ励起を行い、
パルス幅の長いレーザ光を得ている。
（発明が解決しようとする問題点）
従来のパルス幅の長いレーザ光を得るためのパルスガス
レーザ装置は、第２図の従来例に示したとおり、レーザ
ガスをブレークダウンさせるための高電圧発生回路とレ
ーザ励起の放電を得るためのエネルギー充電回路の２つ
の異なる回路より構成され、複数個のパルストランスや
可飽和インダクタを用いているから、励起回路が複雑に
なり、しかも２つの回路に電力を供給するために２つの
高圧電源を必要とするなど装置が大型化する欠点があっ
た。
レーザ装置は、第２図の従来例に示したとおり、レーザ
ガスをブレークダウンさせるための高電圧発生回路とレ
ーザ励起の放電を得るためのエネルギー充電回路の２つ
の異なる回路より構成され、複数個のパルストランスや
可飽和インダクタを用いているから、励起回路が複雑に
なり、しかも２つの回路に電力を供給するために２つの
高圧電源を必要とするなど装置が大型化する欠点があっ
た。
そこで、本発明の目的は、従来の容量移行型励起回路を
用いて、小形で、励起回路が簡素で、効率よくパルス幅
の長いレーザ光か得られるパルスガスレーザを提供する
ことにある。
用いて、小形で、励起回路が簡素で、効率よくパルス幅
の長いレーザ光か得られるパルスガスレーザを提供する
ことにある。
（問題点を解決するための手段）
前述の問題点を解決するために本発明が提供する手段は
、レーザ励起の放電を得るための第１及び第２の電極か
らなる主放電電極対と、この主放電電極対へ供給する放
電用電気エネルギーを予め貯えておく充電用コンデンサ
と、この充電用コンデンサの放電路に直列に挿入されて
いるスイッチング素子と、前記主放電電極対に並列に接
続されているピーキングコンデンサとを含んでなる容量
移行型励起回路を少なくとも備えたパルスガスレーザで
あって、前記主放電電極対と前記ピーキングコンデンサ
との間に付加インダクタを接続し、直列に接続した可飽
和インダクタとパルストランスの１次側コイルを前記ピ
ーキングコンデンサに並列に接続し、前記パルストラン
スの２次側コイルを前記主放電電極対に並列に接続し、
直列に接続した前記充電用コンデンサとスイッチング素
子を前記ピーキングコンデンサに並列に接続したことを
特徴とする。
、レーザ励起の放電を得るための第１及び第２の電極か
らなる主放電電極対と、この主放電電極対へ供給する放
電用電気エネルギーを予め貯えておく充電用コンデンサ
と、この充電用コンデンサの放電路に直列に挿入されて
いるスイッチング素子と、前記主放電電極対に並列に接
続されているピーキングコンデンサとを含んでなる容量
移行型励起回路を少なくとも備えたパルスガスレーザで
あって、前記主放電電極対と前記ピーキングコンデンサ
との間に付加インダクタを接続し、直列に接続した可飽
和インダクタとパルストランスの１次側コイルを前記ピ
ーキングコンデンサに並列に接続し、前記パルストラン
スの２次側コイルを前記主放電電極対に並列に接続し、
直列に接続した前記充電用コンデンサとスイッチング素
子を前記ピーキングコンデンサに並列に接続したことを
特徴とする。
（作用）
本発明によるパルスガスレーザにおいて、スイッチング
素子をターンオンさせることによって予め充電された充
電用コンデンサのエネルギーをピーキングコンデンサに
移行させる。この時、可飽和インダクタは非飽和状態に
あり、可飽和インダクタを流れる電流は時間と共に増加
し、ピーキングコンデンサにエネルギーが移り切る直前
に可飽和インダクタに流れ込む電流で可飽和インダクタ
は非飽和状態から可飽和状態に変化する。すると、可飽
和インダクタのインダクタンスが急激に小さくなり、充
電用コンデンサに残ったエネルギーがパルストランスへ
急激に流れ込む。この電流によってパルストランスの１
次側コイルに流れる急峻な電流によって、パルストラン
スの２次側コイルに急峻な高電圧パルスが発生し、並列
に接続した主放電電極対間に急峻な高電圧パルスが印加
されて、主放電電極対間のレーザガスがブレークダウン
し、主放電電極対間は低インピーダンス状態になる。こ
のため、ピーキングコンデンサのエネルギーを効率よく
主放電電極対間のレーザガスに注人することかでき、か
つピーキングコンデンサと主放電電極対間に接続した付
加インダクタによってパルス幅の長い放電電流が得られ
るので、パルス幅の長いレーザ光を得ることができる。
素子をターンオンさせることによって予め充電された充
電用コンデンサのエネルギーをピーキングコンデンサに
移行させる。この時、可飽和インダクタは非飽和状態に
あり、可飽和インダクタを流れる電流は時間と共に増加
し、ピーキングコンデンサにエネルギーが移り切る直前
に可飽和インダクタに流れ込む電流で可飽和インダクタ
は非飽和状態から可飽和状態に変化する。すると、可飽
和インダクタのインダクタンスが急激に小さくなり、充
電用コンデンサに残ったエネルギーがパルストランスへ
急激に流れ込む。この電流によってパルストランスの１
次側コイルに流れる急峻な電流によって、パルストラン
スの２次側コイルに急峻な高電圧パルスが発生し、並列
に接続した主放電電極対間に急峻な高電圧パルスが印加
されて、主放電電極対間のレーザガスがブレークダウン
し、主放電電極対間は低インピーダンス状態になる。こ
のため、ピーキングコンデンサのエネルギーを効率よく
主放電電極対間のレーザガスに注人することかでき、か
つピーキングコンデンサと主放電電極対間に接続した付
加インダクタによってパルス幅の長い放電電流が得られ
るので、パルス幅の長いレーザ光を得ることができる。
（実施例）
次に図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明のパルスガスレーザの一実施例を示す
回路図である。本発明のパルスガスレーザでは、従来の
容量移行型励起回路に、可飽和インダクタ３、パルスト
ランス６、及び付加インダクタ１０を付加している。第
１図に示したパルスガスレーザにおいて、まずスイッチ
ング素子であるサイラトロン１をターンオンさせること
により、予め充電されている充電用コンデンサ２のエネ
ルギーはピーキングコンデンサ９へ移行する。この時、
可飽和インダクタ３は非飽和状態にあり、可飽和インダ
クタ３を流れる電流は時間と共に増加し、ピーキングコ
ンデンサ９にエネルギーか移り切る直前に可飽和インダ
クタ３に流れ込む電流で可飽和インダクタ３は非飽和状
態から飽和状態に変化する。このため可飽和インダクタ
３のインダクタンスは急激に小さくなり、充電用コンデ
ンサ２に残ったエネルギーがパルス１−ランス６へ急激
に流れ込む。ここで、パルス１〜ランス６へ流れ込む電
流の時間変化を ｄ、 にとし、１次側コイルｔ ４の巻数をｎｌ、２次側コイル５の巻数をｎ２とずれは
、２次側コイル５の両端、すなわち第１の電極７及び第
２の電極８からなる主放電電極対間れ、主放電電極対間
のレーザカスかブレークタウンし、主放電ｔｉ対間は低
インピータンス状態になる。そこで、この実施例ではピ
ーキングコンデンサ９のエネルギーを効率よく主放電電
極対間のレーザカスに注入することかでき、ピーキング
コンデンサつと主放電電極対間に接続された付加インダ
クタ１０によってパルス幅の長い放電電流が得られるの
で、パルス幅の長いレーザ光を得ることかできる。なお
、パルス幅の長い放電電流は、ピーキンクコンデンサ９
の容量を大きくすることによっても得られる。
回路図である。本発明のパルスガスレーザでは、従来の
容量移行型励起回路に、可飽和インダクタ３、パルスト
ランス６、及び付加インダクタ１０を付加している。第
１図に示したパルスガスレーザにおいて、まずスイッチ
ング素子であるサイラトロン１をターンオンさせること
により、予め充電されている充電用コンデンサ２のエネ
ルギーはピーキングコンデンサ９へ移行する。この時、
可飽和インダクタ３は非飽和状態にあり、可飽和インダ
クタ３を流れる電流は時間と共に増加し、ピーキングコ
ンデンサ９にエネルギーか移り切る直前に可飽和インダ
クタ３に流れ込む電流で可飽和インダクタ３は非飽和状
態から飽和状態に変化する。このため可飽和インダクタ
３のインダクタンスは急激に小さくなり、充電用コンデ
ンサ２に残ったエネルギーがパルス１−ランス６へ急激
に流れ込む。ここで、パルス１〜ランス６へ流れ込む電
流の時間変化を ｄ、 にとし、１次側コイルｔ ４の巻数をｎｌ、２次側コイル５の巻数をｎ２とずれは
、２次側コイル５の両端、すなわち第１の電極７及び第
２の電極８からなる主放電電極対間れ、主放電電極対間
のレーザカスかブレークタウンし、主放電ｔｉ対間は低
インピータンス状態になる。そこで、この実施例ではピ
ーキングコンデンサ９のエネルギーを効率よく主放電電
極対間のレーザカスに注入することかでき、ピーキング
コンデンサつと主放電電極対間に接続された付加インダ
クタ１０によってパルス幅の長い放電電流が得られるの
で、パルス幅の長いレーザ光を得ることかできる。なお
、パルス幅の長い放電電流は、ピーキンクコンデンサ９
の容量を大きくすることによっても得られる。
（発明の効果）
以上に述べたように、本発明によれば励起回路が簡素で
、かつ小型な装置によって、効率よくパルス幅の長いレ
ーザ光か得られる。
、かつ小型な装置によって、効率よくパルス幅の長いレ
ーザ光か得られる。
第１図は本発明の一実施例であるパルスガスレーザの回
路図、第２図はパルス幅の長いレーザ光を得るための従
来のパルスカスレーザを示す回路図である。 １・・・サイラトロン、２・・・充電用コンデンサ、３
・・・可飽和インダクタ、４・・・１次側コイル、５・
・・２次側コイル、６・・・パルストランス、７・・・
第１の電極、８・・・第２の電価、９・・・ピーキング
コンデンサ、１０・・・付加インダクタ、１１・・・第
１の電流、１２・・・スパークギャップ、１３・・・第
１のコンデンサ、１４・・・第２のコンデンサ、１５・
・・第２の電源。
路図、第２図はパルス幅の長いレーザ光を得るための従
来のパルスカスレーザを示す回路図である。 １・・・サイラトロン、２・・・充電用コンデンサ、３
・・・可飽和インダクタ、４・・・１次側コイル、５・
・・２次側コイル、６・・・パルストランス、７・・・
第１の電極、８・・・第２の電価、９・・・ピーキング
コンデンサ、１０・・・付加インダクタ、１１・・・第
１の電流、１２・・・スパークギャップ、１３・・・第
１のコンデンサ、１４・・・第２のコンデンサ、１５・
・・第２の電源。
Claims (1)
- レーザ励起の放電を得るための第１及び第２の電極から
なる主放電電極対と、この主放電電極対へ供給する放電
用電気エネルギーを予め貯えておく充電用コンデンサと
、この充電用コンデンサの放電路に直列に挿入されてい
るスイッチング素子と、前記主放電電極対に並列に接続
されているピーキングコンデンサとを含んでなる容量移
行型励起回路を少なくとも備えたパルスガスレーザにお
いて、前記主放電電極対と前記ピーキングコンデンサと
の間に付加インダクタを接続し、直列に接続した可飽和
インダクタとパルストランスの１次側コイルを前記ピー
キングコンデンサに並列に接続し、前記パルストランス
の２次側コイルを前記主放電電極対に並列に接続し、直
列に接続した前記充電用コンデンサとスイッチング素子
を前記ピーキングコンデンサに並列に接続したことを特
徴とするパルスガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30210487A JPH01143375A (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | パルスガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30210487A JPH01143375A (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | パルスガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01143375A true JPH01143375A (ja) | 1989-06-05 |
Family
ID=17904980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30210487A Pending JPH01143375A (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | パルスガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01143375A (ja) |
-
1987
- 1987-11-30 JP JP30210487A patent/JPH01143375A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5138622A (en) | Apparatus and method for generating high-power, high-voltage pulses, particularly for te gas lasers | |
| JPH08132321A (ja) | 放電励起パルスレーザ装置 | |
| JPH01143375A (ja) | パルスガスレーザ装置 | |
| JPH02275687A (ja) | パルスレーザ用電源回路、及びその装置、並びに給電方法 | |
| JPS62108588A (ja) | 充放電装置 | |
| JPH01130581A (ja) | パルスガスレーザ | |
| JP2996706B2 (ja) | パルスレーザ発振装置 | |
| JP2001274492A (ja) | パルスレーザ電源 | |
| JP3090279B2 (ja) | 磁気パルス圧縮回路 | |
| JPH0529692A (ja) | パルス発生装置 | |
| JPS6276511A (ja) | 磁気スイツチおよびこの磁気スイツチを用いたガスレ−ザ装置 | |
| JPH07162068A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JP2746674B2 (ja) | 磁気パルス圧縮回路 | |
| JPH03252184A (ja) | パルスガスレーザ装置 | |
| JPH05129693A (ja) | レーザ用電源 | |
| JPH10223952A (ja) | 放電励起ガスレーザー装置 | |
| JPH10150237A (ja) | エキシマレーザ装置 | |
| JP2611518B2 (ja) | パルスガスレーザ装置 | |
| JPS63228977A (ja) | パルス電源装置 | |
| JPH03237812A (ja) | パルス発生回路 | |
| JPH05283777A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPS63316491A (ja) | レ−ザガス励起放電回路 | |
| JPS63107181A (ja) | パルス放電励起装置 | |
| JPH0677567A (ja) | レーザ装置の励起回路 | |
| JPH05218547A (ja) | 放電励起パルスレーザ装置 |