JPH01130581A - パルスガスレーザ - Google Patents
パルスガスレーザInfo
- Publication number
- JPH01130581A JPH01130581A JP29020887A JP29020887A JPH01130581A JP H01130581 A JPH01130581 A JP H01130581A JP 29020887 A JP29020887 A JP 29020887A JP 29020887 A JP29020887 A JP 29020887A JP H01130581 A JPH01130581 A JP H01130581A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inductors
- electrode
- additional
- laser
- pulse width
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 34
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 11
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、パルス幅の長いレーザ光が得られるパルスガ
スレーザ、特にエキシマレーザに関する。
スレーザ、特にエキシマレーザに関する。
（従来の技術）
パルス幅の長いレーザ光を得る従来のパルスガスレーザ
の一例を第２図に回路図で示す。このパルスガスレーザ
については、文献［アプライド・フィジックス・レター
（Ａｐｐｌ 、 Ｐｈｙｓ 、 Ｌｅｔｔ 、 ） ］
１９８５年、７月号、第４７巻、第２号、８１ページか
ら８３ページに詳細に記載きれている。この従来のパル
スガスレーザにおいては、第１の電極１０と第２の電極
１１とからなる主放電電極対に高電圧を印加し、主放電
電極対間のレーザガスをブレークダウンきせた後、パル
ス幅の長いパルス電流を流してレーザ励起を行い、パル
ス幅の長いレーザ光を得ている。
の一例を第２図に回路図で示す。このパルスガスレーザ
については、文献［アプライド・フィジックス・レター
（Ａｐｐｌ 、 Ｐｈｙｓ 、 Ｌｅｔｔ 、 ） ］
１９８５年、７月号、第４７巻、第２号、８１ページか
ら８３ページに詳細に記載きれている。この従来のパル
スガスレーザにおいては、第１の電極１０と第２の電極
１１とからなる主放電電極対に高電圧を印加し、主放電
電極対間のレーザガスをブレークダウンきせた後、パル
ス幅の長いパルス電流を流してレーザ励起を行い、パル
ス幅の長いレーザ光を得ている。
（発明が解決しようとする問題点）
ところで、パルス幅の長いレーザ光を発振させる従来の
パルスガスレーザにおいては、可飽和インダクタ８を用
いたマグネティックスイッチやパルストランス９などを
必要とするから励起回路が複雑になり装置が大型化する
欠点があった。そこで、本発明の目的は、励起回路が簡
素で、全体として小形な、パルス幅の長いレーザ光が得
られるパルスガスレーザを提供することにある。
パルスガスレーザにおいては、可飽和インダクタ８を用
いたマグネティックスイッチやパルストランス９などを
必要とするから励起回路が複雑になり装置が大型化する
欠点があった。そこで、本発明の目的は、励起回路が簡
素で、全体として小形な、パルス幅の長いレーザ光が得
られるパルスガスレーザを提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
前述の問題点を解決するために本発明が提供する手段は
、レーザ励起の放電を得るための第１及び第２の電極か
らなる主放電電極対と、この主放電電極対へ供給する放
電用電気エネルギーを予め貯えておく充電用コンデンサ
と、この充電用コンデンサの放電路に直列に挿入されて
いるスイッチング素子と、前記主放電電極対に並列につ
ながれている複数のピーキングコンデンサとを含んでな
る容量移行型励起回路を少なくとも備えたパルスガスレ
ーザにおいて、前記励起回路にインダクタンスの値が異
なる１種類以上の複数の付加インダクタと複数の逆流防
止インダクタとを付加し、前記第１の電極に前記複数の
付加インダクタの一方の端子を接続し、前記第２の電極
と各前記付加インダクタの他方の端子との間に各前記ピ
ーキングコンデンサをそれぞれ接続し、前記付加インダ
クタと前記ピーキングコンデンサとの各接続端に各前記
逆流防止インダクタの一方の端子をそれぞれ接続し、複
数の前記逆流防止インダクタの他方の端子と前記第２の
電極との間に前記充電用コンデンサと前記スイッチング
素子とを直列に接続したことを特徴とする。
、レーザ励起の放電を得るための第１及び第２の電極か
らなる主放電電極対と、この主放電電極対へ供給する放
電用電気エネルギーを予め貯えておく充電用コンデンサ
と、この充電用コンデンサの放電路に直列に挿入されて
いるスイッチング素子と、前記主放電電極対に並列につ
ながれている複数のピーキングコンデンサとを含んでな
る容量移行型励起回路を少なくとも備えたパルスガスレ
ーザにおいて、前記励起回路にインダクタンスの値が異
なる１種類以上の複数の付加インダクタと複数の逆流防
止インダクタとを付加し、前記第１の電極に前記複数の
付加インダクタの一方の端子を接続し、前記第２の電極
と各前記付加インダクタの他方の端子との間に各前記ピ
ーキングコンデンサをそれぞれ接続し、前記付加インダ
クタと前記ピーキングコンデンサとの各接続端に各前記
逆流防止インダクタの一方の端子をそれぞれ接続し、複
数の前記逆流防止インダクタの他方の端子と前記第２の
電極との間に前記充電用コンデンサと前記スイッチング
素子とを直列に接続したことを特徴とする。
（作用）
本発明によるパルスガスレーザにおいて、スイッチング
素子を導通きせ充電している充電用コンデンサを放電さ
せることにより、逆流防止インダクタを通してピーキン
グコンデンサに放電電流を流し複数のピーキングコンデ
ンサにエネルギーを移行する。次に、主放電電極対間の
レーザガスがブレークダウンした後は、複数の付加イン
ダクタを通して主放電電極対に複数のピーキングコンデ
ンサから電流が流れる。また逆流防止インダクタにより
、ピーキングコンデンサ間で電流が流れないようにして
いる。さらに、主放電ＩＦ電極対は、付加インダクタの
インダクタンスが各々異なっているから、パルス幅の広
がりが異なる電流が合成きれたパルス幅の長い電流が流
れる。この結果、パルス幅の長いレーザ光を得ることが
できる。
素子を導通きせ充電している充電用コンデンサを放電さ
せることにより、逆流防止インダクタを通してピーキン
グコンデンサに放電電流を流し複数のピーキングコンデ
ンサにエネルギーを移行する。次に、主放電電極対間の
レーザガスがブレークダウンした後は、複数の付加イン
ダクタを通して主放電電極対に複数のピーキングコンデ
ンサから電流が流れる。また逆流防止インダクタにより
、ピーキングコンデンサ間で電流が流れないようにして
いる。さらに、主放電ＩＦ電極対は、付加インダクタの
インダクタンスが各々異なっているから、パルス幅の広
がりが異なる電流が合成きれたパルス幅の長い電流が流
れる。この結果、パルス幅の長いレーザ光を得ることが
できる。
（実施例）
次に、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明のパルスガスレーザの一実施例を示す
回路図である。
回路図である。
本発明を用いたパルスガスレーザでは、励起回路に複数
の付加インダクタ１と複数の逆流防止インダクタ２を付
加している。
の付加インダクタ１と複数の逆流防止インダクタ２を付
加している。
このパルスガスレーザにおいて、先ずスイッチ素子であ
るサイラトロン７を導通させ充電している充電用コンデ
ンサ４を放電させ、複数の逆流防止インダクタ２を介し
て複数のピーキングコンデンサ３を充電する。主放電電
極対の印加電圧はピーキングコンデンサ３の充電時間の
経過と共に高くなり、第１の電極５と第２の電極６間の
レーザガスがブレークダウンし、レーザ励起のための放
電が得られる。放電が起こると第１の電極５と第２の電
極６間のインピーダンスが付加インダクタ１のインピー
ダンスより低下するので、付加インダクタ１を通して、
１つのピーキングコンデンサ３から他のピーキングコン
デンサ３ヘエネルギーが移行されることは抑えられる。
るサイラトロン７を導通させ充電している充電用コンデ
ンサ４を放電させ、複数の逆流防止インダクタ２を介し
て複数のピーキングコンデンサ３を充電する。主放電電
極対の印加電圧はピーキングコンデンサ３の充電時間の
経過と共に高くなり、第１の電極５と第２の電極６間の
レーザガスがブレークダウンし、レーザ励起のための放
電が得られる。放電が起こると第１の電極５と第２の電
極６間のインピーダンスが付加インダクタ１のインピー
ダンスより低下するので、付加インダクタ１を通して、
１つのピーキングコンデンサ３から他のピーキングコン
デンサ３ヘエネルギーが移行されることは抑えられる。
また、逆流防止インダクタ２を通して、１つのピーキン
グコンデンサ３から他のピーキングコンデンサ３ヘエネ
ルギーが移行きれることや、充電用コンデンサ４へエネ
ルギーが移行きれることは抑えられる。従って、ピーキ
ングコンデンサ３のエネルギーが効率良くレーザ励起の
ための放電だけに供給される。
グコンデンサ３から他のピーキングコンデンサ３ヘエネ
ルギーが移行きれることや、充電用コンデンサ４へエネ
ルギーが移行きれることは抑えられる。従って、ピーキ
ングコンデンサ３のエネルギーが効率良くレーザ励起の
ための放電だけに供給される。
この時の放電電流は、付加インダクタ１のインダクタン
スが各々異なっていることによるパルス幅の異なる電流
で合成きれたパルス幅の長い電流である。この結果、パ
ルス幅の長いレーザ光を効率良く得ることができる。
スが各々異なっていることによるパルス幅の異なる電流
で合成きれたパルス幅の長い電流である。この結果、パ
ルス幅の長いレーザ光を効率良く得ることができる。
なお、第１の電極５と第２の電極６間のレーザガスを予
備電離するために、ピーキングコンデンサ３と直列に設
けたスパークギャップで得られるアーク放電で発・生ず
る紫外線を用いる紫外線自動予備電離回路を使用する方
式のパルスガスレーザにも本発明は適用できる。
備電離するために、ピーキングコンデンサ３と直列に設
けたスパークギャップで得られるアーク放電で発・生ず
る紫外線を用いる紫外線自動予備電離回路を使用する方
式のパルスガスレーザにも本発明は適用できる。
（発明の効果）
以上に述べたように、本発明によれば、励起回路が簡素
で、全体として小形な、パルス幅の長いレーザ光が得ら
れるパルスガスレーザが得られる。
で、全体として小形な、パルス幅の長いレーザ光が得ら
れるパルスガスレーザが得られる。
第１図は本発明の一実施例のパルスガスレーザを示す回
路図、第２図はパルス幅の長いレーザ光を発振させる従
来のパルスガスレーザを示す回路図である。 １・・・付加インダクタ、２・・・逆流防止インダクタ
、３・・・ピーキングコンデンサ、４・・・充電用コン
デンサ、５，１０・・・第１の電極、６．１１・・・第
２の電極、７・・・サイラトロン、８・・・可飽和イン
ダクタ、９・・・パルストランス。
路図、第２図はパルス幅の長いレーザ光を発振させる従
来のパルスガスレーザを示す回路図である。 １・・・付加インダクタ、２・・・逆流防止インダクタ
、３・・・ピーキングコンデンサ、４・・・充電用コン
デンサ、５，１０・・・第１の電極、６．１１・・・第
２の電極、７・・・サイラトロン、８・・・可飽和イン
ダクタ、９・・・パルストランス。
Claims (1)
- レーザ励起の放電を得るための第１及び第２の電極か
らなる主放電電極対と、この主放電電極対へ供給する放
電用電気エネルギーを予め貯えておく充電用コンデンサ
と、この充電用コンデンサの放電路に直列に挿入されて
いるスイッチング素子と、前記主放電電極対に並列につ
ながれている複数のピーキングコンデンサとを含んでな
る容量移行型励起回路を少なくとも備えたパルスガスレ
ーザにおいて、前記励起回路にインダクタンスの値が異
なる１種類以上の複数の付加インダクタと複数の逆流防
止インダクタとを付加し、前記第１の電極に前記複数の
付加インダクタの一方の端子を接続し、前記第２の電極
と各前記付加インダクタの他方の端子との間に各前記ピ
ーキングコンデンサをそれぞれ接続し、前記付加インダ
クタと前記ピーキングコンデンサとの各接続端に各前記
逆流防止インダクタの一方の端子をそれぞれ接続し、複
数の前記逆流防止インダクタの他方の端子と前記第２の
電極との間に前記充電用コンデンサと前記スイッチング
素子とを直列に接続したことを特徴とするパルスガスレ
ーザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29020887A JPH01130581A (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 | パルスガスレーザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29020887A JPH01130581A (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 | パルスガスレーザ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01130581A true JPH01130581A (ja) | 1989-05-23 |
Family
ID=17753148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29020887A Pending JPH01130581A (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 | パルスガスレーザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01130581A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006024600A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-01-26 | Komatsu Ltd | 放電励起ガスレーザ装置 |
-
1987
- 1987-11-16 JP JP29020887A patent/JPH01130581A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006024600A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-01-26 | Komatsu Ltd | 放電励起ガスレーザ装置 |
| JP4484144B2 (ja) * | 2004-07-06 | 2010-06-16 | 株式会社小松製作所 | 放電励起ガスレーザ装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5138622A (en) | Apparatus and method for generating high-power, high-voltage pulses, particularly for te gas lasers | |
| JPH08132321A (ja) | 放電励起パルスレーザ装置 | |
| KR20010030403A (ko) | 자외선을 방출하는 가스 레이저장치 | |
| JPH01130581A (ja) | パルスガスレーザ | |
| NL8901779A (nl) | Werkwijze en elektrische schakeling voor het exciteren van een gasontladingslaser. | |
| JP2996706B2 (ja) | パルスレーザ発振装置 | |
| JPS61216373A (ja) | パルスレ−ザ装置 | |
| JPH01143375A (ja) | パルスガスレーザ装置 | |
| JP2747109B2 (ja) | パルスレーザ電源 | |
| JPH069267B2 (ja) | パルスガスレ−ザ | |
| JPH03257980A (ja) | レーザ装置 | |
| JPS63304683A (ja) | エキシマレ−ザ−装置 | |
| JPS6313387A (ja) | パルスガスレ−ザ装置 | |
| JPS60187076A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPH027873A (ja) | パルス放電回路 | |
| JPH02103977A (ja) | パルスレーザ用電源 | |
| JP2001268945A (ja) | パルスレーザ電源 | |
| JPH04139781A (ja) | パルスレーザ発振装置 | |
| JPH0590681A (ja) | 放電励起パルスガスレーザ装置用電源回路 | |
| JPH04330706A (ja) | 磁気パルス圧縮回路 | |
| JPH10223952A (ja) | 放電励起ガスレーザー装置 | |
| JPH01307285A (ja) | パルスガスレーザ | |
| Arya et al. | Arbitrary wave-form-pulsed power source for flash-lamp-pumped solid-state lasers | |
| JPH03252184A (ja) | パルスガスレーザ装置 | |
| JPS63217685A (ja) | パルスレ−ザ装置 |