JP4484144B2 - 放電励起ガスレーザ装置 - Google Patents
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Description
前記一対の放電電極の中の少なくとも給電側の放電電極が長手方向に複数の分割電極に分割され、前記複数の分割電極個々が、あるいは、隣接する複数の分割電極がグループ化されてなる電極群個々が、それぞれ単数又は複数の分割コンデンサーの給電側端子に接続され、かつ、前記分割コンデンサーは1個以上の分岐点を介して前記高電圧パルス発生装置の出力端に相互に並列に接続されており、前記並列に接続された分割コンデンサーが前記放電用コンデンサーを構成していることを特徴とするものである。
前記一対の放電電極の中の少なくとも給電側の放電電極が長手方向に複数の分割電極に分割され、前記複数の分割電極個々が、あるいは、隣接する複数の分割電極がグループ化されてなる電極群個々が、それぞれ単数又は複数の分割コンデンサーの給電側端子に接続されており、かつ、前記単数又は複数の分割コンデンサー各々が、相互に連携して動作する複数の高電圧パルス発生装置各々の出力端に接続されており、前記単数又は複数の分割コンデンサーがそれぞれの分割電極あるいは隣接する複数の分割電極がグループ化されてなる電極群に対する放電用コンデンサーを構成していることを特徴とするものである。
図10は別の実施例を示す図2と同様の図である。この実施例においては、分割ブロック(分割コンデンサーCP1と分割電極21 と放電電極3とを結ぶ閉ループ等)間の分離度を高めるために、図2のような電気抵抗や浮遊(寄生)インダクタンスに加えて、分割コンデンサーCP1〜CP5の給電端子間に微小なインダクタンスのコイルLO1〜LO4を接続することで、最短ルート以外のルートの電気抵抗やインダクタンスをより大きくして、各分割コンデンサーCP1〜CP5から対応しない分割電極21 〜25 へ電流がより流れないようにし、放電不安定性の影響をより少なくするようにした例である。この場合のコイルLO1〜LO4それぞれのインダクタンスは、数nHから50nH程度に選ばれる。
○放電電極の分割の有無 あり なし
○放電電極総長さ 600mm 同左
○放電電極間間隔 16mm 同左
○分割した放電電極 給電側(カソード) −
接地側分割なし
○電極分割数 18 0
○分割電極1個の長さ 端部59.5mm(端部2個) −
その他29mm(その他部分16個)
○分割電極間の隙間 1mm −
○その他 1個のピーキングコンデンサー −
(18個)を1個の分割電極に接続
○動作条件
ArFエキシマレーザガス アルゴン3.5%、フッ素0.1%、 同左
キセノン10pp、残りネオン
印加電圧 23kV 同左
ガス圧力 3000hPa 同左
繰り返し周波数 4000Hz 同左
ピーキングコンデンサ容量 8nF 同左
放電回路のインダクタンス 5nH 同左
電圧の立ち上がり時間 70nsec 同左 。
2…給電側放電電極
21 〜28 …給電側放電電極の分割電極
3…接地側放電電極
31 〜34 …接地側放電電極の分割電極
4、41 〜44 …電源(高電圧パルス発生装置)
5…CFF(クロスフローファン)
6…冷却用熱交換器
7…狭帯域化モジュール(LNM)
8…出力鏡
9…ビームサンプラー
10…ビームモニタ
11…拡大プリズム
12…グレーティング(回折格子)
13…コントローラ
14…ガス供給ライン(gas in)
15…ガス排気ライン(gas out)
16…真空ポンプ
17、18…バルブ
19…コロナ予備電離部
21…筐体
22…絶縁板
23…電極ホルダー
24…間隔
25、251 〜254 …支持兼通電部材
26…電極ホルダー
27…ピーキングコンデンサー接地板
271 〜274 …ピーキングコンデンサー接地板部分
28、281 〜284 、281 ’〜284 ’…電源の出力端子
29…ピーキングコンデンサー取り付け板
291 〜294 …取り付け板部分
291 ’〜294 ’…取り付け板部分
30…スリット
31…連結部
32…電極給電線
SL0…固体スイッチ保護用磁気スイッチ
SL1…第1の磁気スイッチ
SL2…第2の磁気スイッチ
HV…高電圧電源
L1…インダクタンス
SW…固体スイッチ
C0…主コンデンサー
C1…第1のコンデンサー
C2…第2のコンデンサー
CP…ピーキングコンデンサー
CP1〜CP5、CP1a、CP1b、CP2a、CP2b、CP3a、CP3b、CP4a、CP4b…分割コンデンサー
P1、P2、P3…分岐点
LO1〜LO4…微小なインダクタンスのコイル
Claims (5)
- レーザガスが封入されたレーザチャンバと、このレーザチャンバ内に配置され相互に平行で対向配置された一対の長尺の放電電極と、その一対の放電電極と並列に接続された放電用コンデンサーと、前記レーザチャンバ内で高電圧パルス放電を発生させて前記レーザガスを励起してレーザ光を放出させるための高電圧パルス発生装置とを備え、前記一対の放電電極が前記高電圧パルス発生装置の出力端に接続されてなる放電励起ガスレーザ装置において、
前記一対の放電電極の中の少なくとも給電側の放電電極が長手方向に複数の分割電極に分割され、前記複数の分割電極個々が、あるいは、隣接する複数の分割電極がグループ化されてなる電極群個々が、それぞれ単数又は複数の分割コンデンサーの給電側端子に接続され、かつ、前記分割コンデンサーは1個以上の分岐点を介して前記高電圧パルス発生装置の出力端に相互に並列に接続されており、前記並列に接続された分割コンデンサーが前記放電用コンデンサーを構成しており、前記複数の分割電極個々にあるいは隣接する複数の分割電極がグループ化されてなる電極群個々に接続された単数又は複数の分割コンデンサーの給電側端子間にインダクタンスのコイルが接続されていることを特徴とする放電励起ガスレーザ装置。 - 前記一対の放電電極の中の給電側と反対側の放電電極も長手方向に、前記給電側の放電電極の分割に対応して複数の分割電極に分割されていることを特徴とする請求項1記載の放電励起ガスレーザ装置。
- 給電側の前記分割電極と対応する接地側の前記分割電極とが各々、前記単数又は複数の分割コンデンサーを介して、異なる接続線路によって接続されていることを特徴とする請求項2記載の放電励起ガスレーザ装置。
- 前記一対の放電電極間の放電によって流れる電流が極性が反転する放電振動電流からなり、その極性が反転する1パルスの放電振動電流波形の始めの半周期と、それに続く少なくとも1つの半周期によってレーザ発振動作をするように構成されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項記載の放電励起ガスレーザ装置。
- 前記レーザガスがフッ素ガスとアルゴンガスを含む混合ガスからなり、ArFエキシマレーザ装置として構成されていることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項記載の放電励起ガスレーザ装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2004
- 2004-07-06 JP JP2004198921A patent/JP4484144B2/ja not_active Expired - Fee Related
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