KR100539277B1 - 가스 첨가제를 갖는 협대역 가스 방전 레이저 - Google Patents
가스 첨가제를 갖는 협대역 가스 방전 레이저 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (31)
- A). 플루오르와 양립할 수 있는 재료로 이루어지고,(1) 가늘고 긴 2개의 전극;(2) 적어도 하나의 프리이오나이저; 및(3) 전체 압력을 한정하고, 제 1 불활성가스, 플루오르, 완충가스, 및 100 ppm 미만의 안정화 첨가제로 이루어진 레이저 가스;를 포함하는 레이저 챔버를 포함하며,상기 안정화 첨가제는 10 ppm 미만의 산소, 및 상기 제 1 불활성 가스보다 더 무거운 많은 양의 제 2 불활성 가스로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 협대역 가스 방전 레이저.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 불활성 가스는 크립톤이며, 상기 안정화 첨가제는 크세논인 것을 특징으로 하는 협대역 가스 방전 레이저.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 불활성 가스는 크립톤이며, 상기 안정화 첨가제는 라돈인 것을 특징으로 하는 협대역 가스 방전 레이저.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 불활성 가스는 아르곤이며, 상기 안정화 첨가제는 크립톤인 것을 특징으로 하는 협대역 가스 방전 레이저.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 불활성 가스는 아르곤이며, 상기 안정화 첨가제는 크세논인 것을 특징으로 하는 협대역 가스 방전 레이저.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 불활성 가스는 아르곤이며, 상기 안정화 첨가제는 라돈인 것을 특징으로 하는 협대역 가스 방전 레이저.
- 제 1 항에 있어서, 상기 안정화 가스는 2 내지 7 ppm 의 농도의 산소인 것을 특징으로 하는 협대역 가스 방전 레이저.
- 제 1 항에 있어서, 엑시머 레이저는 협대역 엑시머 레이저이며, 상기 플루오르는 전체압력의 0.1 % 미만인 부분압력을 갖는 것을 특징으로 하는 협대역 가스 방전 레이저.
- 제 8 항에 있어서, 적어도 25%의 반사율을 갖는 출력 커플러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 협대역 가스 방전 레이저.
- 제 8 항에 있어서, 적어도 하나의 프리즘은 플루오르화 칼슘으로 이루어진 것을 특징으로 하는 협대역 가스 방전 레이저.
- 제 8 항에 있어서, 적어도 하나의 프리즘은 3개의 프리즘이며, 모두 플루오르화 칼슘으로 이루어진 것을 특징으로 하는 협대역 가스 방전 레이저.
- 제 8 항에 있어서, 플루오르의 부분압력은 전체 가스압력의 0.06% 미만인 것을 특징으로 하는 협대역 가스 방전 레이저.
- 제 8 항에 있어서, 상기 엑시머 레이저는 ArF 엑시머 레이저이며, 산소의 농도는 5 ppm 미만인 것을 특징으로 하는 협대역 가스 방전 레이저.
- 가늘고 긴 2개의 전극, 적어도 하나의 프리이오나이저 및, 플루오르 및 불활성 완충가스로 구성된 레이저 가스를 갖는 가스 방전 레이저를 동작시키는 방법에 있어서,A) 상기 불활성 완충가스 보다 더 무거운 양의 불활성 가스 및 10ppm 미만의 산소로 구성된 군으로부터 선택된 안정화 첨가제를 상기 레이저 가스에 첨가시키는 단계; 및B) 적어도 초 당 1000 펄스의 반복율로 상기 레이저를 동작시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가늘고 긴 2개의 전극, 적어도 하나의 프리이오나이저 및, 플루오르 및 불활성 완충가스로 구성된 레이저 가스를 갖는 가스 방전 레이저를 동작시키는 방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 레이저는 KrF 레이저이고 상기 불활성 완충가스는 네온이며, 상기 레이저 가스는 또한 크립톤을 포함하는 것을 특징으로 하는 가늘고 긴 2개의 전극, 적어도 하나의 프리이오나이저 및, 플루오르 및 불활성 완충가스로 구성된 레이저 가스를 갖는 가스 방전 레이저를 동작시키는 방법.
- 제 15 항에 있어서, 상기 안정화 첨가제는 5ppm 미만의 산소인 것을 특징으로 하는 가늘고 긴 2개의 전극, 적어도 하나의 프리이오나이저 및, 플루오르 및 불활성 완충가스로 구성된 레이저 가스를 갖는 가스 방전 레이저를 동작시키는 방법.
- 제 15 항에 있어서, 상기 안정화 첨가제는 50ppm 미만의 크세논인 것을 특징으로 하는 가늘고 긴 2개의 전극, 적어도 하나의 프리이오나이저 및, 플루오르 및 불활성 완충가스로 구성된 레이저 가스를 갖는 가스 방전 레이저를 동작시키는 방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 레이저는 ArF 레이저이고 상기 불활성 완충가스는 네온이고, 상기 레이저 가스는 또한 아르곤을 포함하는 것을 특징으로 하는 가늘고 긴 2개의 전극, 적어도 하나의 프리이오나이저 및, 플루오르 및 불활성 완충가스로 구성된 레이저 가스를 갖는 가스 방전 레이저를 동작시키는 방법.
- 제 18 항에 있어서, 상기 안정화 첨가제는 5ppm 미만의 산소인 것을 특징으로 하는 가늘고 긴 2개의 전극, 적어도 하나의 프리이오나이저 및, 플루오르 및 불활성 완충가스로 구성된 레이저 가스를 갖는 가스 방전 레이저를 동작시키는 방법.
- 제 18 항에 있어서, 상기 안정화 첨가제는 50ppm 미만의 크세논인 것을 특징으로 하는 가늘고 긴 2개의 전극, 적어도 하나의 프리이오나이저 및, 플루오르 및 불활성 완충가스로 구성된 레이저 가스를 갖는 가스 방전 레이저를 동작시키는 방법.
- 제 20 항에 있어서, 상기 안정화 첨가제는 10ppm 미만의 크세논인 것을 특징으로 하는 가늘고 긴 2개의 전극, 적어도 하나의 프리이오나이저 및, 플루오르 및 불활성 완충가스로 구성된 레이저 가스를 갖는 가스 방전 레이저를 동작시키는 방법.
- 제 21 항에 있어서, 상기 펄스 반복율은 초 당 2000 펄스 보다 큰 것을 특징으로 하는 가늘고 긴 2개의 전극, 적어도 하나의 프리이오나이저 및, 플루오르 및 불활성 완충가스로 구성된 레이저 가스를 갖는 가스 방전 레이저를 동작시키는 방법.
- 제 20 항에 있어서, 공칭 온도 보다 실질적으로 낮은 온도에서 유지되는 냉각 요소를 지나서 순환되는 상기 레이저 가스는 상기 공칭 온도를 한정하는 것을 특징으로 하는 가늘고 긴 2개의 전극, 적어도 하나의 프리이오나이저 및, 플루오르 및 불활성 완충가스로 구성된 레이저 가스를 갖는 가스 방전 레이저를 동작시키는 방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 레이저는 F2 레이저이고 상기 불활성 완충가스는 헬륨인 것을 특징으로 하는 가늘고 긴 2개의 전극, 적어도 하나의 프리이오나이저 및, 플루오르 및 불활성 완충가스로 구성된 레이저 가스를 갖는 가스 방전 레이저를 동작시키는 방법.
- 제 24 항에 있어서, 상기 안정화 첨가제는 5ppm 미만의 산소인 것을 특징으로 하는 가늘고 긴 2개의 전극, 적어도 하나의 프리이오나이저 및, 플루오르 및 불활성 완충가스로 구성된 레이저 가스를 갖는 가스 방전 레이저를 동작시키는 방법.
- 제 24 항에 있어서, 상기 안정화 첨가제는 50 ppm 미만의 크세논인 것을 특징으로 하는 가늘고 긴 2개의 전극, 적어도 하나의 프리이오나이저 및, 플루오르 및 불활성 완충가스로 구성된 레이저 가스를 갖는 가스 방전 레이저를 동작시키는 방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 레이저는 적어도 버스트 당 100 펄스의 버스트 모드로 동작되는 것을 특징으로 하는 가늘고 긴 2개의 전극, 적어도 하나의 프리이오나이저 및, 플루오르 및 불활성 완충가스로 구성된 레이저 가스를 갖는 가스 방전 레이저를 동작시키는 방법.
- 제 27 항에 있어서, 상기 레이저는 가스 전달 시간을 한정하고, 각각의 버스트는 개시 시간을 한정하고 레이저는 각각의 버스트 이전에 적어도 하나의 펄스로 프리-펄싱되고, 상기 적어도 하나의 펄스는 각각의 버스트의 개시 시간 이전의 가스 전달 시간 보다 먼저 발생하지 않도록 타이밍된 것을 특징으로 하는 가늘고 긴 2개의 전극, 적어도 하나의 프리이오나이저 및, 플루오르 및 불활성 완충가스로 구성된 레이저 가스를 갖는 가스 방전 레이저를 동작시키는 방법.
- 제 28 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 펄스는 11개 펄스보다 작은 갯수의 펄스인 것을 특징으로 하는 가늘고 긴 2개의 전극, 적어도 하나의 프리이오나이저 및, 플루오르 및 불활성 완충가스로 구성된 레이저 가스를 갖는 가스 방전 레이저를 동작시키는 방법.
- 제 24 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 펄스는 각각의 버스트의 개시 시간의 약 10ms 전에 발생하도록 타이밍된 것을 특징으로 하는 가늘고 긴 2개의 전극, 적어도 하나의 프리이오나이저 및, 플루오르 및 불활성 완충가스로 구성된 레이저 가스를 갖는 가스 방전 레이저를 동작시키는 방법.
- 가늘고 긴 2개의 전극, 적어도 하나의 프리이오나이저 및, 플루오르 및 불활성 완충가스로 구성된 레이저 가스를 갖는 가스 방전 ArF 레이저를 동작시키는 방법에 있어서,A) 상기 불활성 완충가스 보다 더 무거운 양의 불활성 가스 및 10ppm 미만의 산소로 구성된 군으로부터 선택된 안정화 첨가제를 상기 레이저 가스에 첨가하는 단계;B) 초 당 1000 펄스 미만의 반복율로 상기 레이저를 동작시키는 단계;C) 공칭 온도를 한정하는 온도 범위내에 상기 레이저 가스를 유지시키는 단계; 및D) 상기 공칭 온도 보다 실질적으로 낮은 온도에서 유지되는 냉각 소자를 상기 레이저 가스가 지나도록 순환시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가늘고 긴 2개의 전극, 적어도 하나의 프리이오나이저 및, 플루오르 및 불활성 완충가스로 구성된 레이저 가스를 갖는 가스 방전 ArF 레이저를 동작시키는 방법.
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