JP2001268945A - パルスレーザ電源 - Google Patents
パルスレーザ電源Info
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- JP2001268945A JP2001268945A JP2000082867A JP2000082867A JP2001268945A JP 2001268945 A JP2001268945 A JP 2001268945A JP 2000082867 A JP2000082867 A JP 2000082867A JP 2000082867 A JP2000082867 A JP 2000082867A JP 2001268945 A JP2001268945 A JP 2001268945A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 パルスレーザ電源において、極性反転回路を
別に設けることなく、キックバックエネルギーを回生す
る。 【解決手段】 初期充電された充放電用コンデンサＣｏ
からリアクトルＬｏを介して半導体スイッチＳＷのオン
制御でパルス電圧を発生するパルス発生回路１と、パル
ス電圧を磁気圧縮してパルスレーザ発生部４に供給する
磁気圧縮回路３とを備え、パルスレーザ発生部４からの
キックバックエネルギーにより上記充放電用コンデンサ
Ｃｏが逆極性に充電されるパルスレーザ電源において、
上記充放電用コンデンサＣｏと並列に接続された高電圧
直流電源２の整流回路用ダイオードＤｓを介して、エネ
ルギーを回生する手段を備えたことを特徴としている。
別に設けることなく、キックバックエネルギーを回生す
る。 【解決手段】 初期充電された充放電用コンデンサＣｏ
からリアクトルＬｏを介して半導体スイッチＳＷのオン
制御でパルス電圧を発生するパルス発生回路１と、パル
ス電圧を磁気圧縮してパルスレーザ発生部４に供給する
磁気圧縮回路３とを備え、パルスレーザ発生部４からの
キックバックエネルギーにより上記充放電用コンデンサ
Ｃｏが逆極性に充電されるパルスレーザ電源において、
上記充放電用コンデンサＣｏと並列に接続された高電圧
直流電源２の整流回路用ダイオードＤｓを介して、エネ
ルギーを回生する手段を備えたことを特徴としている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はパルス発生回路と磁
気圧縮回路を組み合わせたパルスレーザ電源に関わり、
主にキックバックエネルギーの回生方法に関するもので
ある。
気圧縮回路を組み合わせたパルスレーザ電源に関わり、
主にキックバックエネルギーの回生方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】近年エキシマレーザに代表されるパルス
レーザ装置は、半導体製造用の露光装置や物体の表面加
工等の光源に用いられて産業上の需要が高まっている。
このパルスレーザの励起を行うにはマイクロ秒以下の極
短パルスの電圧をレーザ装置に印加して放電を行わなけ
ればならないが、このような極短パルス電圧を発生させ
るには、初期充電されたコンデンサから、半導体スイッ
チをオンすることによって、初期パルスを発生させ、次
段のコンデンサを充電し、更に可飽和リアクトルの飽和
特性を利用してパルス幅の圧縮を行う、いわゆる磁気パ
ルス圧縮回路が用いられる。この種のパルスレーザ電源
の従来例を図２に示す。
レーザ装置は、半導体製造用の露光装置や物体の表面加
工等の光源に用いられて産業上の需要が高まっている。
このパルスレーザの励起を行うにはマイクロ秒以下の極
短パルスの電圧をレーザ装置に印加して放電を行わなけ
ればならないが、このような極短パルス電圧を発生させ
るには、初期充電されたコンデンサから、半導体スイッ
チをオンすることによって、初期パルスを発生させ、次
段のコンデンサを充電し、更に可飽和リアクトルの飽和
特性を利用してパルス幅の圧縮を行う、いわゆる磁気パ
ルス圧縮回路が用いられる。この種のパルスレーザ電源
の従来例を図２に示す。
【０００３】図２において、パルス発生回路１は高電圧
直流電源２により高抵抗の充電抵抗Ｒｏを介して初段の
充放電用コンデンサＣｏを初期充電しておき、半導体ス
イッチＳＷのオン制御で充放電用コンデンサＣｏからリ
アクトルＬｏを介してコンデンサＣ１に電荷を供給す
る。なお、リアクトルＬｏはスイッチＳＷのスイッチン
グ損失を軽減するために設けられた回路素子で磁気飽和
を利用する磁気アシスト手段として設けられることが多
い。
直流電源２により高抵抗の充電抵抗Ｒｏを介して初段の
充放電用コンデンサＣｏを初期充電しておき、半導体ス
イッチＳＷのオン制御で充放電用コンデンサＣｏからリ
アクトルＬｏを介してコンデンサＣ１に電荷を供給す
る。なお、リアクトルＬｏはスイッチＳＷのスイッチン
グ損失を軽減するために設けられた回路素子で磁気飽和
を利用する磁気アシスト手段として設けられることが多
い。
【０００４】磁気圧縮回路３はコンデンサＣ１と可飽和
リアクトルＬ１とを組み合わせて用いるもので、複数段
で用いることが多いが、その代表的な例について説明す
る。コンデンサをＣ１〜Ｃｎ、可飽和リアクトルをＬ１
〜Ｌｎ−１とする。また、より高い電圧を必要とする場
合には、コンデンサＣ１〜Ｃｎと並列にパルス変圧器を
接続し昇圧して使用することもある。コンデンサＣ１に
電荷が供給されると電圧が上昇して可飽和リアクトルＬ
１が励磁されて、所定の電圧×時間（Ｖ・Ｓｅｃ）に達
すると可飽和リアクトルＬ１が磁気飽和してインダクタ
ンス値が激減する。すなわち、磁気スイッチ動作をする
ことにより次段のコンデンサＣ２に電荷が移動しパルス
充電が行われる。以下同じ動作が繰り返されて行き、後
段のリアクトルほど飽和後のインダクタンスを小さく設
計しているために充電時間が短くなりパルス圧縮される
ことになる。このようにして最終段のコンデンサＣｎは
極めて狭幅にパルス充電されることにより、パルスレー
ザ発生部４のレーザ極間ギャップの電圧が上昇し絶縁が
破壊されてコンデンサＣｎに蓄積された電荷がレーザ触
媒中に注入されてレーザが励起される。
リアクトルＬ１とを組み合わせて用いるもので、複数段
で用いることが多いが、その代表的な例について説明す
る。コンデンサをＣ１〜Ｃｎ、可飽和リアクトルをＬ１
〜Ｌｎ−１とする。また、より高い電圧を必要とする場
合には、コンデンサＣ１〜Ｃｎと並列にパルス変圧器を
接続し昇圧して使用することもある。コンデンサＣ１に
電荷が供給されると電圧が上昇して可飽和リアクトルＬ
１が励磁されて、所定の電圧×時間（Ｖ・Ｓｅｃ）に達
すると可飽和リアクトルＬ１が磁気飽和してインダクタ
ンス値が激減する。すなわち、磁気スイッチ動作をする
ことにより次段のコンデンサＣ２に電荷が移動しパルス
充電が行われる。以下同じ動作が繰り返されて行き、後
段のリアクトルほど飽和後のインダクタンスを小さく設
計しているために充電時間が短くなりパルス圧縮される
ことになる。このようにして最終段のコンデンサＣｎは
極めて狭幅にパルス充電されることにより、パルスレー
ザ発生部４のレーザ極間ギャップの電圧が上昇し絶縁が
破壊されてコンデンサＣｎに蓄積された電荷がレーザ触
媒中に注入されてレーザが励起される。
【０００５】このようにして移動してきた電荷と実際に
レーザ光に注入されるエネルギーの変換効率は大変悪
く、コンデンサＣｎとレーザ発生部４のレーザ極間ギャ
ップからなる閉回路の回路インピーダンスよりも、レー
ザ極間ギャップ固有の放電インピーダンスの方が小さく
て整合できないために、移動して来た電荷の多くは反射
エネルギーとしてコンデンサＣｎを逆極性に充電する。
そしてこの反転した電荷の一部（これをキックバックエ
ネルギーと呼ぶ）はコンデンサＣｎ、Ｃｎ−１、可飽和
リアクトルＬｎ−１の閉回路電流となりコンデンサＣ
ｎ−１を充電する。同様の作用によりキックバックエネ
ルギーは前段へと移動して行き、最終的には充放電用コ
ンデンサＣｏを逆極性に充電する。そして、その後充放
電用コンデンサＣｏと並列に接続されたダイオードＤｒ
とリアクトルＬｒの直列回路で構成される極性反転回路
５を介して、再度充放電用コンデンサＣｏを逆充電させ
て当初の極性に戻す。すなわち、当初の電荷の一部が充
放電用コンデンサＣｏに回生できたことになる。なお、
ダイオードＤｒは初期の電圧を保持する方向に接続され
ている。
レーザ光に注入されるエネルギーの変換効率は大変悪
く、コンデンサＣｎとレーザ発生部４のレーザ極間ギャ
ップからなる閉回路の回路インピーダンスよりも、レー
ザ極間ギャップ固有の放電インピーダンスの方が小さく
て整合できないために、移動して来た電荷の多くは反射
エネルギーとしてコンデンサＣｎを逆極性に充電する。
そしてこの反転した電荷の一部（これをキックバックエ
ネルギーと呼ぶ）はコンデンサＣｎ、Ｃｎ−１、可飽和
リアクトルＬｎ−１の閉回路電流となりコンデンサＣ
ｎ−１を充電する。同様の作用によりキックバックエネ
ルギーは前段へと移動して行き、最終的には充放電用コ
ンデンサＣｏを逆極性に充電する。そして、その後充放
電用コンデンサＣｏと並列に接続されたダイオードＤｒ
とリアクトルＬｒの直列回路で構成される極性反転回路
５を介して、再度充放電用コンデンサＣｏを逆充電させ
て当初の極性に戻す。すなわち、当初の電荷の一部が充
放電用コンデンサＣｏに回生できたことになる。なお、
ダイオードＤｒは初期の電圧を保持する方向に接続され
ている。
【０００６】このようにエネルギーを回生しないと、キ
ックバックエネルギーは再度レーザ発生部へと向かい不
安定なレーザ発振を繰り返し、また、レーザ極間電極の
消耗に著しい影響を与え、かつ、回路構成素子の寿命の
低下を招くことになる。エネルギーの回生は長寿命化の
達成、長期的な信頼性の向上、およびエネルギーの効率
改善のために有効な手段である。
ックバックエネルギーは再度レーザ発生部へと向かい不
安定なレーザ発振を繰り返し、また、レーザ極間電極の
消耗に著しい影響を与え、かつ、回路構成素子の寿命の
低下を招くことになる。エネルギーの回生は長寿命化の
達成、長期的な信頼性の向上、およびエネルギーの効率
改善のために有効な手段である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】図２に示すように、従
来の回路構成はエネルギーを回生するために極性反転回
路５を別に設けていた。従って価格も高価となり、大型
で、重量も大きなものとなっていた。これはパルス発生
回路１のみで問題解決を図ろうとしたためである。高電
圧直流電源２と併せてシステム的に構成すれば極性反転
回路５を別に設ける必要はない。本発明は上記の背景を
鑑みて、パルスレーザ電源を低コスト化、小型・軽量化
するものである。
来の回路構成はエネルギーを回生するために極性反転回
路５を別に設けていた。従って価格も高価となり、大型
で、重量も大きなものとなっていた。これはパルス発生
回路１のみで問題解決を図ろうとしたためである。高電
圧直流電源２と併せてシステム的に構成すれば極性反転
回路５を別に設ける必要はない。本発明は上記の背景を
鑑みて、パルスレーザ電源を低コスト化、小型・軽量化
するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、初期充電され
た充放電用コンデンサＣｏからリアクトルＬｏを介して
半導体スイッチＳＷのオン制御でパルス電圧を発生する
パルス発生回路１と、パルス電圧を磁気圧縮してパルス
レーザ発生部４に供給する磁気圧縮回路３とを備え、パ
ルスレーザ発生部４からのキックバックエネルギーによ
り上記充放電用コンデンサＣｏが逆極性に充電されるパ
ルスレーザ電源において、上記充放電用コンデンサＣｏ
と並列に接続された高電圧直流電源２の整流回路用ダイ
オードＤｓを介して、エネルギーを回生する手段を備え
たことを特徴とするパルスレーザ電源である。また、高
電圧直流電源２が全波整流回路６を備え、該全波整流回
路と高周波吸収用コンデンサＣｓを並列接続し、かつ、
直流出力の一端と半導体スイッチＳＷとの間にリアクト
ルＬｓとダイオードＤｓｓを直列接続したことを特徴と
するパルスレーザ電源である。さらに、全波整流回路６
が変圧器Ｔｒの二次コイルに接続され、変圧器Ｔｒまた
は変圧器Ｔｒの二次コイルが複数個で構成され、各々の
全波整流回路６が直列接続されたことを特徴とするパル
スレーザ電源である。
た充放電用コンデンサＣｏからリアクトルＬｏを介して
半導体スイッチＳＷのオン制御でパルス電圧を発生する
パルス発生回路１と、パルス電圧を磁気圧縮してパルス
レーザ発生部４に供給する磁気圧縮回路３とを備え、パ
ルスレーザ発生部４からのキックバックエネルギーによ
り上記充放電用コンデンサＣｏが逆極性に充電されるパ
ルスレーザ電源において、上記充放電用コンデンサＣｏ
と並列に接続された高電圧直流電源２の整流回路用ダイ
オードＤｓを介して、エネルギーを回生する手段を備え
たことを特徴とするパルスレーザ電源である。また、高
電圧直流電源２が全波整流回路６を備え、該全波整流回
路と高周波吸収用コンデンサＣｓを並列接続し、かつ、
直流出力の一端と半導体スイッチＳＷとの間にリアクト
ルＬｓとダイオードＤｓｓを直列接続したことを特徴と
するパルスレーザ電源である。さらに、全波整流回路６
が変圧器Ｔｒの二次コイルに接続され、変圧器Ｔｒまた
は変圧器Ｔｒの二次コイルが複数個で構成され、各々の
全波整流回路６が直列接続されたことを特徴とするパル
スレーザ電源である。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。図１は本発明の実施例である。図２と同一
回路を構成する素子については同一記号を付記したので
その説明を省略する。
て説明する。図１は本発明の実施例である。図２と同一
回路を構成する素子については同一記号を付記したので
その説明を省略する。
【００１０】図１において、一次側より供給された交流
電圧を所定の電圧まで昇圧するための変圧器Ｔｒの二次
側に全波整流回路６を構成する整流回路用ダイオードＤ
ｓを設け、かつ、上記全波整流回路６の直流出力側と並
列に高周波吸収用のコンデンサＣｓを接続し、その直流
出力端子の一端を電流抑制用のリアクトルＬｓとダイオ
ードＤｓｓを直列に接続して構成される高電圧直流電源
２をパルス発生回路１と並列に接続する。
電圧を所定の電圧まで昇圧するための変圧器Ｔｒの二次
側に全波整流回路６を構成する整流回路用ダイオードＤ
ｓを設け、かつ、上記全波整流回路６の直流出力側と並
列に高周波吸収用のコンデンサＣｓを接続し、その直流
出力端子の一端を電流抑制用のリアクトルＬｓとダイオ
ードＤｓｓを直列に接続して構成される高電圧直流電源
２をパルス発生回路１と並列に接続する。
【００１１】変圧器Ｔｒは高電圧であるために複数個使
用する場合や変圧器Ｔｒの二次コイルを複数個に分割し
て使用する場合がある。この場合は各々に設けられた全
波整流回路６の直流出力側を直列に接続して使用する
が、必ずしも均等に分圧されないために、上記各全波整
流回路６に並列に接続した高周波吸収用のコンデンサＣ
ｓが直流分圧を兼ねる。ダイオードＤｓｓは高周波吸収
用コンデンサＣｓや全波整流回路６の分布容量とコンデ
ンサＣｏとの共振により生じる逆電流を阻止するための
ものである。
用する場合や変圧器Ｔｒの二次コイルを複数個に分割し
て使用する場合がある。この場合は各々に設けられた全
波整流回路６の直流出力側を直列に接続して使用する
が、必ずしも均等に分圧されないために、上記各全波整
流回路６に並列に接続した高周波吸収用のコンデンサＣ
ｓが直流分圧を兼ねる。ダイオードＤｓｓは高周波吸収
用コンデンサＣｓや全波整流回路６の分布容量とコンデ
ンサＣｏとの共振により生じる逆電流を阻止するための
ものである。
【００１２】なお、この共振が発生すると充放電用コン
デンサＣｏのエネルギーの一部が高電圧直流電源２側に
戻っていくことから、ダイオードＤｓｓは充電効率や充
放電用コンデンサＣｏの電圧安定化の面から重要な回路
構成要素である。
デンサＣｏのエネルギーの一部が高電圧直流電源２側に
戻っていくことから、ダイオードＤｓｓは充電効率や充
放電用コンデンサＣｏの電圧安定化の面から重要な回路
構成要素である。
【００１３】次に動作について説明する。図２において
説明したキックバックエネルギーは充放電用コンデンサ
Ｃｏを逆極性に充電する。その後充放電用コンデンサＣ
ｏに蓄えられた電荷は、高電圧直流電源２のダイオード
Ｄｓを介してリアクトルＬｓ、ダイオードＤｓｓとで構
成される閉回路によって充放電用コンデンサＣｏは、初
期の極性に充電され、キックバックエネルギーは回生さ
れたことになる。したがって整流回路用ダイオードＤｓ
は充放電用コンデンサＣｏを充電するための直流整流機
能と充放電用コンデンサＣｏのエネルギーを回生する機
能との両方の役割を果たすことになる。
説明したキックバックエネルギーは充放電用コンデンサ
Ｃｏを逆極性に充電する。その後充放電用コンデンサＣ
ｏに蓄えられた電荷は、高電圧直流電源２のダイオード
Ｄｓを介してリアクトルＬｓ、ダイオードＤｓｓとで構
成される閉回路によって充放電用コンデンサＣｏは、初
期の極性に充電され、キックバックエネルギーは回生さ
れたことになる。したがって整流回路用ダイオードＤｓ
は充放電用コンデンサＣｏを充電するための直流整流機
能と充放電用コンデンサＣｏのエネルギーを回生する機
能との両方の役割を果たすことになる。
【００１４】
【発明の効果】以上の通り本発明は、別に極性反転回路
５を設けることなく、高電圧直流電源２の一機能である
整流回路用ダイオードＤｓを利用することによって、充
放電用コンデンサＣｏに充電された逆極性のキックバッ
クエネルギーを回生することができる。この電源は数ｋ
Ｖ〜数十ｋＶと電圧が高く、かつ、１秒間に数千回の放
電をさせることから大容量のエネルギーを扱うことにな
る。従ってキックバックエネルギーも必然的に高電圧、
大エネルギーとなることから、別に極性反転回路５を設
けるとすれば、コスト高で大型化し、重量の大きなもの
となる。また、高電圧直流電源２の全波整流回路６は電
圧が高いために、単品で耐える整流回路用ダイオードＤ
ｓの素子がなく、通常は多くの高圧素子を直列に使用す
るためにコスト高となるのみならず、電圧の分担が一様
になりにくいなどの難点もあった。本発明により、この
全波整流回路６を複数に分割して使用することで各全波
整流回路６の電圧が分割数だけ分圧することができるた
めに絶縁設計が容易になり、整流回路用ダイオードＤｓ
も低圧素子が使えるので信頼性が増し、コストメリット
も高い。また、半導体露光装置用の光源として本レーザ
が使用される場合は極度の安定性が要求されるため、充
放電用コンデンサＣｏの充電電圧は０．５％以下の安定
度が求められることがある。このような場合、ダイオー
ドＤｓｓを用いると、充電電圧の変動の大きな要因とな
る充放電用コンデンサＣｏと高電圧直流電源２との間の
共振を阻止することができ、ダイオードＤｓｓを回路に
接続することによって上記安定度が達成でき、パルスレ
ーザ装置としての品質向上に大きく貢献できる。このよ
うに、本発明は従来の欠点をなくしたものであって、工
業的価値大なるものである。
５を設けることなく、高電圧直流電源２の一機能である
整流回路用ダイオードＤｓを利用することによって、充
放電用コンデンサＣｏに充電された逆極性のキックバッ
クエネルギーを回生することができる。この電源は数ｋ
Ｖ〜数十ｋＶと電圧が高く、かつ、１秒間に数千回の放
電をさせることから大容量のエネルギーを扱うことにな
る。従ってキックバックエネルギーも必然的に高電圧、
大エネルギーとなることから、別に極性反転回路５を設
けるとすれば、コスト高で大型化し、重量の大きなもの
となる。また、高電圧直流電源２の全波整流回路６は電
圧が高いために、単品で耐える整流回路用ダイオードＤ
ｓの素子がなく、通常は多くの高圧素子を直列に使用す
るためにコスト高となるのみならず、電圧の分担が一様
になりにくいなどの難点もあった。本発明により、この
全波整流回路６を複数に分割して使用することで各全波
整流回路６の電圧が分割数だけ分圧することができるた
めに絶縁設計が容易になり、整流回路用ダイオードＤｓ
も低圧素子が使えるので信頼性が増し、コストメリット
も高い。また、半導体露光装置用の光源として本レーザ
が使用される場合は極度の安定性が要求されるため、充
放電用コンデンサＣｏの充電電圧は０．５％以下の安定
度が求められることがある。このような場合、ダイオー
ドＤｓｓを用いると、充電電圧の変動の大きな要因とな
る充放電用コンデンサＣｏと高電圧直流電源２との間の
共振を阻止することができ、ダイオードＤｓｓを回路に
接続することによって上記安定度が達成でき、パルスレ
ーザ装置としての品質向上に大きく貢献できる。このよ
うに、本発明は従来の欠点をなくしたものであって、工
業的価値大なるものである。
【図１】本発明によるパルスレーザ電源の実施例を示す
回路図である。
回路図である。
【図２】従来例によるパルスレーザ電源の回路図であ
る。
る。
１ パルス発生回路 ２ 高電圧直流電源 ３ 磁気圧縮回路 ４ パルスレーザ発生部 ５ 極性反転回路 ６ 全波整流回路 Ｔｒ 変圧器 Ｄｓ 整流回路用ダイオード Ｃｓ 高周波吸収用コンデンサ Ｌｓ リアクトル Ｄｓｓ ダイオード ＳＷ 半導体スイッチ Ｒｏ 充電抵抗 Ｌｒ リアクトル Ｄｒ ダイオード Ｃｏ 充放電用コンデンサ Ｃ１〜Ｃｎ コンデンサ Ｌｏ リアクトル Ｌ１〜Ｌｎ−１ 可飽和リアクトル
Claims (3)
- 【請求項１】 初期充電された充放電用コンデンサから
リアクトルを介して半導体スイッチのオン制御でパルス
電圧を発生するパルス発生回路と、パルス電圧を磁気圧
縮してパルスレーザ発生部に供給する磁気圧縮回路とを
備え、パルスレーザ発生部からのキックバックエネルギ
ーにより上記充放電用コンデンサが逆極性に充電される
パルスレーザ電源において、 上記充放電用コンデンサと並列に接続された高電圧直流
電源の整流回路用ダイオードを介して、エネルギーを回
生する手段を備えたことを特徴とするパルスレーザ電
源。 - 【請求項２】 請求項１記載の高電圧直流電源が全波整
流回路を備え、該全波整流回路と高周波吸収用コンデン
サを並列接続し、かつ、直流出力の一端と半導体スイッ
チとの間にリアクトルとダイオードを直列接続したこと
を特徴とするパルスレーザ電源。 - 【請求項３】 請求項２記載の全波整流回路が変圧器の
二次コイルに接続され、変圧器または変圧器の二次コイ
ルが複数個で構成され、各々の全波整流回路が直列接続
されたことを特徴とするパルスレーザ電源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000082867A JP2001268945A (ja) | 2000-03-23 | 2000-03-23 | パルスレーザ電源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000082867A JP2001268945A (ja) | 2000-03-23 | 2000-03-23 | パルスレーザ電源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001268945A true JP2001268945A (ja) | 2001-09-28 |
Family
ID=18599611
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000082867A Pending JP2001268945A (ja) | 2000-03-23 | 2000-03-23 | パルスレーザ電源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001268945A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101304525B1 (ko) * | 2011-12-08 | 2013-09-05 | 주식회사 비앤비시스템 | 가변 펄스폭을 갖는 펄스형 레이저를 위한 전원장치 |
| CN105450078A (zh) * | 2015-12-11 | 2016-03-30 | 金华大维电子科技有限公司 | 一种纳秒级脉冲电源 |
| CN107143475A (zh) * | 2017-07-11 | 2017-09-08 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 用于激光支持的磁等离子体推力器的多级放电电路 |
-
2000
- 2000-03-23 JP JP2000082867A patent/JP2001268945A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101304525B1 (ko) * | 2011-12-08 | 2013-09-05 | 주식회사 비앤비시스템 | 가변 펄스폭을 갖는 펄스형 레이저를 위한 전원장치 |
| CN105450078A (zh) * | 2015-12-11 | 2016-03-30 | 金华大维电子科技有限公司 | 一种纳秒级脉冲电源 |
| CN107143475A (zh) * | 2017-07-11 | 2017-09-08 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 用于激光支持的磁等离子体推力器的多级放电电路 |
| CN107143475B (zh) * | 2017-07-11 | 2023-07-11 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 用于激光支持的磁等离子体推力器的多级放电电路 |
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