JPH01137225A - ガルバノミラー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光メモリ装置のレーザビームのトラッキング
制御に用いるガルバノミラ−に関する。

〔従来の技術〕

従来、光メモリ装置の光学ヘッドに用いられるレンズア
クチュエータは、特開昭５７−２１０４５６に見られる
ように可動部がコイルであるものが多かった。また、レ
ーザー等の光学系を固定し、アクセスを行なう移動光学
系部の質量を軽減した分離型光学ヘッドとしては特開昭
６１−２２４１４９．６２−１４３３１等の例がある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし従来技術では、可動コイルへの給電方式によって
は、給電線が高速での動作の妨げになる可能性が有り、
給電線の断線や、コイルの過熱による接着劣化が生じコ
イル変形等の問題点を有する。また、コイル仕様（巻数
、線径等）の変更が可動部の質量変化につながるためコ
イルのｉｎ仕様を捜すためにカットアンドトライを繰り
返すことが多く高速化が容易でなかった。

そこで本発明はこのような問題点を解決するためのもの
で、その目的とするところは、光メモリ装置の高速化を
図るために光学ヘッドを分離型構造とする場合のトラッ
キングアクチュエータとして、可動部に永久磁石を用い
て、剛性の高い構造で、可動部へ給電する必要のないガ
ルバノミラ−を構成し光メモリ装置の高速化を実現する
ところにある。

〔問題点を解決するための手段〕 （１）本発明のガルバノミラ−は、光メモリ装置のレー
ザビームのトラッキング制御手段として、永久磁石を可
動部の一部とする構造のガルバノミラ−において （ａ）希土類金属（ＲＥ）、鉄（Ｆｅ）、ホウ素（Ｂ）
およびジルコニウム（Ｚｒ）を基本組成とする焼結磁石
を円盤状とし、円周方向に少なくとも四分割以上の多極
着磁を厚さ方向に施した円盤状の可動永久磁石 （ｂ）該可動永久磁石の一方の平面に設置された鉄等の
軟磁性材料から成るバックヨーク（ｃ）該バックヨーク
、前記可動永久磁石等の可動部の回転軸に対して４５°
の角度を待って固定された反射ミラー （ｄ）該反射ミラー、前記バックヨーク、前記可動永久
磁石から成る可動部を回転自由に支持する支持シャフト
により構成された支持機構（ｅ）前記可動部の中立位置
保持用の手段として、前記可動永久磁石の外側に設けた
、中立保持用永久磁石と保持磁極 （ｆ）前記永久磁石のバックヨーク設置面の反対面に、
前記可動部の回転運動を制御する磁場を発生させる手段
として設けた少なくとも１個以上の電磁石又はコイルか
ら構成されることを特徴とする。

〔実　施　例〕

以下本発明について図面に基づいて詳細に説明する。

第１図は、本発明のガルバノミラ−の平面断面図で、反
射ミラー１０１はＲＥ、Ｆｅ、ＢおよびＺｒを基本組成
とした焼結型の可動永久磁石１０２、バックヨーク１０
７、ミラーホルダー１０３と一体化され回転が可能な状
態で、ボールベアリング１０５の外輪がミラーホルダー
と接着されている。さらにミラーホルダーにバックヨー
クが接着されている。支持シャフト１０６は、ボールベ
アリングの内輪と係合されている。ボールベアリングは
、ベース１０８と支持シャフト先端のフランジによって
挟まれて固定される。ベース内には可動磁石を回転させ
るためのコイル１０４が設置されている。ベースとミラ
ーホルダーにより外周部で可動域１０９を挾みアキシャ
ル方向の回転ぶれを少なくする構造となっている。

第２図は、本発明のガルバノミラ−の可動ａｌｌ構の主
要部分分解断面図で、可動部の中立保持手段として中立
保持用永久磁石２０１、保持磁極２０２．２０３が設け
られている。この中立保持用永久磁石と保持磁極を左右
（第２図に於て）に動かすことにより組立時の調整が、
ばね等の手段によって中立保持をする場合に比べ容易に
行える様に成り効果的である。コイル２０４．２０５　
（２０５は図示せず）に流す電流を制御することによっ
て可動部の回転角を制御することが出来る。このコイル
の代わりに（ｂ）に示す電磁石を磁極部２０６が、可動
磁石のニュートラルゾーンに位１するように設置し前述
の方法と同様にコイルに流す電流によって回転角を制御
することができる。可動永久磁石１０２は、同図に示し
たように８極に着磁されている０着磁の極数は、２．４
．６．８極が考えられるが、２極は実現が困難で、本実
施例の中立保持機構を用いる場合は６、または、８極が
もっとも作り易く、本実施例では８極の例を示した。可
動永久磁石１０２の製造工程は、まずＺｒｚ、ｓ　　（
Ｃｅｏ、ｔ　Ｐｒｏ２Ｎｃｉｏ、ａ　）＋＊、５Ｆｅ６
９ＣＯｅ　Ｂ　７の組成になるように原料を高周波溶解
炉でアルゴンガス雰囲気中にて溶解し鋳造した。

さらにスタンプミル・ボールミルで平均粒径が３〜５μ
ｍとなるように粉砕した磁性粉末を円盤型金型に充填し
、１５ｋＯｅの磁場で円盤の厚さ方向に配向させ、１５
〜２０　ｋ　ｇ　／　ｍｓ＋　２の成型圧で圧縮成形を
行い、その後アルゴンガス雰囲気中で１０００℃〜１２
５０℃のｉｊｔ適温度で焼結し、必要に応じて４００℃
〜１２５０℃の最適温度で熱処理を行って焼結磁石を成
型しな、永久磁石の最大エネルギー積（ＢＨ）ｍａｘ、
保磁力ｉＨｃ、残留磁束密度Ｂｒは、 （ＢＨ）ｍａｘ＝３３　（ＭＧＯｅ　）ｉＨｃ＝１３．
１　（ｋｏｅ） Ｂｒ＝１１．５　（ｋＧ） が得られた。

このようにして得られた永久磁石によりガルバノミラ−
を駆動することにより、可動部の小型軽量化が可能にな
り、高速応答性ら向上する。また円盤形状の磁石を容易
にかつ経済的に製造することができる。

第３図（ａ）、（ｂ）は、本発明のガルバノミラ−を用
いた場合の光メモリ装置の光学系の概略図で、光学ヘッ
ド３０１からのレーザビームＡを反射ミラー１０１によ
って微少に振り、レーザビームＢとし、リニアモータ３
０２に固定された固定ミラー３０３で更にレーザビーム
方向を変更してディスク３０４に対してＩ・ラッキング
動作を行う、フォーカシングは、リニアモータに搭載さ
れたレンズフォーカシングアクチュエータ３０５によっ
て対物レンズ３０６を上下に動かして行われる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、永久磁石を可動
部に用いたことにより、可動部への給電の必要のない構
造のガルバノミラ−を実現することが出来、高速動作時
に給電線の断線等の心配がなく、発熱によりコイルが変
形して磁気回路と接触することが避けられ、可動部磁石
として円゛盤状磁石を使用することにより可動部を薄く
することが可能になった。また、コイル仕様を変更して
も可動部の質量が変化しないので設計変更が容易に行え
る。また、可動部の中立保持手段として永久磁石を用い
たため、従来のばねによる方法に比べ組立後の調整が容
易で、正確に行うことが可能になっている。また円盤状
の可動永久磁石としてＲＥ、Ｆｅ、ＢおよびＺｒを基本
組成とした焼結磁石を用いることにより、可動部の小型
軽量化が可能になる。さらに、第３図に示した構成の光
学系は、レーザビームＡ、Ｂの断面形状が変化しないの
で本発明のガルバノミラ−を用いるとトラッキング範囲
を広くすることが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明のガルバノミラ−の平面断面図、 第２図（ａ）は、本発明のガルバノミラ−の主要部分分
解斜視図、（ｂ）は電磁石の斜視図、第３図（ａ）、（
ｂ）は、本発明のガルバノミラ−を用いた場合の光メモ
リ装置の光学系の概略図。 以上 ｉ 第１図 （υ） 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）光メモリ装置のレーザビームのトラッキング制御
   手段として、永久磁石を可動部の一部とする構造のガル
   バノミラーにおいて （ａ）希土類金属（ＲＥ）、鉄（Ｆｅ）、ホウ素（Ｂ）
   およびジルコニウム（Ｚｒ）を基本組成とする焼結磁石
   を円盤状とし、円周方向に少なくとも四分割以上の多極
   着磁を厚さ方向に施した円盤状の可動永久磁石 （ｂ）該可動永久磁石の一方の平面に設置された鉄等の
   軟磁性材料から成るバックヨーク （ｃ）該バックヨーク、前記可動永久磁石等の可動部の
   回転軸に対して４５゜の角度を持って固定された反射ミ
   ラー （ｄ）該反射ミラー、前記バックヨーク、前記可動永久
   磁石から成る可動部を回転自由に支持する支持シャフト
   とにより構成された支持機構 （ｅ）前記可動部の中立位置保持用の手段として、前記
   可動永久磁石の外側に設けた、中立保持用永久磁石と保
   持磁極 （ｆ）前記永久磁石の前記バックヨーク設置面の反対面
   に、前記可動部の回転運動を制御する磁場を発生させる
   手段として設けた少なくとも１個以上の電磁石又はコイ
   ルから構成されることを特徴とするガルバノミラー。