JPH01102420A - ガルバノミラー - Google Patents

ガルバノミラー

Info

Publication number
JPH01102420A
JPH01102420A JP26064187A JP26064187A JPH01102420A JP H01102420 A JPH01102420 A JP H01102420A JP 26064187 A JP26064187 A JP 26064187A JP 26064187 A JP26064187 A JP 26064187A JP H01102420 A JPH01102420 A JP H01102420A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
movable
movable part
permanent magnet
magnet
fixed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP26064187A
Other languages
English (en)
Inventor
Tsugio Ide
次男 井出
Michio Yanagisawa
通雄 柳澤
Hiroshi Ito
浩 伊藤
Mitsuhiro Horikawa
堀川 満広
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP26064187A priority Critical patent/JPH01102420A/ja
Publication of JPH01102420A publication Critical patent/JPH01102420A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野〕 本発明は、光メモリ装置のレーザビームのトラッキング
制御に用いるガルバノミラ−に関する。
〔従来の技術) 従来、光メモリamの光学ヘッドに用いられるレンズア
クチュエータはぜ特開昭57−210456に見られる
ように可動部がコイルであるものが多かった。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし従来技術では、可動コイルへの給電方式によって
は、給電線が高速での動作の妨げになる可能性が有り、
給電線の断線や、コイルの過熱による接着劣化が生じコ
イル変形等の問題点を育する。また、コイルの最適仕様
(巻数、線形等)を捜すためにカプトアンドトライを繰
り返すことが多く、このコイル仕様の変更が可動部の質
量変化につながるため高速化が容易でなかった。
そこで本発明はこのような問題点を解決するためのもの
で、その目的とするところは、光メモ・り装置の高速化
を図るために光学ヘッドを分W11Jl構造とする場合
のトラッキングアクチ、ユエータとして、可動部に永久
磁石を用いて、剛性の高い構造で、可動部へ給電する必
要のないガルバノミラ−を構成し光メモリ装置の高速化
を実現するところにある。
(問題点を解決するための手段) (1)本発明のガルバノミラーは、光メモリ装置のレー
ザビームのトラッキング制御手段として、永久磁石を可
動部の一部とする構造のガルバノミラ−において (a)Sm及びCoを基本組成とする合金の前記Smの
一部をNd及びCeで置換し粉砕して得られた磁性粉末
を樹脂と混合・混練し、圧縮成形を行い円筒伏にし、ラ
ジアル方向に少、なくとも四分割以上の多極着磁を施し
た可動永久磁石(b)該可動永久磁石の内周部に係合さ
れた鉄等の軟磁性材料から成るバックヨーク (C)該バックヨーク、前記可動永久磁石に可動部の円
筒軸に対して45°の角度を持って固定された反射ミラ
ー (d) 該反射ミラー、前記バックヨーク、前記可動永
久磁石から成る可動部を回転自由に支持する少なくとも
、2個以上のボールベアリングの外輪に、該ボールベア
リングの内輪に係合する支持シャフトと同じ材質のスリ
ーブを係合し、該スリーブに前記可動部を固定した構造
の支持機構(e)前記可動部の、中立位置保持用の手段
として、前記可動永久磁石の外側に設けた、中立保持用
永久磁石と保持磁極 Cf>前記可動永久磁石の外側に、前記可動部の回転運
動を制御する磁場を発生させる手段として設けた少なく
とも1個以上の電磁石から構成されることを特徴とする
〔実施例〕
以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明する。
第1図は、本発明のガルバノミラ−の平面断面図で、反
射ミラー101はラジアル方向に着磁された薄肉円筒の
Nd置換Sm−Co系樹脂結合塁の可動永久磁石102
、バックヨーク101可動スリーブ104と一体化され
回転が可能な状態で、ボールベアリング105.10B
の外輪が可動スリーブとillされている。バックヨー
クと可動スリーブは、すきまばめになっていて、ミラー
ホルダ107がバックヨークと可動スリーブに接着され
ている。支持シャフト108は、ボールベアリングの、
内輪と係合され、固定ナツト108によって、スラスト
方向に締め付けられ、予圧カラー110によってスラス
ト方向の予圧が加えられる0本実施例の構造によると、
支持シャフトの熱膨張による伸縮が生じても、可動スリ
ーブを支持シャフトと同じ材質にすることによって反射
ミラーの倒れが生じない0例えば、第4図(@に詳細に
説明する)の、ような応用例の場合、反射ミラーが支持
シャフト方向に微小変位し゛ても殆ど影響しないが、反
射ミラー倒れは、極めて大きく影響する。
jff2図は、本発明のガルバノミラ−の可動機構の断
面図で、可動部の中立保持手段として中立保持用永久磁
石201、保持磁極202.203が設けられている。
この中立保持用永久磁石と保舟磁極を左右(第2図に於
て)に動かすことにより組立時の調整が、ばね等の手段
によって中立保持をする場合に比べ容易に行えるように
なり効果的である。電磁石は、磁@204とコイル20
5、および磁極206とコイル207から構成されてい
て、コイル205.207に流す電流を制御することに
よって可動部の回転角を制御することができる。可動永
久磁石102は、同図に示したように8極に着磁されて
いる。@磁の極数は、2゜4.6.8[が考えられるが
、2極は実現が困難で、本実施例の中立保持機構を用い
る場合は6、または、8極がもっとも作り易(、本実施
例ではバックヨークの軽量化が可能な8極としである。
fas図は、可動永久磁石102の、製造工程を示す0
組成がSm* 、 s Nde 、 a Cee 、 
s  (COe、st*Cu*、*5Fee、smZr
e。
e * s 、) a 、 s aとなるように、原料
を誘導炉で溶解し、そのインゴットをAr雰囲気中で1
120〜1180℃で5時間溶体化処理を行い更に85
0℃で4時間時効鵡理を行った。このようにして得られ
た2−17系希±頷金属間合金を平均粒度約80μmと
なるように粉砕した。この粉末98重量%に熱硬化性で
ある2液性工ポキシ樹脂2重量%を結合材として加え混
合した。この磁石組成物を粉末成形磁場プレス装置で、
磁場中でラジアル配向し円筒状に成形した後、キュア処
理を行って円筒形のNd置換S m −Co系樹脂結合
型圧縮成形永久磁石を成形した。永久磁石の最大エネル
ギー積(BH)max、保磁力1Hc1残留磁束密fl
’Brは、 (BH)max=13 [MGOe] 1Hc=lO[kOe] Br=8.2 [kG] が得られた。このようにして得られた永久磁石により、
レンズアクチュエータを駆動することにより、可動部の
小型・軽量化が図られ、高速応答性も向上する。更に樹
脂結合型の磁石であるため薄肉の円筒形状を容易にかつ
経済的に成形することができる。
第4図(a)、(b)は、本発明のガルバノミラ−を用
いた場合の、光メモリ装置の光学系の概略図で、光学ヘ
ッド401からのレーザビームAを反射ミラー101に
よって微少に振り、レーザビームBとし、リニアモータ
402に固定された固定ミラー403で更にレーザビー
ム方向を変更してディスク404に対してトラッキング
動作を行う、7オーカシングは、リニアモータに搭載さ
れたレンズフォーカシングアクチュエータ405によっ
て対物レンズ40Bを上下に動かして行われる。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、永久磁石を可動
部に用いたことにより、可動部への給電の必要のない構
造のガルバノミラ−を実現することができ、高速動作時
に給電線の断線等の心配がなく、発熱によりコイルが変
形して磁気回路と接触することが避けられる。また、コ
イル化様を変更しても可動部の質量が変化しないので設
計変更が容易に行える。また、円筒状の可動永久磁石と
してNd置換Sm−Co系樹脂結合型の圧検成形磁石を
用いることにより、可動部の小型・軽量化が可能になる
。このようにして、高速応答性に優れ、高信頼性のガル
バノミラ−を得ることができる。また、可動部の中立保
持手段として永久磁石を用いたため、従来のばねによる
方法に比べ組立後の調整が容易で、正確に行うことが可
能になっている。更に、第4図に示した構成の光学系は
、レーザビームA%Bの断面形状が変化しないので本発
明のガルバノミラ−を用いるとトラッキング範囲を広(
することができ、支持機構のボールベアリングの内外輪
に係合する部品の材質を同一にしたため部品の熱膨張に
よる反射ミラーの倒れが殆ど生じない。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明のガルバノミラ−の平面断面図 第2図は、本発明のガルバノミラ−の正面断面図 第3図は、Nd置換S m −Co系樹脂結合型圧縮成
形永久磁石の製造工程図 第4図(a)、(b)は、本発明のガルバノミラ−を用
いた場合の光メモリ装置の光学系の概略図 第   3   図 (bン 第4図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光メモリ装置のレーザビームのトラッキング制御
    手段として、永久磁石を可動部の一部とする構造のガル
    バノミラーにおいて (a)サマリウム(Sm)及びコバルト(Co)を基本
    組成とする合金の前記Smの一部をネオジウム(Nd)
    及びセリウム(Ce)で置換し粉砕して得られた磁性粉
    末を樹脂と混合・混練し、圧縮成形を行い円筒状にし、
    ラジアル方向に少なくとも四分割以上の多極着磁を施し
    た可動永久磁石 (b)該可動永久磁石の内周部に係合された鉄等の軟磁
    性材料から成るバックヨーク (c)該バックヨーク、前記可動永久磁石に可動部の円
    筒軸に対して45゜の角度を持って固定された反射ミラ
    ー (d)該反射ミラー、前記バックヨーク、前記可動永久
    磁石から成る可動部を回転自由に支持する少なくとも、
    2個以上のボールベアリングの外輪に、該ボールベアリ
    ングの内輪に係合する支持シャフトと同じ材質のスリー
    ブを係合し、該スリーブに前記可動部を固定した構造の
    支持機構 (e)前記可動部の、中立位置保持用の手段として、前
    記可動永久磁石の外側に設けた、中立保持用永久磁石と
    保持磁極 (f)前記可動永久磁石の外側に、前記可動部の回転運
    動を制御する磁場を発生させる手段として設けた少なく
    とも1個以上の電磁石から構成されることを特徴とする
    ガルバノミラー。
JP26064187A 1987-10-15 1987-10-15 ガルバノミラー Pending JPH01102420A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26064187A JPH01102420A (ja) 1987-10-15 1987-10-15 ガルバノミラー

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26064187A JPH01102420A (ja) 1987-10-15 1987-10-15 ガルバノミラー

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01102420A true JPH01102420A (ja) 1989-04-20

Family

ID=17350740

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP26064187A Pending JPH01102420A (ja) 1987-10-15 1987-10-15 ガルバノミラー

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH01102420A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5062095A (en) Actuator and method of manufacturing thereof
US5500994A (en) Method of manufacturing a rotor
JP5516723B2 (ja) 異方性ボンド磁石の製造方法およびその製造装置
JPH01102420A (ja) ガルバノミラー
JP2000060080A (ja) 永久磁石型モ―タその他の永久磁石応用装置
JPH01102423A (ja) ガルバノミラー
JPH01102424A (ja) ガルバノミラー
JPH0249223A (ja) ガルバノミラー
JPH02301023A (ja) レンズフォーカシングアクチュエータ
JP2699426B2 (ja) アクチュエータ
JPH01137224A (ja) ガルバノミラー
JPH01137226A (ja) ガルバノミラー
JPH01102419A (ja) ガルバノミラー
Marcos The straight attraction
JPH01102422A (ja) ガルバノミラー
JPH01102421A (ja) ガルバノミラー
JPH01102425A (ja) ガルバノミラー
JP2699438B2 (ja) アクチュエータ
JP4974482B2 (ja) 偏平型コアレスモータ、偏平型コアレスモータにおける電機子及びその製造方法
JPH01137225A (ja) ガルバノミラー
JPH0470712A (ja) ガルバノミラー
JPH01113929A (ja) レンズフォーカシングアクチユエータ
JPH03187026A (ja) ガルバノミラー
JPH02301024A (ja) ガルバノミラー
JPH0993845A (ja) 表面磁石型ロータ