JPH01102421A - ガルバノミラー - Google Patents
ガルバノミラーInfo
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- JPH01102421A JPH01102421A JP26064287A JP26064287A JPH01102421A JP H01102421 A JPH01102421 A JP H01102421A JP 26064287 A JP26064287 A JP 26064287A JP 26064287 A JP26064287 A JP 26064287A JP H01102421 A JPH01102421 A JP H01102421A
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- magnet
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- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims abstract description 3
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims abstract 3
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 claims abstract 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 13
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims description 7
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N selanylidenegallium;selenium Chemical group [Se].[Se]=[Ga].[Se]=[Ga] VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 abstract description 2
- 230000005405 multipole Effects 0.000 abstract 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 2
- 230000036316 preload Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光メモリ装置のレーザビームのトラッキング
制御に用いるガルバノミラ−に関する。
制御に用いるガルバノミラ−に関する。
従来、光メモリ装置の光学ヘッドに用いられるレンズア
クチュエータは、特開昭５７−２１０４５６に見られる
ように可動部がコイルであるものが多かった。
クチュエータは、特開昭５７−２１０４５６に見られる
ように可動部がコイルであるものが多かった。
しかし従来技術では、可動コイルへの給電方式によって
は、給電線が高速での動作の妨げになる可能性が育り、
給電線の断線や、コイルの過熱によるｔｉ！１１劣化が
生じコイル変形等の問題点を有する。また、コイルの最
適化様（巻数、線径等）を捜すためにカットアンドトラ
イを繰り返すことが多く、このコイル仕様の変更が可動
部の質量変化につながるため高速化が容易でなかった。
は、給電線が高速での動作の妨げになる可能性が育り、
給電線の断線や、コイルの過熱によるｔｉ！１１劣化が
生じコイル変形等の問題点を有する。また、コイルの最
適化様（巻数、線径等）を捜すためにカットアンドトラ
イを繰り返すことが多く、このコイル仕様の変更が可動
部の質量変化につながるため高速化が容易でなかった。
そこで本発明はこのような問題点を解決するためのもの
で、その目的とするところは、光メモリ装置の高速化を
図るために光学ヘッドを分Ｗｌ型構造とする場合のトラ
ッキングアクチュエータとして、可動部に永久磁石を用
いて、剛性の高い構造で、可動部へ給電する必要のない
ガルバノミラ−を構成し光メモリ装置の高速化を実現す
るところにある。
で、その目的とするところは、光メモリ装置の高速化を
図るために光学ヘッドを分Ｗｌ型構造とする場合のトラ
ッキングアクチュエータとして、可動部に永久磁石を用
いて、剛性の高い構造で、可動部へ給電する必要のない
ガルバノミラ−を構成し光メモリ装置の高速化を実現す
るところにある。
〔問題点を解決するための手段〕
（１） 本発明のガルバノミラ−は、光メモリ装置のレ
ーザビームのトラツキフグ制御手段として、永久磁石を
可動部の一部とする構造のガルバノミラ−において （ａ）ＲＥ％ｒｅ、Ｂ及びＺｒを基本組成とした焼結磁
石を薄肉の円筒状とし、ラジアル方向に少なくとも四分
割以上の多極着磁を施した可動永久磁石 （ｂ）該可動永久磁石の内周部に係合された鉄等の軟磁
性材料から成るバックヨーク （Ｃ）該バックヨーク、前記可動永久磁石に可動部の円
筒軸に対して４５°の角度を持って固定された反射ミラ
ー （ｄ）該反射ミラー、前記バックヨーク、前記可動永久
磁石から成る可動部を回転自由に支持する少なくとも、
２個以上のボールベアリングの外輪に、該ボールベアリ
ングの内輪に係合する支持シャフトと同じ材質のスリー
ブを係合し、該スリーブに前記可動部を固定した構造の
支持機構（ｅ）前記可動部の、中立位置保持用の手段と
して、前記可動永久磁石の外側に設けた、中立保持用永
久磁石と保持磁極 （ｆ）前記可動永久磁石の外側に、前記可動部の回転運
動を制御する磁場を発生させる手段として設けた少なく
とも１個以上の電磁石から構成されることを特徴とする
。
ーザビームのトラツキフグ制御手段として、永久磁石を
可動部の一部とする構造のガルバノミラ−において （ａ）ＲＥ％ｒｅ、Ｂ及びＺｒを基本組成とした焼結磁
石を薄肉の円筒状とし、ラジアル方向に少なくとも四分
割以上の多極着磁を施した可動永久磁石 （ｂ）該可動永久磁石の内周部に係合された鉄等の軟磁
性材料から成るバックヨーク （Ｃ）該バックヨーク、前記可動永久磁石に可動部の円
筒軸に対して４５°の角度を持って固定された反射ミラ
ー （ｄ）該反射ミラー、前記バックヨーク、前記可動永久
磁石から成る可動部を回転自由に支持する少なくとも、
２個以上のボールベアリングの外輪に、該ボールベアリ
ングの内輪に係合する支持シャフトと同じ材質のスリー
ブを係合し、該スリーブに前記可動部を固定した構造の
支持機構（ｅ）前記可動部の、中立位置保持用の手段と
して、前記可動永久磁石の外側に設けた、中立保持用永
久磁石と保持磁極 （ｆ）前記可動永久磁石の外側に、前記可動部の回転運
動を制御する磁場を発生させる手段として設けた少なく
とも１個以上の電磁石から構成されることを特徴とする
。
以下本発明を一実施例に基づいて詳細に説明する。
第１図は、本発明のガルバノミラ−の平面断面図で、反
射ミラー１０１はＲＥｌＦｅｓ Ｂ１Ｚｒを基本組成と
した焼結型の可動永久磁石１０２、バックヨーク１０３
、可動スリーブ１０４と一体化され回転が可能な伏きで
、ボールベアリング１０５．１０８の外輪が可動スリー
ブと、接着されている。バックヨークと可動スリーブは
、すきまばめになっていて、ミラーホルダ１０７がバッ
クヨークと可動スリーブに１１着されている。支持シャ
フト１０８は、ボールベアリングの内輪と係合され、固
定ナツト１０９によってスラスト方向に締め付けられ、
予圧カラー１１０によってスラスト方向の予圧が加えら
れる。本実施例の構造によると、支持シャフトの熱膨張
による伸縮が生じても、可動スリーブを支持シャフトと
同じ材質にすることによって反射ミラーの倒れが生じな
い。例えば、第３図（後に詳細に説明する）のような応
用例の場合、反射ミラーが支持シャフト方向に微小変位
しても殆ど影響しないが、反射ミラーの倒れは、極めて
大きく影響する。
射ミラー１０１はＲＥｌＦｅｓ Ｂ１Ｚｒを基本組成と
した焼結型の可動永久磁石１０２、バックヨーク１０３
、可動スリーブ１０４と一体化され回転が可能な伏きで
、ボールベアリング１０５．１０８の外輪が可動スリー
ブと、接着されている。バックヨークと可動スリーブは
、すきまばめになっていて、ミラーホルダ１０７がバッ
クヨークと可動スリーブに１１着されている。支持シャ
フト１０８は、ボールベアリングの内輪と係合され、固
定ナツト１０９によってスラスト方向に締め付けられ、
予圧カラー１１０によってスラスト方向の予圧が加えら
れる。本実施例の構造によると、支持シャフトの熱膨張
による伸縮が生じても、可動スリーブを支持シャフトと
同じ材質にすることによって反射ミラーの倒れが生じな
い。例えば、第３図（後に詳細に説明する）のような応
用例の場合、反射ミラーが支持シャフト方向に微小変位
しても殆ど影響しないが、反射ミラーの倒れは、極めて
大きく影響する。
第２図は、本発明のガルバノミラ−の可動機構の断面図
で、可動部の中立保持手段として中立保持用永久磁石２
０１、保持磁極２０２，２０３が設けられている。この
中心保持用永久磁石と保持磁極を左右（第２図に於て）
に動かすことにより組立時の調整が、ばね等の手段によ
って中立保持をする場合に比べ容易に行えるようになり
効果的である。電磁石は、磁極２０４とコイル２０５、
および磁極２０６とコイル２０７から構成されていて、
コイル２０５，２０７に流す電流を制御することによっ
て可動部の回転角を制御することができる。可動永久磁
石１０２は、同図に示したように８極に着磁されている
。着磁の極数は、２゜４．８．８極が考えられるが、２
極は実現が困難で、本実施例の中立保持機構を用いる場
合は６、または、８極が最も作り易く、本実施例ではバ
ックヨークの軽量化が可能な８極としである。可動永久
磁石１０２の製造方法を以下に示す０組成がＺｒ＊、、
（Ｃｅ＊、濡Ｐｒｅ、＊Ｎｄ＊、ｓ）＋ ＊ −ｓ Ｆ
ｅｓ ＠ Ｃｏｓ Ｂｙとなる磁石原料を高周波溶解炉
を用いアルゴンガス雰囲気下でＩ解・鋳造し、スタンプ
ミル・ボールミルで平均粒径が３〜５μｍとなるように
粉砕して得た粉末を、円筒状金型に充填し、１５ｋＯｅ
の磁場でラジアル配向させ、１５〜２０ ｋ ｇ／ｍｍ
”の成形圧で圧縮成形を行い、その後アルゴンガス雰囲
気中で１０００〜１２５０℃の最適温度で焼結し、必要
に応じて４００〜１２５０℃の最適温度で熱処理を行っ
て焼結磁石を成形した。永久磁石の最大エネルギー積（
ＢＨ）ｍａｘｓ保磁力ｔｕｃ％ａ留磁束密度Ｂｒは、 （ＤＨ） ｍａｘ ＝３３．０ ［ＭＧＯｅ］１Ｈｃ＝
１３． １ ［ＫＯｅ１ １３ｒ ＝１１． ５［ｋＧ］ が得られた。このようにして得られた永久磁石を用いた
ガルバノミラ−を駆動することにより、可動部の小型・
軽量化が図られ、高速応答性も向上し、更にコストも安
価となる。
で、可動部の中立保持手段として中立保持用永久磁石２
０１、保持磁極２０２，２０３が設けられている。この
中心保持用永久磁石と保持磁極を左右（第２図に於て）
に動かすことにより組立時の調整が、ばね等の手段によ
って中立保持をする場合に比べ容易に行えるようになり
効果的である。電磁石は、磁極２０４とコイル２０５、
および磁極２０６とコイル２０７から構成されていて、
コイル２０５，２０７に流す電流を制御することによっ
て可動部の回転角を制御することができる。可動永久磁
石１０２は、同図に示したように８極に着磁されている
。着磁の極数は、２゜４．８．８極が考えられるが、２
極は実現が困難で、本実施例の中立保持機構を用いる場
合は６、または、８極が最も作り易く、本実施例ではバ
ックヨークの軽量化が可能な８極としである。可動永久
磁石１０２の製造方法を以下に示す０組成がＺｒ＊、、
（Ｃｅ＊、濡Ｐｒｅ、＊Ｎｄ＊、ｓ）＋ ＊ −ｓ Ｆ
ｅｓ ＠ Ｃｏｓ Ｂｙとなる磁石原料を高周波溶解炉
を用いアルゴンガス雰囲気下でＩ解・鋳造し、スタンプ
ミル・ボールミルで平均粒径が３〜５μｍとなるように
粉砕して得た粉末を、円筒状金型に充填し、１５ｋＯｅ
の磁場でラジアル配向させ、１５〜２０ ｋ ｇ／ｍｍ
”の成形圧で圧縮成形を行い、その後アルゴンガス雰囲
気中で１０００〜１２５０℃の最適温度で焼結し、必要
に応じて４００〜１２５０℃の最適温度で熱処理を行っ
て焼結磁石を成形した。永久磁石の最大エネルギー積（
ＢＨ）ｍａｘｓ保磁力ｔｕｃ％ａ留磁束密度Ｂｒは、 （ＤＨ） ｍａｘ ＝３３．０ ［ＭＧＯｅ］１Ｈｃ＝
１３． １ ［ＫＯｅ１ １３ｒ ＝１１． ５［ｋＧ］ が得られた。このようにして得られた永久磁石を用いた
ガルバノミラ−を駆動することにより、可動部の小型・
軽量化が図られ、高速応答性も向上し、更にコストも安
価となる。
〜第３図（ａ）、（ｂ）は、本発明のガルバノミラ−を
用いた場合の光メモリ＆１ｆｔ！の光学系の概略図で、
光学ヘッド３０１からの、レーザビームＡを反射ミラー
１０１によって微少に振り、レーザビームＢとし、リニ
アモータ３０２に固定された固定ミラー３０３で更にレ
ーザビーム方向を変更してディスク３０４に対してトラ
ッキング動作を行う。フォーカシングは、リニアモータ
に搭載されたし／ズフォーカシングアクチュエータ３０
５によって対物レンズ３０６を上下に動かして行われる
。
用いた場合の光メモリ＆１ｆｔ！の光学系の概略図で、
光学ヘッド３０１からの、レーザビームＡを反射ミラー
１０１によって微少に振り、レーザビームＢとし、リニ
アモータ３０２に固定された固定ミラー３０３で更にレ
ーザビーム方向を変更してディスク３０４に対してトラ
ッキング動作を行う。フォーカシングは、リニアモータ
に搭載されたし／ズフォーカシングアクチュエータ３０
５によって対物レンズ３０６を上下に動かして行われる
。
以上説明したように、本発明によれば、永久磁石を可動
部に用いたことにより、可動部への給電の必要のない構
造のガルバノミラ−を実現することができ、高速動作時
に給電線の断線等の心配がなく、発熱によりコイルが変
形して磁気回路と接触することが避けられる。また、コ
イル仕様を変更しても可動部の質量が変化しないので設
計変更が容易に行える。また、円筒状の可動永久磁石と
してＲＥ、Ｆｅ、Ｂ５Ｚｒを基本組成とした焼結磁石を
用いることにより、可動部の小型・軽量化が可能になる
。このようにして、高速応答性に優れ、高信頼性のガル
バノミラ−を得ることができる。また、可動部の中立保
持手段として永久磁石を用いたため、従来のばねによる
方法に比べ組立後の調整が容易で、正確に行うことが可
能になっている。更に、第４図に示した構成の光学系は
、レーザビームＡ、Ｈの断面形吠が変化しないので本発
明のガルバノミラ−を用いるとトラッキング範囲を広（
することができ、支持機構のボールベアリングの内外輪
に係合する部品の材質を同一にしたため部品の熱膨張に
よる反射ミラーの倒れが殆ど生じない。
部に用いたことにより、可動部への給電の必要のない構
造のガルバノミラ−を実現することができ、高速動作時
に給電線の断線等の心配がなく、発熱によりコイルが変
形して磁気回路と接触することが避けられる。また、コ
イル仕様を変更しても可動部の質量が変化しないので設
計変更が容易に行える。また、円筒状の可動永久磁石と
してＲＥ、Ｆｅ、Ｂ５Ｚｒを基本組成とした焼結磁石を
用いることにより、可動部の小型・軽量化が可能になる
。このようにして、高速応答性に優れ、高信頼性のガル
バノミラ−を得ることができる。また、可動部の中立保
持手段として永久磁石を用いたため、従来のばねによる
方法に比べ組立後の調整が容易で、正確に行うことが可
能になっている。更に、第４図に示した構成の光学系は
、レーザビームＡ、Ｈの断面形吠が変化しないので本発
明のガルバノミラ−を用いるとトラッキング範囲を広（
することができ、支持機構のボールベアリングの内外輪
に係合する部品の材質を同一にしたため部品の熱膨張に
よる反射ミラーの倒れが殆ど生じない。
第１図は、本発明のガルバノミラ−の平面断面図
第２図は、本発明のガルバノミラ−の正面断面図
ｔＪａ図（ａ）、（ｂ）は、本発明のガルバノミラ−を
用いた場合の光メモリ装置の光学系の概略図 以 上 出願人 セイコーエプソン株式会社
用いた場合の光メモリ装置の光学系の概略図 以 上 出願人 セイコーエプソン株式会社
Claims (1)
- （１）光メモリ装置のレーザビームのトラッキング制御
手段として、永久磁石を可動部の一部とする構造のガル
バノミラーにおいて （ａ）希土類金属（ＲＥ）、鉄（Ｆｅ）、ホウ素（Ｂ）
及びジルコニウム（Ｚｒ）を基本組成とした焼結磁石を
薄肉の円筒状とし、ラジアル方向に少なくとも四分割以
上の多極着磁を施した可動永久磁石 （ｂ）該可動永久磁石の内周部に係合された鉄等の軟磁
性材料から成るバックヨーク （ｃ）該バックヨーク、前記可動永久磁石に可動部の円
筒軸に対して４５゜の角度を持って固定された反射ミラ
ー （ｄ）該反射ミラー、前記バックヨーク、前記可動永久
磁石から成る可動部を回転自由に支持する少なくとも、
２個以上のボールベアリングの外輪に、該ボールベアリ
ングの内輪に係合する支持シャフトと同じ材質のスリー
ブを係合し、該スリーブに前記可動部を固定した構造の
支持機構 （ｅ）前記可動部の、中立位置保持用の手段として、前
記可動永久磁石の外側に設けた、中立保持用永久磁石と
保持磁極 （ｆ）前記可動永久磁石の外測に、前記可動部の回転運
動を制御する磁場を発生させる手段として設けた少なく
とも１個以上の電磁石から構成されることを特徴とする
ガルバノミラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26064287A JPH01102421A (ja) | 1987-10-15 | 1987-10-15 | ガルバノミラー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26064287A JPH01102421A (ja) | 1987-10-15 | 1987-10-15 | ガルバノミラー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01102421A true JPH01102421A (ja) | 1989-04-20 |
Family
ID=17350756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26064287A Pending JPH01102421A (ja) | 1987-10-15 | 1987-10-15 | ガルバノミラー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01102421A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007205204A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Honda Motor Co Ltd | 自動二輪車の排気装置 |
-
1987
- 1987-10-15 JP JP26064287A patent/JPH01102421A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007205204A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Honda Motor Co Ltd | 自動二輪車の排気装置 |
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