JPH01102423A - ガルバノミラー - Google Patents

ガルバノミラー

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JPH01102423A
JPH01102423A JP26064487A JP26064487A JPH01102423A JP H01102423 A JPH01102423 A JP H01102423A JP 26064487 A JP26064487 A JP 26064487A JP 26064487 A JP26064487 A JP 26064487A JP H01102423 A JPH01102423 A JP H01102423A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
permanent magnet
movable part
movable
magnet
holding
Prior art date
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Pending
Application number
JP26064487A
Other languages
English (en)
Inventor
Tsugio Ide
次男 井出
Michio Yanagisawa
通雄 柳澤
Hiroshi Ito
浩 伊藤
Mitsuhiro Horikawa
堀川 満広
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
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Publication of JPH01102423A publication Critical patent/JPH01102423A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野〕 本発明は、光メモリ装置のレーザビームのトラッキング
制御に用いるガルバノミラ−に関する。
(従来の技術〕 従来、光メモリWitの光学ヘッドに用いられるレンズ
アクチュエータは、特開昭57−210458に見られ
るように可動部がコイルであるものが多かった。
(発明が解決しようとする問題点〕 しかし従来技術では、可動コイルへの給電方式によって
は、給電線が高速での動作の妨げになる可能性が仔り、
給電線の断線や、コイルの過熱によるtte劣化が生じ
コイル変形等のrr!4M点を育する。また、コイルの
a適化様(巻数、線形等)を捜すためにカットアンドト
ライを繰り返すことが多く、このコイル仕様の変更が可
動部の質量変化につながるため高速化i容易でなかった
そこで本発明はこのような問題点を解決するためのもの
で、その目的とするところは、光メモリ装置の高速化を
図るために光学ヘッドを分1iIi型構造とする場合の
トラッキングアクチュエータとして、可動部に永久磁石
を用いて、剛性の高い構造で、可動部へ給電する必要の
ないガルバノミラ−を構成し光メモリ装置の高速化を実
現するところにある。
〔問題点を解決するための手段〕
(1) 本発明のガルバノミラ−は、光メモリ装置のレ
ーザビームのトラッキング制御手段として、永久磁石を
可動部の一部とする構造のガルバノミラ−において (a)  Sm及び、COを基本組成とする合金を、粉
砕して得らiた磁性粉末を樹脂と混合・混練し、圧縮成
形または、射出成形を行い円筒伏にし、ラジアル方向に
少なくとも四分割以上の多極着磁を施した可動永久磁石 (b)  該可動永久磁石の内周部に係合された鉄等の
軟磁性材料から成るバックヨーク(C)  該バックヨ
ーク、前記可動永久磁石に可動部の円筒軸に対して45
°の角度を侍って固定された反射ミラー (d)  該反射ミラー、前記バックヨーク、前記可動
永久磁石から成る可動部を回転自由に支持する少な(と
も2個以上のポールベでリングの外輪に、該ボールベア
リングの内輪に係合する、支持シャフトと同じ材質のス
リーブを係合し、該スリーブに前記可動部を固定した、
構造の支持機構(e)  前記可動部の中立位置保持用
の手段として、前記可動永久磁石の外側に設けた、中立
保持用永久磁石と保持磁極 (f)  前記可動永久磁石の外側に、前記可動部の回
転運動を制御する磁場を発生させる手段として設けた少
なくとも1個以上の電磁石から構成されることを特徴と
する。
(実施例〕 以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明する。
(実施例1〕 第1図は、本発明のガルバノミラ−の平面断面図で、反
射ミラー101はラジアル方向に着磁された薄肉円筒の
Sm−Go系樹脂結合型の可動永久磁石102、バック
ヨーク103、可動スリーブ104と一体化され回転が
可動な状態で、ボールベアリング105,106の外輪
が可動スリーブと接着されている。バックヨークと可動
スリーブは、すさまばめになっていて、ミラーホルダ1
07がバックヨークと可動スリーブに接着されている。
支持シャフト108は、ボールベアリングの内輪と係合
され、固定ナツト109に上ってスラスト方向に締め付
けられ、予圧カラー110によってスラスト方向の予圧
が加えられる0本実施例の構造によると、支持シャフト
の熱膨張による伸縮が生じても、可動スリーブを支持シ
ャフトと同じ材質にすることによって、反射ミラーの倒
れが生じない。例えば、第4図(後に詳細に説明する)
のような応用例の場合、反射ミラーが支持シャフト方向
に微小変位しても殆ど影響しないが、反射ミラーの答れ
は、極めて太き(影響する。
第2図は、本発明のガルバノミラ−の可動機構の断面図
で、可動部の中立保持手段として中立保持用永久磁石2
01、保持磁極202,203が設けられている。この
中立保持用永久磁石と保持磁極を左右(第2図に於て)
に動かすことにより組立時の調整が、ばね等の手段によ
って中立保持をする場合に比べ容易に行えるようになり
効果的である。電磁石は、磁極204とコイル205、
および磁ti20Bとコイル207から構成されていて
、コイル205.2o7i流す電流を制御することによ
って可動部の回転角を制御することができる。可動永久
磁石102は、同図に示したように8piに着磁されて
いる。着磁の極数は、2゜4.8.8極が考えられるが
、2極は実現が困難で、本実施例の中立保持機構を用い
る場合は6、または8極がもっとも作り易く、本実施例
ではバックヨークの軽量化が可動な8極としである。第
3図は、可動永久磁石102の製造工程を示す。
Sm(CO*、st*CUs、eaFe*、**2「0
.。*a’)a−*からなる2−17系希土頴磁石合金
を粒度2〜80μmとなるように粉砕した。この粉末9
8重量%に熱硬化性である2液性工ポ午シ樹脂2重量%
を結合材として加え混合した。この、磁石組成物を粉末
成形磁場プレス装置で、磁場中でラジアル配向し日清状
に成形した後、キュア処理を行って円筒形のSm−Co
系樹脂結合型圧縮成形永久磁石を成形した。永久磁石の
最大エネルギー積(BH)maXs保磁力bHcSli
!留磁束密ffBrは、 (IIH) max= 15 [MGOelbHc、 
 =1.8[kOel Br   =9,3 [kG] が得られた。このようにして得られた永久磁石により、
レンズアクチュエータを駆動することにより、可動部の
小!!@軽量化が図られ、高速応答性も向上する。更に
樹脂結合型の磁石!あるため薄肉の円筒形状を容易にか
つ経済的に成形することができる。
第4図(a)、(b)は、本発明のガルバノミラ−を用
いた場合の光メモリ装置の光学系の概略図で、光学へフ
ド401からの、レーザビームAを反射ミラー101に
よって微少に振り、レーザビームBとし、リニアモータ
402に固定された固定E?−403で更にレーザビー
ム方向を変更してディスク404に対してトラッキング
動作を行う。フォーカシングは、リニアモータに搭載さ
れたレンズフォーカシングアクチュエータ405によっ
て対物レンズ406を上下に動かして行われる。
〔実施例2〕 ガルバノミラ−の構成及び駆動方法、可動磁石の着磁パ
ターンは実施例1と同じである。
第5図は、可動永久磁石102の製造工程を示すaSm
(CO*、st*CIJ*、*aFe*。
**Zre、e*s)s、*からなる2−17系希土類
磁石合金を粒度2〜80μmとなるように粉砕した。こ
の粉末60体積%にナイロン−1240体積%を結合材
として加え混合した。この磁石組成物を射出成形装置で
、磁場中でラジアル配向し円清伏に成形した後、アニー
ル処理を行って円筒形の、Sm−Co系樹脂結合型射出
成形永久磁石を成形した。永久磁石の、最大エネルギー
積(BH)maxs保磁力b Hc 1’JA留磁束密
度Brは、 (BH)max=7.5 [:MGOelbHc   
=4.9 [kOel Br   =8.8 [kG] が得られた。このようにして得られた永久磁石によりガ
ルバノミラ−を駆動することにより、可動部の、小型・
軽量化が図られ、高速応答性も向上し、更にコストも安
価となる。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、永々磁石を可動
部に用いたことにより、可動部への給電の必要のない構
造のガルバノミラ−を実現することができ、高速動作時
に給電線の断線等の心配がなく、発熱によりコイルが変
形して磁気回路と接触することがi!けられる。また、
コイル化様を変更しても可動部の質量が変化しないので
設計変更が容易に行える。また、円筒伏の可動永久磁石
と 、し、てSm−Co系樹脂結合型の圧縮成形磁石ま
たは射出成形磁石を用いることにより、可動部の小型e
軽量化が可能になる。このようにして高速応答性に優れ
、高信頼性のガルバノミラ−を得ることができる。また
、可動部の中立保持手段として永久磁石を用いたため、
従来のばねによる方法に比べ組立後のH整が容易で、正
確に行うことが可能になっている。更に、I’f4図に
示した構成の光学系は、レーザビームA、Bの断面形状
が変化しないので本発明のガルバノミラ−を用いるとト
ラッキング範囲を広くすることができ、支持機構のボー
ルベアリングの内外輪に係合する部品の材質を同一にし
たため部品の熱膨張による反射ミラーの倒れが殆ど生じ
ない。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明のガルバノミラ−の平面断面図 92図は、本発明のガルバノミラ−の正面断面図 第3図は、am−Co系樹脂結合型圧縮成形永久磁石の
製造工程図 第4図(a)、(b)は、本発明のガルバノミラ−を用
いた場合の光メモリ装置の光学系の概略図 第5図はs S m −Co系樹脂結合型射出成形永久
磁石の製造工程図 第2図 第   3   区 (^) CI)) 第4図 第   6   図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光メモリ装置のレーザビームのトラッキング制御
    手段として、永久磁石を可動部の一部とする構造のガル
    バノミラーにおいて (a)サマリウム(Sm)及びコバルト(Co)を基本
    組成とする合金を、粉砕して得られた磁性粉末を樹脂と
    混合・混練し、圧縮成形または射出成形を行い円筒状に
    し、ラジアル方向に少なくとも四分割以上の多極着磁を
    施した可動永久磁石 (b)該可動永久磁石の内周部に係合された鉄等の軟磁
    性材料から成るバックヨーク (c)該バックヨーク、前記可動永久磁石に可動部の円
    筒軸に対して45゜の角度を持って固定された反射ミラ
    ー (d)該反射ミラー、前記バックヨーク、前記可動永久
    磁石から成る可動部を回転自由に支持する少なくとも2
    個以上のボールベアリングの外輪に、該ボールベアリン
    グの内輪に係合する、支持シャフトと同じ材質のスリー
    ブを係合し、該スリーブに前記可動部を固定した構造の
    支持機構 (e)前記可動部の中立位置保持用の手段として、前記
    可動永久磁石の外側に設けた、中立保持用永久磁石と保
    持磁極 (f)前記可動永久磁石の外側に、前記可動部の回転運
    動を制御する磁場を発生させる手段として設けた少なく
    とも1個以上の電磁石から構成されることを特徴とする
    ガルバノミラー。
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