JPH0249223A - ガルバノミラー - Google Patents
ガルバノミラーInfo
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- JPH0249223A JPH0249223A JP19851188A JP19851188A JPH0249223A JP H0249223 A JPH0249223 A JP H0249223A JP 19851188 A JP19851188 A JP 19851188A JP 19851188 A JP19851188 A JP 19851188A JP H0249223 A JPH0249223 A JP H0249223A
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- movable permanent
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
・［産業上の利用分野コ
本発明は、光メモリ装置のレーザビームのトラッキング
制御に用いるガルバノミラ−に関する。
制御に用いるガルバノミラ−に関する。
［従来の技術］
従来、光メモリ装置の光学ヘッドに用いられるレンズア
クチュエータは、特開昭５７−２１０４５６の第１図に
見られるように可動部がコイルであるものが多かった。
クチュエータは、特開昭５７−２１０４５６の第１図に
見られるように可動部がコイルであるものが多かった。
またレーザー等の光学系を固定し、アクセスを行なう移
動光学系部の質量を軽減した分離型光学ヘッドとしては
特開昭６１−２２４１４９の第１図、６２−１４３３１
の第１図等の例があるが、やはり可動部がコイルである
。
動光学系部の質量を軽減した分離型光学ヘッドとしては
特開昭６１−２２４１４９の第１図、６２−１４３３１
の第１図等の例があるが、やはり可動部がコイルである
。
［発明が解決しようとする課題］ しかし従
来技術では、コイル可動型の場合、可動コイルの過熱に
よる接着不良およびそれに伴うコイル変形が起こり易い
。また、給電線の接続処理は複雑で手間のかかるもので
、給電方式によっては給電線そのものが可動部の高速で
の動作に悪影響を及ぼすという問題点を有する。またコ
イル部分での質量アバランスが生じ易く、それにより高
次共振が発生するなど高速動作の妨げになる。従って光
メモリ装置に用いた場合には、光ディスクの回転数が上
げられずデータの転送速度が制限される。さらにコイル
仕様（巻数、線径等）の変更が可動部の質量変化につな
がることから、コイルの最適仕様を捜すためにアクチュ
エータの設計変更を伴うカットアンドトライの繰り返し
が必要となる。加えて磁気回路の永久磁石にＳｍ−Ｃｏ
系焼結磁石等が用いられており、複雑な形状の磁石を必
要とする場合が多く、また磁気回路の電流−トルク変換
効率も低かった。
来技術では、コイル可動型の場合、可動コイルの過熱に
よる接着不良およびそれに伴うコイル変形が起こり易い
。また、給電線の接続処理は複雑で手間のかかるもので
、給電方式によっては給電線そのものが可動部の高速で
の動作に悪影響を及ぼすという問題点を有する。またコ
イル部分での質量アバランスが生じ易く、それにより高
次共振が発生するなど高速動作の妨げになる。従って光
メモリ装置に用いた場合には、光ディスクの回転数が上
げられずデータの転送速度が制限される。さらにコイル
仕様（巻数、線径等）の変更が可動部の質量変化につな
がることから、コイルの最適仕様を捜すためにアクチュ
エータの設計変更を伴うカットアンドトライの繰り返し
が必要となる。加えて磁気回路の永久磁石にＳｍ−Ｃｏ
系焼結磁石等が用いられており、複雑な形状の磁石を必
要とする場合が多く、また磁気回路の電流−トルク変換
効率も低かった。
そこで本発明はこのような問題点を解決するためのもの
で、その目的とするところは、光メモリ装置の高速化を
図るために光学ヘッドを分１Ｉｆｆｌ型構造とする場合
のトラッキングアクチュエータとして、可動部に高性能
で加工の容易な形状の永久磁石を用い、磁気回路の電流
−トルク変換効率を従来のものよりも高くして、剛性の
高い構造で可動部へ給電する必要のないガルバノミラ−
を構成し、光メモリＩｆｆの高速化を実現するところに
ある。
で、その目的とするところは、光メモリ装置の高速化を
図るために光学ヘッドを分１Ｉｆｆｌ型構造とする場合
のトラッキングアクチュエータとして、可動部に高性能
で加工の容易な形状の永久磁石を用い、磁気回路の電流
−トルク変換効率を従来のものよりも高くして、剛性の
高い構造で可動部へ給電する必要のないガルバノミラ−
を構成し、光メモリＩｆｆの高速化を実現するところに
ある。
［課題を解決するための手段］
（１）本発明のガルバノミラ−は、光メモリ装置のレー
ザビームのトラッキング制御手段として用いるガルバノ
ミラ−において、永久磁石を可動部の一部とし、 （ａ）ネオジウム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）及びホウ素（Ｂ
）を基本組成とする合金を、メルトスパン法を用いるこ
とにより結晶とアモルファスとの混合状態にし粉砕して
得られた磁性粉末に熱間圧密処理を行い、円盤状に成形
し、円盤面に垂直方向に熱間加圧し、円盤の円周方向に
少なくとも四分割以上の多極着磁を厚さ方向に施した可
動永久磁石 （ｂ）該可動永久磁石の一方の平面に設置された軟磁性
材料から成るバックヨーク （ｃ）該バックヨーク、前記可動永久磁石等からなる可
動部に固定された反射ミラー （ｄ）該反射ミラー 前記バックヨーク、前記可動永久
磁石から成る前記可動部を回転自由に支持する支持シャ
フトから構成された支持機構（ｅ）前記可動永久磁石の
、前記バックヨーク設置面の反対面に近接して設けた、
永久磁石の両端に保持磁極を接合した構造をもつ中立保
持手段（ｆ）前記可動永久磁石のバックヨーク設置面の
反対面に、前記可動部の回転運動を制御する・磁場を発
生させる手段として設けた少なくとも１個以上の電磁石
又はコイルから構成されることを特徴とする。
ザビームのトラッキング制御手段として用いるガルバノ
ミラ−において、永久磁石を可動部の一部とし、 （ａ）ネオジウム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）及びホウ素（Ｂ
）を基本組成とする合金を、メルトスパン法を用いるこ
とにより結晶とアモルファスとの混合状態にし粉砕して
得られた磁性粉末に熱間圧密処理を行い、円盤状に成形
し、円盤面に垂直方向に熱間加圧し、円盤の円周方向に
少なくとも四分割以上の多極着磁を厚さ方向に施した可
動永久磁石 （ｂ）該可動永久磁石の一方の平面に設置された軟磁性
材料から成るバックヨーク （ｃ）該バックヨーク、前記可動永久磁石等からなる可
動部に固定された反射ミラー （ｄ）該反射ミラー 前記バックヨーク、前記可動永久
磁石から成る前記可動部を回転自由に支持する支持シャ
フトから構成された支持機構（ｅ）前記可動永久磁石の
、前記バックヨーク設置面の反対面に近接して設けた、
永久磁石の両端に保持磁極を接合した構造をもつ中立保
持手段（ｆ）前記可動永久磁石のバックヨーク設置面の
反対面に、前記可動部の回転運動を制御する・磁場を発
生させる手段として設けた少なくとも１個以上の電磁石
又はコイルから構成されることを特徴とする。
［実施例コ
以下本発明について図面に基づいて詳細に説明する。
第１図は、本発明のガルバノミラ−の平面断面図で、反
射ミラー１はＮｄ−Ｆｅ−Ｅ系の可動永久磁石２、バッ
クヨーク７、ミラーホルダー３と一体化され回転が可能
な状態で、ボールベアリング５の外輪がミラーホルダー
と接着されている。さらにミラーホルダーにバックヨー
クが接着されている。
射ミラー１はＮｄ−Ｆｅ−Ｅ系の可動永久磁石２、バッ
クヨーク７、ミラーホルダー３と一体化され回転が可能
な状態で、ボールベアリング５の外輪がミラーホルダー
と接着されている。さらにミラーホルダーにバックヨー
クが接着されている。
支持シャフト６は、ボールベアリングの内輪と係・合さ
れている。ボールベアリングは、ベース８と支持シャフ
ト先端のフランジによって挟まれて固定される。ベース
内には可動磁石を回転させるためのコイル４が設置され
て゛いる。ベースとミラーホルダーにより外周部で可動
鋼球９を挟みアキシャル方向の回転振れを少なくする構
造となっている。
れている。ボールベアリングは、ベース８と支持シャフ
ト先端のフランジによって挟まれて固定される。ベース
内には可動磁石を回転させるためのコイル４が設置され
て゛いる。ベースとミラーホルダーにより外周部で可動
鋼球９を挟みアキシャル方向の回転振れを少なくする構
造となっている。
第２図は、本発明のガルバノミラ−の可動機構の主要部
分分解斜視図で、可動部の中立保持手段として中立保持
用永久磁石１０、保持磁極１１．１２が設けられている
。この中立保持用永久磁石と保持磁極を左右（第２図に
於て）に動かすことにより組立時の調整が、ばね等の手
段によって中立保持をする場合に比べ容易に実現可能で
効果的である。
分分解斜視図で、可動部の中立保持手段として中立保持
用永久磁石１０、保持磁極１１．１２が設けられている
。この中立保持用永久磁石と保持磁極を左右（第２図に
於て）に動かすことにより組立時の調整が、ばね等の手
段によって中立保持をする場合に比べ容易に実現可能で
効果的である。
コイル１３．１４ （１４は図示せず）に流す電流を制
御することによって可動部の回転角を制御することが出
来る。第３図は可動部の回転角を制御する別の手段を示
す図で、電磁石を、磁極部１５が可動磁石のニュートラ
ルゾーンに位置するように設置し前述の方法と同様にコ
イルに流す電流によって回転角を制御することが可能で
ある。可動永久磁石２は、同図に示したように８極に着
磁されている。着磁の極数は、２．４．６．８極が考え
られるが、２極は実現が困難で、本実施例の中立保持機
構を用いる場合は６または８極がもっとも作°り易く、
本実施例では８極の例を示した。つぎに可動永久磁石２
の製造法を説明する。Ｎ ｄ ＋ｓＦ ｅ ８２．７Ｂ
４．３の組成の合金をメルトスパン法を用い、結晶と
アモルファスの混合状態のリボンを作成し、これを粉砕
してえられた粉末を円盤状の型に入れ、熱を加えながら
加圧し、円盤状に成型した（熱間圧密処理）。
御することによって可動部の回転角を制御することが出
来る。第３図は可動部の回転角を制御する別の手段を示
す図で、電磁石を、磁極部１５が可動磁石のニュートラ
ルゾーンに位置するように設置し前述の方法と同様にコ
イルに流す電流によって回転角を制御することが可能で
ある。可動永久磁石２は、同図に示したように８極に着
磁されている。着磁の極数は、２．４．６．８極が考え
られるが、２極は実現が困難で、本実施例の中立保持機
構を用いる場合は６または８極がもっとも作°り易く、
本実施例では８極の例を示した。つぎに可動永久磁石２
の製造法を説明する。Ｎ ｄ ＋ｓＦ ｅ ８２．７Ｂ
４．３の組成の合金をメルトスパン法を用い、結晶と
アモルファスの混合状態のリボンを作成し、これを粉砕
してえられた粉末を円盤状の型に入れ、熱を加えながら
加圧し、円盤状に成型した（熱間圧密処理）。
さらに加熱しながら円盤面に垂直な方向に加圧した。永
久磁石の最大エネルギー積（Ｂ Ｈ） Ｍａｘ、保磁力
ｒＨｏ、残留磁束密度Ｂｒは、 （ＢＨ）ＭＡＫ＝ ３１ ［ＨＧＯｅｌｉ Ｈｃ
＝ １０．５１ ［ｋＯｅｌＢｒ ＝
１１．７５ ［ｋＧ］が得られた。このようにし
て得られた永久磁石によりガルバノミラ−を駆動するこ
とにより、可動部の小型軽量化、可動部への給電線の廃
止、高剛性化が可能となり、高速応答性も向上し、さら
にコストも安価になる。
久磁石の最大エネルギー積（Ｂ Ｈ） Ｍａｘ、保磁力
ｒＨｏ、残留磁束密度Ｂｒは、 （ＢＨ）ＭＡＫ＝ ３１ ［ＨＧＯｅｌｉ Ｈｃ
＝ １０．５１ ［ｋＯｅｌＢｒ ＝
１１．７５ ［ｋＧ］が得られた。このようにし
て得られた永久磁石によりガルバノミラ−を駆動するこ
とにより、可動部の小型軽量化、可動部への給電線の廃
止、高剛性化が可能となり、高速応答性も向上し、さら
にコストも安価になる。
第４図（ａ）は、本発明のガルバノミラ−を用いた場合
の光メモリ装置の光学系の概略図である（ただし、光学
ヘッド１６およびリニアモータ１７は省略されている。
の光メモリ装置の光学系の概略図である（ただし、光学
ヘッド１６およびリニアモータ１７は省略されている。
またレンズフォーカシングアクチュエータ２０は対物レ
ンズ２１のみ示されている。）。
ンズ２１のみ示されている。）。
光学ヘッド１６からのレーザビームＡを反射ミラー１に
よって微少に振り、レーザビームＢとし、リニアモータ
１７に固定された固定ミラー１８で更にレーザビーム方
向を変更してディスク１９に対してトラッキング動作を
行う。フォーカシングは、リニアモータに搭載されたレ
ンズフォーカシングアクチュエータ２０によって対物レ
ンズ２１を上下に動かして行われる。
よって微少に振り、レーザビームＢとし、リニアモータ
１７に固定された固定ミラー１８で更にレーザビーム方
向を変更してディスク１９に対してトラッキング動作を
行う。フォーカシングは、リニアモータに搭載されたレ
ンズフォーカシングアクチュエータ２０によって対物レ
ンズ２１を上下に動かして行われる。
［発明の効果コ
以上説明したように、本発明によれば、永久磁石を可動
部に用いたことにより、可動部への給電の必要のない構
造のガルバノミラ−を実現することが出来、高速動作時
に給電線の断線等の心配がなく、発熱によりコイルが変
形して磁気回路と接触することが避けられ、さらにコイ
ル仕様を変更しても可動部の質量が変化しないので設計
変更が容易に行える。また可動部磁石として円盤状磁石
を使用することにより可動部を薄くすることが可能にな
った。また可動部の中立保持手段として永久磁石を用い
たため、従来のばねによる方法に比べ組立後の調整が容
易で、正確に行うことが可能になっている。また円盤状
の可動永久磁石としてＮｄ−Ｆｅ−Ｂ電磁石を用いるこ
とにより、可動部の小型軽量化が可能になる。また、磁
石の製造で、本発明に用いた製法で得られた磁石は、他
の製法で得られたものに比べ高性能な磁石であるため、
ガルバノミラ−の回転制御において電流−トルク変換効
率が高く大きなトルクが得られガルバノミラ−の周波数
特性が優れている。これにより、高速動作でのトラッキ
ングサーボの応答性が向上し、光メモリの高速化が図れ
る。このようにして高速応答性に優れ、高信頼性のガル
バノミラ−を得ることができる。
部に用いたことにより、可動部への給電の必要のない構
造のガルバノミラ−を実現することが出来、高速動作時
に給電線の断線等の心配がなく、発熱によりコイルが変
形して磁気回路と接触することが避けられ、さらにコイ
ル仕様を変更しても可動部の質量が変化しないので設計
変更が容易に行える。また可動部磁石として円盤状磁石
を使用することにより可動部を薄くすることが可能にな
った。また可動部の中立保持手段として永久磁石を用い
たため、従来のばねによる方法に比べ組立後の調整が容
易で、正確に行うことが可能になっている。また円盤状
の可動永久磁石としてＮｄ−Ｆｅ−Ｂ電磁石を用いるこ
とにより、可動部の小型軽量化が可能になる。また、磁
石の製造で、本発明に用いた製法で得られた磁石は、他
の製法で得られたものに比べ高性能な磁石であるため、
ガルバノミラ−の回転制御において電流−トルク変換効
率が高く大きなトルクが得られガルバノミラ−の周波数
特性が優れている。これにより、高速動作でのトラッキ
ングサーボの応答性が向上し、光メモリの高速化が図れ
る。このようにして高速応答性に優れ、高信頼性のガル
バノミラ−を得ることができる。
第１図は、本発明のガルバノミラ−の平面断面図
第２図は、本発明のガルバノミラ−の主要部分分解斜視
図 第３図は電磁石の斜視図 第４図（ａ）、（ｂ）は、本発明のガルバノミラ−を用
いた場合の光メモリ装置の光学系の概略図１ −−−−
−一 反射ミラー ２−−−−−一可動永久磁石６ −
−−−−一 支持シャフト ７ −−−−−− バックヨーク 中立保持用永久磁石 １１．１２ 保持磁極 １３．１４ コイル 磁極部 以上 出願人セイコーエプソン株式会社
図 第３図は電磁石の斜視図 第４図（ａ）、（ｂ）は、本発明のガルバノミラ−を用
いた場合の光メモリ装置の光学系の概略図１ −−−−
−一 反射ミラー ２−−−−−一可動永久磁石６ −
−−−−一 支持シャフト ７ −−−−−− バックヨーク 中立保持用永久磁石 １１．１２ 保持磁極 １３．１４ コイル 磁極部 以上 出願人セイコーエプソン株式会社
Claims (1)
- （１）光メモリ装置のレーザビームのトラッキング制御
手段として用いるガルバノミラーにおいて、永久磁石を
可動部の一部とし、 （ａ）ネオジウム（Ｎｄ）、鉄（Ｆｅ）及びホウ素（Ｂ
）を基本組成とする合金を、メルトスパン法を用いるこ
とにより結晶とアモルファスとの混合状態にし粉砕して
得られた磁性粉末に熱間圧密処理を行い、円盤状に成形
し、円盤面に垂直方向に熱間加圧し、円盤の円周方向に
少なくとも四分割以上の多極着磁を厚さ方向に施した可
動永久磁石 （ｂ）該可動永久磁石の一方の平面に設置された軟磁性
材料から成るバックヨーク （ｃ）該バックヨーク、前記可動永久磁石等からなる可
動部に固定された反射ミラー （ｄ）該反射ミラー、前記バックヨーク、前記可動永久
磁石から成る前記可動部を回転自由に支持する支持シャ
フトから構成された支持機構 （ｅ）前記可動永久磁石の、前記バックヨーク設置面の
反対面に近接して設けた、永久磁石の両端に保持磁極を
接合した構造をもつ中立保持手段 （ｆ）前記可動永久磁石の前記バックヨーク設置面の反
対面に、前記可動部の回転運動を制御する磁場を発生さ
せる手段として設けた少なくとも１個以上の電磁石又は
コイルから構成されることを特徴とするガルバノミラー
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19851188A JPH0249223A (ja) | 1988-08-09 | 1988-08-09 | ガルバノミラー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19851188A JPH0249223A (ja) | 1988-08-09 | 1988-08-09 | ガルバノミラー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0249223A true JPH0249223A (ja) | 1990-02-19 |
Family
ID=16392355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19851188A Pending JPH0249223A (ja) | 1988-08-09 | 1988-08-09 | ガルバノミラー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0249223A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7733986B2 (en) | 2005-07-29 | 2010-06-08 | Panasonic Corporation | Receiver and electronic apparatus |
| DE4136996B4 (de) * | 1991-11-11 | 2011-03-10 | Papst Licensing Gmbh & Co. Kg | Plattenspeicherantrieb |
| WO2013080626A1 (ja) * | 2011-11-30 | 2013-06-06 | 三洋電機株式会社 | ミラーアクチュエータ、ビーム照射装置およびレーザレーダ |
-
1988
- 1988-08-09 JP JP19851188A patent/JPH0249223A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4136996B4 (de) * | 1991-11-11 | 2011-03-10 | Papst Licensing Gmbh & Co. Kg | Plattenspeicherantrieb |
| US7733986B2 (en) | 2005-07-29 | 2010-06-08 | Panasonic Corporation | Receiver and electronic apparatus |
| WO2013080626A1 (ja) * | 2011-11-30 | 2013-06-06 | 三洋電機株式会社 | ミラーアクチュエータ、ビーム照射装置およびレーザレーダ |
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