JPH0470712A - ガルバノミラー - Google Patents
ガルバノミラーInfo
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- JPH0470712A JPH0470712A JP18340690A JP18340690A JPH0470712A JP H0470712 A JPH0470712 A JP H0470712A JP 18340690 A JP18340690 A JP 18340690A JP 18340690 A JP18340690 A JP 18340690A JP H0470712 A JPH0470712 A JP H0470712A
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Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、光メモリ装置のレーザビームのトラッキング
制卸に用いる磁石可動型のガルバノミラ−（以下ＧＭと
記す）に関する。
制卸に用いる磁石可動型のガルバノミラ−（以下ＧＭと
記す）に関する。
［従来技術〕
従来、光メモリ装置の光学ヘッドに用いられるＧＭは、
例えば特開昭６３−１２３３４号公報等に見られるよう
に可動部がコイルで、可動部を弾性部材を用いて結合す
る構成のものが多かった。
例えば特開昭６３−１２３３４号公報等に見られるよう
に可動部がコイルで、可動部を弾性部材を用いて結合す
る構成のものが多かった。
［発明が解決しようとする課題］
しかし従来技術では、可動コイルへの給電線の断線や、
コイルの過熱による接着不良及びそれに伴うコイルの熱
変形が起こり易いという課題を有する。また、給電線の
接続処理は複雑で手間のかかるもので、給電方式によっ
ては給電線そのものが可動部の高速での動作に悪影１を
及ぼす、また弾性部材による高次共振が発生し高速動作
の妨げになる。従って、光ディスクの回転数が上げられ
ずデータの転送速度が制限されることになる。更に弾性
部材は加工精度を厳しく管理しないと動特性のバラツキ
がきわめて大きくなり、経時変化も大きいため安定した
特性が得られにくい。
コイルの過熱による接着不良及びそれに伴うコイルの熱
変形が起こり易いという課題を有する。また、給電線の
接続処理は複雑で手間のかかるもので、給電方式によっ
ては給電線そのものが可動部の高速での動作に悪影１を
及ぼす、また弾性部材による高次共振が発生し高速動作
の妨げになる。従って、光ディスクの回転数が上げられ
ずデータの転送速度が制限されることになる。更に弾性
部材は加工精度を厳しく管理しないと動特性のバラツキ
がきわめて大きくなり、経時変化も大きいため安定した
特性が得られにくい。
そこで本発明はこのような課題を解決するためのもので
、その目的とするところは、可動部の高次共振が発生し
にくく、可動部へ給電する必要のない組立容易な構造と
することにより、高速動作性の優れたＧＭを提供すると
ころにある。これにより、信頼性が高くデータ転送速度
の速い光メモリ装置の実現が可能となる。
、その目的とするところは、可動部の高次共振が発生し
にくく、可動部へ給電する必要のない組立容易な構造と
することにより、高速動作性の優れたＧＭを提供すると
ころにある。これにより、信頼性が高くデータ転送速度
の速い光メモリ装置の実現が可能となる。
［課題を解決するための手段］
本発明のＧＭは、光メモリ装置のレーザビームのトラッ
キング制御手段として永久磁石を可動部の一部とする構
造のＧＭにおいて、 ミラーが固定されラジアル着磁を多極に施した円筒状の
永久磁石よりなるロータと、該ロータを磁性流体層を介
して支持する固定軸、前記永久磁石の外周面と一定の空
隙を介して前記永久磁石の磁極対数の歯を有し該歯が励
磁コイルにより同極に励磁される構造のステータコアを
有することを特徴とする ［作用］ 本発明の上記の構成によれば、ラジアル多極着磁された
永久磁石とステータコアの歯の間に働く磁気力によって
可動部の中立保持及び微小回転が可能である。また、永
久磁石の表面磁束に保持された磁性流体が潤滑材となり
摩擦の影響が少ない支持ができる。
キング制御手段として永久磁石を可動部の一部とする構
造のＧＭにおいて、 ミラーが固定されラジアル着磁を多極に施した円筒状の
永久磁石よりなるロータと、該ロータを磁性流体層を介
して支持する固定軸、前記永久磁石の外周面と一定の空
隙を介して前記永久磁石の磁極対数の歯を有し該歯が励
磁コイルにより同極に励磁される構造のステータコアを
有することを特徴とする ［作用］ 本発明の上記の構成によれば、ラジアル多極着磁された
永久磁石とステータコアの歯の間に働く磁気力によって
可動部の中立保持及び微小回転が可能である。また、永
久磁石の表面磁束に保持された磁性流体が潤滑材となり
摩擦の影響が少ない支持ができる。
［実施例］
以下本発明を実施例に基づき詳細に説明する。
第１図は、本発明のＧＭの一実施例を示す断面図である
。１はラジアル方向に多極着磁された円筒状の永久磁石
で薄い磁性流体層２を介して固定軸３で支持されたロー
タとなっている。永久磁石にはミラー４がミラーホルダ
５によって固定されている。ステータコア６が永久磁石
より一定の距離をもって配されている。第２図に示すよ
うにステータコアの歯８が永久磁石１ＯＮ極とＳ極の境
界位置に対向している状態がロータの揺動中心となる０
図中永久磁石に表示されている極は、円筒外周面に現わ
れる極である。以下の図に於いても同様である。ロータ
はコイル７の電流方向によって揺動中心から両方向に回
転変位を生じ、ミラーに円筒軸方向から入射したレーザ
ビームの反射光軸を振ることができる。トラッキング制
御は対物レンズに入射するレーザビーム光軸の非常に小
さな傾きによって行なわれるため、固体軸受は等を使用
した場合にはスムースな揺動が困難となりサーボ残差が
増大する１本発明では磁性流体が永久磁石と固定軸の間
で潤滑材として働き、摩擦の影響が少なくスティックス
リップやヒステリシスが発生せず、高い精度の揺動回転
角が得られる。また固定軸に鉄を用いてｍ性流体が永久
磁石の表面磁束に保持されるようにしたため磁性流体層
の耐久性に優れている０本実施例の磁性流体は界面活性
剤としてオレイン酸を用いてマグネタイト微粒子をケロ
シン溶媒中に分散させたものである。第３図（ａ）、（
ｂ）、（ｃ）に歯８と永久磁石１の対向状態を示す、
（ａ）は中立状態でコイルに電流が流れていない状態で
ある。 （ｂ）はコイル電流を流した場合で、コイル電
流によって発生するトルクと、永久磁石がステータコア
の歯と引き合う力が一致する位置で安定する。 （Ｃ）
はコイル電流を増やした場合で、これ以上電流を増やす
と次の中立状態に移動してしまうので必要に応じて揺動
部の回転角を規制するストッパを設けることによってこ
の中立状態の移動を防ぐことができる。
。１はラジアル方向に多極着磁された円筒状の永久磁石
で薄い磁性流体層２を介して固定軸３で支持されたロー
タとなっている。永久磁石にはミラー４がミラーホルダ
５によって固定されている。ステータコア６が永久磁石
より一定の距離をもって配されている。第２図に示すよ
うにステータコアの歯８が永久磁石１ＯＮ極とＳ極の境
界位置に対向している状態がロータの揺動中心となる０
図中永久磁石に表示されている極は、円筒外周面に現わ
れる極である。以下の図に於いても同様である。ロータ
はコイル７の電流方向によって揺動中心から両方向に回
転変位を生じ、ミラーに円筒軸方向から入射したレーザ
ビームの反射光軸を振ることができる。トラッキング制
御は対物レンズに入射するレーザビーム光軸の非常に小
さな傾きによって行なわれるため、固体軸受は等を使用
した場合にはスムースな揺動が困難となりサーボ残差が
増大する１本発明では磁性流体が永久磁石と固定軸の間
で潤滑材として働き、摩擦の影響が少なくスティックス
リップやヒステリシスが発生せず、高い精度の揺動回転
角が得られる。また固定軸に鉄を用いてｍ性流体が永久
磁石の表面磁束に保持されるようにしたため磁性流体層
の耐久性に優れている０本実施例の磁性流体は界面活性
剤としてオレイン酸を用いてマグネタイト微粒子をケロ
シン溶媒中に分散させたものである。第３図（ａ）、（
ｂ）、（ｃ）に歯８と永久磁石１の対向状態を示す、
（ａ）は中立状態でコイルに電流が流れていない状態で
ある。 （ｂ）はコイル電流を流した場合で、コイル電
流によって発生するトルクと、永久磁石がステータコア
の歯と引き合う力が一致する位置で安定する。 （Ｃ）
はコイル電流を増やした場合で、これ以上電流を増やす
と次の中立状態に移動してしまうので必要に応じて揺動
部の回転角を規制するストッパを設けることによってこ
の中立状態の移動を防ぐことができる。
尚永久磁石の着磁極数は、必要な揺動角や駆動感度に応
じて決定することができ、第３図に示した例に制限され
ない。
じて決定することができ、第３図に示した例に制限され
ない。
次に、本実施例で用いられた永久磁石について述べる。
高い磁気性能の異方性磁石が生産性よく製造できるＳｍ
−Ｃｏ系樹脂結合型磁石が非常に有利である。更にこの
永久磁石は軽量でかつ高い寸法精度を容易に出すことが
できる０本実施例では、Ｓｍ−Ｃｏ系樹脂結合型圧縮成
形磁石を用いたが、磁石材料ならびに成形方法はこれに
限られない、最初に組成がＳ ｍ （Ｃｏ ｅ６７２ｃ
ｕ １ｌｌａＦ ｅｌｌ、２２Ｚｒａ、ａ２ｓ） ｓ
、ｔｓとなるように原料を誘導炉で溶解する。そのイン
ゴットをＡｒガス雰囲気中で１１２０〜１１８０°Ｃで
５時間溶体化処理を行ない、その後８５０″Ｃで４時間
時効処理を行なった。
−Ｃｏ系樹脂結合型磁石が非常に有利である。更にこの
永久磁石は軽量でかつ高い寸法精度を容易に出すことが
できる０本実施例では、Ｓｍ−Ｃｏ系樹脂結合型圧縮成
形磁石を用いたが、磁石材料ならびに成形方法はこれに
限られない、最初に組成がＳ ｍ （Ｃｏ ｅ６７２ｃ
ｕ １ｌｌａＦ ｅｌｌ、２２Ｚｒａ、ａ２ｓ） ｓ
、ｔｓとなるように原料を誘導炉で溶解する。そのイン
ゴットをＡｒガス雰囲気中で１１２０〜１１８０°Ｃで
５時間溶体化処理を行ない、その後８５０″Ｃで４時間
時効処理を行なった。
このようして得られた２−１７系希土類金属間合金を、
平均粒径が２０μｍ（フィッシャーサブシーブサイダー
による）となるように粉砕し、この粉末９８重１％に熱
硬化性である２液性工ポキシ樹脂２重量％を結合材とし
て加え混合した磁石組成物を、粉末成形磁場プレス装置
で磁場中で配向させ円筒形状に成形した後、キュア処理
を行なった。これにラジアル方向の多極着磁を施した。
平均粒径が２０μｍ（フィッシャーサブシーブサイダー
による）となるように粉砕し、この粉末９８重１％に熱
硬化性である２液性工ポキシ樹脂２重量％を結合材とし
て加え混合した磁石組成物を、粉末成形磁場プレス装置
で磁場中で配向させ円筒形状に成形した後、キュア処理
を行なった。これにラジアル方向の多極着磁を施した。
このようにして得られた永久磁石を用いた本発明のＧＭ
を光学ヘッドに搭載し、情報の記録再生を試みた。動特
性は非常に優れた高速応答性を示し、４２００ｒｐｍで
回転する光ディスクの記録再生が良好に行えた。またサ
ーボ残差の経時変化も少なく３万時間の耐久試験に於て
問題が生じなかった。本発明は、可動部の中立保持にバ
ネなどを用いないため組立が容易で、従来問題となって
いた高次共振が避けられる。また磁性流体層を介して可
動部を支持しているため摩擦を回避した高精度のサーボ
特性が得られる。
を光学ヘッドに搭載し、情報の記録再生を試みた。動特
性は非常に優れた高速応答性を示し、４２００ｒｐｍで
回転する光ディスクの記録再生が良好に行えた。またサ
ーボ残差の経時変化も少なく３万時間の耐久試験に於て
問題が生じなかった。本発明は、可動部の中立保持にバ
ネなどを用いないため組立が容易で、従来問題となって
いた高次共振が避けられる。また磁性流体層を介して可
動部を支持しているため摩擦を回避した高精度のサーボ
特性が得られる。
［発明の効果コ
以上示したように本発明によれば、ラジアル多極着磁さ
れた永久磁石を可動部に用い、可動部支持に磁性流体層
を設けることにより以下のような利点を生ずる。
れた永久磁石を可動部に用い、可動部支持に磁性流体層
を設けることにより以下のような利点を生ずる。
（１）１８電線の断線が無い。
（２）給電線の接続処理が無いので組立が容易である。
（３）コイルの熱変形と接着不良の心配が無い。
（４）支持バネが無い。
（５）摩擦の影響が少ない。
従って高速応答性に優れ信頼性が高いＧＭが得られる。
本発明のＧＭは、コンピュータメモリ、光デイスクファ
イル、ＣＤ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＬＶＤなどの光メモリ装置
に応用することが可能で、装装置の高性能化や小型化な
どの多大な効果を有するものである。
イル、ＣＤ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＬＶＤなどの光メモリ装置
に応用することが可能で、装装置の高性能化や小型化な
どの多大な効果を有するものである。
第１図は、本発明のＧＭの一実施例を示す断面図。
第２図は、ステータコアと磁極の関係を示す図。
第３図は、揺動中立状態の説明図。
１・・・・・永久磁石
２・・・・・磁性流体層
３・・・・固定軸
４・・・・・ミラー
６・・・・・ステータコア
７・・・・・コイル
８・・・・・歯（ステータコアの一部）以上
出願人 セイコーエプソン株式会社
代理人弁理士 鈴木喜三部 他１名
（ａ）
（ｂ）
（ｃ）
第３図
Claims (1)
- （１）光メモリ装置のレーザビームのトラッキング制御
手段として永久磁石を可動部の一部とする構造のガルバ
ノミラーにおいて、 ミラーが固定されラジアル着磁を多極に施した円筒状の
永久磁石よりなるロータと、該ロータを磁性流体層を介
して支持する固定軸、前記永久磁石の外周面と一定の空
隙を介して前記永久磁石の磁極対数の歯を有し該歯が励
磁コイルにより同極に励磁される構造のステータコアを
有することを特徴とするガルバノミラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18340690A JPH0470712A (ja) | 1990-07-11 | 1990-07-11 | ガルバノミラー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18340690A JPH0470712A (ja) | 1990-07-11 | 1990-07-11 | ガルバノミラー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0470712A true JPH0470712A (ja) | 1992-03-05 |
Family
ID=16135224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18340690A Pending JPH0470712A (ja) | 1990-07-11 | 1990-07-11 | ガルバノミラー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0470712A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0714417U (ja) * | 1992-03-30 | 1995-03-10 | 株式会社シコー技研 | レ−ザ−スキャニング装置 |
| US6107600A (en) * | 1998-02-27 | 2000-08-22 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser machining apparatus |
| JP2009246398A (ja) * | 1995-07-18 | 2009-10-22 | Vishay Dale Electronics Inc | 高電流薄型インダクタの製造方法 |
| US7921546B2 (en) | 1995-07-18 | 2011-04-12 | Vishay Dale Electronics, Inc. | Method for making a high current low profile inductor |
-
1990
- 1990-07-11 JP JP18340690A patent/JPH0470712A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0714417U (ja) * | 1992-03-30 | 1995-03-10 | 株式会社シコー技研 | レ−ザ−スキャニング装置 |
| JP2009246398A (ja) * | 1995-07-18 | 2009-10-22 | Vishay Dale Electronics Inc | 高電流薄型インダクタの製造方法 |
| US7921546B2 (en) | 1995-07-18 | 2011-04-12 | Vishay Dale Electronics, Inc. | Method for making a high current low profile inductor |
| US7986207B2 (en) | 1995-07-18 | 2011-07-26 | Vishay Dale Electronics, Inc. | Method for making a high current low profile inductor |
| US6107600A (en) * | 1998-02-27 | 2000-08-22 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser machining apparatus |
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