JPH01102422A - ガルバノミラー - Google Patents

ガルバノミラー

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Publication number
JPH01102422A
JPH01102422A JP26064387A JP26064387A JPH01102422A JP H01102422 A JPH01102422 A JP H01102422A JP 26064387 A JP26064387 A JP 26064387A JP 26064387 A JP26064387 A JP 26064387A JP H01102422 A JPH01102422 A JP H01102422A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
movable part
permanent magnet
movable
fixed
magnet
Prior art date
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Pending
Application number
JP26064387A
Other languages
English (en)
Inventor
Tsugio Ide
次男 井出
Michio Yanagisawa
通雄 柳澤
Hiroshi Ito
浩 伊藤
Mitsuhiro Horikawa
堀川 満広
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、光メモリ装置のレーザビームのトラッキング
制御に用いるガルバノミラ−に関する。
〔従来の技術〕
従来、光メモリ装置の光学ヘッドに用いられるレンズア
クチュエータは、特開昭57−210456に見られる
ように可動部がコイルであるものが多かった。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし従来技術では、可動コイルへの給電方式によって
は、給電線が高速での動作の妨げになる可能性が育り、
給電線の断線や、コイルの過熱による接着劣化が生じコ
イル変形等の問題点を育する。また、コイルの最適仕様
(巻数、線径等)を捜すためにカプトアンドトライを繰
り返すことが多く、このコイル仕様の変更が可動部の質
量変化につながるため高速化が容易でなかった。
そこで本発明はこのような問題点を解決するためのもの
で、その目的とするところは、光メモリ装置の高速化を
図るために光学ヘッドを分離型構造とする場合のトラッ
キングアクチュエータとして、可動部に永久磁石を用い
て、剛性の高い構造で、可動部へ給電する必要のないガ
ルバノミラ−を構成し光メモリ装置の高速化を実現する
ところにある。
〔問題点を解決するための手段〕
(1)−本発明のガルバノミラ−は、光メモリ装置のレ
ーザビームのトラッキング制御手段として、永久磁石を
可動部の一部とする構造のガルバノミラ−において (a)  Nd1Fe、及びBを基本組成とする合金を
、メルトスパン法を用いることにより結晶とアモルファ
スの混合状態にし粉砕して得られた磁性粉末を型に入れ
熱間圧密処理を行い円筒状にし、円筒ラジアル方向に熱
間加圧し、前記ラジアル方向に少なくとも四分割以上の
多極着磁を施した可動永久磁石 (b)  該可動永久磁石の内周部に係合された鉄等の
軟磁性材料から成るバックヨーク(c)  Mバックヨ
ーク、前記可動永久磁石に可動部の円筒軸に対して45
@の角度を持って固定された反射ミラー (d)  該反射ミラー、前記バックヨーク、前、記可
動永久磁石から成る可動部を回転自由に支持する少なく
とも2個以上のボールベアリングの外輪に、該ボールベ
アリングの内輪に係合する、支持シャフトと同じ材質の
スリーブを係合し、該スリーブに前記可動部を固定した
構造の支持a構(e)  前記可動部の中立位置保持用
の手段として、前記可動永久磁石の外側にitけた、中
立保持用永久磁石と保持磁極 (f)  前記可動永久磁石の外側に、前記可動部の回
転運動を制御する磁場を発生させる手段として設けた少
なくとも1a以上の電−石から構成されることを特徴と
する。
〔実施例〕
以下本発明を一実施例に基づいて詳細に説明する。
第1図は、本発明のガルバノミラ−の平面断面図で、反
射ミラー101はNd−Fe−B系の・可動永久磁石1
02、バックヨーク103、可動スリーブ104と一体
化され回転が可能な状態で、ボールベアリング105,
108の外輪が可動スリーブと接着されている。バック
ヨークと可動スリーブは、゛すきまばめになっていて、
ミラーホルダ107がバックヨークと可動スリーブにt
l’lされている。支持シャフト108は、ボールベア
リングの内輪と係合され、固定ナツト109によってス
ラスト方向に締め付けられ、予圧カラー110によって
スラスト方向の予圧が加えられる。本実施例の構造によ
ると、支持シャ°フトの熱膨張による伸縮が生じても、
可動スリーブを支持シャフトと同じ材質にすることによ
って反射ミラーの倒れが生じない0例えば、第4図(後
に詳細に説明する)のような応用例の場合、反射ミラー
が、支持シャフト方向に微小変位しても、殆ど影響しな
いが、反射ミラーの倒れは、極めて大きく影響する。
第2図は、本発明のガルバノミラ−の可動機構の断面図
で、可動部の中立保持手段として中立保持用永久磁石2
01、保持磁極202,203が設けられている。この
中立保持用永久磁石と保持磁極を左右(第2図に於て)
に動かすことにより組立時の調整が、ばね等の手段によ
って中立保持をする場合に比べ容易に行えるようになり
効果的である。電磁石は、磁極204とコイル205、
および磁極206とコイル207から構成されていて、
コイル205,207に流す電流を制御することによっ
て可動部の回転角を制御することができる。可動永久磁
石102は、同図に示したように8極に着磁されている
。eI磁の極数は、2゜4.8.8極が考えられるが、
2極は実現が困難で、本実施例の中立保持機構を用いる
場合は6、または、8極がもっとも作り易く、本実施例
ではバックヨークの軽量化が可能な8極としである。
第3図は、可動永久磁石102の、製造工程を示す。N
d+sFems−tBa、mの組成の合金をメルトスパ
ン法を用い、結晶とアモルファスの混合状聾のリボンを
作成し、これを粉砕して得られた磁性粉末を円筒形の型
に入れ熱間圧密処理を行い、更に円筒ラジアル方向に、
加熱しながら加圧し成形した。永久磁石の、最大エネル
ギー積、(BH)max、保磁力i Hc s n留磁
束密度Brは、 (BH)max=3 1  [MGOeliHc=IO
,50[kOe] nr=1 1. 75  [kG] が得られた。このよう、にして得られた永久磁石により
ガルバノミラ−を駆動することにより、可動部の、小型
・軽量化が図られ、高速応答性も向上し、更にコストも
安価となる。
第4wJ(a)、(b)は、本発明のガルバノミラ−を
用いた場合の光メモリlit!Eの光学系の概略図で、
光学ヘッド401からの、レーザビームAを反射ミラー
101によって微少に嵌り、レーザビームBとし、リニ
アモータ402に固定された固定ミラー403で更にレ
ーザビーム方向を変更してディスク404に対してトラ
ッキング動作を行う。フォーカシングは、リニアモータ
に搭載されたレンズフォーカシングアクチュエータ40
5によって対物レンズ40Bを上下に動かして行われる
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、永久磁石を可動
部に用いたことにより、可動部への給電の必要のない構
造のガルバノミラ−を実現することができ、高速動作時
に給電線の断線等の心配がな(、発熱によりコイルが変
形して磁気回路と接触することが避けられる。また、コ
イル仕様を変更しても可動部の質量が変化しないので設
計変更が容易に行える。また、円筒伏の可動永久磁石と
してNd−Fe−B電磁石を用いることにより、可動部
の小型・軽量化が可能になる。このようにして、高速応
答性に優れ、高信頼性のガルバノミラ−を得ることがで
きる。また、可動部の中立保持手段として永久磁石を用
いたため、従来のばねによる方法に比べ組立後の調整が
容易で、正確に行うことが可能になっている。更に、第
4図に示した構成の光学系は、レーザビームA、Hの断
面形状が変化しないので本発明のガルバノミラ−を用い
ると、トラッキング範囲を広くすることができ、支持機
構のボールベアリングの内外輪に係合する部品の材質を
同一にしたため部品の熱膨張による反射ミラーの倒れが
殆ど生じない。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明のガルバノミラ−の平面断面図 !2図は、本発明のガルバノミラ−の正面断面図 第3図は、Nd−Fe−B系永久磁石の製造工程図 f14E (a)、(b)は、本発明のガルバノミラ−
を用いた場合の光メモリ装置の光学系の概略図 一以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 最 上  務 他1名(IA> 第4図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光メモリ装置のレーザビームのトラッキング制御
    手段として、永久磁石を可動部の一部とする構造のガル
    バノミラーにおいて、 (a)ネオジウム(Nd)、鉄(Fe)、及びホウ素(
    B)を基本組成とする合金を、メルトスパン法を用いる
    ことにより結晶とアモルファスの混合状態にし粉砕して
    得られた磁性粉末を型に入れ熱間圧密処理を行い円筒状
    にし、円筒ラジアル方向に熱間加圧し、前記ラジアル方
    向に少なくとも四分割以上の多極着磁を施した可動永久
    磁石 (b)該可動永久磁石の内周部に係合された鉄等の軟磁
    性材料から成るバックヨーク (c)該バックヨーク、前記可動永久磁石に可動部の円
    筒軸に対して45゜の角度を持って固定された反射ミラ
    ー (d)該反射ミラー、前記バックヨーク、前記可動永久
    磁石から成る可動部を回転自由に支持する少なくとも2
    個以上のボールベアリングの外輪に、該ボールベアリン
    グの内輪に係合する、支持シャフトと同じ材質のスリー
    ブを係合し、該スリーブに前記可動部を固定した構造の
    支持機構 (e)前記可動部の中立位置保持用の手段として、前記
    可動永久磁石の外側に設けた、中立保持用永久磁石と保
    持磁極 (f)前記可動永久磁石の外側に、前記可動部の回転運
    動を制御する磁場を発生させる手段として設けた少なく
    とも1個以上の電磁石から構成されることを特徴とする
    ガルバノミラー。
JP26064387A 1987-10-15 1987-10-15 ガルバノミラー Pending JPH01102422A (ja)

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