JPH01137224A - ガルバノミラー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光メモリ装置のレーザビームのトラッキング
制御に用いるガルバノミラ−に関する。

〔従来の技術〕

従来、光メモリ装置の光学ヘッドに用いられるレンズア
クチュエータは、特開昭５７−２１０４５６に見られる
ように可動部がコイルであるものが多かった。また、レ
ーザー等の光学系を固定し、アクセスを行なう移動光学
系部の質量を軽減した分離型光学ヘッドとしては特開昭
６１−２２４１４９．６２−１４３３１等の例がある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし従来技術では、可動コイルへの給電方式によって
は、給電線が高速での動作の妨げになる可能性が有り、
給電線の断線や、コイルの過熱による接着劣化が生じコ
イル変形等の問題点を有する。また、コイル仕様（巻数
、線径等）の変更が可動部の質量変化につながるためコ
イルのｆｌｌ、適仕様を捜すためにカットアンドトライ
を繰り返すことが多く高速化か容易でなかった。

そこで本発明はこのような問題点を解決するなめのらの
で、その目的とするところは、光メモリ装置の高速化を
図るために光学ヘッドを分離型構造とする場合のトラッ
キングアクチュエータとして、可動部に永久磁石を用い
て、剛性の高い構造で、可動部へ給電する必要のないガ
ルバノミラ−を構成し光メモリ装置の高速化を実現する
ところにある。

〔問題点を解決するための手段〕

（１）本発明のガルバノミラ−は、光メモリ装置のレー
ザビームのトラッキング制御手段として、永久磁石を可
動部の一部とする構造のガルバノミラ−において （ａ）サマリウム（Ｓｍ）およびコバルト（Ｃｏ）を基
本組成とする合金の前記Ｓｍの一部をネオジム（Ｎｄ）
およびセリウム（Ｃｅ）で置換し粉砕して得られた磁性
粉末を樹脂と混合・混練し、圧縮成形を行ない円盤状に
し、円盤の円周方向に少なくとも四分割以上の多極着磁
を厚さ方向に施した円盤状の可動永久磁石 （ｂ）該可動永久磁石の一方の平面に設置された鉄等の
軟磁性材料から成るバックヨーク（ｃ）該バックヨーク
、前記可動永久磁石等の可動部の回転軸に対して４５°
の角度を持って固定された反射ミラー （ｄ）該反射ミラー、前記バックヨーク、前記可動永久
磁石から成る可動部を回転自由に支持する支持シャフト
により構成された支持機構（ｅ）前記可動部の中立位置
保持用の手段として、前記可動永久磁石の外側に設けた
、中立保持用永久磁石と保持磁極 （ｆ）前記永久磁石の前記バックヨーク設置面の反対面
に、前記可動部の回転運動を制御する磁場を発生させる
手段として設けた少なくとも１個以上の電磁石又はコイ
ルから構成されることを特徴とする。

〔実　施　例〕

以下本発明について図面に基づいて詳細に説明する。

第１図は、本発明のガルバノミラ−の平面断面図で、反
射ミラー１０１はＮｄ置換Ｓｍ−Ｃｏ系樹脂結合型の可
動永久磁石１０２、バックヨーク１０７、ミラーホルダ
ー１０３と一体化され回転が可能な状態で、ボールベア
リング１０５の外輪がミラーボルダ−と接着されている
。さらにミラーホルダーにバックヨークが接着されてい
る。支持シャツｌ−１０６は、ボールベアリングの内輪
と係合されている。ボールベアリングは、ベース１０８
と支持シャフト先端のフランジによって挟まれて固定さ
れる。ベース内には可動磁石を回転させるためのコイル
１０４か設置されている。ペースとミラーボルダ−によ
り外周部で可動部１０９を挾みアキシャル方向の回転ぶ
れを少なくする構造となっている。

第２図は、本発明のカルバノミラーの可動機構の主要部
分分解断面図で、可動部の中立保持手段として中立保持
用永久磁石２０１、保持磁極２０２．２０３が設けられ
ている。この中立保持用永久磁石と保持磁極を左右（第
２図に於て）に動かすことにより組立時の調整が、ばね
等の手段によって中立保持をする場合に比べ容易に行え
る様に成り効果的である。コイル２０４．２０５　（２
０５は図示せず）に流す電流を制御することによって可
動部の回転角を制御することが出来る。このコイルの代
わりに（ｂ）に示すＸＨａ石を磁極部２０６が、可動磁
石のニュートラルゾーンに位置するように設置し前述の
方法と同様にコイルに流す電流によって回転角を制御す
ることができる。可動永久磁石１０２は、同図に示した
ように８極に着磁されている０着磁の極数は、２．４．
６．８極が考えられるが、２極は実現が困難で、本実施
例の中立保持機構を用いる場合は６、または、８極がも
つとも作り易く、本実施例では８極の例を示した。第３
図は、可動永久磁石１０２の製造工程を示ず＊　Ｓｍｏ
、ｓ　Ｎｄｏ、＋　Ｃｅｏ、＋　　（ＣＯｏ、６７２　
Ｃｕ　ｏ、ｏｓＦ　ｅ　Ｏ，２２Ｚｒ　ｏ、ｏ２ｓ　）
　ａ、ｓ、の組成になるように原料を誘導炉で溶解し、
そのインゴットをアルゴンガス雰囲気中で１１２０℃〜
１１８０°Ｃで５時間溶体化処理を行いさらに８５０℃
で４時間時効処理を行なった。このようにして得られた
２−１７系希土類金属間合金を平均粒度が約８０μｍと
なるように粉砕した。この磁性粉末９２重量％と熱硬化
性の２液性工ポキシ樹脂２重量％を結合材として加え混
合した。この磁石組成物を粉末成型磁場プレス装置で磁
場中にて厚さ配向し円盤状磁石に成形した後、キュア処
理を行なった。

永久磁石の最大エネルギー積（ＢＨ）ｍａｘ、保磁力ｉ
Ｈｃ、残留磁束密度Ｂｒは、 （ＢＨ）ｍａｘ＝１３　（ＭＧＯｅ） ｉ　　　Ｈｃ＝１　　０　　　（ｋｏｅ　　　）Ｂｒ＝
８．２　（ｋＧ） が得られた。

このようにして得られた永久磁石によりガルバノミラ−
を駆動することにより、可動部の小型軽量化が可能にな
り、高速応答性ら向上する。さらに樹脂結合型磁石であ
るため円盤形状を容易にかつ経済的に製造することがで
きる。

第４図（ａ）、（ｂ）は、本発明のカルバノミラーを用
いた場合の光メモリ装置の光学系の概略図で、光学ヘッ
ド４０１からのレーザビームＡを反射ミラー１０１によ
って１紋少に振り、レーザビームＢとし、リニアモータ
４０２に固定された固定ミラー４０３で更にレーザビー
ム方向を変更してディスク４０４に対して１−ラッキン
グ動作を行う、フォーカシングは、リニアモータに搭載
されたレンズフォーカシングアクチュエータ４０５によ
って対物レンズ４０６を上下に動かして行われる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、永久磁石を可動
部に用いたことにより、可動部への給電の必要のない構
造のガルバノミラ−を実現することが出来、高速動作時
に給電線の断線等の心配がなく、発熱によりコイルが変
形して磁気回路と接触することが避けられ、可動部磁石
として円盤状磁石を使用することにより可動部を薄くす
ることか可能になった。また、コイル仕様を変更しても
可動部の質量が変化しないので設計変更が容易に行える
。また、可動部の中立保持手段として永久磁石を用いた
ため、従来のばねによる方法に比べ組立後の調整が容易
で、正確に行うことが可能になっている。また円盤状の
可動永久磁石としてＮｄ置換Ｓｍ−Ｃｏ系樹脂結合型磁
石を用いることにより、他の永久磁石材料に比べ可動部
の小型軽量化が可能になる。さらに、第４図に示した構
成の光学系は、レーザビームＡ、Ｂの断面形状が変化し
ないので本発明のガルバノミラ−を用いるとトラッキン
グ範囲を広くすることが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明のカルバノミラーの平面断面図、 第２図（ａ）は、本発明のカルバノミラーの主要部分分
解斜視図、（ｂ）は電磁石の斜視図、第３図は永久磁石
の製造工程図、 第４図（ａ）、（ｂ）は、本発明のガルバノミラ−を用
いた場合の光メモリ装置の光学系の概略図。 以　　上 出願人　セイコーエプソン株式会社 ＝ 第１図 （α） 第２図 第３図 （（ン （ト） 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）光メモリ装置のレーザビームのトラッキング制御
   手段として、永久磁石を可動部の一部とする構造のガル
   バノミラーにおいて （ａ）サマリウム（Ｓｍ）およびコバルト（Ｃｏ）を基
   本組成とする合金の前記Ｓｍの一部をネオジム（Ｎｄ）
   およびセリウム（Ｃｅ）で置換し粉砕して得られた磁性
   粉末を樹脂と混合・混練し、圧縮成形を行ない円盤状に
   し、円盤の円周方向に少なくとも四分割以上の多極着磁
   を厚さ方向に施した円盤状の可動永久磁石 （ｂ）該可動永久磁石の一方の平面に設置された鉄等の
   軟磁性材料から成るバックヨーク （ｃ）該バックヨーク、前記可動永久磁石等の可動部の
   回転軸に対して４５゜の角度を持って固定された反射ミ
   ラー （ｄ）該反射ミラー、前記バックヨーク、前記可動永久
   磁石から成る可動部を回転自由に支持する支持シャフト
   とにより構成された支持機構 （ｅ）前記可動部の中立位置保持用の手段として、前記
   可動永久磁石の外側に設けた、中立保持用永久磁石と保
   持磁極 （ｆ）前記永久磁石の前記バックヨーク設置面の反対面
   に、前記可動部の回転運動を制御する磁場を発生させる
   手段として設けた少なくとも１個以上の電磁石又はコイ
   ルから構成されることを特徴とするガルバノミラー。