JP7467843B2 - 炭化珪素エピタキシャル基板および炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法 - Google Patents
炭化珪素エピタキシャル基板および炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7467843B2 JP7467843B2 JP2019156283A JP2019156283A JP7467843B2 JP 7467843 B2 JP7467843 B2 JP 7467843B2 JP 2019156283 A JP2019156283 A JP 2019156283A JP 2019156283 A JP2019156283 A JP 2019156283A JP 7467843 B2 JP7467843 B2 JP 7467843B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon carbide
- semiconductor substrate
- substrate
- carbide semiconductor
- epitaxial
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 title claims description 176
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 154
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 138
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 18
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 69
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 10
- 230000009643 growth defect Effects 0.000 description 26
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 5
- 238000005424 photoluminescence Methods 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- 238000010330 laser marking Methods 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 carbon ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 230000005283 ground state Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 238000004151 rapid thermal annealing Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Recrystallisation Techniques (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
図1は、実施の形態にかかる炭化珪素エピタキシャル基板を示す上面図である。図2は、実施の形態にかかる炭化珪素エピタキシャル基板の構造を示す断面図である。図1に示すように、炭化珪素エピタキシャル基板10は、炭化珪素半導体基板の<1-100>方向と平行な向きで、ステップフロー成長方向に対してステップフロー成長の開始点側に第1オリエンテーションフラット8が設けられている。また、<-1-120>方向と平行な向きで、第1オリエンテーションフラットから時計回りに90°の位置に第2オリエンテーションフラット9が設けられていてもよいし、設けなくてもよい。オリエンテーションフラットは、炭化珪素半導体基板の結晶方向を示すために設けられたものであり、図1に示すように、炭化珪素半導体基板のエッジを研磨加工して、円周の一部を直線状にすることにより形成されている。なお、直径6インチφ以上のn型単結晶4H-SiCバルク基板については、第2オリエンテーションフラットは設けられていない市販品が多いが、第2オリエンテーションフラットを設けてもよいし、設けなくてもよい。
実施の形態にかかる炭化珪素エピタキシャル基板は以下のように製造される。図9A、図10Aおよび図11は、実施の形態にかかる炭化珪素エピタキシャル基板の製造途中の状態を模式的に示す上面図である。図9Bおよび図10Bは、実施の形態にかかる炭化珪素エピタキシャル基板の製造途中の状態を模式的に示す断面図である。
2 n+型バッファ層
3 n-型ドリフト層
4 炭化珪素エピタキシャル層
8、108 第1オリエンテーションフラット
9、109 第2オリエンテーションフラット
10、110 炭化珪素エピタキシャル基板
Claims (3)
- 第1導電型の炭化珪素半導体基板と、
前記炭化珪素半導体基板の一方の主面上に設けられた、膜厚200μm以上のエピタキシャル成長層と、
を備え、
前記炭化珪素半導体基板の<1-100>方向と角度公差±5°以内の範囲にて平行な向きで、ステップフロー成長方向に対してステップフロー成長の開始点側に第1オリエンテーションフラットが設けられ、
前記第1オリエンテーションフラットの矢高は、前記エピタキシャル成長層の膜厚を、前記炭化珪素半導体基板のオフ角の正接で割った値以上であることを特徴とする炭化珪素エピタキシャル基板。 - <1-100>方向と角度公差±5°以内の範囲にて平行な向きが識別できるように、第1導電型の炭化珪素半導体基板の結晶方位を示す溝または点状の孔を、線状または記号や文字として認識できるように並べた目印として、第1導電型の前記炭化珪素半導体基板のうら面側またはおもて面側に、前記炭化珪素半導体基板から切り落とされる領域に形成する第1工程と、
前記溝または前記点状の孔が形成された前記炭化珪素半導体基板に、エピタキシャル成長により、Si面側にエピタキシャル成長層を形成する第2工程と、
前記エピタキシャル成長層が形成された前記炭化珪素半導体基板の前記溝または前記点状の孔が示す方向で、ステップフロー成長方向に対してステップフロー成長の開始点側に第1オリエンテーションフラットを形成する第3工程と、
を含むことを特徴とする炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法。 - 前記第1工程では、前記溝または前記点状の孔を前記炭化珪素半導体基板の円周を分割する弦に形成し、前記弦により形成される円弧の矢高を、前記エピタキシャル成長層の膜厚を前記炭化珪素半導体基板のオフ角の正接で割った値以上にすることを特徴する請求項2に記載の炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019156283A JP7467843B2 (ja) | 2019-08-29 | 2019-08-29 | 炭化珪素エピタキシャル基板および炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019156283A JP7467843B2 (ja) | 2019-08-29 | 2019-08-29 | 炭化珪素エピタキシャル基板および炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021034670A JP2021034670A (ja) | 2021-03-01 |
JP7467843B2 true JP7467843B2 (ja) | 2024-04-16 |
Family
ID=74677742
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019156283A Active JP7467843B2 (ja) | 2019-08-29 | 2019-08-29 | 炭化珪素エピタキシャル基板および炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7467843B2 (ja) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001257139A (ja) | 2000-01-07 | 2001-09-21 | Canon Inc | 半導体基板とその作製方法 |
JP2007297263A (ja) | 2006-04-03 | 2007-11-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | GaN結晶基板 |
JP2009231365A (ja) | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体基板の表面処理のモニター方法およびマーカ付半導体基板 |
JP2017108026A (ja) | 2015-12-10 | 2017-06-15 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 炭化珪素半導体基板の製造方法、炭化珪素半導体基板、半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2018107476A (ja) | 2018-03-20 | 2018-07-05 | 昭和電工株式会社 | SiCエピタキシャルウェハ |
JP2018108916A (ja) | 2016-12-28 | 2018-07-12 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法 |
JP2018199591A (ja) | 2017-05-25 | 2018-12-20 | 東洋炭素株式会社 | SiCウエハの製造方法、エピタキシャルウエハの製造方法、及びエピタキシャルウエハ |
JP2019009173A (ja) | 2017-06-21 | 2019-01-17 | クアーズテック株式会社 | 化合物半導体基板の凹凸識別方法、および、これに用いる化合物半導体基板の表面検査装置 |
-
2019
- 2019-08-29 JP JP2019156283A patent/JP7467843B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001257139A (ja) | 2000-01-07 | 2001-09-21 | Canon Inc | 半導体基板とその作製方法 |
JP2007297263A (ja) | 2006-04-03 | 2007-11-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | GaN結晶基板 |
JP2009231365A (ja) | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体基板の表面処理のモニター方法およびマーカ付半導体基板 |
JP2017108026A (ja) | 2015-12-10 | 2017-06-15 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 炭化珪素半導体基板の製造方法、炭化珪素半導体基板、半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2018108916A (ja) | 2016-12-28 | 2018-07-12 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法 |
JP2018199591A (ja) | 2017-05-25 | 2018-12-20 | 東洋炭素株式会社 | SiCウエハの製造方法、エピタキシャルウエハの製造方法、及びエピタキシャルウエハ |
JP2019009173A (ja) | 2017-06-21 | 2019-01-17 | クアーズテック株式会社 | 化合物半導体基板の凹凸識別方法、および、これに用いる化合物半導体基板の表面検査装置 |
JP2018107476A (ja) | 2018-03-20 | 2018-07-05 | 昭和電工株式会社 | SiCエピタキシャルウェハ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021034670A (ja) | 2021-03-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109642343B (zh) | SiC外延晶片及其制造方法、大凹坑缺陷检测方法、缺陷识别方法 | |
JP6584253B2 (ja) | SiCエピタキシャルウェハ、SiCエピタキシャルウェハの製造装置、SiCエピタキシャルウェハの製造方法、および半導体装置 | |
CN109642342B (zh) | SiC外延晶片及其制造方法、以及缺陷识别方法 | |
EP2924150B1 (en) | ß-GA2O3-BASED SINGLE CRYSTAL SUBSTRATE | |
KR102467949B1 (ko) | C 면 GaN 기판 | |
CN109887853B (zh) | SiC外延晶片的评价方法及制造方法 | |
US20190035684A1 (en) | Method for manufacturing silicon carbide semiconductor device | |
JP6120742B2 (ja) | 単結晶インゴットの製造方法、単結晶基板の製造方法、および半導体装置の製造方法 | |
KR102576528B1 (ko) | 인화 인듐 기판 | |
KR20090127085A (ko) | 〈110〉 배향을 가지며 에피택셜 방식으로 코팅된 실리콘 웨이퍼 및 그 제작 방법 | |
US20170317174A1 (en) | Silicon carbide substrate and method of manufacturing silicon carbide substrate | |
JP2023512525A (ja) | 炭化ケイ素結晶材料の転位分布 | |
JP5400228B1 (ja) | SiC単結晶基板 | |
JP7467843B2 (ja) | 炭化珪素エピタキシャル基板および炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法 | |
JP6013410B2 (ja) | Ga2O3系単結晶基板 | |
CN107991230B (zh) | 一种辨别碳化硅晶片碳硅面的方法 | |
JP2017108026A (ja) | 炭化珪素半導体基板の製造方法、炭化珪素半導体基板、半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2019046859A (ja) | SiCエピタキシャルウェハ及びその製造方法 | |
JP7358825B2 (ja) | 炭化珪素エピタキシャル基板および炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法 | |
TWI781801B (zh) | 磷化銦基板、磷化銦基板之製造方法及半導體磊晶晶圓 | |
WO2019003668A1 (ja) | SiCエピタキシャルウェハ及びその製造方法 | |
CN111540782A (zh) | SiC外延晶片及其制造方法 | |
KR102628328B1 (ko) | SiC 단결정 기판 | |
JP7179219B1 (ja) | SiCデバイス及びその製造方法 | |
US20240139883A1 (en) | Method for processing gallium oxide substrate |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20200423 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20200423 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220713 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230328 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230526 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230829 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231012 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240109 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240305 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240318 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7467843 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |