JP2018199591A - SiCウエハの製造方法、エピタキシャルウエハの製造方法、及びエピタキシャルウエハ - Google Patents
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Abstract
【課題】SiCウエハの外周面の加工ダメージを十分に除去することが可能なSiCウエハの製造方法を提供する。【解決手段】SiCウエハ40の製造方法は、エピタキシャル層41を形成する前のSiCウエハ40に対して以下の外周面ダメージ除去工程を含む処理を行う。外周面ダメージ除去工程では、エピタキシャル層41を形成する面を主面としてその反対側を裏面として、主面と裏面を接続する面を外周面としたときに、SiCウエハ40の少なくとも外周面をSi蒸気圧下で加熱することで当該外周面の加工ダメージを除去する。【選択図】図4
Description
本発明は、主として、外周面の加工ダメージが除去されたSiCウエハの製造方法に関する。
SiCウエハの製造工程では、インゴットからSiCウエハを作製した後に、当該SiCウエハの角部の欠け等を防止するために、外周面に面取りが形成される。この面取りは、砥石等を用いた機械加工により形成される。しかし、この機械加工により、SiCウエハの外周面に加工ダメージ(加工歪み、欠け、クラック等)が形成される。
特許文献1は、面取りが形成された後のSiCウエハの外周面に、更に粗研磨及び仕上げ研磨を行うことで、外周面の加工ダメージを除去する技術を開示する。外周面に加工ダメージが存在する場合、ステップフロー成長により加工ダメージが欠陥としてエピタキシャル層に伝播する可能性がある。従って、外周面の加工ダメージを除去することで、欠陥が少ないエピタキシャル層を形成することができる。
しかし、特許文献1で行われる粗研磨及び仕上げ研磨は、面取り加工と同様に機械加工であるため、SiCウエハの外周面の加工ダメージを十分に除去できない可能性がある。更に、粗研磨及び仕上げ研磨を行うことで、新たな加工ダメージが発生する可能性もある。
本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その主要な目的は、SiCウエハの外周面の加工ダメージを十分に除去することが可能なSiCウエハの製造方法を提供することにある。
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。
本発明の第1の観点によれば、エピタキシャル層を形成する前のSiCウエハに対して、以下の外周面ダメージ除去工程を含むSiCウエハの製造方法が提供される。前記外周面ダメージ除去工程では、前記エピタキシャル層を形成する面を主面としてその反対側を裏面として、主面と裏面を接続する面を外周面としたときに、前記SiCウエハの少なくとも外周面をSi蒸気圧下で加熱することで当該外周面の加工ダメージを除去する。
これにより、外周面ダメージ除去工程によってSiCウエハの外周面の加工ダメージが十分に除去されるため、加工ダメージに起因するエピタキシャル層の欠陥を大幅に減少させることができる。特に、Si蒸気圧エッチングは、機械加工ではなく熱化学的エッチングであるため、加工ダメージの原因とならない。従って、機械的な研磨とは異なり、新たな加工ダメージが形成されることなく、現在の加工ダメージを除去できる。
前記のSiCウエハの製造方法においては、前記SiCウエハの外周面を機械加工することで面取りを行う外周面加工工程が行われた前記SiCウエハに対して、前記外周面ダメージ除去工程が行われることが好ましい。
これにより、通常のSiCウエハの製造工程に本発明を組み込むことができる。
前記のSiCウエハの製造方法においては、以下のようにすることが好ましい。即ち、前記SiCウエハの外周面を機械加工することで面取りを行う外周面加工工程が行われていない前記SiCウエハに対して、前記外周面ダメージ除去工程が行われる。前記外周面ダメージ除去工程では、外周面の加工ダメージの除去に加え、前記SiCウエハの外周面の面取りが行われる。
これにより、機械加工による外周面加工工程を省略できるので、製造工程の工程数を減らすことができる。
前記のSiCウエハの製造方法においては、前記SiCウエハの主面及び裏面の少なくとも一方を機械加工して除去することで前記SiCウエハの厚さを調整する厚さ調整工程が行われた前記SiCウエハに対して、前記外周面ダメージ除去工程が行われることが好ましい。
Si蒸気圧エッチングによる外周面ダメージ除去工程では、機械的な研磨と異なり、処理時にSiCウエハの割れが発生しにくいため、厚さ調整工程後であっても外周面ダメージ除去工程を行うことができる。
前記のSiCウエハの製造方法においては、前記厚さ調整工程により厚さが100μm以下となった前記SiCウエハに対して、前記外周面ダメージ除去工程が行われることが好ましい。
これにより、特に割れが発生し易い厚さが100μm以下のSiCウエハに対しても、割れ又は欠け等を発生させずに外周面ダメージ除去工程を行うことができる。
前記のSiCウエハの製造方法においては、以下のようにすることが好ましい。即ち、前記SiCウエハの主面及び裏面の少なくとも一方を機械加工して除去することで前記SiCウエハの厚さを調整する第1厚さ調整工程が行われた前記SiCウエハに対して、前記外周面ダメージ除去工程が行われる。前記外周面ダメージ除去工程では、外周面の加工ダメージの除去に加え、前記SiCウエハの厚さが更に調整される。
これにより、機械加工による厚さ調整工程を短縮できる。また、厚さ調整工程時のSiCウエハの割れを防止できる。
前記のSiCウエハの製造方法においては、以下のようにすることが好ましい。即ち、前記SiCウエハの外周面を機械加工することで面取りを行う外周面加工工程が行われておらず、更に、前記SiCウエハの主面及び裏面の少なくとも一方を機械加工して除去することで前記SiCウエハの厚さを調整する厚さ調整工程が行われていない前記SiCウエハに対して、前記外周面ダメージ除去工程が行われる。前記外周面ダメージ除去工程では、外周面の加工ダメージの除去に加え、前記SiCウエハの外周面の面取りと、前記SiCウエハの厚さの調整と、が行われる。
これにより、機械加工による外周面加工工程及び厚さ調整工程を省略できるので、製造工程の工程数を減らすことができる。
本発明の第2の観点によれば、前記のSiCウエハの製造方法を用いて製造されたSiCウエハに対して、前記エピタキシャル層を形成するエピタキシャル層形成工程を行う、エピタキシャルウエハの製造方法が提供される。
これにより、欠陥が少ないエピタキシャル層が形成されたエピタキシャルウエハを製造できる。
本発明の第3の観点によれば、以下の構成のエピタキシャルウエハが提供される。即ち、このエピタキシャルウエハは、SiCウエハと、前記SiCウエハに形成されるエピタキシャル層と、を備える。前記エピタキシャル層は、ステップフロー成長の上流側に位置するオリエンテーションフラットにおいて、当該ステップフロー成長の上流側の端部からエピタキシャルウエハの中央側に100μm以上拡張している欠陥が1.5個/mm以下である。
これにより、ステップフロー成長の上流側に位置する端部から拡張している欠陥が少ないため、歩留まりを良好にするとともに、エピタキシャルウエハの割れ又は欠け等を防止することができる。
前記のエピタキシャルウエハにおいては、前記SiCウエハの厚さが100μm以下であることが好ましい。
これにより、欠陥が少なく、更に厚さが小さいエピタキシャルウエハが実現できる。
次に、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。初めに、図1を参照して、本実施形態の加熱処理で用いる高温真空炉10について説明する。
図1に示すように、高温真空炉10は、本加熱室21と、予備加熱室22と、を備えている。本加熱室21は、少なくとも表面が単結晶4H−SiC等で構成されるSiCウエハ40(単結晶SiC基板)を1000℃以上2300℃以下の温度に加熱することができる。予備加熱室22は、SiCウエハ40を本加熱室21で加熱する前に予備加熱を行うための空間である。
本加熱室21には、真空形成用バルブ23と、不活性ガス注入用バルブ24と、真空計25と、が接続されている。真空形成用バルブ23は、本加熱室21の真空度を調整することができる。不活性ガス注入用バルブ24は、本加熱室21内の不活性ガス(固体のSiCとの反応性に乏しいガス、例えばArガス等の希ガス)の圧力を調整することができる。真空計25は、本加熱室21内の真空度を測定することができる。
本加熱室21の内部には、ヒータ26が備えられている。また、本加熱室21の側壁及び天井には図略の熱反射金属板が固定されており、この熱反射金属板は、ヒータ26の熱を本加熱室21の中央部に向けて反射させるように構成されている。これにより、SiCウエハ40を強力かつ均等に加熱し、1000℃以上2300℃以下の温度まで昇温させることができる。なお、ヒータ26としては、例えば、抵抗加熱式のヒータ又は高周波誘導加熱式のヒータを用いることができる。
高温真空炉10は、坩堝(収容容器)30に収容されたSiCウエハ40に対して加熱を行う。坩堝30は、適宜の支持台等に載せられており、この支持台が動くことで、少なくとも予備加熱室から本加熱室まで移動可能に構成されている。坩堝30は、互いに嵌合可能な上容器31と下容器32とを備えている。坩堝30の下容器32は、SiCウエハ40の主面及び裏面の両方を露出させるように、当該SiCウエハ40を支持可能である。
坩堝30は、SiCウエハ40が収容される内部空間の壁面(上面、側面、底面)を構成する部分において、外部側から内部空間側の順に、タンタル層(Ta)、タンタルカーバイド層(TaC及びTa2C)、及びタンタルシリサイド層(TaSi2又はTa5Si3等)から構成されている。
このタンタルシリサイド層は、加熱を行うことで、内部空間にSiを供給する。また、坩堝30にはタンタル層及びタンタルカーバイド層が含まれるため、周囲のC蒸気を取り込むことができる。これにより、加熱時に内部空間内を高純度のSi雰囲気とすることができる。なお、Si源としては、タンタルシリサイド層に代えて、固体のSi等を用いることもできる。この場合、加熱時に固体のSiが昇華することで、内部空間内を高純度のSi蒸気圧とすることができる。
SiCウエハ40を加熱する際には、初めに、図1の鎖線で示すように坩堝30を高温真空炉10の予備加熱室22に配置して、適宜の温度(例えば約800℃)で予備加熱する。次に、予め設定温度(例えば、約1800℃)まで昇温させておいた本加熱室21へ坩堝30を移動させる。その後、圧力等を調整しつつSiCウエハ40を加熱する。なお、予備加熱を省略しても良い。
次に、インゴット4から、エピタキシャル形成用のSiCウエハ40を製造する工程について説明する。初めに、従来の製造工程について図2を参照して説明する。
インゴット4は、公知の昇華法又は溶液成長法等によって作製される単結晶SiCの塊である。インゴットは、要求されるインチ数となるように外周面が研削される。この研削により、インゴットの外周面には、加工ダメージが形成される。
SiCウエハ40は、このインゴット4から作製される。具体的には、ダイヤモンドワイヤ等の切断手段によってインゴット4を所定の間隔で切断することで、複数のSiCウエハ40を作製する(ウエハ作製工程)。なお、インゴット4からSiCウエハ40を別の方法で作製することもできる。例えば、インゴット4にレーザー照射等でダメージ層を設けた後に、ウエハ形状にして取り出すこともできる。また、インゴット等から得られた単結晶SiC基板と多結晶SiC基板とを貼り合わせた後に、必要に応じて剥離等の処理を行うことで、少なくとも表面が単結晶SiCのSiCウエハ40を作製できる。
また、インゴット4からSiCウエハ40を作製する際には、インゴット4の切断等を行う角度が調整されることで、SiCウエハ40に所定のオフ角が形成される。これにより、SiCウエハ40は、例えば<11−20>方向又は<1−100>方向に対するオフ角を有することとなる。
図2に示すように、SiCウエハ40は、主面と、裏面と、外周面と、を有している。主面は、後工程でエピタキシャル層が形成される面であり、結晶面で表現すると、(0001)面又は(000−1)面(即ち、Si面又はC面)であり、SiCウエハ40の面のうち面積が最も大きい2面(本実施形態では略円形の面)のうちの一方である。裏面は、面積が最も大きい2面の他方であり、主面の反対側の面である。外周面は、主面と裏面とを接続する面であり、略円板状のSiCウエハ40の側面(円板の軸方向で見たときに円の輪郭及びその近傍を構成する面)である。
ウエハ作製工程の次には、SiCウエハ40の外周面に対して、機械加工により面取りが行われる(外周面加工工程)。この面取りは、図2に示すように外周面に所定の円弧を形成する丸み面取りであっても良いし、所定の角度で斜めに切り取る面取りであっても良い。この機械加工による面取りが行われることで、SiCウエハ40の外周面に加工ダメージが形成される。
次に、SiCウエハ40の主面及び裏面の少なくとも一方に対して、ダイヤモンドホイール等による機械的な研削等の機械加工が行われる(厚さ調整工程)。厚さ調整工程は、SiCウエハ40を所望の厚さにするために行う工程である。
次に、SiCウエハ40の主面に対して、エピタキシャル層41を形成するエピタキシャル層形成工程を行う。エピタキシャル層形成工程では、サセプタにSiCウエハ40をセットし、サセプタを加熱容器に収容して化学蒸着法(CVD法)を行う。そして、高温環境下で原料ガス等を導入することで、SiC基板に単結晶SiCからなるエピタキシャル層が形成される。なお、エピタキシャル層41の形成は異なる方法で行うこともできる。例えば、溶液成長法又は近接昇華法等を用いてエピタキシャル層41を形成することもできる。また、エピタキシャル層41が形成されたSiCウエハ40をエピタキシャルウエハ42と称する。
上述したように、従来例のSiCウエハ40には、インゴットの外径円筒研削及び外周面加工工程等によって、外周面に加工ダメージが形成されており、その状態でエピタキシャル層形成工程が行われる。ここで、図3に示すように、SiCウエハ40にはオフ角が形成されているため、SiCウエハ40はステップ構造を有している。そして、エピタキシャル層形成工程では、このステップ部分が延びるように成長するステップフロー成長が行われる。ステップフロー成長により、外周面に存在する加工ダメージ(加工歪み、欠け、クラック等)が欠陥(積層欠陥、粒界、異種多形、及び転位等)として伝播して、エピタキシャル層41(具体的には、成長方向の起点側の端部近傍)に欠陥が発生することとなる。
このような事情に鑑み、本実施形態では、加工ダメージに起因するエピタキシャル層41の欠陥を減少させたエピタキシャルウエハ42を製造可能である。以下、本実施形態のエピタキシャルウエハ42の製造方法について図4を参照して説明する。図4は、第1実施形態のエピタキシャルウエハ42の製造工程を模式的に示す図である。
本実施形態の製造方法では、初めに、ウエハ作製工程、外周面加工工程、及び厚さ調整工程が行われる。これらの工程は、従来例と同様であるため、説明を省略する。従って、厚さ調整工程が行われた後のSiCウエハ40の外周面には、加工ダメージが存在している。
次に、本実施形態では、Si蒸気圧エッチングによる外周面ダメージ除去工程が行われる。以下、Si蒸気圧エッチングについて説明する。Si蒸気圧エッチングは、SiCウエハ40を坩堝30に収容し、上述したSi源が坩堝30内に存在する状態で(かつSi及び不活性ガス以外の元素を積極的に供給しない状態で)、1500℃以上2200℃以下、望ましくは1600℃以上2000℃以下の温度範囲で高温真空炉10を用いて加熱を行う。これにより、坩堝30内が高純度のSi蒸気圧下となり、この状態でSiCウエハ40が加熱される。これにより、SiCウエハ40の外周面の表面がエッチングされるとともに当該表面が平坦化されていく。このSi蒸気圧エッチングの際には、以下に示す反応が行われる。簡単に説明すると、SiCウエハ40がSi蒸気圧下で加熱されることで、SiCウエハ40のSiCが熱分解ならびにSiとの化学反応によってSi2C又はSiC2等になって昇華するとともに、Si雰囲気下のSiがSiCウエハ40の外周面の表面でCと結合して自己組織化が起こり平坦化される。
(1) SiC(s) → Si(v)I + C(s)I
(2) 2SiC(s) → Si(v)II + SiC2(v)
(3) SiC(s) + Si(v)I+II → Si2C(v)
(1) SiC(s) → Si(v)I + C(s)I
(2) 2SiC(s) → Si(v)II + SiC2(v)
(3) SiC(s) + Si(v)I+II → Si2C(v)
Si蒸気圧エッチングは、機械加工ではなく熱化学的エッチングであるため、加工ダメージの原因とならない。従って、機械的な研磨とは異なり、新たな加工ダメージが形成されることなく、現在の加工ダメージを除去できる。具体的には、特許文献1等のように機械的な研磨を行って加工ダメージを除去する場合、砥石又は砥粒等を外周面に押し付けることになるため、外周面の内部に新たな加工歪み等が生じる可能性がある。この点、Si蒸気圧エッチングでは新たな加工歪み等を生じさせることなく加工ダメージを除去できる。ここで、機械加工による厚さ調整工程が行われたことによりSiCウエハ40の主面及び裏面にも加工ダメージが形成されている。この点、Si蒸気圧エッチングは、複数の面を同時にエッチングすることができる。従って、外周面だけでなく、主面及び裏面(又は主面のみ)に形成された加工ダメージもSi蒸気圧エッチングによって同時に除去できる。
次に、外周面の加工ダメージが除去されたSiCウエハ40の主面に対して、エピタキシャル層41を形成するエピタキシャル層形成工程を行う。エピタキシャル層形成工程は従来例と同じであるため説明を省略する。ここで、本実施形態では、外周面ダメージ除去工程によってSiCウエハ40の外周面の加工ダメージが十分に除去されるため、加工ダメージに起因するエピタキシャル層41の欠陥を大幅に減少させることができる。特に、Si蒸気圧エッチングにより外周面ダメージ除去工程が行われているため、機械的な研磨を行う場合と比較しても、加工ダメージに起因するエピタキシャル層41の欠陥を減少させることができる。なお、エピタキシャル層41の欠陥を減少させることだけを目的とする場合、ステップフロー成長方向の起点側の外周面の加工ダメージのみを除去すれば良い。しかし、本実施形態では、取扱い時にクラック等に起因してSiCウエハ40が割れること等を防止するために、外周面の全体にわたって加工ダメージを除去している。
図5は、Si蒸気圧エッチングによる外周面ダメージ除去工程を行うことにより、エピタキシャル層41の欠陥が減少することを確かめるために行った実験で得られた顕微鏡写真である。この実験では、3種類のSiCウエハ40に約10μmの厚さのエピタキシャル層41を形成し、エピタキシャル層41の端部(詳細には<1−100>方向にほぼ平行なオリエンテーションフラット)を上から(厚さ方向で)顕微鏡で観察した。この実験で用いたエピタキシャルウエハは<11−20>方向に対して傾斜するようなオフ角が形成されているため、<1−100>方向にほぼ平行なオリエンテーションフラットは、ステップフロー成長の上流側に位置する端部に相当する。図5(a)は、図2の従来例と同様の処理が行われたSiCウエハ40に形成されたエピタキシャル層41の観察結果である。図5(b)は、本実施形態と同様の処理が行われたSiCウエハ40に形成されたエピタキシャル層41の観察結果である。図5(c)は、本実施形態から機械加工による外周面加工工程を除いた処理(即ち後述の第2実施形態と同様の処理)が行われたSiCウエハ40に形成されたエピタキシャル層41の観察結果である。
Si蒸気圧エッチングによる外周面ダメージ除去工程が行われていない図5(a)には、エピタキシャル層41に多数の欠陥(図の左右方向に延びる線状の部分)が存在することが確認できる。これに対し、Si蒸気圧エッチングによる外周面ダメージ除去工程が行われた図5(b)及び図5(c)では、エピタキシャル層41の欠陥が殆ど確認できない。この実験で示されたように、Si蒸気圧エッチングによる外周面ダメージ除去工程が行われることで、エピタキシャル層41の端部の欠陥を大幅に減少させることができる。
以下、エピタキシャル層41の端部の欠陥数の発生状況を評価する評価方法について説明する。この評価方法で計測の対象となる欠陥は、エピタキシャルウエハのエピタキシャル層の表面に生じており、ステップフロー成長の上流側に位置する端部からウエハ中央側(詳細には上面視でオリエンテーションフラットと垂直な方向、即ち<11−20方向>)に100μm以上拡張している欠陥である。また、この欠陥の計測は、<1−100>方向にほぼ平行なオリエンテーションフラットに沿う方向の長さが2.5mm以上の領域について行う。以上の計測を行い、オリエンテーションフラットに沿う方向の長さが1mmあたりに存在する上記の欠陥の個数を算出する。
図5(a)から図5(c)は、オリエンテーションフラットに沿う方向の長さが2.67mmである。また、各エピタキシャルウエハにおいて、図5(a)では上記の欠陥が11個、図5(b)では上記の欠陥が1個、図5(c)では上記の欠陥が4個確認できる。従って、各欠陥の個数を2.67mmで除することにより、各エピタキシャルウエハにおいて、図5(a)では、4.12個/mm、図5(b)では、0.37個/mm、図5(c)では、1.50個/mmとなる。このように、Si蒸気圧エッチングによる外周面ダメージ除去工程を行うことで、ステップフロー成長の上流側に位置する端部から拡張する欠陥の数を少なくする(具体的には1.50個/mm以下)ことができる。
また、オリエンテーションフラットは他の外周部と加工方法が異なるためより大きな加工ダメージが発生する可能性がある。具体的には、インゴットに外径円筒研削が行われた後に、外形の一部を平面にする機械加工が更に行われることでオリエンテーションフラットが形成される。この外形の一部を平面にする加工は、当然であるが、オリエンテーションフラットが形成されない箇所には行われない。このように、オリエンテーションフラットには、他の部分よりも多く機械加工が行われているため、大きな加工ダメージが発生している可能性がある。
ここで、特許文献1では、エピタキシャル層を形成する前のSiCウエハのオリエンテーションフラット(インデックスフラット部)の欠陥の状況について記載されている。しかし、特許文献1では、エピタキシャル層を形成した後については、オリエンテーションフラットの円弧外周上部及び円弧外周下部の欠陥の状況についてのみ記載されており、エピタキシャル層を形成した後のオリエンテーションフラットの欠陥の状況については記載されていない。この点、上記の実験で確認されたように、本実施形態のSi蒸気圧エッチングによる外周面加工工程を行うことで、オリエンテーションフラットに形成された加工ダメージが大幅に軽減される。
また、上記の実験では、<11−20>方向に対して傾斜するようなオフ角が形成されているSiCウエハを用いたが、例えば<1−100>方向に対して傾斜するようなオフ角が形成されているSiCウエハを用いた場合であっても、同様の効果を発揮させることができる。この場合、<11−20方向>にほぼ平行なオリエンテーションフラットが形成されている部分が、ステップフロー成長の上流側の端部に相当する。なお、本技術は、ステップフロー成長の上流側の端部にオリエンテーションフラットが形成されていない構成のSiCウエハに対しても、同様の効果を発揮させることができる。
ここで、SiCウエハ40の外周面に加工ダメージが存在する場合、エピタキシャル層41の成長に応じて欠陥が伝播する。そのため、エピタキシャル層41の厚さが大きくなるに従って、加工ダメージに起因する欠陥がエピタキシャル層41の広範囲に広がることとなる。従って、従来例の製造方法では、エピタキシャル層41の厚さが大きいエピタキシャルウエハ42を作製した場合、歩留まりが悪くなる。この点、本実施形態では、エピタキシャル層41の厚さが大きい場合(例えば30μm以上、好ましくは100μm以上)であっても、欠陥が少ないエピタキシャルウエハ42を作製できる。
また、外周面の加工ダメージに起因する欠陥が伝播する方向は、オフ角に依存する。そのため、オフ角が小さくなるに従って、加工ダメージに起因する欠陥がエピタキシャル層41の広範囲に広がることとなる。従って、従来例の製造方法では、オフ角が小さいエピタキシャルウエハ42を作製した場合、歩留まりが悪くなる。この点、本実施形態では、オフ角が小さい場合(例えば2°以下、好ましくは1°以下)であっても、欠陥が少ないエピタキシャルウエハ42を作製できる。
次に、図6を参照して、第2実施形態を説明する。図6は、第2実施形態のエピタキシャルウエハ42の製造工程を模式的に示す図である。なお、以後の説明においては、前述の実施形態と同一又は類似の部材には図面に同一の符号を付し、説明を省略する場合がある。
第1実施形態では、機械加工による外周面加工工程が行われた後のSiCウエハ40に外周面ダメージ除去工程が行われているが、第2実施形態では機械加工による外周面加工工程が省略されている。従って、第2実施形態では、機械加工による外周面加工工程が行われていないSiCウエハ40に対して、外周面ダメージ除去工程が行われる。
ここで、Si蒸気圧エッチングによる外周面ダメージ除去工程を行ってSiCウエハ40の外周面をエッチングすることにより、SiCウエハ40の外周面の加工ダメージが除去されるだけでなく、SiCウエハ40の外周面に丸み面取りを形成することができる。従って、機械加工による外周面加工工程を行うことなく(即ち工程数を減らしつつ)、SiCウエハ40の外周面に面取りを形成できる。言い換えれば、Si蒸気圧エッチングにより、外周面加工工程と外周面ダメージ除去工程とを同時に行うことができる。
ここで、第2実施形態のように、厚さ調整工程の後に機械加工により面取りを形成する場合であって、SiCウエハ40の厚さが薄いとき(例えば厚さが100μm以下のとき)は、この機械加工によりSiCウエハ40が割れる可能性がある。この点、Si蒸気圧エッチングを用いることで、SiCウエハ40の厚さが薄い場合であっても、SiCウエハ40の割れを防止しつつ、更に外周面の加工ダメージを除去しつつ、面取りを形成できる。
次に、図7を参照して、第3実施形態を説明する。図7は、第3実施形態のエピタキシャルウエハ42の製造工程を模式的に示す図である。
第1及び第2実施形態では、厚さ調整工程が機械加工によって行われているが、第3実施形態では、機械加工による第1厚さ調整工程が行われた後に、Si蒸気圧エッチングによってもSiCウエハ40の厚さが調整される。従って、第3実施形態の外周面ダメージ除去工程では、SiCウエハ40の外周面の加工ダメージが除去されるだけでなく、所望の厚さになるまでSiCウエハ40の主面及び裏面もエッチングされる。言い換えれば、Si蒸気圧エッチングにより、外周面ダメージ除去工程と第2厚さ調整工程とを同時に行うことができる。
ここで、厚さが薄い(例えば厚さが100μm以下)SiCウエハ40の厚さ調整工程を機械加工によって行う場合、この機械加工によりSiCウエハ40が割れる可能性がある。この点、Si蒸気圧エッチングを用いることで、SiCウエハ40の割れを防止しつつ、更に外周面の加工ダメージを除去しつつ、厚さが薄いSiCウエハ40を作製できる。なお、機械加工による第1厚さ調整工程を省略しても良い。
次に、図8を参照して、第4実施形態を説明する。図8は、第4実施形態のエピタキシャルウエハ42の製造工程を模式的に示す図である。
第4実施形態は、第2実施形態と第3実施形態を組合せつつ、更に第1厚さ調整工程を省略した方法である。つまり、第4実施形態の外周面ダメージ除去工程では、SiCウエハ40の外周面の加工ダメージが除去されるとともに、SiCウエハ40の外周面に面取りが形成され、更にSiCウエハ40の厚さが調整される。言い換えれば、Si蒸気圧エッチングにより、外周面加工工程と、厚さ調整工程と、外周面ダメージ除去工程と、を同時に行うことができる。これにより、製造工程の工程数を減らすことができる。
以上に説明したように、上記実施形態では、エピタキシャル層41を形成する前のSiCウエハ40に対して、以下の外周面ダメージ除去工程を含む処理が行われる。外周面ダメージ除去工程では、エピタキシャル層41を形成する面を主面としてその反対側を裏面として、主面と裏面を接続する面を外周面としたときに、SiCウエハ40の少なくとも外周面をSi蒸気圧下で加熱することで当該外周面の加工ダメージを除去する。
これにより、外周面ダメージ除去工程によってSiCウエハ40の外周面の加工ダメージが十分に除去されるため、加工ダメージに起因するエピタキシャル層41の欠陥を大幅に減少させることができる。特に、Si蒸気圧エッチングは、機械加工ではなく熱化学的エッチングであるため、加工ダメージの原因とならない。従って、機械的な研磨とは異なり、新たな加工ダメージが形成されることなく、現在の加工ダメージを除去できる。
以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。
上記実施形態で説明した製造工程は一例であり、工程の順序を入れ替えたり、一部の工程を省略したり、他の工程を追加したりすることができる。例えば、水素エッチングによる表面のクリーニング工程を例えばエピタキシャル層形成工程前に行っても良い。
上記で説明した温度条件及び圧力条件等は一例であり、適宜変更することができる。また、上述した高温真空炉10以外の加熱装置を用いたり、多結晶のSiCウエハ40を用いたり、坩堝30と異なる形状又は素材の容器を用いたりしても良い。例えば、収容容器の外形は円柱状に限られず、立方体状又は直方体状であっても良い。
40 SiCウエハ
41 エピタキシャル層
42 エピタキシャルウエハ
41 エピタキシャル層
42 エピタキシャルウエハ
Claims (10)
- エピタキシャル層を形成する前のSiCウエハに対して、
前記エピタキシャル層を形成する面を主面としてその反対側を裏面として、主面と裏面を接続する面を外周面としたときに、前記SiCウエハの少なくとも外周面をSi蒸気圧下で加熱することで当該外周面の加工ダメージを除去する外周面ダメージ除去工程を含むことを特徴とするSiCウエハの製造方法。 - 請求項1に記載のSiCウエハの製造方法であって、
前記SiCウエハの外周面を機械加工することで面取りを行う外周面加工工程が行われた前記SiCウエハに対して、前記外周面ダメージ除去工程が行われることを特徴とするSiCウエハの製造方法。 - 請求項1に記載のSiCウエハの製造方法であって、
前記SiCウエハの外周面を機械加工することで面取りを行う外周面加工工程が行われていない前記SiCウエハに対して、前記外周面ダメージ除去工程が行われ、
前記外周面ダメージ除去工程では、外周面の加工ダメージの除去に加え、前記SiCウエハの外周面の面取りが行われることを特徴とするSiCウエハの製造方法。 - 請求項1に記載のSiCウエハの製造方法であって、
前記SiCウエハの主面及び裏面の少なくとも一方を機械加工して除去することで前記SiCウエハの厚さを調整する厚さ調整工程が行われた前記SiCウエハに対して、前記外周面ダメージ除去工程が行われることを特徴とするSiCウエハの製造方法。 - 請求項4に記載のSiCウエハの製造方法であって、
前記厚さ調整工程により厚さが100μm以下となった前記SiCウエハに対して、前記外周面ダメージ除去工程が行われることを特徴とするSiCウエハの製造方法。 - 請求項1に記載のSiCウエハの製造方法であって、
前記SiCウエハの主面及び裏面の少なくとも一方を機械加工して除去することで前記SiCウエハの厚さを調整する第1厚さ調整工程が行われた前記SiCウエハに対して、前記外周面ダメージ除去工程が行われ、
前記外周面ダメージ除去工程では、外周面の加工ダメージの除去に加え、前記SiCウエハの厚さが更に調整されることを特徴とするSiCウエハの製造方法。 - 請求項1に記載のSiCウエハの製造方法であって、
前記SiCウエハの外周面を機械加工することで面取りを行う外周面加工工程が行われておらず、更に、前記SiCウエハの主面及び裏面の少なくとも一方を機械加工して除去することで前記SiCウエハの厚さを調整する厚さ調整工程が行われていない前記SiCウエハに対して、前記外周面ダメージ除去工程が行われ、
前記外周面ダメージ除去工程では、外周面の加工ダメージの除去に加え、前記SiCウエハの外周面の面取りと、前記SiCウエハの厚さの調整と、が行われることを特徴とするSiCウエハの製造方法。 - 請求項1から7までの何れか一項に記載のSiCウエハの製造方法を用いて製造されたSiCウエハに対して、前記エピタキシャル層を形成するエピタキシャル層形成工程を行うことを特徴とするエピタキシャルウエハの製造方法。
- SiCウエハと、
前記SiCウエハに形成されたエピタキシャル層と、
を備えるエピタキシャルウエハにおいて、
前記エピタキシャル層は、ステップフロー成長の上流側に位置するオリエンテーションフラットにおいて、当該ステップフロー成長の上流側の端部からエピタキシャルウエハの中央側に100μm以上拡張している欠陥が1.5個/mm以下であることを特徴とするエピタキシャルウエハ。 - 請求項9に記載のエピタキシャルウエハであって、
前記SiCウエハの厚さが100μm以下であることを特徴とするエピタキシャルウエハ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017104008A JP2018199591A (ja) | 2017-05-25 | 2017-05-25 | SiCウエハの製造方法、エピタキシャルウエハの製造方法、及びエピタキシャルウエハ |
PCT/JP2018/019503 WO2018216657A1 (ja) | 2017-05-25 | 2018-05-21 | SiCウエハの製造方法、エピタキシャルウエハの製造方法、及びエピタキシャルウエハ |
TW107117651A TW201907035A (zh) | 2017-05-25 | 2018-05-24 | 碳化矽晶圓的製造方法、磊晶晶圓的製造方法及磊晶晶圓 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017104008A JP2018199591A (ja) | 2017-05-25 | 2017-05-25 | SiCウエハの製造方法、エピタキシャルウエハの製造方法、及びエピタキシャルウエハ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018199591A true JP2018199591A (ja) | 2018-12-20 |
Family
ID=64396800
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017104008A Pending JP2018199591A (ja) | 2017-05-25 | 2017-05-25 | SiCウエハの製造方法、エピタキシャルウエハの製造方法、及びエピタキシャルウエハ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018199591A (ja) |
TW (1) | TW201907035A (ja) |
WO (1) | WO2018216657A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021027106A (ja) * | 2019-08-01 | 2021-02-22 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 炭化珪素エピタキシャル基板および炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法 |
JP2021034670A (ja) * | 2019-08-29 | 2021-03-01 | 富士電機株式会社 | 炭化珪素エピタキシャル基板および炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112038213B (zh) * | 2020-04-29 | 2022-06-14 | 厦门市三安集成电路有限公司 | 一种SiC衬底双面生长SiC外延层的方法及应用 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6268277B2 (ja) * | 2014-03-31 | 2018-01-24 | 東洋炭素株式会社 | SiC基板の表面処理方法、SiC基板の製造方法、及び半導体の製造方法 |
JP6232329B2 (ja) * | 2014-03-31 | 2017-11-15 | 東洋炭素株式会社 | SiC種結晶の加工変質層の除去方法、SiC種結晶及びSiC基板の製造方法 |
JP6315579B2 (ja) * | 2014-07-28 | 2018-04-25 | 昭和電工株式会社 | SiCエピタキシャルウェハの製造方法 |
EP3222759A4 (en) * | 2014-11-18 | 2018-05-30 | Kwansei Gakuin Educational Foundation | Surface treatment method for sic substrate |
KR20170085085A (ko) * | 2014-11-18 | 2017-07-21 | 토요 탄소 가부시키가이샤 | SiC 기판의 에칭 방법 및 수용 용기 |
-
2017
- 2017-05-25 JP JP2017104008A patent/JP2018199591A/ja active Pending
-
2018
- 2018-05-21 WO PCT/JP2018/019503 patent/WO2018216657A1/ja active Application Filing
- 2018-05-24 TW TW107117651A patent/TW201907035A/zh unknown
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021027106A (ja) * | 2019-08-01 | 2021-02-22 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 炭化珪素エピタキシャル基板および炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法 |
JP7358825B2 (ja) | 2019-08-01 | 2023-10-11 | 富士電機株式会社 | 炭化珪素エピタキシャル基板および炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法 |
JP2021034670A (ja) * | 2019-08-29 | 2021-03-01 | 富士電機株式会社 | 炭化珪素エピタキシャル基板および炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法 |
JP7467843B2 (ja) | 2019-08-29 | 2024-04-16 | 富士電機株式会社 | 炭化珪素エピタキシャル基板および炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2018216657A1 (ja) | 2018-11-29 |
TW201907035A (zh) | 2019-02-16 |
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